技術(shù)總結(jié)
一種復(fù)合反射電極、制備方法及有機(jī)電致發(fā)光器件，復(fù)合反射電極設(shè)置有銀薄膜和作為保護(hù)層的非晶透明氧化物薄膜；非晶透明氧化物薄膜為金屬氧化物(In2O3)x(MO)y(ZnO)z，非晶透明氧化物薄膜的厚度為5~15?nm。復(fù)合反射電極的制備方法是采用物理氣相沉積法沉積銀薄膜和非晶透明氧化物薄膜作為保護(hù)層，再對(duì)所形成的復(fù)合薄膜采用磷酸基刻蝕液刻蝕進(jìn)行圖形化得到復(fù)合反射電極。該復(fù)合反射電極能夠提高銀薄膜的溫度穩(wěn)定性及空氣存儲(chǔ)穩(wěn)定性。其制備工藝簡(jiǎn)單，易圖形化。具有該復(fù)合電極的有機(jī)電致發(fā)光器件具有性能優(yōu)良、制備工藝簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：徐苗;趙銘杰;鄒建華;彭俊彪;王磊;陶洪
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣州新視界光電科技有限公司
文檔號(hào)碼：201310281943
技術(shù)研發(fā)日：2013.07.06
技術(shù)公布日：2016.12.28