一種基板接合裝置及基板接合方法
【專利摘要】本發(fā)明是涉及一種基板接合裝置及基板接合方法，其包括：基架，其位于基底上，并且對從外部進入的第一基板進行排列安裝并固定；基板夾緊部，其位于上述基架的上部，從而對從外部進入的第二基板進行夾緊，以便接合于上述第一基板；水平驅(qū)動部，其對上述基板夾緊部進行水平驅(qū)動；第一垂直驅(qū)動部，其位于上述基底上，并且連接于上述水平驅(qū)動部，從而對上述水平驅(qū)動部進行垂直運動；第一、二加壓裝置，其設(shè)置于上述基板夾緊部，從而將夾緊于上述基板夾緊部的第二基板向上述第一基板側(cè)進行加壓；第二垂直驅(qū)動部，其在垂直地位于上述第一垂直驅(qū)動部的狀態(tài)，對上述第一加壓裝置向垂直方向進行驅(qū)動；以及，第三垂直驅(qū)動部，其設(shè)置于上述第二垂直驅(qū)動部，從而對上述第二加壓裝置向垂直方向進行驅(qū)動。
【專利說明】一種基板接合裝置及基板接合方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種基板接合裝置及基板接合方法，更具體地，涉及在基板接合時能夠防止在接合過程中產(chǎn)生的氣泡，并且能夠縮短接合時間，從而能夠提高整體工藝收率。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，平板顯示元件以使用的物質(zhì)為基準可區(qū)分為使用無機物的元件和使用有機物的元件。使用無機物的元件包括作為突光體的利用光激發(fā)光(PL, Photo Luminescence)的等離子顯示板(F1DP, Plasma Display Panel)和利用陰極發(fā)光(CE, CathodeLuminescence)的視野發(fā)射顯示器(FED, Field Emission Display)等，并且使用有機物的元件包括在各種領(lǐng)域廣泛使用的液晶顯示裝置(LCD, Liquid Crystal Display)以及有機發(fā)光顯不裝置(OLED, Organic Light Emitting Display)等。
[0003]上述有機發(fā)光顯示裝置具有使用小分子量的功能性單分子的低分子有機發(fā)光顯示裝置和使用大分子量的高分子的高分子有機發(fā)光顯示裝置，與目前被廣泛商品化的液晶顯示裝置相比，具有約30，000倍以上的迅速的應(yīng)答速度，從而可顯示視頻，并且具有自行發(fā)光而擴大視野并可產(chǎn)生高亮度的優(yōu)點，從而被矚目為下一代的顯示裝置。
[0004]并且，觸摸面板是一種計算機周邊裝置，其安裝在電子射線管(CRT，CathodeRay Tube)、液晶顯示裝置(IXD, Liquid Crystal Display)、視野發(fā)射顯示器(FED, FieldEmission Display)、等離子顯不板(F1DP, Plasma Display Panel)及電發(fā)光裝置(ELD, Electro Luminescence Device)等圖像顯示裝置的顯示面中，從而用戶觀看圖像顯示裝置的同時，對觸摸面板進行加壓，從而向電腦輸入事先設(shè)定的信息。
[0005]將內(nèi)置有觸摸功能的移動手機作為典型的觸摸面板，上述觸摸面板是如上所述的顯示一體型輸入裝置，在記錄筆或者手指進行加壓的位置上產(chǎn)生電壓或者電流信號，從而輸入用戶所指定的命令或者圖表信息。最近在平板顯示裝置中主要使用與液晶面板形成為一體的模擬輸入方式的電阻膜方式的觸摸面板。通常的液晶面板對注入于兩張玻璃基板之間的液晶單元的光的透射比進行調(diào)節(jié)，從而顯示圖像。各個液晶單元調(diào)節(jié)對視頻信號，換句話說，對所屬像素信號進行應(yīng)答而透過的光亮。
[0006]如上所示，為了對顯示一體型觸摸面板進行接合，從而通常在真空周圍實現(xiàn)接合，因此存在如下問題:在工藝進行過程中在形成真空周圍的時間和排氣過程中需要很多時間，從而降低整體工藝生產(chǎn)率。
[0007]另外，存在如下問題:在將顯示面板和觸摸面板進行接合時，在相互接觸面涂覆粘合劑，從而在整體面積上形成均勻的涂覆層時產(chǎn)生氣泡，上述粘合劑在涂覆有粘合劑的狀態(tài)下進行處理工藝。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的是為了改善如上所示的現(xiàn)有的特性而提出的，其提供一種基板接合裝置以及基板接合方法，其中，在基板接合時能夠防止在接合過程中產(chǎn)生的氣泡，并且能夠縮短接合時間，從而擴大整體工藝的生產(chǎn)率。
[0009]本發(fā)明為了實現(xiàn)上述的目的，從而具有如下構(gòu)成。
[0010]本發(fā)明的基板接合裝置，包括:基架，其位于基底上，并且對從外部進入的第一基板進行排列安裝并固定；基板夾緊部，其位于上述基架的上部，從而對從外部進入的第二基板進行夾緊，以便接合于上述第一基板；水平驅(qū)動部，其對上述基板夾緊部進行水平驅(qū)動；第一垂直驅(qū)動部，其位于上述基底上，并且連接于上述水平驅(qū)動部，從而對上述水平驅(qū)動部進行垂直運動；第一、第二加壓裝置，其設(shè)置于上述基板夾緊部位置，從而將夾緊于上述基板夾緊部的第二基板向上述第一板側(cè)進行加壓；第二垂直驅(qū)動部，其在垂直地位于上述第一垂直驅(qū)動部的狀態(tài)下，對上述第一加壓裝置向垂直方向進行驅(qū)動；以及，第三垂直驅(qū)動部，其設(shè)置于上述第二垂直驅(qū)動部，從而對上述第二加壓裝置向垂直方向進行驅(qū)動。
[0011]并且，上述第一、第二加壓裝置相互獨立地進行驅(qū)動，并且對上述第二基板進行加壓，從而將上述第一基板和第二基板進行接合。
[0012]另外，上述第一加壓裝置對上述第二基板的中央部分進行加壓，并且上述第二加壓裝置對上述第二基板的整體面進行加壓。
[0013]并且，上述第一、二加壓裝置中，在上述第一加壓裝置首先進行操作之后上述第二加壓裝置進行操作。
[0014]另外，上述第一、第二加壓裝置在基板夾緊部之后進行操作。
[0015]并且，上述基板夾緊部包括:夾緊臺，其形成有能夠插入第二基板的插入槽；支撐臺，其固定有上述夾緊臺；固定臺，其將上述支撐臺連接于上述第一垂直驅(qū)動部側(cè)。
[0016]另外，上述插入槽的傾斜面越向內(nèi)周面?zhèn)仍絻A斜。
[0017]并且，上述第一垂直驅(qū)動部包括:支撐臺，其支撐在上述基底；發(fā)動機，其設(shè)置于上述支撐臺上端；驅(qū)動滑輪以及從動滑輪，其在設(shè)置于殼體內(nèi)的狀態(tài)下連接于上述發(fā)動機；軸，其連接于上述從動滑輪，從而根據(jù)發(fā)動機驅(qū)動進行旋轉(zhuǎn)；軸連接臺，其連接于上述軸，從而根據(jù)上述軸的旋轉(zhuǎn)進行上升，并且使得上述夾緊部向垂直方向進行運動。
[0018]另外，上述第二垂直驅(qū)動部包括:支撐臺，其固定在上述基底；發(fā)動機,其固定在上述支撐臺；軸，其根據(jù)聯(lián)軸節(jié)與上述發(fā)動機進行連接而旋轉(zhuǎn)；軸支撐臺，其在固定于上述支撐臺的狀態(tài)下支撐上述軸；軸連接臺，其連接于上述軸，從而根據(jù)軸的旋轉(zhuǎn)進行上升；固定臺，其連接于上述軸連接臺，從而支撐上述第三垂直驅(qū)動部。
[0019]并且，上述第三垂直驅(qū)動部包括:驅(qū)動滾筒，其安裝在上述第二垂直驅(qū)動部的固定臺上面；軌道支撐臺，其連接于上述驅(qū)動滾筒桿；多個垂直軌道，其在設(shè)置于上述驅(qū)動滾筒的周圍的狀態(tài)下，一側(cè)固定于上述軌道支撐臺，另一側(cè)對上述固定臺進行貫通并連接于上述第二加壓裝置；向?qū)?，其在固定于上述固定臺的狀態(tài)下，對上述垂直軌道進行導向。
[0020]另外，上述第二加壓裝置包括加壓支撐臺和加壓板，上述加壓板設(shè)置于上述加壓支撐臺下面，并且上述加壓板的表面具有彈性。
[0021]并且，上述第一加壓裝置的一側(cè)端部構(gòu)成為球面，并且上述球面具有彈性。
[0022]另外，本發(fā)明的基板接合方法包括如下步驟:1)從外部進入的第一基板安裝于基架；2)在上述第一基板的上部放置第二基板；以及3)在將上述第一基板和第二基板進行排列后，將上述第二基板下降到第一基板并進行接合，并且上述3)步驟中，在上述第一基板首先緊密接觸于上述第二基板的中央部分的狀態(tài)下進行接合。[0023]并且，上述3)步驟中按照如下操作順序來實現(xiàn)加壓:在對上述第二基板的中央部分根據(jù)第一加壓裝置進行加壓后，根據(jù)第二加壓裝置對上述第二基板的整體面進行加壓的操作程序形成。
[0024]另外，在上述第3)步驟中，在根據(jù)第二加壓裝置對上述第二基板的整體面進行加壓之前，根據(jù)基板夾緊部的下降操作首先對上述第二基板的整體面進行加壓。
[0025]根據(jù)本發(fā)明，在基板接合時能夠防止在接合過程中產(chǎn)生的氣泡，并且能夠縮短接合時間，從而擴大整體工藝的收率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1是表示本發(fā)明的基板接合裝置的透視圖。
[0027]圖2是表示顯示在圖1的基板接合裝置的一部分的部分透視圖。
[0028]圖3是表示顯示在圖2的基板接合裝置的主視圖。
[0029]圖4是表示顯示在圖2的基板接合裝置的側(cè)視圖。
[0030]圖5是表示顯示在圖2的基板接合裝置的一部分的部分透視圖。
[0031]圖6是表示顯示在圖5的基板接合裝置的側(cè)視圖。
[0032]圖7是表示顯示在圖6的基板接合裝置的主視圖
[0033]圖8至圖13是表示根據(jù)本發(fā)明的基板接合裝置的操作的操作狀態(tài)圖。
[0034]圖14是表示本發(fā)明的基板接合方法的框圖。
【具體實施方式】
[0035]以下，參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行更加詳細地說明。本發(fā)明的實施例可變形為各種形狀，并且本發(fā)明的范圍不應(yīng)當理解為限于下面所述的實施例。為了更詳細說明本發(fā)明，從而向本發(fā)明所屬的【技術(shù)領(lǐng)域】中具有普通知識的技術(shù)人員提供本實施例。由此，為了強調(diào)更加明顯的說明，從而可夸大在圖中所示的各個要素的形狀。
[0036]第一、第二等術(shù)語可用于說明各種構(gòu)成要素中，但是構(gòu)成要素并不限于術(shù)語。術(shù)語僅用于將一個構(gòu)成要素從另一個構(gòu)成要素區(qū)別的目的。
[0037]本申請中所使用的術(shù)語只是為了說明特定的實施例而使用，并非限定本發(fā)明。單數(shù)的表現(xiàn)包括復數(shù)的表現(xiàn)，除非在文章上另有明確的表示之外。在本申請中，“包括”或者“具有”等術(shù)語用于指定在說明書上所記載的特征、數(shù)字、步驟、操作、構(gòu)成要素、部件或者組合上述的存在，而不應(yīng)當理解為事先排除一個或者一個以上的其他特征，數(shù)字、步驟、構(gòu)成要素、部件或者組合上述的存在或者附加的可能性。
[0038]如圖1所示，本發(fā)明的基板接合裝置100包括:基架110，其位于基底111上，并且將從外部進入的第一基板SI進行排列安裝并固定；基板夾緊部120，其位于上述基架110的上部，從而對從外部進入的第二基板S2進行夾緊，以便能夠接合于上述第一基板SI ;水平驅(qū)動部130，其對上述基板夾緊部120進行水平驅(qū)動；第一垂直驅(qū)動部140，其位于上述基底111上，并且連接于上述水平驅(qū)動部130，從而將上述水平驅(qū)動部130向垂直方向進行運動；第一、第二加壓裝置170、180，其設(shè)置于上述基板夾緊部120，從而將夾緊于上述基板夾緊部120的第二基底S2向上述第一基板SI側(cè)進行加壓；第二垂直驅(qū)動部150，其在垂直地位于上述第一垂直驅(qū)動部140的狀態(tài)下，將上述第一加壓裝置170進行垂直驅(qū)動；以及，第三垂直驅(qū)動部160，其設(shè)置于上述第二垂直驅(qū)動部150，從而將上述第二加壓裝置180進行垂直驅(qū)動。
[0039]上述基架110的背面安裝于基底111，并且上述基底111安裝于地面。
[0040]另外，上述基架110的上面具有平坦的正反形狀，多個通孔(未示出)構(gòu)成為在內(nèi)部對空氣進行真空排氣并可吸附基板，或者利用靜電來將基板進行緊密接觸。上述結(jié)構(gòu)在顯示面板的工藝中作為通常使用的構(gòu)成，因此省略具體的說明。
[0041]參照圖2至圖4，對構(gòu)成于本發(fā)明的基板夾緊部120、水平驅(qū)動部130以及第一垂直驅(qū)動部140進行說明，
[0042]上述基板夾緊部120具有夾緊臺121、支撐臺123、固定臺124、以及連接臺125。
[0043]上述夾緊臺121形成有一對插入槽122，上述一對插入槽122在相對的方向上進行開放，并且在上述插入槽122中具有向內(nèi)周方向傾斜的傾斜面122a，從而能夠穩(wěn)定地安裝并支撐被插入的第二基板。
[0044]另外，優(yōu)選地，上述夾緊臺121利用光滑的軟質(zhì)材料，以便能夠防止在插入時損傷
第二基板。
[0045]如圖3所示，上述支撐臺123作為一對橫臺123a和縱臺123b相互垂直連接的狀態(tài)，以第一垂直驅(qū)動部為基準，相互形成直角，從而能夠?qū)ι鲜鰥A緊臺121進行支撐。
[0046]上述固定臺124位于上述支撐臺123的后面，并且在上述支撐臺123之間作為用于連接水平驅(qū)動部130的輔助構(gòu)造物。
[0047]上述水平驅(qū)動部130具有驅(qū)動裝置131和導向軌道132，上述驅(qū)動裝置131是根據(jù)油壓或者氣壓操作的滾筒，換句話說，如圖所示，上述驅(qū)動裝置131突出有桿，以便分別連接于上述橫臺123a，并且所屬于上述驅(qū)動裝置的主體部分連接于固定臺124，從而以固定臺為基準，一對支撐臺向相互對向的方向進行相對運動。
[0048]上述第一垂直驅(qū)動部140包括:支撐臺141，其支撐于上述基底111 ;發(fā)動機142，其設(shè)置于上述支撐臺141的上端；驅(qū)動滑輪144及從動滑輪145，其在設(shè)置于殼體位于143內(nèi)的狀態(tài)下連接于上述發(fā)動機142 ;軸146，其連接于上述從動滑輪145，從而支撐于軸支撐臺146a、146b，以便根據(jù)發(fā)動機142驅(qū)動進行旋轉(zhuǎn)；導向軌道147，其一側(cè)支撐于上述支撐臺141，另一側(cè)連接于上述基板夾緊部120的連接臺125，從而將上述基板夾緊部120向垂直方向進行導向；軸連接臺148，其固定于上述基板夾緊部120的固定臺124，并且連接于上述軸146，從而根據(jù)上述軸146的旋轉(zhuǎn)進行上升，并且將上述基板夾緊部120進行垂直運動。
[0049]參照圖5至圖7，對本發(fā)明所構(gòu)成的第二垂直驅(qū)動部150、第三垂直驅(qū)動部160、第一加壓裝置170以及第二加壓裝置180進行說明。上述第二垂直驅(qū)動部150包括:支撐臺151，其固定在上述基底111 ;發(fā)動機152，其固定于上述支撐臺151 ;軸154，其通過聯(lián)軸節(jié)153連接于上述發(fā)動機152并進行旋轉(zhuǎn)；軸支撐臺155a、155b，其在固定于上述支撐臺151的狀態(tài)下支撐上述軸154 ;軸連接臺157，其連接于上述軸154，從而根據(jù)軸154的旋轉(zhuǎn)進行上升；固定臺158，其連接于上述軸連接臺157，從而支撐上述第三垂直驅(qū)動部160 ;導向軌道156，其在支撐臺151和固定臺158之間通過連接臺159進行連接，從而將上述固定臺158向垂直方向進行導向。
[0050]另外，上述固定臺158包括垂直片158a和水平片158b，上述垂直片158a設(shè)置有軸連接臺157以及連接臺159，上述水平片158b垂直地延長于上述垂直片158a，從而支撐上述第三垂直驅(qū)動部160。
[0051]上述第三垂直驅(qū)動部160包括:驅(qū)動滾筒161，其安裝于上述第二垂直驅(qū)動部150的固定臺158上面；軌道支撐臺162，其連接于上述驅(qū)動滾筒161的桿(未示出)；多個垂直軌道163，其在設(shè)置于上述驅(qū)動滾筒161的周圍的狀態(tài)下，一側(cè)固定于上述軌道支撐臺162上，另一側(cè)對上述固定臺158進行貫通，從而連接于上述第二加壓裝置180 ;向?qū)?64，其在固定于上述固定臺158的狀態(tài)下，對上述垂直軌道163進行導向。
[0052]上述第一加壓裝置170具有對應(yīng)于上述固定臺158的水平片158b下端的寬度方向的長度，截面形狀構(gòu)成為比上述第二加壓裝置180的加壓支撐臺181的厚度方向厚的高度。
[0053]另外，上述第一加壓裝置170的下部面是球面172，并且構(gòu)成為利用光滑的軟質(zhì)材料來具有自身彈性。換句話說，在上述第一加壓裝置對第二基板進行加壓時，能夠防止因加壓力而損傷基板。
[0054]上述第二加壓裝置180包括:加壓支撐臺181，其連接于上述垂直軌道163 ;加壓板182，其設(shè)置于上述加壓支撐臺181的下部面前。
[0055]上述加壓板182在對上述第二基板進行加壓時，為了防止對第二基板的損傷，從而使用表面光滑的軟質(zhì)材料，并且具有自身彈性。
[0056]另外，在上述加壓支撐臺181的寬度方向上形成有槽狀的開口孔183，以便能夠使得上述第一加壓裝置170進行移動。
[0057]在本發(fā)明中使用的導向軌道是L/M導向。
[0058]參照附圖對本發(fā)明的接合狀態(tài)進行說明，首先，在將一定大小的板體形狀的基底111固定在地面之后，在上述基底111的上面固定基架110。
[0059]在此狀態(tài)下，在上述基架110的側(cè)面(圖面上的右側(cè))安裝第二垂直驅(qū)動部150的支撐臺151之后，在上述支撐臺151的上部安裝發(fā)動機152，以便將發(fā)動機軸朝下側(cè)。
[0060]之后，在上述支撐臺151側(cè)面安裝軸支撐臺155a，以便位于上述發(fā)動機和垂直線上，并且在按照一定間隔與上述軸支撐臺155a進行分離的位置上安裝另一個軸支撐臺155b。
[0061]在此，在上述軸支撐臺155a、155b安裝有軸承，但是在圖中未示出。
[0062]在此狀態(tài)下，以上述軸支撐臺155a、155b為基準，在各個左右側(cè)安裝有導向軌道156，以便向垂直方向進行導向，并且設(shè)置有連接于上述導向軌道156的連接臺159。
[0063]之后，為了支撐于上述連接臺159,在對固定臺158的垂直片158a進行結(jié)合之后設(shè)置軸連接臺157，以便安裝在上述連接臺159之間，并且位于上述軸支撐臺157和直線線上。
[0064]之后，在將上述軸154下端可旋轉(zhuǎn)地插入于上側(cè)的軸支撐臺155a之后，連續(xù)地通過上述軸連接臺157，從而可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合于下側(cè)的軸支撐臺155b，并且利用聯(lián)軸節(jié)153來將上述軸154的上端連接于發(fā)動機152偵U。
[0065]此時，上述軸154的外周面大部分具有螺絲形狀，因此通過螺絲方式連接于上述軸連接臺157，并且通過軸承結(jié)合于上述軸支撐臺。
[0066]由此，當上述發(fā)動機操作時，根據(jù)上述軸154的旋轉(zhuǎn)方向，將軸連接臺向上部方向或者向下部方向進行操作。[0067]下面，在上述垂直片158a的一側(cè)中心部分結(jié)合有水平片158b，以便向水平方向進行延長。
[0068]下面，在沿上述水平片158b的一側(cè)中心線按照等間距對多個孔(未示出)進行貫通后，將第一加壓裝置170的上端緊密接觸于上述水平片158b的下面，以便與上述孔進行排列，從而利用上述孔來對上述第一加壓裝置170通過螺釘171進行固定。
[0069]下面，在形成于上述水平片158b的多個孔中，在形成于中心部分的孔側(cè)上設(shè)置上述驅(qū)動滾筒161并進行固定后，在沿從上述驅(qū)動滾筒161進行分離的位置周圍形成4個孔(未示出)，從而在上述孔側(cè)安裝向?qū)?64。
[0070]在此狀態(tài)下，在設(shè)置垂直軌道163后，以便貫通上述向?qū)?64，利用軌道支撐臺162來將上述垂直軌道163的上端和上述驅(qū)動滾筒161的桿(未示出)的端部進行固定。
[0071]下面，在上述垂直軌道163向水平片158b下部突出的狀態(tài)下，在上述垂直軌道163下端固定上述加壓支撐臺181后，插入加壓板182，以便能夠緊密接觸并固定于上述加壓支撐臺181下面。
[0072]此時，一對上述加壓板182以上述第一加壓裝置170為基準被分成兩部分。
[0073]結(jié)合成如上所述的第二垂直驅(qū)動部、第三垂直驅(qū)動部、第一加壓裝置以及第二加壓裝置中，根據(jù)上述第二垂直驅(qū)動部對上述第一、第二加壓裝置整體進行上升操作，根據(jù)上述第三垂直驅(qū)動部對上述第二加壓裝置進行升降操作。換句話說，根據(jù)上述第一垂直驅(qū)動部的操作上述第一加壓裝置對上述第二基板的中心部分進行加壓，從而在與第一基板進行部分緊密接觸后，根據(jù)上述第二加壓裝置對上述第二基板整體進行加壓，從而將第一基板和第二基板進行接合。
[0074]下面，對上述第一垂直驅(qū)動部、水平驅(qū)動部以及基板夾緊部的結(jié)合進行觀察，以基架110為基準將上述支撐臺141設(shè)置在垂直于首先安裝的支撐臺151的位置上。
[0075]在此狀態(tài)下，在上述支撐臺141上部安裝殼體143后，在上述殼體143下面固定發(fā)動機142后，在上述發(fā)動機142的發(fā)動機軸上固定驅(qū)動滑輪144，以便使得發(fā)動機軸朝上部。
[0076]下面，在通過螺絲方式將軸連接臺148和軸146進行連接后，通過軸承將上述軸146的下端可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合于軸支撐臺146b，并且可旋轉(zhuǎn)地貫通并連接于另一個軸支撐臺146a。
[0077]之后，將上述軸支撐臺146a、146b結(jié)合在上述支撐臺141側(cè)面并進行固定。
[0078]在此狀態(tài)下，在上述軸146的上端對上述殼體143的下部進行貫通并位于殼體內(nèi)之后，在上述軸的端部安裝從動滑輪145，并且通過帶狀物連接于之前安裝的驅(qū)動滑輪。
[0079]下面，在將上述導向軌道147分別結(jié)合于上述支撐臺141側(cè)面后，將上述導向軌道147和連接臺125進行結(jié)合，以便上述導向軌道147設(shè)置于上述軸146和垂直線上。
[0080]下面，使得對上述連接臺125以及軸連接臺148進行固定，從而在與上述固定臺124進行結(jié)合后，在連接臺125和軸連接臺148相連接的上述固定臺124的另一側(cè)的水平方向上設(shè)置有4個導向軌道132，使得兩個上述導向軌道132分別形成為一組并進行個別操作。
[0081]之后，為使兩個上述導向軌道132形成為一組，在分別安裝縱臺123b后，在向上述縱臺123b的橫方向上垂直地結(jié)合橫臺123a。
[0082]下面，在上述導向軌道132下側(cè)安裝驅(qū)動裝置131，以便將一側(cè)固定在上述固定臺124，并且將另一側(cè)連接在橫臺123a。
[0083]下面，在上述橫臺123a的相對應(yīng)的面上分別安裝有夾緊臺121。
[0084]設(shè)置成如上所述的第一垂直驅(qū)動部、水平驅(qū)動部以及基板夾緊臺中，在將從外部穿透的第二基板放置于上述夾緊臺之間的狀態(tài)下，在對夾緊臺進行水平驅(qū)動之后，利用第一垂直驅(qū)動部來執(zhí)行將被夾緊的第二基板向第一基板側(cè)進行垂直運動的操作。
[0085]下面，參照附圖對本發(fā)明的操作狀態(tài)進行說明。
[0086]參照圖8，利用機器人等來從外部將第一基板SI進入至上述基架110上并安裝在基架110上面。此時，通過機器人實現(xiàn)對上述第一基板SI的排列，并且通過設(shè)置于基架110內(nèi)部的真空吸附裝置(未示出)實現(xiàn)對第一基板的固定。
[0087]下面，參照圖8及圖9，為了能夠進入第二基板，在利用上述水平驅(qū)動部130的驅(qū)動裝置131來向相互遠離的方向?qū)⑸鲜龌鍔A緊部120進行展開后，利用機器人等來從外部將第二基板S2進入并位于上述第一基板的上部。
[0088]在此狀態(tài)下，重新對上述水平驅(qū)動部130進行操作并向相互靠攏的方向?qū)⑸鲜龌鍔A緊部120進行移動，從而將已穿透的第二基板S2插入在夾緊臺121的插入槽122中，從而對第二基板S2的兩端進行夾緊。
[0089]此時，穿透于上述基板夾緊部120之間的第二基板通過外部的機器人排列成與基板夾緊部120形成水平狀態(tài)。
[0090]下面，參照圖10，對上述第一垂直驅(qū)動部140的發(fā)動機進行操作，以便將夾緊于上述基板夾緊部120的狀態(tài)的第二基板S2向上述第一基板SI側(cè)進行鄰接，如果軸進行旋轉(zhuǎn)，則根據(jù)形成在軸的外周面的螺絲對周連接臺進行下降并對基板夾緊部120進行下降。
[0091]下面，參照圖11，在第一基板SI和第二基板S2鄰接的狀態(tài)下，對上述第二垂直驅(qū)動部150進行操作，從而對位于上述第二基板S2上部的第一加壓裝置170以及第二加壓裝置180進行下降，進而在將上述第一加壓裝置170的下端緊密接觸于上述第二基板S2的上面中央部分后，繼續(xù)進行下降，從而第一加壓裝置170對第二基板S2上面進行加壓并緊密接觸于第一基板S2上面。
[0092]此時，上述第二基板S2在根據(jù)上述基板夾緊部120對其兩側(cè)進行固定的狀態(tài)下，處于通過上述第一加壓裝置170對中心部分進行加壓的狀態(tài)，因此具有從上述第二基板的兩端通過第一加壓裝置的曲線形狀，從而只有第二基板的下面中心部分和上述第一基板上面中心部分維持緊密接觸狀態(tài)。
[0093]另外，上述第二基板S2通過第一加壓裝置形成曲線形狀，因此第二基板S2兩端從夾緊臺121的插入槽122無法維持水平形狀，從而與插入槽產(chǎn)生干擾，為了防止上述現(xiàn)象，從而插入槽122根據(jù)第二基板S2的曲線程度也保持傾斜形狀，因此在上述插入槽122的內(nèi)側(cè)形成傾斜面122a。
[0094]在此狀態(tài)下，如圖12所示，對第一垂直驅(qū)動部140進行下降，從而在對支撐上述第二基板S2兩端的基板夾緊部120進行下降時，從中央部分向外側(cè)形成曲線形狀的第二基板S2的中央部分緩慢地緊密接觸于第一基板SI的上面。
[0095]如此，從中央部分緩慢地進行緊密接觸，從而能夠防止在緊貼過程中產(chǎn)生氣泡。
[0096]下面，如圖13所示，在上述第二基板S2與第一基板SI緊密接觸后，對上述第三垂直驅(qū)動部160的驅(qū)動滾筒161進行驅(qū)動，從而對軌道支撐臺162進行下降的同時，如果對軌道163進行下降，則接收上述向?qū)?64的導向，并且如果將上述第二加壓裝置180向第二基板側(cè)進行下降，則第二加壓裝置180的加壓板182的整體面對第二基板S2進行加壓，從而能夠加強與第一基板的緊密接觸。
[0097]如上所述，如果通過加壓板182在一定時間維持加壓狀態(tài)，則第一基板和第二基板能夠完全緊S接觸。
[0098]另外，本發(fā)明在大氣壓狀態(tài)下進行工藝過程，因此能夠縮短用于形成真空周圍所需的時間。
[0099]另外，本發(fā)明的基板接合方法根據(jù)所述的基板接合裝置而實現(xiàn)，其包括如下步驟:
I)將從外部進入的第一基板安裝于基架SlO ;2)在上述第一基板的上部放置第二基板S20;以及3)在對上述第一基板和第二基板進行排列后，將上述第二基板向第一基板進行下降并接合S30，并且，在上述3) S30步驟中，在上述第一基板和第二基板的中央部分首先緊密接觸的狀態(tài)下進行接合。
[0100]例如，I)步驟SlO是利用外部的機器人來將第一基板移動至基架后，安裝并固定于基架的上面，上述2)步驟S20是從外部利用機器人來對第二基板進行移動并排列，以便位于上述第一基板上部；上述3)步驟S30是將上述第二基板移動至上述第一基板側(cè)，從而第一基板和第二基板相互進行接合。
[0101]在此，上述3)步驟S30按照如下操作順序?qū)崿F(xiàn)加壓:對上述第二基板的中央部分根據(jù)第一加壓裝置進行加壓后，根據(jù)第二加壓裝置對上述第二基板的整體面進行加壓。
[0102]另外，在上述3 )步驟S30步驟中，在通過第二加壓裝置對上述第二基板的整體面進行加壓之前，在根據(jù)基板夾緊部的下降操作首先對上述第二基板的整體面進行加壓后，通過第二加壓裝置進行加壓，以便擴大第一基板和第二基板的緊密接觸力。
[0103]如上，通過優(yōu)選實施例對本發(fā)明進行說明，但是并不限于此，而是有利于對本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容的理解。
[0104]換句話說，本發(fā)明所屬的【技術(shù)領(lǐng)域】的具有普通知識的技術(shù)人員，即使不脫離本發(fā)明的技術(shù)要點，也可以進行各種變形或者改造，并且如此的變更或者改造在權(quán)利要求的解釋范圍內(nèi)均屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。
[0105]標號說明
[0106]100:基板接合裝置 110:基架
[0107]120:基板夾緊部130:水平驅(qū)動部
[0108]140:第一垂直驅(qū)動部 150:第二垂直驅(qū)動部
[0109]160:第三垂直驅(qū)動部 170:第一加壓裝置
[0110]180:第二加壓裝置
[0111]圖14
[0112]從外部進入的第一基板安裝于基架-SlO
[0113]在第一基板的上部放置第二基板-S20
[0114]在排列第一基板后，將第二基板與第一基板進行接合-S30
【權(quán)利要求】
1.一種基板接合裝置，其包括: 基架，其位于基底上，并且對從外部進入的第一基板進行排列安裝并固定； 基板夾緊部，其位于上述基架的上部，從而對從外部進入的第二基板進行夾緊，以便接合于上述第一基板； 水平驅(qū)動部，其對上述基板夾緊部進行水平驅(qū)動； 第一垂直驅(qū)動部，其位于上述基底上，并且連接于上述水平驅(qū)動部，從而對上述水平驅(qū)動部進行垂直運動； 第一、第二加壓裝置，其設(shè)置于上述基板夾緊部位置，從而將夾緊于上述基板夾緊部的第二基板向上述第一板側(cè)進行加壓； 第二垂直驅(qū)動部，其在垂直地位于上述第一垂直驅(qū)動部的狀態(tài)下，對上述第一加壓裝置向垂直方向進 行驅(qū)動；以及， 第三垂直驅(qū)動部，其設(shè)置于上述第二垂直驅(qū)動部，從而對上述第二加壓裝置向垂直方向進行驅(qū)動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板接合裝置，其中: 上述第一、第二加壓裝置相互獨立地進行驅(qū)動，并且對上述第二基板進行加壓，從而將上述第一基板和第二基板進行接合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基板接合裝置，其中: 上述第一加壓裝置對上述第二基板的中央部分進行加壓，并且上述第二加壓裝置對上述第二基板的整體面進行加壓。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基板接合裝置，其中: 上述第一、二加壓裝置中，在上述第一加壓裝置首先進行操作之后上述第二加壓裝置進行操作。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種基板接合裝置，其中: 上述第一、第二加壓裝置在基板夾緊部之后進行操作。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板接合裝置，其中: 上述基板夾緊部包括: 夾緊臺，其形成有能夠插入第二基板的插入槽； 支撐臺，其固定有上述夾緊臺； 固定臺，其將上述支撐臺連接于上述第一垂直驅(qū)動部側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基板接合裝置，其中: 上述插入槽的傾斜面越向內(nèi)周面?zhèn)仍絻A斜。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基板接合裝置，其中: 上述第一垂直驅(qū)動部包括: 支撐臺，其支撐在上述基底； 發(fā)動機，其設(shè)置于上述支撐臺上端； 驅(qū)動滑輪以及從動滑輪，其在設(shè)置于殼體內(nèi)的狀態(tài)下連接于上述發(fā)動機； 軸，其連接于上述從動滑輪，從而根據(jù)發(fā)動機驅(qū)動進行旋轉(zhuǎn)； 軸連接臺，其連接于上述軸，從而根據(jù)上述軸的旋轉(zhuǎn)進行上升，并且使得上述夾緊部向垂直方向進行運動。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基板接合裝置，其中: 上述第二垂直驅(qū)動部包括: 支撐臺，其固定在上述基底； 發(fā)動機，其固定在上述支撐臺； 軸，其根據(jù)聯(lián)軸節(jié)與上述發(fā)動機進行連接而旋轉(zhuǎn)； 軸支撐臺，其在固定于上述支撐臺的狀態(tài)下支撐上述軸； 軸連接臺，其連接于上述軸，從而根據(jù)軸的旋轉(zhuǎn)進行升降； 固定臺，其連接于上述軸連接臺，從而支撐上述第三垂直驅(qū)動部。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板接合裝置，其中: 上述第三垂直驅(qū)動部包括: 驅(qū)動滾筒，其安裝在上述第二垂直驅(qū)動部的固定臺上面； 軌道支撐臺，其連接于上述驅(qū)動滾筒桿； 多個垂直軌道，其在設(shè)置于上述驅(qū)動滾筒的周圍的狀態(tài)下，一側(cè)固定于上述軌道支撐臺，另一側(cè)對上述固定臺進行貫通并連接于上述第二加壓裝置； 向?qū)?，其在固定于上述固定臺的狀態(tài)下，對上述垂直軌道進行導向。
11.根據(jù)權(quán)利要求1或10所述的一種基板接合裝置，其中: 上述第二加壓裝置包括加壓支撐臺和加壓板，上述加壓板設(shè)置于上述加壓支撐臺下面，并且上述加壓板的表面具有彈性。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板接合裝置，其中: 上述第一加壓裝置的一側(cè)端部構(gòu)成為球面，并且上述球面具有彈性。
13.—種基板接合方法，包括步驟: O從外部進入的第一基板安裝于基架； 2)在上述第一基板的上部放置第二基板；以及 3)在將上述第一基板和第二基板進行排列后，將上述第二基板下降到第一基板并進行接合，并且上述3)步驟中，在上述第一基板首先緊密接觸于上述第二基板的中央部分的狀態(tài)下進行接合。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的一種基板接合方法，包括步驟: 上述3)步驟中按照如下操作順序來實現(xiàn)加壓:在對上述第二基板的中央部分根據(jù)第一加壓裝置進行加壓后，根據(jù)第二加壓裝置對上述第二基板的整體面進行加壓的操作程序形成。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的一種基板接合方法，其中: 在上述第3)步驟中，在根據(jù)第二加壓裝置對上述第二基板的整體面進行加壓之前，根據(jù)基板夾緊部的下降操作首先對上述第二基板的整體面進行加壓。
【文檔編號】H01L21/67GK103730389SQ201210540006
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2012年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月16日
【發(fā)明者】樸弼石, 金炳克, 李定俌, 文長洙 申請人:全球標準技術(shù)有限公司