專利名稱：具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及ー種刻蝕機機械操作平臺，具體涉及ー種具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺。
技術(shù)背景刻蝕機機械操作平臺包括具有腔體外門的透明外殼，腔體外門能夠相對于透明外殼上下移動；透明外殼的腔體內(nèi)設(shè)置有機械手。工作時，打開腔體外門，通過機械手將產(chǎn)品從腔體外搬送進腔體內(nèi)?，F(xiàn)有的刻蝕機機械操作平臺，由于腔體外門與機械手無通訊互鎖，在機械手搬送產(chǎn)品的過程中，會發(fā)生腔體外門夾到機械手的現(xiàn)象，存在撞擊的安全隱患。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供ー種具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺，它可以機械手與移動中的腔體外門發(fā)生撞擊。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺的技術(shù)解決方案為包括具有腔體外門的透明外殼，透明外殼的腔體內(nèi)設(shè)置有機械手；所述機械手的表面設(shè)置有反光膜；機械手固定端的上方設(shè)置有光電傳感器，光電傳感器與ー常閉的繼電器串聯(lián)后，與腔體外門的控制電路電連接。所述反光膜的面積為9cmX6cm。所述光電傳感器固定于透明外売上。本實用新型可以達到的技術(shù)效果是本實用新型通過設(shè)置反光膜和光電傳感器，并將光電傳感器的信號接入腔體外門的控制電路中，能夠避免機械手與移動中的腔體外門發(fā)生撞擊。
以下結(jié)合附圖
和具體實施方式
對本實用新型作進ー步詳細的說明圖I是本實用新型具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺的示意圖。圖中附圖標(biāo)記說明I為透明外売，2為機械手，3為光電傳感器，4為反光膜，5為腔體外門。
具體實施方式
如圖I所示，本實用新型具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺，包括具有腔體外門5的透明外殼1，腔體外門5能夠上下移動；透明外売I的腔體內(nèi)設(shè)置有機械手2，機械手2能夠相對于其 固定端旋轉(zhuǎn)；機械手2固定端的表面設(shè)置有反光膜4 ;機械手2固定端的上方設(shè)置有光電傳感器3,光電傳感器3與ー常閉的繼電器串聯(lián)后,與腔體外門5的控制電路電連接，以實現(xiàn)互鎖；反光膜4的面積為9cmX6cm ；光電傳感器3固定于透明外殼I上。本實用新型的工作原理是當(dāng)機械手2處于初始位置(不運動)時，光電傳感器3發(fā)出的光不產(chǎn)生反射信號，光電傳感器3的信號為O,繼電器常閉,腔體外門5的控制電路閉合,腔體外門5可以關(guān)閉；當(dāng)機械手2處于運動狀態(tài)時，光電傳感器3檢測到運動的機械手2上的反光膜4反射的光信號，光電傳感器3的信號為1，繼電器開路，腔體外門5的控制電路斷開，腔體外門5無法關(guān)閉，實現(xiàn)互鎖，從而保護產(chǎn)品與設(shè)備。
權(quán)利要求1.一種具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺，包括具有腔體外門的透明外殼，透明外殼的腔體內(nèi)設(shè)置有機械手；其特征在于所述機械手的表面設(shè)置有反光膜；機械手固定端的上方設(shè)置有光電傳感器，光電傳感器與一常閉的繼電器串聯(lián)后，與腔體外門的控制電路電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺，其特征在于所述反光膜的面積為9cmX6cm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺，其特征在于所述光電傳感器固定于透明外殼上。
專利摘要本實用新型公開了一種具有安全互鎖裝置的刻蝕機機械操作平臺，包括具有腔體外門的透明外殼，透明外殼的腔體內(nèi)設(shè)置有機械手；所述機械手的表面設(shè)置有反光膜；機械手固定端的上方設(shè)置有光電傳感器，光電傳感器與一常閉的繼電器串聯(lián)后，與腔體外門的控制電路電連接。本實用新型通過設(shè)置反光膜和光電傳感器，并將光電傳感器的信號接入腔體外門的控制電路中，能夠避免機械手與移動中的腔體外門發(fā)生撞擊。
文檔編號H01L21/67GK202373564SQ20112050222
公開日2012年8月8日 申請日期2011年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月6日
發(fā)明者孫希, 楊利 申請人:上海華虹Nec電子有限公司