專利名稱：晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種抽片移轉(zhuǎn)治具，特別是有關(guān)于一種晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，可防止晶圓破片或缺角的缺點(diǎn)問(wèn)題。
背景技術(shù)：
請(qǐng)參閱圖1是已知晶舟(cassette)的抽片移轉(zhuǎn)不意圖，一般而目，多個(gè)晶圓(wafer) 91是先一起存放于一具有多個(gè)承置槽901的第一晶舟90內(nèi)，每一晶圓91分別存放于每一承置槽901，以方便作業(yè)人員或機(jī)器設(shè)備的機(jī)械手臂取拿。如圖所不，晶圓91在后續(xù)流程中檢驗(yàn)時(shí)，若有必要，需從第一晶舟90中進(jìn)行抽片移轉(zhuǎn)至第二晶舟95的承置槽951，以檢驗(yàn)晶圓91是否正常。其轉(zhuǎn)換過(guò)程是先將第一晶舟90 與第二晶舟95分別依序相鄰置放于工作桌上，作業(yè)人員再利用右手握住真空筆去吸附取拿第一晶舟90的晶圓91的支持框，此時(shí)作業(yè)人員需避免真空筆去碰觸到晶圓91的晶面，再將晶圓91放置于第二晶舟95的承置槽951上。于轉(zhuǎn)換過(guò)程中，若真空筆的吸力突然不夠，或者作業(yè)人員突然碰觸到真空筆的吸力釋放鍵，則晶圓91會(huì)滑落，容易導(dǎo)致晶圓91刮傷、缺角或破片等情形。此時(shí)，若作業(yè)人員正好跨越第一晶舟90與第二晶舟95的上方，則將造成多片晶圓91相互碰撞而導(dǎo)致刮傷碎裂，并非十分理想，尚有改善的空間。此外，若真空筆的吸力沒(méi)有問(wèn)題，作業(yè)人員放置晶圓91于第二晶舟95的承置槽951時(shí)，因承置槽951的槽孔寬度遠(yuǎn)大于晶圓91的厚度，也容易因作業(yè)人員未保持晶圓91的垂直角度而斜插入第二晶舟95的承置槽951，晶圓91容易出現(xiàn)斜插、疊片異常，導(dǎo)致可能出現(xiàn)刮傷其它晶圓91的晶面，造成晶圓91產(chǎn)品報(bào)廢，亦非十分理想，尚有改善的空間。創(chuàng)作人原因于此，本于積極發(fā)明創(chuàng)作的精神，亟思一種可以解決上述問(wèn)題的“晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具”，幾經(jīng)研究實(shí)驗(yàn)終至完成本實(shí)用新型。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的是在提供一種晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其能利用U形機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)操作桿水平移轉(zhuǎn)晶圓，取代已知依靠真空吸筆及垂直運(yùn)動(dòng)的晶圓移轉(zhuǎn)作業(yè)，可防止晶圓刮傷、斜揷、疊片等缺點(diǎn)。為達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具包括有一承置臺(tái)、一滑桿、一立桿及一推桿。其中，承置臺(tái)上具有一橫向槽孔；滑桿滑設(shè)于承置臺(tái)上的橫向槽孔；立桿固設(shè)于滑桿的一端，且立桿具有一直向槽孔；推桿的二端分別固設(shè)有一推鏟及一操作桿，且操作桿滑設(shè)于立桿的直向槽孔中。上述立桿上可具有與操作桿相互定位的多個(gè)定位孔，亦即，本實(shí)用新型可利用設(shè)于操作桿內(nèi)部的凸銷及彈簧的預(yù)力，而使凸銷可卡合于立桿上的多個(gè)定位孔的其一，以便能調(diào)整操作桿的高度，進(jìn)而可調(diào)整推桿的高度。上述立桿上的每二相鄰定位孔間的間距可相同，且立桿上對(duì)應(yīng)于該多個(gè)定位孔處并可標(biāo)示有多個(gè)不同的序號(hào)，以便可方便作業(yè)人員依序號(hào)對(duì)位來(lái)置放晶圓，也可避免晶圓斜挿或置片。上述滑桿與推桿可平行設(shè)置。另，上述承置臺(tái)上可固設(shè)至少一傳感器，以偵測(cè)晶舟正確擺放于承置臺(tái)的特定位置。另承置臺(tái)可布設(shè)多個(gè)傳感器，例如，承置臺(tái)可分設(shè)四個(gè)傳感器，以便可確保置放于承置臺(tái)上的二個(gè)晶舟確實(shí)定位而與推桿成一直線，若有一個(gè)傳感器未確實(shí)感測(cè)定位，即表示晶舟未確實(shí)定位，此時(shí)傳感器則可提醒作業(yè)人員，尚不能移轉(zhuǎn)晶圓，避免對(duì)晶圓碰撞晶舟而造成刮傷。上述立桿上的多個(gè)定位孔的水平高度位置可與晶舟上所承放的多個(gè)晶圓的水平高度位置相對(duì)應(yīng)，以方便晶圓水平移轉(zhuǎn)。上述推鏟可具有相連的一上檔片、一下檔片及一連接片，且上檔片與下檔片的間距略大于晶圓的厚度，以便于移轉(zhuǎn)過(guò)程可確保晶圓不會(huì)幌動(dòng)或傾斜。上述推鏟與推桿可為一體式結(jié)構(gòu)，也可為二件式結(jié)構(gòu)再結(jié)合固定成一件式的結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的有益效果是其能利用U形機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)操作桿水平移轉(zhuǎn)晶圓，取代已知依靠真空吸筆及垂直運(yùn)動(dòng)的晶圓移轉(zhuǎn)作業(yè)，可防止晶圓刮傷、斜揷、疊片等缺點(diǎn)。

以下配合附圖列舉較佳實(shí)施例，用以對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)及功效進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，其中圖1是已知晶舟的抽片移轉(zhuǎn)示意圖。圖2是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具立體圖。圖3是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的立桿部分放大圖。圖4是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的晶圓移轉(zhuǎn)前的示意圖。圖5是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的晶圓移轉(zhuǎn)后的示意圖。圖6是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的晶圓移轉(zhuǎn)中的示意圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖2及圖3，其分別為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具立體圖及立桿部分放大圖。本實(shí)施例的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具包括有一承置臺(tái)10、一滑桿20、一立桿30、及一推桿40。其中，承置臺(tái)10具有一橫向槽孔12，承置臺(tái)10上表面并固設(shè)有四個(gè)傳感器16-19，傳感器16與17是用以偵測(cè)第一晶舟5是否確實(shí)定位，而傳感器18與19則用以偵測(cè)第二晶舟6是否確實(shí)定位，且承置臺(tái)10下表面并固設(shè)有四個(gè)腳座15。如圖2所示，滑桿20可滑設(shè)于承置臺(tái)10的橫向槽孔12中，且若第一晶舟5及第二晶舟6通過(guò)四個(gè)傳感器16-19偵測(cè)是確實(shí)就定位，則滑桿20與第一晶舟5及第二晶舟6會(huì)排列成一直線，此時(shí)表示可進(jìn)行晶圓51 (繪于圖4)的移轉(zhuǎn)作業(yè)。于一較佳實(shí)施例中，傳感器可為光傳感器或機(jī)械式傳感器。如圖2與圖3所不,立桿30固設(shè)于滑桿20的一端,且立桿30具有一直向槽孔32、多個(gè)定位孔34及多個(gè)不同的序號(hào)36。推桿40的二端分別固設(shè)有一推鏟42及一操作桿46，操作桿46滑設(shè)于立桿30的直向槽孔32中，且操作桿46內(nèi)設(shè)有一凸銷462及一彈簧461，通過(guò)彈簧461的預(yù)力，可使凸銷462卡合于立桿30上的多個(gè)定位孔34的其一，亦即立桿30可與操作桿46相互定位于多個(gè)定位孔34的其一，以便能調(diào)整操作桿46的高度，進(jìn)而可調(diào)整推桿40的高度。在本實(shí)施例中，立桿30的每二相鄰定位孔34間的相鄰間距相同，且多個(gè)不同的序號(hào)36是對(duì)應(yīng)標(biāo)示于多個(gè)定位孔34處，立桿30的多個(gè)定位孔34的水平高度位置與晶舟5上多個(gè)晶圓51 (繪于圖4)的水平高度位置相對(duì)應(yīng)，可方便作業(yè)人員對(duì)位來(lái)置放晶圓51，進(jìn)而于移轉(zhuǎn)時(shí)，可避免晶圓51斜揷或疊片。請(qǐng)繼續(xù)參閱圖4、圖5及圖6，其分別為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的晶圓移轉(zhuǎn)前、移轉(zhuǎn)后及移轉(zhuǎn)中的示意圖。如圖4所示，推鏟42具有相連的一上檔片421、一下檔片423及一連接片422，上檔片421與下檔片423的相鄰間距略大于每一晶圓51的厚度，以于晶圓51移轉(zhuǎn)過(guò)程中，可確保晶圓51不會(huì)幌動(dòng)或傾斜。又，滑桿20與推桿40是上、下平行設(shè)置，且二者一同左右移動(dòng)。在本實(shí)施例中，推鏟42與推桿40是為一體式結(jié)構(gòu)。 于移轉(zhuǎn)作業(yè)過(guò)程中，首先，承置臺(tái)10上表面的四個(gè)傳感器16-19可偵測(cè)第一晶舟5及第二晶舟6是否確實(shí)定位，待第一晶舟5及第二晶舟6確實(shí)定位后，作業(yè)人員即可利用操作桿46調(diào)整推桿40的水平高度，通過(guò)操作桿46于立桿30的直向槽孔32內(nèi)上下滑移，可粗調(diào)調(diào)整操作桿46的水平高度，再利用操作桿46內(nèi)設(shè)有的凸銷462與立桿30上的多個(gè)定位孔34相互卡合定位，即操作桿46細(xì)調(diào)確實(shí)定位后，即可向左滑移推桿40而將第一晶舟5上的晶圓51移轉(zhuǎn)至第二晶舟6上。如圖所示，本實(shí)施例的推桿40與滑桿20是上、下平行設(shè)置，且二者一同左右移動(dòng)，且推桿40可利用立桿30的直向槽孔32而調(diào)整推桿40的水平高度，故可利用U形機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)操作桿46水平移轉(zhuǎn)晶圓51，取代已知依靠真空吸筆及垂直運(yùn)動(dòng)的晶圓移轉(zhuǎn)作業(yè)，可防止晶圓刮傷、斜揷、疊片等缺點(diǎn)。上述實(shí)施例僅是為了方便說(shuō)明而舉例而已，本實(shí)用新型所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以權(quán)利要求范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求1.一種晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，包括一承置臺(tái)，具有一橫向槽孔；一滑桿，滑設(shè)于該橫向槽孔；一立桿，固設(shè)于該滑桿的一端，該立桿具有一直向槽孔；以及一推桿，其二端分別固設(shè)有一推鏟及一操作桿，該操作桿滑設(shè)于該直向槽孔中。
2.如權(quán)利要求1所述的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該立桿具有與該操作桿相互定位的多個(gè)定位孔。
3.如權(quán)利要求2所述的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，每二相鄰定位孔間的間距相同。
4.如權(quán)利要求2所述的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該立桿上對(duì)應(yīng)于該多個(gè)定位孔標(biāo)示有多個(gè)不同的序號(hào)。
5.如權(quán)利要求1所述的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該滑桿與該推桿平行設(shè)置。
6.如權(quán)利要求1所述的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該承置臺(tái)上固設(shè)至少一傳感器。
7.如權(quán)利要求2所述的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該多個(gè)定位孔的水平高度位置與一晶舟內(nèi)的多個(gè)晶圓的水平高度位置相對(duì)應(yīng)。
8.如權(quán)利要求1所述的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該推鏟具有相連的一上檔片、一下檔片及一連接片，該上檔片與該下檔片的相鄰間距大于每一晶圓的厚度。
9.如權(quán)利要求1所述的晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，其特征在于，其中，該推鏟與該推桿是為一體式結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型是有關(guān)于一種晶舟的抽片移轉(zhuǎn)治具，包括有一承置臺(tái)、一滑桿、一立桿及一推桿。其中，承置臺(tái)上具有一橫向槽孔；滑桿滑設(shè)于承置臺(tái)上的橫向槽孔；立桿固設(shè)于滑桿的一端，且立桿具有一直向槽孔；推桿的二端分別固設(shè)有一推鏟及一操作桿，且操作桿滑設(shè)于立桿的直向槽孔中。由此，本實(shí)用新型能利用U形機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)操作桿水平移轉(zhuǎn)晶圓，取代已知依靠真空吸筆及垂直運(yùn)動(dòng)的晶圓移轉(zhuǎn)作業(yè)，可防止晶圓刮傷、斜挿、疊片等缺點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202839564SQ20122038595
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月6日
發(fā)明者郝萬(wàn)琳 申請(qǐng)人:京隆科技(蘇州)有限公司