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基板輸送系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):7167432閱讀:170來源:國(guó)知局
專利名稱:基板輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及在收納玻璃基板、液晶基板、PDP基板等的基板的收納盒和處理所述基板的處理裝置之間輸送基板的輸送系統(tǒng)。
背景技術(shù)
在薄型顯示器等的制造設(shè)備中,玻璃基板等的基板收納于收納盒內(nèi)。另外,在基板的處理時(shí)基板向處理裝置輸送,完成處理后再由收納盒收納。在這樣的制造設(shè)備中,在收納盒和處理裝置之間必須要有輸送基板的輸送系統(tǒng)?;宓妮斔拖到y(tǒng)要求具有對(duì)應(yīng)于處理裝置的基板處理能力的輸送能力。例如,在處理裝置的基板處理能力超過輸送系統(tǒng)的輸送能力時(shí),在處理裝置中產(chǎn)生基板輸送等待的時(shí)間,制造效率惡化。因此,輸送系統(tǒng)的基板輸送能力超過處理裝置的基板處理能力是理想的。在日本特開2005-60110號(hào)公報(bào)中,公開了從多個(gè)收納盒有選擇地把基板輸送到處理裝置的系統(tǒng)。在該系統(tǒng)中,基板的輸送能力有賴于收納盒的數(shù)目。因此,例如在一個(gè)收納盒和處理裝置之間輸送基板時(shí),存在基板的輸送能力比處理裝置的處理能力差的情況。在日本特開平9-132309號(hào)公報(bào)中,公開了同時(shí)輸送多張基板、在輸送過程處理多張基板的系統(tǒng)。在該系統(tǒng)中,處理裝置必須同時(shí)交接多張基板。但是,在薄型顯示器等的制造設(shè)備中,多采用一張一張地進(jìn)行基板交接的處理裝置。該系統(tǒng)難以適用于采用了一張一張地進(jìn)行基板交接的處理裝置的制造設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供與一張一張地交接基板的處理裝置對(duì)應(yīng)同時(shí)提高了基板的輸送能力的基板輸送系統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明,提供一種基板輸送系統(tǒng),其在收納基板的收納盒和所述處理基板的處理裝置之間輸送基板,其特征在于,具有配置在所述收納盒側(cè)、具有在與所述基板的輸送方向正交的方向可排列放置多張所述基板的寬度、在所述輸送方向可同時(shí)輸送所述多張所述基板的第一傳送機(jī),在所述處理裝置側(cè)與所述第一傳送機(jī)連續(xù)配置、具有可在與所述輸送方向正交的方向排列放置所述多張所述基板的寬度、在所述輸送方向可單獨(dú)地輸送所述多張基板的第二傳送機(jī),具有放置所述第二傳送機(jī)上的所述基板的放置部、在所述第二傳送機(jī)上在與所述輸送方向正交的方向移動(dòng)所述基板的移動(dòng)單元,使所述放置部與所述第二傳送機(jī)相對(duì)升降的升降單元。在本發(fā)明的基板輸送系統(tǒng)中,通過設(shè)置所述第一傳送機(jī),在基板的輸送途中可并列輸送多張基板,能夠提高輸送能力。另外,通過設(shè)置所述第二傳送機(jī)、所述移動(dòng)單元及所述升降單元,能夠相對(duì)于所述處理裝置一張一張地交接基板。因此,可對(duì)應(yīng)于一張一張地進(jìn)行基板交接的處理裝置。另外,根據(jù)本發(fā)明,提供一種基板輸送系統(tǒng),其在收納基板的第一及第二收納盒和在與所述第一及第二收納盒的配置方向正交的方向從所述第一及第二收納盒離開地配置并處理所述基板的處理裝置之間輸送基板,其特征在于,具有配置于所述第一收納盒側(cè)、 具有在與所述基板的輸送方向正交的方向可排列放置多張所述基板的寬度、在所述輸送方向可同時(shí)輸送所述多張所述基板的第一同時(shí)輸送傳送機(jī),配置在所述第二收納盒側(cè)、具有在與所述輸送方向正交的方向可排列放置多張所述基板的寬度、在所述輸送方向可同時(shí)輸送所述多張所述基板的第二同時(shí)輸送傳送機(jī),在所述處理裝置側(cè)與所述第一同時(shí)輸送傳送機(jī)連續(xù)配置、具有在與所述輸送方向正交的方向可排列放置所述多張所述基板的寬度、可把所述多張基板單獨(dú)地向所述輸送方向輸送的第一單獨(dú)輸送傳送機(jī),在所述處理裝置側(cè)與所述第二同時(shí)輸送傳送機(jī)連續(xù)配置、具有在與所述輸送方向正交的方向可排列放置所述多張所述基板的寬度、可把所述多張基板單獨(dú)地向所述輸送方向輸送的第二單獨(dú)輸送傳送機(jī),具有放置所述第一及第二單獨(dú)輸送傳送機(jī)上的所述基板的放置部、跨越所述第一及第二單獨(dú)輸送傳送機(jī)、在與所述輸送方向正交的方向移動(dòng)所述基板的移動(dòng)單元,使所述放置部與所述第一及第二單獨(dú)輸送傳送機(jī)相對(duì)升降的升降單元。在本發(fā)明的基板輸送系統(tǒng)中,通過設(shè)置所述第一及第二同時(shí)輸送傳送機(jī),在基板的輸送途中可并列輸送多張基板,能夠提高輸送能力。另外,通過設(shè)置所述第一及第二單獨(dú)輸送傳送機(jī)、所述移動(dòng)單元及所述升降單元,能夠相對(duì)于所述處理裝置一張一張地交接基板。因此,可對(duì)應(yīng)于一張一張地進(jìn)行基板交接的處理裝置。進(jìn)而,通過所述移動(dòng)單元跨在所述第一及第二單獨(dú)輸送傳送機(jī)移動(dòng)所述基板,在所述處理裝置和所述第一及第二收納盒之間可分別輸送基板,能夠提高基板的輸送能力。另外,根據(jù)本發(fā)明,提供一種基板輸送系統(tǒng),其在收納基板的第一及第二收納盒和在從所述第一及第二收納盒離開配置并處理所述基板的處理裝置之間輸送基板,其特征在于,具有配置于所述第一收納盒側(cè)、具有在與所述基板的輸送方向正交的方向可排列放置多張所述基板的寬度、在所述輸送方向可同時(shí)輸送所述多張所述基板的第一同時(shí)輸送傳送機(jī),配置在所述第二收納盒側(cè)、具有在與所述輸送方向正交的方向可排列放置多張所述基板的寬度、在所述輸送方向可同時(shí)輸送所述多張所述基板的第二同時(shí)輸送傳送機(jī),在所述處理裝置側(cè)與所述第一同時(shí)輸送傳送機(jī)連續(xù)配置、具有在與所述輸送方向正交的方向可排列放置所述多張所述基板的寬度、可把所述多張基板單獨(dú)地向所述輸送方向輸送的單獨(dú)輸送傳送機(jī),在所述處理裝置側(cè)與所述第二同時(shí)輸送傳送機(jī)連續(xù)配置、具有在與所述輸送方向正交的方向可排列放置所述多張所述基板的寬度的第三同時(shí)輸送傳送機(jī),具有放置所述單獨(dú)輸送傳送機(jī)及所述第三同時(shí)輸送傳送機(jī)上的所述基板的放置部、跨越所述單獨(dú)輸送傳送機(jī)及所述第三同時(shí)輸送傳送機(jī)、在與所述輸送方向正交的方向移動(dòng)所述基板的移動(dòng)單元,使所述放置部與所述單獨(dú)輸送傳送機(jī)與所述第三同時(shí)輸送傳送機(jī)相對(duì)升降的升降單兀。在本發(fā)明的基板輸送系統(tǒng)中,通過設(shè)置所述第一及第二同時(shí)輸送傳送機(jī),在基板的輸送途中可并列輸送多張基板,能夠提高輸送能力。另外,通過設(shè)置所述單獨(dú)輸送傳送機(jī)、所述移動(dòng)單元及所述升降單元,能夠相對(duì)于所述處理裝置一張一張地交接基板。因此, 可對(duì)應(yīng)于一張一張地進(jìn)行基板交接的處理裝置。進(jìn)而,通過所述移動(dòng)單元跨越所述單獨(dú)輸送傳送機(jī)和所述第三同時(shí)輸送傳送機(jī)地移動(dòng)所述基板,在所述處理裝置和所述第一及第二收納盒之間可分別輸送基板,能夠提高基板的輸送能力。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)A的配置的平面圖。圖2是基板輸送系統(tǒng)A的側(cè)面圖。圖3是收納盒10的立體圖。圖4是表示構(gòu)成各傳送機(jī)30、31及32的輥式傳送機(jī)單元100及110的立體圖。圖5是表示收納盒10中的玻璃基板W的收納狀態(tài)及移載傳送機(jī)32上的玻璃基板 W的位置的例子(2例)的平面圖。圖6是一對(duì)升降裝置80的立體圖。圖7是升降裝置80的分解立體圖。圖8是表示把玻璃基板W從收納盒10搬出時(shí)的、由升降裝置80形成的收納盒10 的升降動(dòng)作的圖。圖9是放置部件56及57的立體圖。圖10是表示升降單元60的升降動(dòng)作和與此相伴的放置部件56的升降的圖。圖11是表示基板輸送系統(tǒng)A的控制裝置200的構(gòu)成的方框圖。圖12是表示從移載傳送機(jī)32向同時(shí)輸送傳送機(jī)30輸送玻璃基板Wl時(shí)的狀態(tài)例的圖。圖13是表示從移載傳送機(jī)32向同時(shí)輸送傳送機(jī)30輸送玻璃基板Wl時(shí)的狀態(tài)另一例的圖。圖14是表示從單獨(dú)輸送傳送機(jī)31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl的例的圖。圖15是表示從單獨(dú)輸送傳送機(jī)31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl的例的圖。圖16是表示從單獨(dú)輸送傳送機(jī)31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl的例的圖。圖17是表示從單獨(dú)輸送傳送機(jī)31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2的例的圖。圖18是表示從單獨(dú)輸送傳送機(jī)31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2的例的圖。圖19是表示從單獨(dú)輸送傳送機(jī)31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2的例的圖。圖20是表示從單獨(dú)輸送傳送機(jī)31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2的例的圖。圖21是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 —張一張地輸送玻璃基板Wl、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多個(gè)玻璃基板Wl的例的圖。圖22是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 —張一張地輸送玻璃基板Wl、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多個(gè)玻璃基板Wl的例的圖。
圖23是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 —張一張地輸送玻璃基板Wl、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多個(gè)玻璃基板Wl的例的圖。圖M是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 —張一張地輸送玻璃基板W1、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多個(gè)玻璃基板Wl的例的圖。圖25是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 —張一張地輸送玻璃基板W2、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多個(gè)玻璃基板W2的例的圖。圖沈是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 —張一張地輸送玻璃基板W2、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多個(gè)玻璃基板W2的例的圖。圖27是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 —張一張地輸送玻璃基板W2、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多個(gè)玻璃基板W2的例的圖。圖28是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 —張一張地輸送玻璃基板W2、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多個(gè)玻璃基板W2的例的圖。圖四是表示本發(fā)明另一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)B的配置的平面圖。圖30是兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的玻璃基核W的輸送狀態(tài)的說明圖。圖31是表示本發(fā)明另一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)B’的配置的平面圖。圖32是在兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的玻璃基板W的輸送狀態(tài)的說明圖。圖33是在兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的玻璃基板W的輸送狀態(tài)的說明圖。圖34是本發(fā)明另一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)B”的配置的平面圖。圖35是本發(fā)明另一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)C的配置的平面圖。圖36是表示放置部件56及57的移動(dòng)機(jī)構(gòu)另一例的圖。
具體實(shí)施例方式<第一實(shí)施方式><整體構(gòu)成>圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)A的配置的平面圖,圖2是基板輸送系統(tǒng)A的側(cè)面圖。另外,在各圖中,箭頭X、Y表示相互正交的水平方向,箭頭Z表示上下方向(豎直方向)。在本實(shí)施方式的情況下,基板輸送系統(tǒng)A在收納方形薄板狀的玻璃基板W的收納盒10和處理玻璃基板W的處理裝置20 (只圖示其一部分)之間輸送玻璃基板。 另外,玻璃基板W在圖2中用虛線圖示,在圖1中省略圖示。處理裝置20,例如進(jìn)行玻璃基板的清洗、干燥及其他的處理。處理裝置20,在其內(nèi)部可收納多張玻璃基板、例如可收納于收納盒10中的數(shù)量的玻璃基板W。在此,處理裝置 20,一張一張地搬入、搬出玻璃基板W。收納盒10和處理裝置20配置成在X方向離開。因此,在本實(shí)施方式的情況中,基板輸送系統(tǒng)A的基板輸送方向是X方向,與輸送方向正交的方向是Y方向。另外,收納盒10 及處理裝置20配置成這些玻璃基板W的搬入搬出部相互面對(duì)?;遢斔拖到y(tǒng)A具有同時(shí)輸送傳送機(jī)30、單獨(dú)輸送傳送機(jī)31、移動(dòng)單元50、升降單元60、移載傳送機(jī)32及70和一對(duì)升降裝置80。<收納盒>圖3是收納盒10的立體圖。收納盒10是在Z方向可多層收納玻璃基板W的盒。另外,圖3表示玻璃基板W未收納的狀態(tài)。在本實(shí)施方式的情況下,收納盒10由多個(gè)柱部件11和梁部件12形成大體長(zhǎng)方體形狀的框體。柱部件11的配設(shè)間隔及梁部件12的配設(shè)間隔設(shè)定成移載傳送機(jī)32可從收納盒10的下方進(jìn)入收納盒10內(nèi)。柱部件11在X方向配設(shè)多個(gè),同時(shí)在Y方向離開地排列設(shè)置相同數(shù)目。在Y方向離開的一對(duì)柱部件11之間,在Z方向排列且以規(guī)定的間距拉設(shè)絲線13。各絲線13的上下之間的空間形成收納玻璃基板W的狹槽,玻璃基板W以大體水平姿態(tài)放置于絲線13上。另外,與在Z方向排列的絲線13的數(shù)量相應(yīng)地形成狹槽。在本實(shí)施方式的情況下,在一個(gè)狹槽中在Y方向或X方向排列收納多張玻璃基板 W。但是,也可以形成為在一個(gè)狹槽收納一個(gè)玻璃基板W。另外,在本實(shí)施方式中,是由絲線形成狹槽的,當(dāng)然也可采用其他的方式。在此,通過使用絲線,可縮小所收納的基板間的間隔,提高收納盒10的收納效率。<傳送機(jī)>接著,對(duì)同時(shí)機(jī)送傳送機(jī)30、單獨(dú)輸送傳送機(jī)31及移載傳送機(jī)32的構(gòu)成進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式的情況下,這些傳送機(jī)都是把多個(gè)輥式傳送機(jī)配置成矩陣狀而構(gòu)成的。但是,也可以采用帶式傳送機(jī)等其他的形式的傳送機(jī)。圖4是表示構(gòu)成各傳送機(jī)30、31及32的輥式傳送機(jī)單元100及110的立體圖。如該圖所示,在本實(shí)施方式,通過使用大小不同的兩種輥式傳送機(jī)單元100及110,形成為可在同一系統(tǒng)輸送尺寸不同的玻璃基板W。輥式傳送機(jī)單元100具有放置玻璃基板W(在圖4中未圖示)的多個(gè)輥101、內(nèi)置輥101的驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)箱102和檢測(cè)輥101上的玻璃基板W的傳感器103。輥101繞Y 方向的轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng),把玻璃基板W向X方向輸送。輥式傳送機(jī)單元110具有放置玻璃基板W的多個(gè)輥111、內(nèi)置輥111的驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)箱112和檢測(cè)輥111上的玻璃基板W的傳感器113。輥111繞Y方向的轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng), 把玻璃基板W向X方向輸送。輥式傳送機(jī)單元110的Y方向的寬度是輥式傳送機(jī)單元100 的Y方向?qū)挾鹊拇蠹s一半。各輥式傳送機(jī)單元100及各輥式傳送機(jī)單元110可各自獨(dú)立驅(qū)動(dòng)。在本實(shí)施方式的情況下,在Y方向的兩端部各配置一個(gè)輥式傳送機(jī)單元100,在這些輥式傳送機(jī)單元100之間配置兩個(gè)輥式傳送機(jī)單元110。也可以把在Y方向排列的這四個(gè)輥式傳送機(jī)單元100及110稱為“輥式傳送機(jī)單元的組”。圖4表示在X方向排列了三組 “輥式傳送機(jī)單元的組”的狀態(tài)。參照?qǐng)D1及圖2,在本實(shí)施方式,同時(shí)輸送傳送機(jī)30、單獨(dú)輸送傳送機(jī)31及移載傳送機(jī)32都在X方向排列了六組“輥式傳送機(jī)單元的組”而構(gòu)成。同時(shí)輸送傳送機(jī)30及移載傳送機(jī)32在X方向連續(xù)配置,可在X方向連續(xù)輸送玻璃基板W。另外,同時(shí)輸送傳送機(jī)30、單獨(dú)輸送傳送機(jī)31及移載傳送機(jī)32在與玻璃基板W 的輸送方向(X方向)正交的Y方向都具有可排列放置多張玻璃基板W的寬度(Y方向的寬度)。另外,同時(shí)輸送傳送機(jī)30、單獨(dú)輸送傳送機(jī)31及移載傳送機(jī)32在玻璃基板W的輸送方向(X方向)都具有可排列放置多張玻璃基板W的長(zhǎng)度(X方向的長(zhǎng)度)。圖5是表示收納盒10中的玻璃基板W的收納狀態(tài)及移載傳送機(jī)32上的玻璃基板W(W1、W2)的位置的例子(兩例)的平面圖。
圖5的上面的例子是在收納盒10的各狹槽中收納四張玻璃基板Wl的例子,移載傳送機(jī)32可在X方向放置兩張玻璃基板Wl、在Y方向放置兩張玻璃基板W1。圖5的下面例子是在收納盒10的各狹槽中收納六張玻璃基板W2的例子,移載傳送機(jī)32可在X方向放置兩張玻璃基板W2、在Y方向放置三張玻璃基板W2。玻璃基板W2是Y方向的寬度比玻璃基板Wl小的玻璃基板。在把玻璃基板Wl作為輸送對(duì)象時(shí),與移載傳送機(jī)32同樣,在同時(shí)輸送傳送機(jī)30 及單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向可放置兩張玻璃基板Wl。另外,在把玻璃基板W2作為輸送對(duì)象時(shí),與移載傳送機(jī)32同樣,在同時(shí)輸送傳送機(jī)30及單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向可放置三張玻璃基板W2。在本實(shí)施方式,在同時(shí)輸送傳送機(jī)30上可在X方向及Y方向分別放置多張玻璃基板。通過能在同時(shí)輸送傳送機(jī)30上這樣地放置多張玻璃基板,對(duì)于處理裝置20可以不產(chǎn)生玻璃基板的輸送等待。另外,在把收納盒10空出要進(jìn)行更換時(shí),也可以把玻璃基板預(yù)先暫時(shí)搬出到同時(shí)輸送傳送機(jī)30,再搬入到更換后的收納盒10中,可實(shí)現(xiàn)收納盒10的更換便利。再回到圖1及圖2,移載傳送機(jī)70是由單一的輥式傳送機(jī)單元構(gòu)成的輥式傳送機(jī)。 移載傳送機(jī)70進(jìn)行在處理裝置20和單獨(dú)輸送傳送機(jī)31之間的玻璃基板W的交接。另外, 也可以不設(shè)置移載傳送機(jī)70,在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31和處理裝置20之間直接交接玻璃基板 I〈升降裝置〉圖6是一對(duì)升降裝置80的立體圖,圖7是升降裝置80的分解立體圖。在本實(shí)施方式,通過由升降裝置80使收納盒10在Z方向升降,可使收納盒10和移載傳送機(jī)32在Z 方向相對(duì)移動(dòng)。但是,也可以構(gòu)成為移載傳送機(jī)32在Z方向升降。另外,在構(gòu)成使移載傳送機(jī)32升降時(shí),也可構(gòu)成使同時(shí)輸送傳送機(jī)30升降。在本實(shí)施方式的情況下,升降裝置80以隔著收納盒10的方式各自配設(shè)在收納盒 10的相互對(duì)向的Y方向兩側(cè)部,懸臂支承收納盒10。根據(jù)這樣的構(gòu)成可使升降裝置80更為薄型化。升降裝置80具有放置收納盒10的底部的梁部件12的梁柱部件81。通過各升降裝置80的各梁柱部件81在Z方向同步移動(dòng)而使收納盒10升降。升降裝置80具有在Z方向延伸的支柱82,在支柱82的內(nèi)側(cè)表面固定在Z方向延伸的一對(duì)軌道部件83及齒條84。 在各升降裝置80之間,梁部件80a架設(shè)在支柱82的上端。梁柱部件81借助于托架85a固定支承在支承板85的一側(cè)面。在支承板85的另一側(cè)面固定沿軌道部件83可移動(dòng)的四個(gè)滑動(dòng)部件86,梁柱部件81及支承板85由軌道部件 83的引導(dǎo)上下移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)單元87由馬達(dá)87a和減速器87b構(gòu)成,固定支承于支承板88的一側(cè)面。減速器87b的輸出軸貫通支承板88,與配設(shè)在支承板88的另一側(cè)面的小齒輪89a 連接。支承板85和支承板88隔開規(guī)定的間隔地相互固定,在支承板85和支承板88的空隙配設(shè)小齒輪89b至89d。小齒輪89b至89d可轉(zhuǎn)動(dòng)地軸支在支承板85和支承板88之間,小齒輪89b及小齒輪89c從動(dòng)于小齒輪89a的轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。小齒輪89d從動(dòng)于小齒輪89c的轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。小齒輪89b至89d是相互相同規(guī)格的小齒輪,兩個(gè)小齒輪89b及89d與各齒條84嚙合。于是,驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元87的話,則小齒輪89a轉(zhuǎn)動(dòng),由該驅(qū)動(dòng)力使驅(qū)動(dòng)單元87、支承板85及88、滑動(dòng)部件86及梁柱部件81形成一體向上方或下方移動(dòng),可使放置在梁柱部件 81上的收納盒10升降。在各升降裝置80中,檢測(cè)梁柱部件81升降高度的相互偏差的傳感器81a設(shè)于梁柱部件81的端部。傳感器81a例如是具有發(fā)光部和收光部的光傳感器,如圖6所示相互在Y方向照射光,判定在此是否收到光。在收到光時(shí)不存在梁柱部件81的升降高度的相互偏差,在沒收到光時(shí)升降高度存在偏差。升降高度的偏差由傳感器81a檢測(cè)時(shí),通過由馬達(dá)87a的控制而控制成消除偏差。通過設(shè)置傳感器81a控制梁柱部件81的升降高度的偏差,可防止升降時(shí)收納盒10傾斜,可以更穩(wěn)定地升降收納盒10。另外,設(shè)于各梁柱部件81上的兩個(gè)傳感器81a也可以構(gòu)成為,其一個(gè)具有發(fā)光部和收光部中的任何一個(gè),而另一個(gè)具有發(fā)光部和收光部的另一個(gè)。另外,不限于光傳感器, 也可以使用其他的傳感器。圖8是表示把玻璃基板W從收納盒10搬出時(shí)、由升降裝置80形成的收納盒10的升降動(dòng)作的圖。另外,在該圖中省略圖示升降裝置80。玻璃基板W的搬出,從收納玻璃基板 W的狹槽中、收納于最下方的狹槽中的玻璃基板W起依次進(jìn)行。首先,如圖8的左上圖所示,從收納盒10位于移載傳送機(jī)32的上方的狀態(tài)起,用升降裝置80 (在圖8中未圖示)使收納盒10下降,如圖8的右上圖所示,在移載傳送機(jī)32 上放置輸送對(duì)象的玻璃基板W。此時(shí),移載傳送機(jī)32從下方進(jìn)入收納盒10內(nèi),輸送對(duì)象的玻璃基板W成為從收納盒10的絲線13浮起的狀態(tài),成為只由移載傳送機(jī)32支承的狀態(tài)。 接著驅(qū)動(dòng)移載傳送機(jī)32,如圖8的左下圖所示,把輸送對(duì)象的玻璃基板W從收納盒10搬出。 以下,同樣地反復(fù)收納盒10的下降和移載傳送機(jī)32的驅(qū)動(dòng)(在圖8的右下圖),依次從下方側(cè)搬出玻璃基板W。構(gòu)成移載傳送機(jī)32的輥式傳送機(jī)單元100及110根據(jù)輸送對(duì)象的玻璃基板的位置及尺寸有選擇地被驅(qū)動(dòng)。例如,在如圖5的上側(cè)的例子中,在搬出位于+X側(cè)的兩張玻璃基板Wl時(shí),驅(qū)動(dòng)位于這些玻璃基板Wl下面的三個(gè)“輥式傳送機(jī)單元的組”。另外,例如,在如圖5上側(cè)的例子中,在搬出位于+X側(cè)且+Y側(cè)的一張玻璃基板Wl時(shí),位于該玻璃基板Wl 下面的三個(gè)“輥式傳送機(jī)單元的組”中,驅(qū)動(dòng)位于+Y側(cè)的三個(gè)輥式傳送機(jī)單元100及110。在把玻璃基板W搬入收納盒10時(shí),成為與上述的搬出時(shí)的動(dòng)作大概相反的動(dòng)作。 玻璃基板W的搬入,從沒有收納玻璃基板W的狹槽中最下方的狹槽起依次進(jìn)行。〈移動(dòng)單元及升降單元〉參照?qǐng)D1及圖2,移動(dòng)單元50具有分別設(shè)于單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的Y方向兩側(cè)的基座部件51。在各基座部件51上搭載馬達(dá)52、由馬達(dá)52轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)的一對(duì)驅(qū)動(dòng)帶輪53和一對(duì)從動(dòng)帶輪54。驅(qū)動(dòng)帶輪53與從動(dòng)帶輪54的組合共計(jì)四組,在各組的驅(qū)動(dòng)帶輪53和從動(dòng)帶輪54之間纏繞皮帶55。通過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)52使驅(qū)動(dòng)帶輪53轉(zhuǎn)動(dòng),皮帶55行進(jìn)。皮帶55在Y方向跨越單獨(dú)輸送傳送機(jī)31延伸,各兩條地穿過相互鄰接的“輥式傳送機(jī)單元的組”之間的空間。在各皮帶55上,固定放置部件56或57。圖9是放置部件56 及57的立體圖。放置部件56及57是在與皮帶55大體相同寬度的板狀的部件上形成有半球狀的突起56a、57a的部件。在放置部件56的+Y側(cè)的端部形成比突起56a突出的、長(zhǎng)方體形狀的定位部件56b,在放置部件57的-Y側(cè)的端部形成比突起57a突出的、長(zhǎng)方體形狀的定位部件57b。放置部件56及57發(fā)揮放置單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的玻璃基板W的放置部的功能, 從其下側(cè)支承玻璃基板W。放置部件56及57借助于皮帶55的行進(jìn)在Y方向移動(dòng)。玻璃基板W放置于突起56a、57a上。通過把突起56a、57a做成半球狀,減小玻璃基板W與突起 56a、57a的接觸面積,減少玻璃基板W的損傷。定位部件56b及57b通過其側(cè)面與玻璃基板W的端邊抵接,進(jìn)行玻璃基板W的定位(調(diào)整玻璃基板W的朝向及位置)。在本實(shí)施方式的情況下,因?yàn)樵谒臈l皮帶55上分別各一個(gè)地設(shè)置放置部件56或57中的任一個(gè),所以定位部件56b及57b合計(jì)有四個(gè),在X方向及Y方向離開的四個(gè)地方進(jìn)行玻璃基板W的定位。接著,參照?qǐng)D2對(duì)升降單元60進(jìn)行說明。升降單元60在各基座部件51配設(shè)在各基座部件51的下方。因此,在本實(shí)施方式的情況下,升降單元60分別設(shè)置在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的Y方向兩側(cè),合計(jì)設(shè)置兩個(gè)。各升降單元60具有基座部件61。在基座部件61上,立設(shè)多個(gè)支柱62,支柱62支承基座部件51。支柱62例如由缸體和桿構(gòu)成,可在Z方向伸縮。在基座部件61上設(shè)有馬達(dá)63和由馬達(dá)63的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的一對(duì)凸輪板64。凸輪板64的凸輪面與基座部件51的下面抵接,由該轉(zhuǎn)動(dòng)使基座部件51升降。隨著基座部件51的升降,支柱62伸縮。在本實(shí)施方式,通過同步地進(jìn)行由兩個(gè)升降單元60形成的升降動(dòng)作,移動(dòng)單元50 升降。由此,放置部件56及57在Z方向升降,放置部件56及57和單獨(dú)輸送傳送機(jī)31相對(duì)地在Z方向移動(dòng)。但是,也可以設(shè)置成使單獨(dú)輸送傳送機(jī)31在Z方向升降,放置部件56 及57和單獨(dú)輸送傳送機(jī)31在Z方向相對(duì)地移動(dòng)。圖10是表示升降單元60的升降動(dòng)作和與此相伴的放置部件56升降的圖。另外, 放置部件57的升降也同樣。在圖10中只圖示升降單元60的主要部分。升降單元60使放置部件56在下降位置和上升位置兩個(gè)位置之間升降。圖10的左側(cè)表示放置部件56位于下降位置的情況。此時(shí),升降單元60成為凸輪板64的頂部向著Y方向的狀態(tài)。放置部件56中的構(gòu)成單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的輥式傳送機(jī)單元100的輥101位于比輸送玻璃基板W的輸送高度L低的位置。圖10的右側(cè)表示放置部件56位于上升位置的情況。此時(shí),升降單元60處于凸輪板64的頂部向著+Z方向的狀態(tài)。即是,借助于馬達(dá)63的驅(qū)動(dòng),凸輪板64由圖10左側(cè)所示的狀態(tài)轉(zhuǎn)動(dòng)90度,推起基座部件51。由此移動(dòng)單元50上升。放置部件56的突出部56a 位于比輸送高度L高的位置。玻璃基板W離開輥101而放置于突出部56a上。另外,皮帶 55位于比輸送高度L低的位置。在把單獨(dú)地級(jí)送傳送機(jī)31上的玻璃基板W通過移動(dòng)單元50向Y方向移動(dòng)時(shí),玻璃基板W放置于放置部件56和放置部件57雙方。另外,通過使放置部件56和放置部件57 相互在相反方向(相互接近的方向)移動(dòng),由定位部件56b及57b夾持玻璃基板W。例如, 在圖10的右側(cè)的狀態(tài)中,使定位部件56b向-Y方向移動(dòng),定位部件56b與玻璃基板W的端邊抵接。此時(shí),玻璃基板W在突起56a上滑動(dòng)。通過由定位部件56b及57b夾持玻璃基板W,調(diào)整(規(guī)定)玻璃基板W的朝向。由此,在輸送的過程中玻璃基板W的朝向傾斜時(shí),可進(jìn)行朝向的修正。接著,通過使放置部件56和放置部件57相互在同方向移動(dòng),玻璃基板W保持著由定位部件56b及57b夾持的狀態(tài)在Y方向移動(dòng)。<控制裝置>圖11是表示基板輸送系統(tǒng)A的控制裝置200的構(gòu)成的方框圖??刂蒲b置200具有對(duì)基板輸送系統(tǒng)A整體進(jìn)行控制的CPU201,提供CPU201的工作區(qū)同時(shí)存儲(chǔ)可變數(shù)據(jù)等的RAM202,存儲(chǔ)控制程序、控制數(shù)據(jù)等的固定數(shù)據(jù)的R0M203。RAM202、R0M203可采用其他的存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)。輸入接口(I/F)204是CPU201和各種傳感器(例如,傳感器81a、113等)的接口, 借助于輸入I/F204,CPU201取得各種傳感器的檢測(cè)結(jié)果。輸出接口(I/F) 205是CPU201 和各種馬達(dá)(例如,馬達(dá)52、63、87a、驅(qū)動(dòng)箱102、112內(nèi)的馬達(dá)等)的接口,借助于輸出I/ F204,CPU201控制各種馬達(dá)。通信接口(I/F)206是控制包含基板輸送系統(tǒng)A的基板處理設(shè)備整體的主計(jì)算機(jī) 300和CPU201的接口,CPU201根據(jù)來自主計(jì)算機(jī)300的指令控制基板輸送系統(tǒng)A。<用基板輸送系統(tǒng)A進(jìn)行的基板的輸送例><同時(shí)輸送傳送機(jī)的輸送例>圖12及圖13是表示從移載傳送機(jī)32向同時(shí)輸送傳送機(jī)30輸送玻璃基板Wl時(shí)的狀態(tài)例的圖。通過同步驅(qū)動(dòng)各“輥式傳送機(jī)單元的組”,可以在X方向同時(shí)排列輸送多張玻璃基板Wl。圖12的例子表示在各兩張地同時(shí)輸送移載傳送機(jī)32上的玻璃基板Wl的例子。在圖12的例子中,首先,把位于-X側(cè)的兩張玻璃基板Wl從移載傳送機(jī)32輸送到同時(shí)輸送傳送機(jī)30。接著,同時(shí)輸送傳送機(jī)30把兩張玻璃基板Wl同時(shí)向+X方向輸送,另外,移載傳送機(jī)32把位于-X側(cè)的兩張玻璃基板Wl向同時(shí)輸送傳送機(jī)30輸送。最終四張玻璃基板Wl 位于同時(shí)輸送傳送機(jī)30上。圖13的例子表示同時(shí)輸送四張移載傳送機(jī)32上的玻璃基板Wl的例子。在圖13 的例子中,移載傳送機(jī)32在+X方向同時(shí)輸送四張玻璃基板Wl,同時(shí)輸送傳送機(jī)30也在+X 方向同時(shí)輸送四張玻璃基板Wl。最終四張玻璃基板Wl位于同時(shí)輸送傳送機(jī)30上。在圖12及圖13對(duì)玻璃基板Wl的輸送例進(jìn)行了說明,但同樣可輸送比玻璃基板Wl 尺寸小的玻璃基板W2。另外,在圖12及圖13,對(duì)從移載傳送機(jī)32向同時(shí)輸送傳送機(jī)30搬出玻璃基板Wl的情況進(jìn)行了說明,但在從同時(shí)輸送傳送機(jī)30向移載傳送機(jī)32搬送玻璃基板Wl時(shí)也可以在Y方向同時(shí)排列輸送多張玻璃基板Wl。在本實(shí)施方式,這樣在同時(shí)輸送傳送機(jī)30和移載傳送機(jī)32之間可以在Y方向同時(shí)排列輸送多張玻璃基板,可提高玻璃基板相對(duì)于收納盒10的搬出、搬入的效率。在本實(shí)施方式,把同時(shí)輸送傳送機(jī)30和移載傳送機(jī)32由獨(dú)立驅(qū)動(dòng)的多個(gè)輥式傳送機(jī)單元100及110構(gòu)成,但只要是在Y方向同時(shí)排列輸送多張玻璃基板,也可以如移載傳送機(jī)70那樣用單一的輥式傳送機(jī)單元分別構(gòu)成同時(shí)輸送傳送機(jī)30、移載傳送機(jī)32。在此,如本實(shí)施方式所示,通過把同時(shí)輸送傳送機(jī)30和移載傳送機(jī)32由獨(dú)立驅(qū)動(dòng)的多個(gè)輥式傳送機(jī)單元100及110構(gòu)成,具有增加輸送狀態(tài)變化的優(yōu)點(diǎn)。例如,可以有選擇地采用一張一張地輸送玻璃基板的輸送狀態(tài)。另外,例如,還可以有選擇地采用在+Y側(cè)中使玻璃基板向+X方向、在-Y側(cè)中使玻璃基板向-χ方向這樣地在相反方向輸送多張玻璃基板的輸送狀態(tài)。<單獨(dú)輸送傳送機(jī)的輸送例>在本實(shí)施方式,可用同時(shí)輸送傳送機(jī)30并列輸送從收納盒10搬出的多張玻璃基板。即是,可以在Y方向排列多張玻璃基板,同時(shí)輸送這些玻璃基板。由此,可在玻璃基板的輸送途中提高輸送能力。另外,處理裝置20 —張一張地搬入、搬出玻璃基板。因此,必須把輸送張數(shù)從多張變換為一張。單獨(dú)輸送傳送機(jī)31、移動(dòng)單元50及升降單元60,進(jìn)行該輸送張數(shù)的變換。由此,對(duì)于處理裝置20,可以一張一張地交接玻璃基板?!聪蛱幚硌b置搬入玻璃基板>圖14至圖16是表示從單獨(dú)輸送傳送機(jī)31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl的例子的圖。在圖14的上側(cè)表示兩張玻璃基板Wl同時(shí)被輸送到單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 上的狀態(tài)。兩張玻璃基板Wl放置于-X側(cè)的三個(gè)“輥式傳送機(jī)單元的組”上。從該狀態(tài)起,如圖14下側(cè)所示把兩張玻璃基板Wl中的一張玻璃基板Wl向+X方向輸送。此時(shí),各輥式傳送機(jī)單元100及110根據(jù)玻璃基板Wl的尺寸有選擇地被驅(qū)動(dòng)。例如,在從圖14的上側(cè)狀態(tài)向下側(cè)狀態(tài)輸送玻璃基板Wl時(shí),驅(qū)動(dòng)位于+Y側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元100及六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110。接著,在對(duì)應(yīng)于處理裝置20的搬入搬出位置的位置,在Y方向移動(dòng)玻璃基板W1。 為此,首先,如圖15的上側(cè)所示,使位于下降位置的放置部件56及57位于玻璃基板Wl的端邊附近。使放置部件56位于玻璃基板Wl的+Y方向側(cè)的端邊附近,使放置部件57位于玻璃基板Wl的-Y方向側(cè)的端邊附近。此時(shí),使多個(gè)突起56a及57a的一部分位于玻璃基板Wl的下方,使定位部件56b及57b不位于玻璃基板Wl的下方。接著,通過升降單元60(未圖示)的驅(qū)動(dòng),使放置部件56及57向上升位置上升。 由此,玻璃基板Wl成為離開輥101及111而位于放置部件56及57上的狀態(tài)(在圖10的右側(cè)狀態(tài))。在使放置部件56及57上升到上升位置后,通過把放置部件56向-Y方向移動(dòng)、把放置部件57向+Y方向移動(dòng),由定位部件56b和定位部件57b夾持玻璃基板Wl (在圖 15的下側(cè)狀態(tài))。由此,可調(diào)整玻璃基板Wl的朝向。另外,在此時(shí)定位部件56b及定位部件57b的側(cè)面(與玻璃基板Wl的端邊抵接的面)的間隔設(shè)置成與玻璃基板Wl的寬度大體相同或再寬一些是理想的。接著,使放置部件56及57在Y方向相互在同方向移動(dòng),把玻璃基板Wl輸送到對(duì)應(yīng)于處理裝置20的搬入搬出位置的位置(在圖16的上側(cè)圖)。由此,相對(duì)處理裝置20對(duì)玻璃基板Wl進(jìn)行定位。在本實(shí)施方式的情況下,把對(duì)應(yīng)于處理裝置20的搬入搬出位置的位置設(shè)在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的Y方向大體中央,但不限于此,例如也可以把Y方向的端部作為搬入搬出位置。接著,通過升降單元60 (未圖示)的驅(qū)動(dòng),使放置部件56及57下降到下降位置。 另外,如圖16的下側(cè)所示,驅(qū)動(dòng)位于玻璃基板Wl下方的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110和移載傳送機(jī)70,把玻璃基板Wl向處理裝置20輸送。留在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的另一張玻璃基板Wl同樣也向處理裝置20輸送。這樣,玻璃基板Wl可一張一張地向處理裝置20輸送。在圖5的下圖所示的把玻璃基板W2向處理裝置20搬入時(shí),可以采用同樣的次序,
1但也可以采用圖17至圖20所示的次序。圖17至圖20是表示從單獨(dú)輸送傳送機(jī)31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2的例子的圖。圖17的上側(cè)表示把三張玻璃基板W2同時(shí)輸送到單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的狀態(tài)。三張玻璃基板W2放置于-X側(cè)的三個(gè)“輥式傳送機(jī)單元的組”上。從該狀態(tài)起,如圖17下側(cè)所示同時(shí)把三張玻璃基板W2向+X方向輸送。接著,把中央的玻璃基板W2定位在對(duì)應(yīng)于處理裝置20的搬入搬出位置的位置。為此,使位于下降位置的放置部件56及57位于中央的玻璃基板W2的端邊附近后,上升到上升位置并由放置部件56及57放置中央的玻璃基板W2。另外,如圖18上側(cè)所示,通過使放置部件56向-Y方向移動(dòng)、使放置部件57向+Y方向移動(dòng),由定位部件56b和定位部件57b 夾持玻璃基板W2,進(jìn)行玻璃基板W2的定位。接著,通過升降單元60 (未圖示)的驅(qū)動(dòng),使放置部件56及57下降到下降位置。 另外,如圖18下側(cè)所示,驅(qū)動(dòng)位于玻璃基板W2下方的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110和移載傳送機(jī)70,把玻璃基板W2向處理裝置20輸送。接著,把留在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的兩張玻璃基板W2依次向處理裝置20輸送。 首先,把一張玻璃基板W2放置在放置部件56及57上,由定位部件56b及57b夾持,如圖19 上側(cè)所示,移動(dòng)到對(duì)應(yīng)于處理裝置20的搬入搬出位置的位置。其后,如圖19下側(cè)所示,驅(qū)動(dòng)位于玻璃基板W2下方的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110和移載傳送機(jī)70,把玻璃基板W2向處理裝置20輸送。接著,把留在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的一張玻璃基板W2向處理裝置20輸送。首先, 把玻璃基板W2放置于放置部件56及57上,由定位部件5 及57b夾持,如圖20上側(cè)所示, 移動(dòng)到對(duì)應(yīng)于處理裝置20的搬入搬出位置的位置。其后,驅(qū)動(dòng)在圖20下側(cè)位于玻璃基板 W2下方的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110和移載傳送機(jī)70,把玻璃基板W2向處理裝置20輸送?!磸奶幚硌b置搬出玻璃基板〉圖21至圖M是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 —張一張地輸送玻璃基板W1、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多張玻璃基板Wl的例子的圖。圖21的上側(cè)表示從處理裝置20搬出第一張玻璃基板Wl的狀態(tài)的。此時(shí),驅(qū)動(dòng)移載傳送機(jī)70和單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110,使玻璃基板Wl位于單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110上。接著,把玻璃基板Wl向Y方向移動(dòng)。為此,首先,如圖21下側(cè)所示,使位于下降位置的放置部件56及57位于玻璃基板Wl的端邊附近。另外,通過升降單元60 (未圖示)的驅(qū)動(dòng),使放置部件56及57上升到上升位置。由此,玻璃基板Wl成為離開輥101及111而位于放置部件56及57上的狀態(tài)。在放置部件56及57上升到上升位置后,通過把放置部件56向-Y方向移動(dòng)、把放置部件57向+Y方向移動(dòng),由定位部件56b和定位部件57b夾持玻璃基板Wl (在圖22上側(cè)的狀態(tài))。由此,可調(diào)整玻璃基板Wl的朝向。接著,使放置部件56及57在Y方向相互在同方向移動(dòng),使玻璃基板Wl向Y方向移動(dòng)。玻璃基板W1,根據(jù)其尺寸,把多張玻璃基板Wl移動(dòng)到可并列輸送的位置。在圖22下側(cè)所示的例子中,把玻璃基板Wl向+Y方向移動(dòng),移動(dòng)到單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+Y方向的端部。接著,通過升降單元60 (未圖示)的驅(qū)動(dòng),使放置部件56及57下降到下降位置。另外,如圖23上側(cè)所示,使玻璃基板Wl向-X方向移動(dòng),使玻璃基板Wl位于三個(gè)輥式傳送機(jī)單元100及三個(gè)輥式傳送機(jī)單元110上,這些輥式傳送機(jī)單元位于單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的-X 側(cè)且+Y側(cè)。在該移動(dòng)時(shí),驅(qū)動(dòng)位于+Y側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元100及六個(gè)輥式傳送機(jī)單元 110。接著,如圖23下側(cè)所示,從處理裝置20搬出第二張的玻璃基板W1。與輸送第一張玻璃基板Wl同樣,驅(qū)動(dòng)移載傳送機(jī)70和單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110,使第二張玻璃基板Wl位于單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110上。接著,通過升降單元60(未圖示)及移動(dòng)單元50的驅(qū)動(dòng),使第二張的玻璃基板Wl 向Y方向移動(dòng)。如圖24上側(cè)所示,第二張的玻璃基板Wl,向與第一張的玻璃基板Wl相反方向(-Y方向)移動(dòng)。接著,使第二張的玻璃基板Wl向-X方向移動(dòng),使玻璃基板Wl位于三個(gè)輥式傳送機(jī)單元100及三個(gè)輥式傳送機(jī)單元110上,這些輥式傳送機(jī)單元位于單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的-X側(cè)且-Y側(cè)。由此,兩張玻璃基板Wl在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上成為在Y方向排列放置的狀態(tài)。其后,兩張玻璃基板Wl同時(shí)輸送到同時(shí)輸送傳送機(jī)30。在圖5的下圖所示的從處理裝置20搬出玻璃基板W2時(shí),可采用同樣的次序,但也可采用圖25至圖28所示的次序。圖25至圖28是表示從處理裝置20向單獨(dú)輸送傳送機(jī) 31 一張一張地輸送玻璃基板W2、在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列多張玻璃基板W2的例子的圖。首先,如圖25上側(cè)所示,從處理裝置20搬出第一張玻璃基板W2。此時(shí),驅(qū)動(dòng)移載傳送機(jī)70和單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110,使第一張玻璃基板W2 位于單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110上。接著,通過升降單元60 (未圖示)及移動(dòng)單元50的驅(qū)動(dòng),如圖25下側(cè)所示,調(diào)整第一張玻璃基板W2的朝向。另外,如圖26上側(cè)所示,通過移動(dòng)單元50的驅(qū)動(dòng),使玻璃基板 W2向Y方向移動(dòng)。在圖26上側(cè)的例子中向+Y方向移動(dòng),使第一張玻璃基板W2位于三個(gè)輥式傳送機(jī)單元100上。接著,如圖26下側(cè)所示,從處理裝置20搬出第二張玻璃基板W2。與第一張玻璃基板W2的輸送同樣,驅(qū)動(dòng)移載傳送機(jī)70和單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110,使第二張玻璃基板W2位于單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110上。接著,通過升降單元60 (未圖示)及移動(dòng)單元50的驅(qū)動(dòng),如圖27上側(cè)所示,調(diào)整第二張玻璃基板W2的朝向。另外,如圖27下側(cè)所示,通過移動(dòng)單元50的驅(qū)動(dòng),使第二張玻璃基板W2向Y方向移動(dòng)。在圖27下側(cè)的例子中向+Y方向移動(dòng),使第二張玻璃基板W2位于三個(gè)輥式傳送機(jī)單元100上。接著,如圖28上側(cè)所示,從處理裝置20搬出第三張玻璃基板W2。與第一張及第二張玻璃基板W2的輸送同樣,驅(qū)動(dòng)移載傳送機(jī)70和單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110,使第三張玻璃基板W2位于單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)單元110上。接著,通過升降單元60及移動(dòng)單元50的驅(qū)動(dòng),如圖28下側(cè)所示,調(diào)整第三張玻璃基板W2的朝向。由此,形成三張玻璃基板W2在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向排列放置的
14狀態(tài)。三張玻璃基板W2放置于+X側(cè)的三個(gè)“輥式傳送機(jī)單元的組”上。其后,三張玻璃基板W2經(jīng)由-X側(cè)的三個(gè)“輥式傳送機(jī)單元的組”,同時(shí)輸送到同時(shí)輸送傳送機(jī)30上。另外,在本實(shí)施方式的情況下,把對(duì)應(yīng)于處理裝置20的搬入搬出位置的位置設(shè)在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的Y方向的大體中央,但不限于此,例如也可以把Y方向的端部作為搬入搬出位置。<玻璃基板的尺寸的特別確定>在本實(shí)施方式,如上述那樣,可輸送尺寸不同的玻璃基板Wl及W2。這是通過如下方式實(shí)現(xiàn)的,即,根據(jù)玻璃基板的尺寸及輸送位置,有選擇地驅(qū)動(dòng)構(gòu)成單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 的輥式傳送機(jī)單元100及110,以及驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元50。在輸送尺寸不同的玻璃基板時(shí),特別確定該玻璃基板的尺寸,在控制裝置200的控制的基礎(chǔ)上,需要設(shè)定尺寸。設(shè)定玻璃基板的尺寸的第一方法,在一個(gè)收納盒10只收納相同尺寸的玻璃基板, 以收納盒10單位,在控制裝置200的控制的基礎(chǔ)上設(shè)定玻璃基板的尺寸。此時(shí),以在基板輸送系統(tǒng)A上輸送的玻璃基板全部為相同尺寸的玻璃基板為前提。設(shè)定玻璃基板尺寸的第二方法,在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31中,逐一檢測(cè)玻璃基板的尺寸,在控制裝置200的控制的基礎(chǔ)上,單獨(dú)地設(shè)定玻璃基板的尺寸。此時(shí),在基板輸送系統(tǒng)A 上輸送的玻璃基板也可以不是全部相同尺寸的玻璃基板,例如,可以在收納盒10的每個(gè)狹槽中預(yù)先收納尺寸不同的玻璃基板。另外,也可以把不同尺寸的玻璃基板收納在一個(gè)狹槽內(nèi)。檢測(cè)玻璃基板尺寸的傳感器可以設(shè)于單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的X方向兩端部。例如, 可如圖1所示設(shè)置傳感器90、91。傳感器90檢測(cè)從處理裝置20搬出的玻璃基板的尺寸。 在圖1中,傳感器90在Y方向離開地設(shè)置一對(duì),在搬出了玻璃基板Wl時(shí),兩個(gè)都成為ON(接通),在搬出了玻璃基板W2時(shí),只有一個(gè)成為ON或者兩個(gè)均為OFF (斷開)。傳感器91檢測(cè)從同時(shí)輸送傳送機(jī)30向單獨(dú)輸送傳送機(jī)31輸送的玻璃基板的尺寸。傳感器91也在Y 方向離開地設(shè)置一對(duì),在輸送了玻璃基板Wl時(shí),兩個(gè)都為0N,在輸送了玻璃基板W2時(shí),只有一個(gè)設(shè)為ON或兩個(gè)均為OFF?!吹诙?shí)施方式〉在上述第一實(shí)施方式,說明了在一個(gè)收納盒10和一個(gè)處理裝置20之間輸送玻璃基板的例子,但也可以在多個(gè)收納盒10和一個(gè)處理裝置20之間輸送玻璃基板。圖四是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)B的配置的平面圖。在該圖中,對(duì)于與基板輸送系統(tǒng)A相同的構(gòu)成,附與相同的附圖標(biāo)記并省略說明,只對(duì)不同的構(gòu)成進(jìn)行說明。在基板輸送系統(tǒng)B,排列設(shè)置兩個(gè)收納盒10。兩個(gè)收納盒10在Y方向排列配置。 升降裝置80、移載傳送機(jī)32、同時(shí)輸送傳送機(jī)30及單獨(dú)輸送傳送機(jī)31在每個(gè)收納盒10都在X方向排列配置。移載傳送機(jī)70及處理裝置20從各收納盒10在X方向離開地配置,配置在一個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31的+X方向的端部側(cè)。移動(dòng)單元50配置成跨越兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31。即是,在一對(duì)基座部件51之間配置兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31,各皮帶55橫過兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31。由此,固定于各皮帶 55上的合計(jì)四個(gè)放置部件56及57可以在兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上移動(dòng)。另外,在各基座部件51的下方配設(shè)未圖示的升降單元60。在基板輸送系統(tǒng)B中,移動(dòng)單元50,不僅在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上在Y方向移動(dòng)玻璃基板,也在兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31之間在Y方向移動(dòng)玻璃基板。圖30是在兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上輸送玻璃基板W的狀態(tài)的說明圖。如該圖所示,單獨(dú)輸送傳送機(jī)31在X方向輸送玻璃基板W,移動(dòng)單元50,在Y方向移動(dòng)玻璃基板W。移動(dòng)單元50還在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31之間移動(dòng)玻璃基板W。單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的輸送張數(shù)的變換,與上述第一實(shí)施方式同樣。在本實(shí)施方式,通過移動(dòng)單元50跨越兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31地移動(dòng)玻璃基板W, 可在處理裝置20和兩個(gè)收納盒10之間分別輸送玻璃基板W,進(jìn)一步提高玻璃基板W的輸送能力。另外,在本實(shí)施方式設(shè)置了兩個(gè)收納盒10,但也可以設(shè)置三個(gè)以上的收納盒10。 此時(shí),可以把同時(shí)輸送傳送機(jī)30和單獨(dú)輸送傳送機(jī)31等設(shè)于每個(gè)收納盒10。另外,移動(dòng)單元也可以跨越各單獨(dú)輸送傳送機(jī)31地移動(dòng)玻璃基板W?!吹谌龑?shí)施方式〉在上述第二實(shí)施方式中,移動(dòng)單元50構(gòu)成為在Y方向一張一張地移動(dòng)玻璃基板W, 但也可以構(gòu)成為同時(shí)在Y方向移動(dòng)多張玻璃基板W。圖31是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)B’的配置的平面圖。在該圖中,對(duì)于與基板輸送系統(tǒng)B相同的構(gòu)成,附與相同的附圖標(biāo)記并省略說明,只對(duì)不同的構(gòu)成進(jìn)行說明。如上所述的那樣,單獨(dú)輸送傳送機(jī)31可在X方向放置多張玻璃基板W (兩張)。本實(shí)施方式的移動(dòng)單元50’可使在X方向排列的多張玻璃基板W同時(shí)在Y方向移動(dòng)。移動(dòng)單元50,共計(jì)設(shè)置八條皮帶55,+X側(cè)的四條皮帶55用于輸送放置于+X側(cè)的六個(gè)輥傳送機(jī)100及六個(gè)輥式傳送機(jī)110上的玻璃基板W,-X側(cè)的四條皮帶55用于移動(dòng)放置于-X側(cè)的六個(gè)輥式傳送機(jī)100及六個(gè)輥式傳送機(jī)110上的玻璃基板W。在各皮帶55上分別設(shè)置各一個(gè)放置部件56或57,對(duì)于一個(gè)玻璃基板W使用兩個(gè)放置部件56及兩個(gè)放置部件57。在本實(shí)施方式的情況下,各放置部件56同時(shí)移動(dòng),另外, 各放置部件57也同時(shí)移動(dòng)。但是,也可以采用單獨(dú)地移動(dòng)的構(gòu)成。移動(dòng)單元50’的基座部件51’的X方向的長(zhǎng)度比上述的基座部件51長(zhǎng),分別搭載馬達(dá)52、四個(gè)驅(qū)動(dòng)帶輪53及四個(gè)從動(dòng)帶輪54。另外,在各基座部件51’的下方配設(shè)未圖示的升降單元60。圖32及圖33是兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的玻璃基板W的輸送狀態(tài)的說明圖。如圖32所示,在本實(shí)施方式,在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31和處理裝置20之間可在X方向連續(xù)地進(jìn)行多張玻璃基板W的搬入搬出。另外,如圖33所示,移動(dòng)單元50’在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31之間可同時(shí)在Y方向移動(dòng)在X方向排列的多張玻璃基板W。在本實(shí)施方式,通過同時(shí)在Y方向移動(dòng)在X方向排列的多張玻璃基板W,可進(jìn)一步提高玻璃基板W的輸送能力。〈第四實(shí)施方式〉在上述第二實(shí)施方式,構(gòu)成為由移動(dòng)單元50及升降單元60在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31 之間在Y方向移動(dòng)玻璃基板W,但此外,也可以構(gòu)成為在同時(shí)輸送傳送機(jī)30之間在Y方向移動(dòng)玻璃基板W。圖34是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)B”的配置的平面圖。在該圖中,對(duì)于與基板輸送系統(tǒng)B相同的構(gòu)成,附與相同的附圖標(biāo)記并省略說明,只對(duì)不同的構(gòu)成進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式,在同時(shí)輸送傳送機(jī)30也設(shè)置在上述第三實(shí)施方式中說明的移動(dòng)單元50’。另外,在設(shè)于同時(shí)輸送傳送機(jī)30的移動(dòng)單元50’的各基座部件51’的下方配設(shè)未圖示的升降單元60。另外,也可以替代移動(dòng)單元50’,在同時(shí)輸送傳送機(jī)30設(shè)置上述第一及第二實(shí)施方式的移動(dòng)單元50。在本實(shí)施方式,由于在同時(shí)輸送傳送機(jī)30之間也可以使玻璃基板W在Y方向移動(dòng),所以例如在收納盒10之間轉(zhuǎn)移改變玻璃基板W時(shí),不用經(jīng)由單獨(dú)輸送傳送機(jī)31就可輸送玻璃基板W。另外,在本實(shí)施方式通過使用了移動(dòng)單元50’,在同時(shí)輸送傳送機(jī)30之間可同時(shí)在Y方向移動(dòng)在X方向排列的多張玻璃基板W,進(jìn)一步提高玻璃基板W的輸送能力。另外,對(duì)于以上說明的第二實(shí)施方式至第四實(shí)施方式所述的基板輸送系統(tǒng)B、B’、 B”,在兩個(gè)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31中,并不要求不與處理裝置20鄰接的+Y側(cè)的單獨(dú)輸送傳送機(jī)31—定單獨(dú)輸送玻璃基板。因此,替代+Y側(cè)的單獨(dú)輸送傳送機(jī)31,可以為具有可并列輸送多張玻璃基板W的寬度、不具有單獨(dú)地輸送玻璃基板W功能的傳送機(jī)(只作為同時(shí)輸送傳送機(jī)發(fā)揮功能的傳送機(jī))。此時(shí),該傳送機(jī)可以由單一的輥式傳送機(jī)單元構(gòu)成,也可以由在X方向排列的多個(gè)輥式傳送機(jī)單元構(gòu)成?!吹谖鍖?shí)施方式〉在上述第一實(shí)施方式,構(gòu)成為收納盒10在Y方向收納多張玻璃基板,移載傳送機(jī) 32在Y方向放置多張玻璃基板同時(shí)進(jìn)行輸送,但也可以構(gòu)成一張一張地輸送。在此,此時(shí)必須變換玻璃基板的輸送張數(shù)。圖35是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)C的配置的平面圖。在該圖中,對(duì)于與基板輸送系統(tǒng)A相同的構(gòu)成,附與相同的附圖標(biāo)記并省略說明,只對(duì)不同的構(gòu)成進(jìn)行說明。另外,在該圖中,省略處理裝置20、移載傳送機(jī)70、單獨(dú)輸送傳送機(jī)31及移動(dòng)單獨(dú)輸送傳送機(jī)31上的玻璃基板的移動(dòng)單元50及升降單元60。本實(shí)施方式的收納盒10’在各狹槽收納一張玻璃基板W。從收納盒10’搬出、搬入玻璃基板W的移載傳送機(jī)32’由三個(gè)輥式傳送機(jī)單元100構(gòu)成,一張一張地輸送玻璃基板 I在移載傳送機(jī)32’和同時(shí)輸送傳送機(jī)30之間設(shè)置單獨(dú)輸送傳送機(jī)31’。單獨(dú)輸送傳送機(jī)31’是與上述的單獨(dú)輸送傳送機(jī)31相同的構(gòu)成。在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31’設(shè)置移動(dòng)單元50’。移動(dòng)單元50’是與上述的移動(dòng)單元50相同的構(gòu)成。在各移動(dòng)單元50’的基座部件51的下方設(shè)置與上述的升降單元60構(gòu)成相同的升降單元(未圖示)即是,本實(shí)施方式是在基板輸送系統(tǒng)A把上述的單獨(dú)輸送傳送機(jī)31、移動(dòng)單元50 及升降單元60也設(shè)于收納盒側(cè)。但是,在從收納盒10’搬出玻璃基板W時(shí),由移載傳送機(jī) 32’ 一張一張地搬出玻璃基板W,在單獨(dú)輸送傳送機(jī)31’上在Y方向排列放置多張玻璃基板 W,向同時(shí)輸送傳送機(jī)30排列輸送。在向收納盒10’搬入玻璃基板W時(shí),從單獨(dú)輸送傳送機(jī) 31’ 一張一張地向移載傳送機(jī)32’輸送玻璃基板W,向收納盒10’搬入。〈第六實(shí)施方式〉在上述第一至第五實(shí)施方式,構(gòu)成了用皮帶傳導(dǎo)機(jī)構(gòu)使移動(dòng)單元50、50’的放置部件56及57移動(dòng),但也可以采用其他的機(jī)構(gòu)。圖36是表示放置部件56及57的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的其他例子的圖。圖36的移動(dòng)機(jī)構(gòu)是使用滾珠絲杠機(jī)構(gòu)的。在Y方向,配設(shè)軌道部件501、滾珠絲杠502,這些部件規(guī)定放置部件56及57的移動(dòng)軌跡。滾珠螺母503與滾珠絲杠502 螺紋結(jié)合,同時(shí)滾珠螺母503可在軌道部件501上滑動(dòng)。放置部件56及57固定在滾珠螺母503上。于是,通過由未圖示的馬達(dá)使?jié)L珠絲杠502轉(zhuǎn)動(dòng),放置部件56及57在Y方向移動(dòng)。 在其他情況也可以采用使用了線性馬達(dá)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外,在上述第一實(shí)施方式中,構(gòu)成了升降單元60使移動(dòng)單元50、50’整體升降, 但只要放置部件56及57可升降即可。例如,在圖36所示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的例子中,構(gòu)成為在放置部件56及57和滾珠螺母503之間設(shè)置在Z方向伸縮的致動(dòng)器,對(duì)放置部件56及57 進(jìn)行升降。
權(quán)利要求
1.一種基板輸送系統(tǒng),在收納基板的收納盒和處理所述基板的處理裝置之間輸送基板,其特征在于,具備第一傳送機(jī),該第一傳送機(jī)配置在所述收納盒側(cè),具有能夠在與所述基板的輸送方向正交的方向排列放置多張基板的寬度,能夠在所述輸送方向同時(shí)輸送所述多張基板,第二傳送機(jī),該第二傳送機(jī)在所述處理裝置側(cè)與所述第一傳送機(jī)連續(xù)配置,具有能夠在與所述輸送方向正交的方向上排列放置所述多張基板的寬度,能夠在所述輸送方向?qū)⑺龆鄰埢鍐为?dú)地輸送,移動(dòng)單元,該移動(dòng)單元具有放置所述第二傳送機(jī)上的所述基板的放置部,在所述第二傳送機(jī)上在與所述輸送方向正交的方向移動(dòng)所述基板,升降單元,該升降單元使所述放置部和所述第二傳送機(jī)相對(duì)地升降,和檢測(cè)所述第二傳送機(jī)上的所述基板的尺寸的傳感器。
2.如權(quán)利要求1所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,所述移動(dòng)單元根據(jù)所述傳感器所檢測(cè)到的所述基板的尺寸,在與所述輸送方向正交的方向上移動(dòng)所述基板。
3.如權(quán)利要求1或2所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,還具備第三傳送機(jī),該第三傳送機(jī)與所述第一傳送機(jī)連續(xù)且配置在所述收納盒的下部,放置被收納于所述收納盒的所述基板并在所述輸送方向進(jìn)行輸送,升降裝置,該升降裝置使所述收納盒和所述第三傳送機(jī)相對(duì)地升降; 所述收納盒在上下方向具有多個(gè)收納所述基板的狹槽, 各狹槽能夠在與所述輸送方向正交的方向收納所述多張基板, 所述第三傳送機(jī)具有能夠在與所述輸送方向正交的方向排列放置所述多張基板的寬度,在所述輸送方向同時(shí)輸送所述多張基板。
4.如權(quán)利要求1或2所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,所述第二傳送機(jī)具備根據(jù)所述基板的尺寸有選擇地被驅(qū)動(dòng)的多個(gè)傳送機(jī)單元。
5.如權(quán)利要求1或2所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,所述移動(dòng)單元移動(dòng)所述基板并且調(diào)整所述基板的朝向。
6.如權(quán)利要求1或2所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,所述第一傳送機(jī)具有能夠在所述輸送方向排列放置多張基板的長(zhǎng)度。
7.如權(quán)利要求1或2所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,所述第一及第二傳送機(jī)由多個(gè)輥式傳送機(jī)單元構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求3所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,所述第三傳送機(jī)由多個(gè)輥式傳送機(jī)單元構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求1或2所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,所述收納盒和所述處理裝置在所述輸送方向離開地配置。
10.如權(quán)利要求2所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,所述移動(dòng)單元使從所述處理裝置被一張一張地搬出到所述第二傳送機(jī)上的所述基板依次在與所述輸送方向正交的方向上移動(dòng), 多張所述基板在所述第二傳送機(jī)上形成為在與所述輸送方向正交的方向上排列放置的狀態(tài)。
11.如權(quán)利要求2所述的基板輸送系統(tǒng),其特征在于,所述移動(dòng)單元使放置在所述第二傳送機(jī)上的所述多張基板依次移動(dòng)到規(guī)定位置,所述第二傳送機(jī)將通過所述移動(dòng)單元移動(dòng)到所述規(guī)定位置的所述基板一張一張地依次朝向所述處理裝置輸送。
全文摘要
本發(fā)明提供在基板的收納盒和處理裝置之間輸送基板的基板輸送系統(tǒng)。該基板輸送系統(tǒng)具有可同時(shí)輸送多張基板的第一傳送機(jī),與所述第一傳送機(jī)連續(xù)配置、在所述輸送方向可將所述多張基板單獨(dú)地輸送的第二傳送機(jī),具有放置所述第二傳送機(jī)上的所述基板的放置部、在所述第二傳送機(jī)上在與所述輸送方向正交的方向移動(dòng)所述基板的移動(dòng)單元,使所述放置部與所述第二傳送機(jī)相對(duì)升降的升降單元。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102491090SQ20111040793
公開日2012年6月13日 申請(qǐng)日期2007年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月19日
發(fā)明者堀健彥, 蒲生徹 申請(qǐng)人:平田機(jī)工株式會(huì)社
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