專利名稱：有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示器生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及ー種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的薄膜成形方法及設(shè)備。
背景技木有機(jī)電激光顯不器(OrganicElectroluminesence Display, OELD)是新一代顯示裝置，其一般是使用有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diode, OLED)作為發(fā)光顯示組件。有機(jī)發(fā)光二極管是通過將有機(jī)發(fā)光材料夾在透明陽極和金屬反射陰極之間，對(duì)有機(jī)發(fā)光材料施加電壓來進(jìn)行發(fā)光。由于有機(jī)電激光顯不器不需要液晶跟傳統(tǒng)的背光模組，可以制造的比較輕薄，比起其它類型的平板顯示器件，OLED消耗的電カ較少，且OLED可以在寬的溫度范圍內(nèi)工作，且制造成本較低，因此得到越來越廣泛的應(yīng)用。而且設(shè)置不同顏色的有機(jī)發(fā)光材料，可以實(shí)現(xiàn)不同色彩的顯示。請(qǐng)參閱圖1，圖I為現(xiàn)有OLED制造エ藝技術(shù)中分子薄膜的形成過程示意圖。其中，在真空環(huán)境下，通過加熱設(shè)備11 (譬如坩堝)對(duì)有機(jī)材料12進(jìn)行高溫加熱，有機(jī)材料12受熱后氣化為氣態(tài)有機(jī)分子13，氣態(tài)有機(jī)分子13朝向透明基底14的表面運(yùn)動(dòng)。當(dāng)氣態(tài)有機(jī)分子13與透明基底14接觸后冷凝形成固態(tài)的分子薄膜15，該分子薄膜15內(nèi)包括固態(tài)有機(jī)分子151。氣態(tài)有機(jī)分子13在朝向所述透明基底14運(yùn)動(dòng)過程中，由于氣態(tài)有機(jī)分子13運(yùn)動(dòng)方式不規(guī)則，使得各氣態(tài)有機(jī)分子13的偏向迥異，當(dāng)氣態(tài)有機(jī)分子13與透明基底14接觸形成固態(tài)有機(jī)分子151后,該固態(tài)有機(jī)分子151隨機(jī)堆積，其偏向也各不相同，導(dǎo)致OLED載流子遷移率過低?，F(xiàn)有技術(shù)中大多是通過對(duì)固態(tài)有機(jī)分子通過化學(xué)方式進(jìn)行修飾，以使得固態(tài)有機(jī)分子的偏向一致，進(jìn)而提高固態(tài)有機(jī)分子的成膜特性，但是該種方式花費(fèi)時(shí)間多、效率低下,而且成本較高。綜上，需要解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的ー個(gè)目的在于提供ー種有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)固態(tài)有機(jī)分子進(jìn)行修飾的方式花費(fèi)時(shí)間多、效率低下、成本較高的技術(shù)問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明構(gòu)造了ー種有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法，包括步驟通過加熱設(shè)備加熱有機(jī)材料，以將所述有機(jī)材料氣化為氣態(tài)有機(jī)分子，并朝向基底的表面運(yùn)動(dòng)；通過電場產(chǎn)生設(shè)備在基底的表面產(chǎn)生ー電場，所述電場使得所述氣態(tài)有機(jī)分子的
偏向一致；偏向一致的氣態(tài)有機(jī)分子接觸至所述基底的表面，凝固形成固態(tài)有機(jī)分子，該固、態(tài)有機(jī)分子形成分子薄膜，其中所述分子薄膜內(nèi)的固態(tài)有機(jī)分子的偏向一致。在本發(fā)明ー實(shí)施例中在所述電場作用下，所述氣態(tài)有機(jī)分子的長軸與所述電場方向的夾角在0度至90度之間。在本發(fā)明ー實(shí)施例中所述氣態(tài)有機(jī)分子的長軸與所述電場方向平行。在本發(fā)明一實(shí)施例中所述分子薄膜為有機(jī)發(fā)光層。在本發(fā)明ー實(shí)施例中所述加熱設(shè)備為坩堝。在本發(fā)明ー實(shí)施例中所述電場產(chǎn)生設(shè)備包括相互平行的第一電極和第二電極，在加電壓的情況下，所述第一電極和所述第二電極在基底的表面產(chǎn)生所述電場。本發(fā)明的另ー個(gè)目的在于提供ー種有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)固態(tài)有機(jī)分子進(jìn)行修飾的方式花費(fèi)時(shí)間多、效率低下、成本較高的技術(shù)問題。 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明構(gòu)造了ー種有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形設(shè)備，包括加熱設(shè)備，用于對(duì)有機(jī)材料加熱，以將所述有機(jī)材料氣化為氣態(tài)有機(jī)分子，其中該氣態(tài)有機(jī)分子朝向基底的表面運(yùn)動(dòng)；電場產(chǎn)生設(shè)備，用于在基底的表面產(chǎn)生ー電場，其中該電場使得所述氣態(tài)有機(jī)分子的偏向一致，偏向一致的氣態(tài)有機(jī)分子接觸至所述基底的表面，冷凝形成固態(tài)的分子薄膜，所述分子薄膜內(nèi)固態(tài)有機(jī)分子的偏向一致。在本發(fā)明ー實(shí)施例中在所述電場作用下，所述氣態(tài)有機(jī)分子的長軸與所述電場方向的夾角在0度至90度之間。在本發(fā)明ー實(shí)施例中所述氣態(tài)有機(jī)分子的長軸與所述電場方向平行。在本發(fā)明ー實(shí)施例中所述電場產(chǎn)生設(shè)備包括相互平行的第一電極和第二電極，在加電壓的情況下，所述第一電極和所述第二電極在基底的表面產(chǎn)生所述電場。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明在蒸鍍形成分子薄膜的過程中，通過在基底的表明產(chǎn)生一電場，氣態(tài)有機(jī)分子在該電場的作用下偏向一致，在接觸基底凝固為固態(tài)有機(jī)分子后，固態(tài)有機(jī)分子的偏向也一致，進(jìn)而使得形成的分子薄膜具有較好的一致性，并達(dá)到該膜層功能最大化，譬如即具有傳輸功能的空穴傳輸層內(nèi)，其有機(jī)分子排布遷移率達(dá)到最大，具有發(fā)光功能的有機(jī)發(fā)光層內(nèi)，其遷移率最小。為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下

圖I為現(xiàn)有技術(shù)中OLED分子薄膜形成過程的示意圖；圖2為本發(fā)明中OLED薄膜成形方法的較佳實(shí)施例的流程示意圖；圖3為使用本發(fā)明OLED薄膜成形設(shè)備進(jìn)行薄膜成形的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為使用本發(fā)明另一 OLED薄膜成形設(shè)備進(jìn)行薄膜成形的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明中OLED薄膜成形過程的示意圖；圖6為本發(fā)明中氣態(tài)有機(jī)分子與電場方向的角度示意圖；圖7為本發(fā)明中OLED的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為形成圖7所示的OLED中一薄膜過程的示意圖。
具體實(shí)施方式以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「側(cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。在圖中，結(jié)構(gòu)相似的単元是以相同標(biāo)號(hào)表示。請(qǐng)ー并參閱圖2和圖3，其中圖2為本發(fā)明中OLED薄膜成形方法的較佳實(shí)施例的流程示意圖，圖3為使用發(fā)明OLED薄膜成形設(shè)備進(jìn)行薄膜成形的結(jié)構(gòu)示意圖。在步驟S201中，提供加熱設(shè)備21、有機(jī)材料22、透明基底23以及電場產(chǎn)生設(shè)備(圖未標(biāo)示)。其中所述有機(jī)材料22設(shè)置于加熱設(shè)備21和透明基底23之間，而所述加熱設(shè)備21 的下側(cè)設(shè)置有第一電極241 (正扱)，所述透明基底23的上側(cè)設(shè)置有第二電極242 (負(fù)極)，平行設(shè)置的第一電極241和第二電極242構(gòu)成本發(fā)明的電場產(chǎn)生設(shè)備。在具體實(shí)施過程中，所述第一電極241和所述第二電極242還可以為其它的設(shè)置方式，譬如請(qǐng)參閱圖4，在圖4中，所述第一電極241和所述第二電極242設(shè)置于所述加熱設(shè)備21與所述透明基底23的中心連線M的兩側(cè)，以下本發(fā)明僅以圖3為例進(jìn)行說明。在步驟S202中，通過所述加熱設(shè)備21加熱所述有機(jī)材料22，以將所述有機(jī)材料22氣化為氣態(tài)有機(jī)分子24。所述加熱設(shè)備譬如為坩堝，當(dāng)然也可以是其它的加熱設(shè)備，此處不列舉。在步驟S203中，對(duì)所述第一電極241和第二電極242加電壓，以在所述透明基底23的表面產(chǎn)生ー電場E。更具體的，是在所述透明基底23和所述有機(jī)材料22之間形成一電場E。請(qǐng)ー并參閱圖5。其中氣態(tài)有機(jī)分子24朝向所述透明基底23的表面運(yùn)動(dòng)，在運(yùn)動(dòng)過程中，所述電場E使得所述氣態(tài)有機(jī)分子24的偏向一致，即所述氣態(tài)有機(jī)分子24的長軸的偏向一致。請(qǐng)ー并參閱圖6，在所述電場E作用下，所述氣態(tài)有機(jī)分子24的長軸L與所述電場E的方向的夾角0在預(yù)設(shè)角度范圍內(nèi)，譬如所述夾角0在0度至90度之間。在圖5所示的實(shí)施例中，所述氣態(tài)有機(jī)分子24的長軸L與所述電場E的方向平行。在具體實(shí)施過程中，步驟S202和步驟S203可同時(shí)進(jìn)行，以保證加熱產(chǎn)生的氣態(tài)有機(jī)分子24能夠即時(shí)的受到電場的作用。在步驟S204中，所述氣態(tài)有機(jī)分子24濺落至所述透明基底23的表面，凝固形成固態(tài)的分子薄膜25。請(qǐng)ー并參閱圖5，此時(shí)的所述氣態(tài)有機(jī)分子24遇冷凝固為固態(tài)有機(jī)分子251，大量的固態(tài)有機(jī)分子251構(gòu)成所述分子薄膜25,且在所述分子薄膜25內(nèi)，所述固態(tài)有機(jī)分子251的偏向一致，且所述分子薄膜25內(nèi)固態(tài)有機(jī)分子251的長軸與所述透明基底23的夾角在0度至90度之間，譬如所述固態(tài)有機(jī)分子251都垂直于所述透明基底23。本發(fā)明通過在氣態(tài)有機(jī)分子24的運(yùn)動(dòng)路徑上施加ー電場E，在所述電場E的作用下，所述氣態(tài)有機(jī)分子24的偏向一致，譬如都垂直于所述透明基底23。上述偏向一致的氣態(tài)有機(jī)分子24在接觸到所述透明基底23后遇冷形成偏向一致的固態(tài)有機(jī)分子251，大量的固態(tài)有機(jī)分子251形成分子薄膜25，顯然，所述分子薄膜25中固態(tài)有機(jī)分子251的偏向一致，從而使得分子薄膜25具有各向異性導(dǎo)電性能，且使得所述分子薄膜25具有ー較好的電荷遷移率，譬如在垂直與透明基底23方向具有一最大遷移率。請(qǐng)參閱圖7，圖7為使用本發(fā)明另一 OLED薄膜成形設(shè)備進(jìn)行薄膜成形的結(jié)構(gòu)示意圖。其中OLED包括有透明基底70，透明基底70依次形成有第一電極層71 (S卩陽極)，空穴傳輸層72、有機(jī)發(fā)光層73、電子傳輸層74以及第二電極層75 (即陰扱)。其中在偏壓條件下，來自第二電極層55的電子與來自第一電極層51的空穴在有機(jī)發(fā)光層53處復(fù)合，導(dǎo)致有機(jī)發(fā)光層53發(fā)光,有機(jī)發(fā)光層53發(fā)出的光線依次經(jīng)過空穴傳輸層52、第一電極層51以及透明基底50。本發(fā)明形成的分子薄膜可以為有機(jī)發(fā)光層73，當(dāng)然也可以為其它有機(jī)膜層，譬如空穴傳輸層72或者電子傳輸層74。本發(fā)明通過調(diào)節(jié)不同膜層的有機(jī)分子排列結(jié)構(gòu)以期達(dá)到該膜層功能最大化，譬如即具有傳輸功能的空穴傳輸層72內(nèi)，其有機(jī)分子排布遷移率達(dá)·到最大，具有發(fā)光功能的有機(jī)發(fā)光層53內(nèi)，其遷移率最小，電子傳輸層74的電子符合率達(dá)到最大等，此處不一一列挙。譬如以形成有機(jī)發(fā)光層73為例，請(qǐng)ー并參閱圖8，提供有機(jī)材料30，該有機(jī)材料30經(jīng)所述加熱設(shè)備21加熱后氣化形成氣態(tài)有機(jī)分子40，該氣態(tài)有機(jī)分子40濺落至所述空穴傳輸層72的表面，凝固形成固態(tài)有機(jī)分子731,大量的固態(tài)有機(jī)分子731構(gòu)成有機(jī)發(fā)光層73。其中所述氣態(tài)有機(jī)分子40在朝向所述空穴傳輸層72表面運(yùn)動(dòng)過程中，通過所述第一電極241和第二電極242在所述氣態(tài)有機(jī)分子40的運(yùn)動(dòng)路徑上提供ー電場E，該電場E的方向垂直于所述空穴傳輸層72，使得所述氣態(tài)有機(jī)分子40的偏向一致，譬如所述氣態(tài)有機(jī)分子40的長軸均平行于所述電場E的方向。而上述氣態(tài)有機(jī)分子40在濺落至所述空穴傳輸層72表面后形成的固態(tài)有機(jī)分子731的偏向也一致，即固態(tài)有機(jī)分子731的長軸均垂直于所述空穴傳輸層72，進(jìn)而使得形成的有機(jī)發(fā)光層73具有各向異性導(dǎo)電性能,且使得所述有機(jī)發(fā)光層73具有一較好的電荷遷移率。本發(fā)明在蒸鍍形成分子薄膜的過程中，通過在基底的表明產(chǎn)生ー電場，氣態(tài)有機(jī)分子在該電場的作用下偏向一致，在接觸基底凝固為固態(tài)有機(jī)分子后，固態(tài)有機(jī)分子的偏向也一致，進(jìn)而使得形成的分子薄膜具有較好的一致性，并達(dá)到該膜層功能最大化，譬如即具有傳輸功能的空穴傳輸層內(nèi)，其有機(jī)分子排布遷移率達(dá)到最大，具有發(fā)光功能的有機(jī)發(fā)光層內(nèi)，其遷移率最小。綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法，其特征在于包括步驟 通過加熱設(shè)備加熱有機(jī)材料，以將所述有機(jī)材料氣化為氣態(tài)有機(jī)分子，并朝向基底的表面運(yùn)動(dòng)； 通過電場產(chǎn)生設(shè)備在基底的表面產(chǎn)生一電場，所述電場使得所述氣態(tài)有機(jī)分子的偏向一致； 偏向一致的氣態(tài)有機(jī)分子接觸至所述基底的表面，冷凝形成固態(tài)的分子薄膜，其中所述分子薄膜內(nèi)固態(tài)有機(jī)分子的偏向一致。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法，其特征在于在所述電場作用下，所述氣態(tài)有機(jī)分子的長軸與所述電場方向的夾角在O度至90度之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法，其特征在于所述氣態(tài)有機(jī)分子的長軸與所述電場方向平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法，其特征在于所述分子薄膜為有機(jī)發(fā)光層。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法，其特征在于所述加熱設(shè)備為坩堝。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法，其特征在于所述電場產(chǎn)生設(shè)備包括相互平行的第一電極和第二電極，在加電壓的情況下，所述第一電極和所述第二電極在基底的表面產(chǎn)生所述電場。
7.一種有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形設(shè)備，其特征在于包括 加熱設(shè)備，用于對(duì)有機(jī)材料加熱，以將所述有機(jī)材料氣化為氣態(tài)有機(jī)分子，其中該氣態(tài)有機(jī)分子朝向基底的表面運(yùn)動(dòng)； 電場產(chǎn)生設(shè)備，用于在基底的表面產(chǎn)生一電場，其中該電場使得所述氣態(tài)有機(jī)分子的偏向一致，偏向一致的氣態(tài)有機(jī)分子接觸至所述基底的表面，冷凝形成固態(tài)的分子薄膜，所述分子薄膜內(nèi)固態(tài)有機(jī)分子的偏向一致。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形設(shè)備，其特征在于在所述電場作用下，所述氣態(tài)有機(jī)分子的長軸與所述電場方向的夾角在O度至90度之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形設(shè)備，其特征在于所述氣態(tài)有機(jī)分子的長軸與所述電場方向平行。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形設(shè)備，其特征在于所述電場產(chǎn)生設(shè)備包括相互平行的第一電極和第二電極，在加電壓的情況下，所述第一電極和所述第二電極在基底的表面產(chǎn)生所述電場。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光二極管的薄膜成形方法及設(shè)備，方法包括通過加熱設(shè)備加熱有機(jī)材料，以將所述有機(jī)材料氣化為氣態(tài)有機(jī)分子，并朝向基底的表面運(yùn)動(dòng)；通過電場產(chǎn)生設(shè)備在基底的表面產(chǎn)生一電場，所述電場使得所述氣態(tài)有機(jī)分子的偏向一致；偏向一致的氣態(tài)有機(jī)分子接觸至所述基底的表面，凝固形成固態(tài)有機(jī)分子，該固態(tài)有機(jī)分子形成分子薄膜，其中所述分子薄膜內(nèi)固態(tài)有機(jī)分子的偏向一致。本發(fā)明通過調(diào)節(jié)不同膜層的有機(jī)分子排列結(jié)構(gòu)以使得該膜層功能達(dá)到最大化。
文檔編號(hào)H01L51/56GK102760845SQ20121026409
公開日2012年10月31日 申請(qǐng)日期2012年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月27日
發(fā)明者趙小虎 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司