專利名稱：基板檢測及修復(fù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板檢測及修復(fù)裝置，點亮基板并對其進行檢查，對檢查后發(fā)現(xiàn)的缺陷能夠進行修復(fù)。
背景技術(shù)：
平板顯示器大致分為液晶顯示器(LCD, Liquid Crystal Display),等離子顯示器 (PDP,Plasma Display Panel),發(fā)光二極管(LED, Light-Emitting Diode)顯不器，有機發(fā)光二極管(OLED, Organic Light-Emitting Diode)顯不器等。
有機發(fā)光二極管顯示器具有低電壓驅(qū)動，發(fā)光效率高，可視角度廣，響應(yīng)速度快等優(yōu)點，作為可顯示高清晰影像的新一代平板顯示器而備受矚目。
有機發(fā)光二極管顯示器的制造過程中包括檢測過程和修復(fù)過程。檢測過程是向基板上形成的陽極線和陰極線供給電源而檢查基板的缺陷，修復(fù)過程是利用激光修復(fù)檢測出的基板上的缺陷部位。
制造平板顯示器時，在檢測裝置上檢測基板有無缺陷，發(fā)現(xiàn)基板存在缺陷，則將基板移送至修復(fù)裝置，并對基板的缺陷部位進行修復(fù)。然后，將經(jīng)修復(fù)的基板重新移送至檢測裝置進行復(fù)檢。即，分別配備檢測裝置和修復(fù)裝置，所以為了進行基板檢測一修復(fù)一復(fù)檢， 還需要移送基板，從而存在降低生產(chǎn)率的缺點。
為解決上述問題，開發(fā)了一種實現(xiàn)檢測裝置和修復(fù)裝置一體化的檢測及修復(fù)裝置。
現(xiàn)有的基板檢測及修復(fù)裝置，在點亮基板進行檢查時，操作者將基板水平放置的狀態(tài)下進行檢查。而這樣，基板距離操作者較遠，所以操作者需要彎腰或低頭，從而非常不便。
另外，在現(xiàn)有的基板檢測及修復(fù)裝置上固定有探針(Probe)，該探針用于與基板的陽極線和陰極線連接并向基板供給電源，將基板從下往上移送，并使基板的陽極線和陰極線連接到探針上。即，通過移送基板將基板與探針連接，所以需要對應(yīng)于基板移送空間的較大的安裝空間。另外，需要用于移動基板的高價裝置，進而提高成本。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題而提出，本發(fā)明的目的在于，提供一種可方便操作者進行基板檢測的基板檢測及修復(fù)裝置。
本發(fā)明的另一目的在于，提供一種可縮減安裝空間的同時又能夠降低成本的基板檢測及修復(fù)裝置。
技術(shù)解決方案
為了達到上述目的，本發(fā)明涉及的基板檢測及修復(fù)裝置，包括工作臺；檢測單元，被設(shè)置在所述工作臺上，并承載支撐著形成有陽極線和陰極線的基板，且具有向所述基板供給電源的多個探針(Probe)，用于檢測所述基板有無缺陷；修復(fù)單元，以能夠向X軸方向和Y軸方向移動的方式設(shè)置在所述工作臺上，以修復(fù)所述基板的缺陷部位；所述檢測單元被設(shè)置成在所述工作臺上能夠以一側(cè)面為基準(zhǔn)使另一側(cè)面旋轉(zhuǎn)，所述探針位于所述基板的下側(cè)，且可升降地設(shè)置，從而與所述基板的所述陽極線和所述陰極線連接或不連接。本發(fā)明的有益效果是
本發(fā)明涉及的基板檢測及修復(fù)裝置，通過旋轉(zhuǎn)用于承載支撐基板的檢測單元而將基板豎立起來，從而拉近基板與操作者之間的距離，能夠?qū)⒉僮髡邔宓囊暰€角度設(shè)定為舒適的角度。因此，具有檢測操作非常方便的效果。
另外，基板被支撐固定在檢測單元上，檢測單元的探針在基板的下側(cè)進行升降的同時與基板的電極線連接或不連接。即，小尺寸及小體積的探針在進行升降，而且探針設(shè)置在檢測單元的內(nèi)部，因此，能夠縮減基板檢測及修復(fù)裝置的安裝空間。
另外，不需要用于移動基板的高價裝置，可降低基板檢測及修復(fù)裝置的成本。


圖1是本發(fā)明的一實施例涉及的基板檢測及修復(fù)裝置的立體圖。
圖2是示出圖1所示的檢測單元旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的側(cè)視圖。
圖3是示出旋轉(zhuǎn)圖1所示的檢測單元的狀態(tài)下操作者檢測基板的概略側(cè)視圖。
圖4是圖1所示的檢測單元的放大立體圖。
圖5是示出圖4所示的按壓板向外側(cè)移動的狀態(tài)的立體圖。
圖6是圖5的“A”部分的放大圖。
圖7是圖6所示的探針的截面圖。
附圖標(biāo)記
100 :工作臺200 :檢測單元
261 :探針271 :按壓板
300 :修復(fù)單元400 :暗室具體實施方式
下面，參照附圖和能夠?qū)嵤┍景l(fā)明的具體實施例詳細說明本發(fā)明。為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠充分實施，詳細說明這些實施例。應(yīng)理解為，本發(fā)明的各種實施例彼此不同，但相互并不排斥。例如，這里所記載的一實施例的具體形狀、具體結(jié)構(gòu)和特性，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下，也可以由其他實施例來實現(xiàn)。另外，應(yīng)理解為，各自公開的實施例中的個別構(gòu)成要素的位置或配置，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下也可進行變更。因此，后述的詳細說明并無限定之意，準(zhǔn)確地說明，本發(fā)明的保護范圍僅以權(quán)利要求書所記載的內(nèi)容為準(zhǔn)，包含與其權(quán)利要求所主張的內(nèi)容等同的所有范圍。為方便起見，也有可能夸張地表現(xiàn)出附圖所示的實施例的長度、面積、厚度及形態(tài)。
以下，參照附圖詳細說明本發(fā)明的一實施例涉及的基板檢測及修復(fù)裝置。
圖1是本發(fā)明的一實施例涉及的基板檢測及修復(fù)裝置的立體圖，圖2是示出圖1 所示的檢測單元旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的側(cè)視圖。
如圖所示,本實施例涉及的基板檢測及修復(fù)裝置包括工作臺100,檢測單元200 和修復(fù)單元300。
檢測單元200被設(shè)置在工作臺100上，用于承載支撐基板50。檢測單元200包括探針(Probe)261(參照圖6)，該探針261用于向基板50供給電源并點亮基板50的各像素， 以檢測基板50有無缺陷。這時，在基板50的一側(cè)和另一側(cè)外緣部上分別形成有陽極線和陰極線，該陽極線和陰極線與探針261連接以接收供給的電源。
以下，在基板50上形成的陽極線與陰極線稱為‘電極線’。
修復(fù)單元300能夠向X軸方向和Y軸方向移動地設(shè)置在工作臺100上，以修復(fù)基板50的點缺陷(Point Defect)部位或線缺陷(Line Defect)部位。
本實施例涉及的檢測單元200可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置。詳細說明，檢測單元200的一側(cè)面被支撐在工作臺100上，而另一側(cè)面以該一側(cè)面為基準(zhǔn)可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置。S卩，檢測單元200相對于工作臺100可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置，從水平狀態(tài)相對于工作臺100形成規(guī)定角度的進行旋轉(zhuǎn)。
檢測單元200旋轉(zhuǎn)，則承載支撐在檢測單元200上的基板50也一同旋轉(zhuǎn)，并與工作臺100形成規(guī)定的角度。這樣，能夠使供給電源而被點亮的基板50以規(guī)定角度豎起，使其位于接近操作者的位置，從而能夠?qū)⒉僮髡邔?0的視線角度設(shè)定為舒適的角度，因此非常便利。
優(yōu)選檢測單元200通過電機202或氣缸(未圖示)等以工作臺100為基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)約80度左右。
圖3是示出旋轉(zhuǎn)圖1所示的檢測單元的狀態(tài)下操作者檢測基板的概略側(cè)視圖，對此加以說明。
如圖所示，點亮基板50 (參照圖1)后，操作者通過目測檢查基板50有無缺陷時， 當(dāng)基板50周圍的照度在規(guī)定值以上，則很難判斷基板50有無缺陷。因此，設(shè)置本實施例涉及的基板檢測及修復(fù)裝置的使用空間的照度保持在規(guī)定值以下。
此時，為了使操作者能夠更加準(zhǔn)確地判斷基板50有無缺陷，在工作臺100的一側(cè)形成有作為操作空間的暗室400。這樣，能夠使檢測單元200的另一側(cè)面?zhèn)认虬凳?00側(cè)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下判斷基板50有無缺陷，從而操作者能夠更加準(zhǔn)確地判斷基板50有無缺陷。
參照圖4至圖6說明本實施例涉及的檢測單元200。圖4是圖1所示的檢測單元的放大立體圖，圖5是示出圖4所示的按壓板向外側(cè)移動的狀態(tài)的立體圖，圖6是圖5的 “A”部分的放大圖。
如圖所示，檢測單元200包括設(shè)置在工作臺100 (參照圖1)上的底臺210。底臺 210的中央部設(shè)置有長度方向與X軸方向平行的第一支撐塊220，在第一支撐塊220上承載支撐著用于檢測或修復(fù)的基板50 (參照圖1)的中央部。
在第一支撐塊220上設(shè)置有第一鉗位器231。第一鉗位器231由相互對置的一對構(gòu)成，其中一個設(shè)置在第一支撐塊220的一端側(cè)，另一個設(shè)置在第一支撐塊220的另一端側(cè)。第一鉗位器231以相互靠近或遠離的形式運動，以支撐與X軸方向垂直的基板50的一側(cè)面和另一側(cè)面。
第一支撐塊220上設(shè)置有電機233，電機233上連接有滾珠絲杠，所述滾珠絲杠上設(shè)置有第一鉗位器231。因此，所述滾珠絲杠通過電機233進行正反旋轉(zhuǎn)時，第一鉗位器231 隨著滾珠絲杠進行直線往返運動。
底臺210上設(shè)置有一對第二支撐塊240。第二支撐塊240隔著第一支撐塊220分別設(shè)置在第一支撐塊240的一側(cè)和另一側(cè)的底臺210部位上。即，以第一支撐塊220為基準(zhǔn)，其中一個第二支撐塊240設(shè)置在+Y軸方向上，另一個第二支撐塊240設(shè)置在-Y軸方向上。
第二支撐塊240的長度方向也與X軸方向平行的同時，與第一支撐塊220平行。第二支撐塊240可沿Y軸方向移動地設(shè)置，以相互靠近或遠離的形式進行運動，承載支撐與Y 軸方向垂直的基板50的一側(cè)和另一側(cè)外緣部。
第二支撐塊240分別設(shè)置在托板243上，底臺210上分別設(shè)置有支撐托板243的支撐導(dǎo)軌245。而且，托板243與支撐導(dǎo)軌245通過LM導(dǎo)軌等來相互連接，托板243沿著支撐導(dǎo)軌245進行直線運動。因此，第二支撐塊240以相互靠近或遠離的形式、即以靠近或遠離第一支撐塊220的形式進行運動。
第二支撐塊240上分別設(shè)置有第二鉗位器251。分別在任一第二支撐塊240和另一個第二支撐塊240上設(shè)置多個第二鉗位器251，其與第二支撐塊240 —同運動的同時支撐與Y軸方向垂直的基板50的一側(cè)面和另一側(cè)面。
相互對置的一對第一鉗位器231之間的距離可變，分別設(shè)置有第二鉗位器251的一對相互對置的第二支撐塊240之間的距離也可變，所以能夠支撐各種尺寸的基板50。
基板50 為有機發(fā)光二極管(OLED, Organic Light-Emitting Diode)顯示器時,通過所述電極線供給電源才能檢測基板50有無缺陷。
為此，本實施例涉及的檢測單元200上設(shè)置有與基板50的電極線連接的多個探針 261。探針261位于被檢測單元200承載支撐的基板50的下側(cè)，可升降地設(shè)置，并與基板50 的所述電極線連接或不連接。
探針261分別設(shè)置在第二支撐塊240上，并與第二支撐塊240 —同運動的同時，相對于第二支撐塊240可升降地設(shè)置。
以下，對探針261的升降結(jié)構(gòu)作以說明。
在第二支撐塊240上分別設(shè)置有升降板263，在升降板263上分別可拆裝地結(jié)合有支撐架265。此時，升降板263與第二支撐塊240 —同運動 的同時，相對于第二支撐塊240 可升降地設(shè)置。而且，支撐架265與升降板263 —同運動。升降板263通過氣缸(無圖示) 等進行升降。
支撐架265上分別設(shè)置有多個探針261。因此，隨著升降板263升降，支撐架265 也升降，而且探針261隨著支撐架265進行升降的同時與基板50的所述電極線連接或不連接。通過探針261向基板50供給電源時，基板50未發(fā)光的部位或未顯現(xiàn)出期待顏色的基板50部位即為缺陷部位。
基板50被支撐固定在檢測單元200上，而比基板50的尺寸和體積小的探針261 進行升降的同時與基板50連接或不連接，故本實施例涉及的基板檢測及修復(fù)裝置，可以設(shè)置在相對小的空間內(nèi)。
探針261的上升距離由控制部(未圖示)來適當(dāng)控制。但是，如果探針261被固定在支撐架265上時，探針261與基板50連接的狀態(tài)下，探針261與基板50之間的作用力大于規(guī)定值以上時，探針261可能被損壞。為了避免這種情況發(fā)生，探針261相對于支撐架 265可升降地設(shè)置。另外，如圖7所示，在支撐架265上設(shè)置有向基板50側(cè)彈性支撐探針 261的彈性支撐構(gòu)件267。
這樣，探針261已連接到基板50的狀態(tài)下，如果探針261繼續(xù)上升，則探針261向下側(cè)下降，從而防止探針261損壞。探針261通過彈性支撐構(gòu)件267與基板50牢固地連接。
探針261上升而與基板50連接時，若基板50因探針261上升，則探針261無法與基板50牢固地連接。為了避免這種情況發(fā)生，本實施例涉及的檢測單元200上設(shè)置有按壓板271，該按壓板271可升降地設(shè)置，并向下方按壓基板50。
按壓板271與第二支撐塊240 —同運動的同時，相對于第二支撐塊240可升降地設(shè)置，從而向下方按壓基板50上表面的外緣部側(cè)。
詳細說明，則在托板243上設(shè)置有支撐導(dǎo)軌273，在支撐導(dǎo)軌273上設(shè)置有水平支撐板275a，在水平支撐板275a上設(shè)置有垂直支撐板275b。而且，在垂直支撐板275b上設(shè)置有通過氣缸(未圖示)等進行升降的按壓板271。
這樣，通過機器臂等支撐基板50而承載支撐在第一支撐塊220和第二支撐塊240 上時，第一鉗位器231以相互靠近的形式運動，第二支撐塊240以相互靠近的形式運動，從而支撐基板50。在這種狀態(tài)下，按壓板271下降而按壓支撐基板50，則探針261上升而與基板50連接。因此，探針261與基板50牢固地連接。
獨立于第二支撐塊240的直線運動，水平支撐板275a沿著靠近或遠離第一支撐塊 220的Y軸方向進行直線運動地設(shè)置。為此，支撐導(dǎo)軌273與水平支撐板275a通過LM導(dǎo)軌來相互連接，水平支撐板275a可沿著支撐導(dǎo)軌273進行直線運動地設(shè)置。因此，按壓板 271也獨立于第二支撐塊240的直線運動而進行直線運動。
維修或更換探針261時，因設(shè)置有探針261的支撐架265可拆裝地結(jié)合在第二支撐塊240上，因此，如圖5所示，向第一支撐塊220的外側(cè)移動水平支撐板275a的狀態(tài)下， 更換支撐架265即可。
托板243上形成有第一止動件243a和第二止動件243b。第一止動件243a限制向靠近第一支撐塊220的方向運動的水平支撐板275a的運動距離，第二止動件243b限制向遠離第一支撐塊220的方向運動的水平支撐板275a的運動距離。即，第一止動件243a與第二止動件243b限制通過水平支撐板275a進行直線運動的按壓板271的運動距離。
而且， 使按壓板271進行直線運動的水平支撐板275a上形成有卡止凸起275aa，該卡止凸起275aa沿水平支撐板275a的直線運動方向被卡在第一止動件243a和第二止動件 243b 上。
圖7的未說明標(biāo)記261a是用于向探針261供給電源的電線。
本實施例涉及的基板檢測與修復(fù)裝置，基板50被支撐固定在檢測單元200上，而檢測單元200的探針261在基板50的下側(cè)進行升降的同時與基板50的所述電極線連接或不連接。即，比基板50尺寸和體積小的探針261進行升降，且探針261設(shè)置在檢測單元200 的內(nèi)部，所以，可設(shè)置在狹窄的空間。而且，不需要用于移動基板50的單獨的裝置，進而降低成本。
綜上所述，本發(fā)明舉例圖示優(yōu)選實施例作以詳細說明，但并不僅限于此，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明精神的范圍內(nèi)，可進行各種變形和變更。這些變形例和變更例均包含于本發(fā)明及權(quán)利要求的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在于，包括 工作臺； 檢測單元，被設(shè)置在所述工作臺上，并承載支撐著形成有陽極線和陰極線的基板，且具有向所述基板供給電源的多個探針，用于檢測所述基板有無缺陷； 修復(fù)單元，以能夠沿X軸方向和Y軸方向移動的方式設(shè)置在所述工作臺上，以修復(fù)所述基板的缺陷部位； 所述檢測単元被設(shè)置成，在所述工作臺上能夠以ー側(cè)面為基準(zhǔn)使另ー側(cè)面旋轉(zhuǎn)， 所述探針位于所述基板的下側(cè)，設(shè)置成可升降，并與所述基板的所述陽極線和所述陰極線連接或不連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在干， 在所述工作臺的ー側(cè)形成有暗室，該暗室為操作者對與所述檢測単元一同旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度的所述基板進行目測檢查的作業(yè)空間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在于，所述檢測単元包括 底臺，設(shè)置在所述工作臺上； 第一支撐塊，長度方向與X軸方向平行地設(shè)置在所述底臺上，且承載支撐所述基板的中央部側(cè)； ー對第二支撐塊，隔著所述第一支撐塊分別設(shè)置在所述第一支撐塊的一側(cè)和另ー側(cè)的所述底臺部位，且長度方向與X軸方向平行，可沿Y軸方向運動，并以相互靠近或遠離的形式運動，且承載支撐與Y軸方向垂直的所述基板的一側(cè)和另一側(cè)外緣部； ー對第一鉗位器，設(shè)置在所述第一支撐塊的一端側(cè)和另一端側(cè)，以相互靠近或遠離的形式運動，且分別支撐與X軸方向垂直的所述基板的一側(cè)面和另ー側(cè)面； 第二鉗位器，分別設(shè)置在所述第二支撐塊上，且分別與所述第二支撐塊一同運動的同吋，分別支撐與Y軸方向垂直的所述基板的一側(cè)面和另ー側(cè)面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在干， 所述探針分別設(shè)置在所述第二支撐塊側(cè)，且分別與所述第二支撐塊一同運動的同吋，可相對于所述第二支撐塊進行升降。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在干， 在所述第二支撐塊上分別設(shè)置有升降板，該升降板分別與所述第二支撐塊一同運動的同時，可相對于所述第二支撐板進行升降， 在所述升降板上分別可拆裝地結(jié)合有支撐架， 在所述支撐架上分別支撐設(shè)置有多個所述探針。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在干， 所述探針被設(shè)置成，可相對于所述支撐架升降， 在所述支撐架上設(shè)置有弾性支撐構(gòu)件，該彈性支撐構(gòu)件向所述基板側(cè)彈性支撐所述探針。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在干， 在所述第二支撐塊上分別設(shè)置有多個按壓板，該按壓板分別與所述第二支撐塊一同運動的同時，可相對于所述第二支撐塊升降，井向下按壓所述基板的上表面的外緣部側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在干，所述按壓板被設(shè)置成，能夠與所述第二支撐塊的運動獨立地分別沿Y軸方向進行直線運動。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在干， 在所述底臺上設(shè)置有能夠沿Y軸方向運動的托板， 在所述托板上設(shè)置有所述第二支撐塊， 在所述托板上形成有第一止動件和第二止動件，該第一止動件限制向靠近所述第二支撐塊的方向運動的所述按壓板的運動距離，該第二止動件限制向遠離所述第二支撐塊的方向運動的所述按壓板的運動距離。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板檢測及修復(fù)裝置，其特征在干， 在所述按壓板上形成有卡止凸起，該卡止凸起沿所述按壓板的運動方向被卡在所述第一止動件或所述第二止動件上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基板檢測及修復(fù)裝置。本發(fā)明涉及的基板檢測及修復(fù)裝置，通過旋轉(zhuǎn)用于承載支撐基板的檢測單元而將基板豎立起來，從而拉近基板與操作者之間的距離，并能夠?qū)⒉僮髡邔宓囊暰€角度設(shè)定為舒適的角度。因此具有檢測操作非常方便的效果。而且，基板支撐固定在檢測單元上，而檢測單元的探針在基板的下側(cè)進行升降的同時與基板的電極線連接或不連接。即，具有小尺寸和小體積的探針在進行升降，且探針設(shè)置在檢測單元的內(nèi)部，因此，具有縮減設(shè)置基板檢測及修復(fù)裝置的空間的效果。而且，不需要用于移動基板的高價裝置，可降低基板檢測及修復(fù)裝置的成本。
文檔編號H01L51/56GK103035850SQ201210362108
公開日2013年4月10日 申請日期2012年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月5日
發(fā)明者姜道煥, 金顯正, 趙啟峰, 元龍淵 申請人:燦美工程股份有限公司