專利名稱：一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置。
背景技術(shù)：
在太陽能電池加工過程中，擴(kuò)散爐是對硅基片進(jìn)行高溫?fù)诫s的設(shè)備，是對太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率起著決定性作用的設(shè)備。為了得到高效的太陽能電池，要求擴(kuò)散時(shí)爐管內(nèi)氣流穩(wěn)定，氣場分布均勻。現(xiàn)有的噴淋擴(kuò)散技術(shù)解決了原有的擴(kuò)散方式單片內(nèi)方阻不均勻的不足。但由于采用的是單孔抽風(fēng)，擴(kuò)散爐管內(nèi)的氣流不均勻，尤其是爐尾部分離抽風(fēng)口較遠(yuǎn)容易造成抽風(fēng)盲區(qū)，從而導(dǎo)致擴(kuò)散爐管內(nèi)爐口和爐尾的源濃度不均勻，最終影響擴(kuò)散工藝質(zhì)量，擴(kuò)散后的硅片片間方塊電阻不均勻。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種適用于噴淋擴(kuò)散裝置的尾氣收集系統(tǒng)，使擴(kuò)散源更加均勻地通過每一片硅片，在硅片上形成均勻的PN結(jié)，從而做出高方阻的高效太陽能電池。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是提供了一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置，包括擴(kuò)散爐管，在擴(kuò)散爐管的一端設(shè)有爐門，在擴(kuò)散爐管內(nèi)設(shè)有石英舟，其特征在于在石英舟的正上方及正下方或在石英舟的正下方及正上方分別設(shè)有進(jìn)氣噴淋管及抽氣管，進(jìn)氣噴淋管及抽氣管的一端分別用堵頭堵住，另一端通出擴(kuò)散爐管外，在進(jìn)氣噴淋管上開有至少一排進(jìn)氣孔，在抽氣管上開有至少一排抽氣孔。優(yōu)選地，所述擴(kuò)散爐管為圓柱形石英擴(kuò)散爐管。優(yōu)選地，所述爐門為自動爐門。優(yōu)選地，所述抽氣孔為至少兩排。優(yōu)選地，所述抽氣孔的開口方向朝上，其開口方向與豎直方向成45°夾角，所述抽氣孔的孔徑<3mm，同一排上鄰近兩個(gè)所述抽氣孔之間的間距<5mm。本實(shí)用新型的擴(kuò)散工藝氣體從石英進(jìn)氣噴淋管進(jìn)入擴(kuò)散爐管，通過硅片后經(jīng)抽氣管排出擴(kuò)散爐管，在此過程中減少了擴(kuò)散工藝氣體的橫向流動，避免了工藝氣體在橫向流動時(shí)硅片阻擋導(dǎo)致的氣流不均勻。工藝氣體只在垂直平面內(nèi)經(jīng)過硅片，使硅片與工藝氣體均勻充分的接觸，從而在硅片內(nèi)形成均勻的PN結(jié)，得到比較一至的方塊電阻。

圖1為本實(shí)用新型提供的一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的截面圖。
具體實(shí)施方式
[0012]為使本實(shí)用新型更明顯易懂，茲以一優(yōu)選實(shí)施例，并配合附圖作詳細(xì)說明如下。如圖1及圖2所示，本實(shí)用新型提供的一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置， 包括圓柱形石英擴(kuò)散爐管2，在圓柱形石英擴(kuò)散爐管2的一端安裝有自動爐門3。石英舟6 放置于圓柱形石英擴(kuò)散爐管2內(nèi)的下部，石英舟6上承載著待擴(kuò)散的硅片5。進(jìn)氣噴淋管 1及抽氣管7分別設(shè)置在石英舟6的正上方及正下方，當(dāng)然，也可以將進(jìn)氣噴淋管1及抽氣管7分別設(shè)置在石英舟6的正下方及正上方。進(jìn)氣噴淋管1及抽氣管7的一端用堵頭4封閉，另一端通出圓柱形石英擴(kuò)散爐管2外。進(jìn)氣噴淋管1、抽氣管7及堵頭4分別為石英材質(zhì)的。沿進(jìn)氣噴淋管1軸向開有一排進(jìn)氣孔9，為了減少局部抽風(fēng)過大帶來的影響，沿抽氣管7軸向開有兩排抽氣孔8。兩排抽氣孔8的開口方向朝上，開口方向與豎直方向成45°夾角，孔徑<3mm，同一排上鄰近兩個(gè)抽氣孔8間的間距<5mm。抽氣管7的開孔數(shù)具體要結(jié)合進(jìn)氣噴淋管1的開孔數(shù)設(shè)計(jì)，與噴淋孔一一對應(yīng)。開孔的孔徑越小數(shù)量越多對均勻性的提高越好。當(dāng)擴(kuò)散工藝運(yùn)行時(shí)，工藝氣體通過進(jìn)氣噴淋管1從進(jìn)氣孔9進(jìn)入圓柱形石英擴(kuò)散爐管2內(nèi)，均勻的向下噴灑在豎直插在石英舟6上的硅片5上。經(jīng)過硅片5后的工藝廢氣直接從設(shè)置于石英舟下方的抽氣管7的抽氣孔8中排出圓柱形石英擴(kuò)散爐管2。如圖2所示，工藝氣體在從進(jìn)入圓柱形石英擴(kuò)散爐管2到排出圓柱形石英擴(kuò)散爐管2的整個(gè)過程中主要在豎直方向的運(yùn)動，減少了工藝氣體的橫向運(yùn)動，從而避免了由于工藝氣體橫向運(yùn)動造成的硅片邊緣擴(kuò)散的雜質(zhì)濃度比中間高的問題，同時(shí)也避免了單孔抽風(fēng)時(shí)擴(kuò)散爐內(nèi)爐尾與爐口的工藝氣體流速不一致而導(dǎo)致管口與管尾雜質(zhì)源濃度不均勻的問題。本實(shí)用新型能讓工藝氣體均勻快速的從豎直平面上通過硅片5，從而在硅片5表面形成均勻的PN結(jié)，做出均勻的高方阻電池，提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。
權(quán)利要求1.一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置，包括擴(kuò)散爐管，在擴(kuò)散爐管的一端設(shè)有爐門，在擴(kuò)散爐管內(nèi)設(shè)有石英舟(6)，其特征在于在石英舟(6)的正上方及正下方或在石英舟(6)的正下方及正上方分別設(shè)有進(jìn)氣噴淋管(1)及抽氣管(7)，進(jìn)氣噴淋管(1)及抽氣管(7)的一端分別用堵頭(4)堵住，另一端通出擴(kuò)散爐管外，在進(jìn)氣噴淋管(1)上開有至少一排進(jìn)氣孔(9)，在抽氣管(7)上開有至少一排抽氣孔(8)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置，其特征在于所述擴(kuò)散爐管為圓柱形石英擴(kuò)散爐管(2 )。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置，其特征在于所述爐門為自動爐門(3)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置，其特征在于所述抽氣孔(8)為至少兩排。
5.如權(quán)利要求1或4所述的一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置，其特征在于 所述抽氣孔(8)的開口方向朝上，其開口方向與豎直方向成45°夾角，所述抽氣孔(8)的孔徑<3mm，同一排上鄰近兩個(gè)所述抽氣孔(8)之間的間距<5mm。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種用于太陽能電池噴淋擴(kuò)散的尾氣裝置，包括擴(kuò)散爐管，在擴(kuò)散爐管的一端設(shè)有爐門，在擴(kuò)散爐管內(nèi)設(shè)有石英舟，其特征在于在石英舟的正上方及正下方或在石英舟的正下方及正上方分別設(shè)有進(jìn)氣噴淋管及抽氣管，進(jìn)氣噴淋管及抽氣管的一端分別用堵頭堵住，另一端通出擴(kuò)散爐管外，在進(jìn)氣噴淋管上開有至少一排進(jìn)氣孔，在抽氣管上開有至少一排抽氣孔。本實(shí)用新型的擴(kuò)散工藝氣體從石英進(jìn)氣噴淋管進(jìn)入擴(kuò)散爐管，通過硅片后經(jīng)抽氣管排出擴(kuò)散爐管，在此過程中減少了擴(kuò)散工藝氣體的橫向流動，避免了工藝氣體在橫向流動時(shí)硅片阻擋導(dǎo)致的氣流不均勻。在硅片內(nèi)形成均勻的PN結(jié)，得到比較一至的方塊電阻。
文檔編號H01L21/223GK202167467SQ20112029852
公開日2012年3月14日 申請日期2011年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月17日
發(fā)明者張嘯潮 申請人:百力達(dá)太陽能股份有限公司