專利名稱：補(bǔ)液裝置及包括該補(bǔ)液裝置的太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于太陽電池技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)，尤其涉及該濕法刻蝕系統(tǒng)的補(bǔ)液裝置。
背景技術(shù)：
由于常規(guī)能源供給的有限性和環(huán)保壓力的增加，目前世界上許多國家掀起了開發(fā)利用太陽能和可再生能源的熱潮，太陽能利用技術(shù)得到了快速的發(fā)展，其中利用半導(dǎo)體的光生伏特效應(yīng)將太陽能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿睦迷絹碓綇V泛。而太陽電池就是其中最為普遍被用來將太陽能轉(zhuǎn)換為電能的器件。太陽電池是通過太陽電池片(例如單晶硅太陽電池片)經(jīng)過濕法刻蝕工藝等步驟后制成的，例如，制絨工藝和刻蝕去邊工藝等濕法刻蝕工藝。為保證太陽電池的成品率，在·濕法刻蝕多批太陽電池片時(shí)，需要保持濕法刻蝕液的各成分的濃度以及體積基本恒定。因此，通常地，現(xiàn)有的太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)都設(shè)置有自動(dòng)補(bǔ)液裝置。圖I所示為現(xiàn)有技術(shù)的太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。濕法刻蝕系統(tǒng)100包括反應(yīng)槽150、自動(dòng)補(bǔ)液裝置130和集中供液裝置110 ;反應(yīng)槽150中置放大量反應(yīng)溶液，太陽電池片可以分批地置放于反應(yīng)槽150中進(jìn)行刻蝕；自動(dòng)補(bǔ)液裝置130用于向反應(yīng)槽150補(bǔ)充某一種藥液，通常地，反應(yīng)溶液是通過多種藥液與水混合形成，因此，自動(dòng)補(bǔ)液裝置130可以根據(jù)藥液成分相應(yīng)設(shè)置為多個(gè)(圖中未示出)；集中供液裝置110用于向每個(gè)自動(dòng)補(bǔ)液裝置130補(bǔ)充相應(yīng)的藥液。如圖I所示，自動(dòng)補(bǔ)液裝置130包括補(bǔ)液容器131、液位管133以及朝下設(shè)置的自動(dòng)加液管139，液位管133與補(bǔ)液容器131相連通，從而補(bǔ)液容器131中藥液的液位可以在液位管133上得到反映。液位管133上設(shè)置有低液位感應(yīng)器1331、工作液位感應(yīng)器1333以及高液位感應(yīng)器1335。由于補(bǔ)液容器通常用來盛放高濃度酸堿液，液位感應(yīng)器(特別是工作液位感應(yīng)器1333)容易由于其所處的酸堿環(huán)境而失靈或者靈敏度失準(zhǔn)。這樣，在向補(bǔ)液容器131中添加藥液時(shí)，由于工作液位感應(yīng)器1333發(fā)送錯(cuò)誤信息可能會(huì)導(dǎo)致藥液添加不準(zhǔn)確，并且可能由于低液位感應(yīng)器1331和高液位感應(yīng)器1335產(chǎn)生誤感應(yīng)，也不能準(zhǔn)確向反應(yīng)槽150內(nèi)準(zhǔn)確補(bǔ)充藥液。因此，保證液位感應(yīng)器的準(zhǔn)確性對(duì)太陽電池的生產(chǎn)非常重要，需要對(duì)液位感應(yīng)器經(jīng)常進(jìn)行校準(zhǔn)。但是，液位感應(yīng)器(1331、1333和/或1335)在進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)，以光電式液位感應(yīng)器為例，由于自動(dòng)補(bǔ)液裝置130中的液位感應(yīng)器是根據(jù)光電感應(yīng)原理進(jìn)行工作的，當(dāng)液位感應(yīng)器的發(fā)射極與接收極之間有液體時(shí)，液位感應(yīng)器就處于工作狀態(tài)，此時(shí)很難進(jìn)行對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)，所以必須在液位管133中沒有藥液的情形下進(jìn)行(為了保證自動(dòng)補(bǔ)液測量的準(zhǔn)確，一般不允許挪移液位感應(yīng)器的位置)。對(duì)于其它類型感應(yīng)器，也存在類似情形。因此，圖I所示的濕法刻蝕系統(tǒng)100通常采用先停止運(yùn)行、并在停止運(yùn)行狀態(tài)下排掉補(bǔ)液容器131中的藥液來進(jìn)行液位感應(yīng)器的校準(zhǔn)。以上校準(zhǔn)過程明顯地具有過程繁瑣、效率低、藥液浪費(fèi)嚴(yán)重的缺點(diǎn)，并且排掉的藥液會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)槽150中的溶液濃度失調(diào)、空置的自動(dòng)補(bǔ)液裝置130也難以在短時(shí)間內(nèi)通過集中供液裝置110來補(bǔ)充至預(yù)定容積。另外，自動(dòng)補(bǔ)液裝置130通過自動(dòng)加液管139向反應(yīng)槽150補(bǔ)充藥液時(shí)，其主要是為了在太陽電池生產(chǎn)時(shí)保持濕法刻蝕液的各成分的濃度以及體積基本恒定，因此，其流速比較慢(例如以單位毫升/秒來定量表示)。如果需要以非自動(dòng)方式向反應(yīng)槽150中大量補(bǔ)充藥液時(shí)，自動(dòng)補(bǔ)液裝置130在正常狀態(tài)下是難以在短時(shí)間內(nèi)完成的。因此，通常是先停止運(yùn)行濕法刻蝕系統(tǒng)100、使自動(dòng)補(bǔ)液裝置130進(jìn)入手動(dòng)狀態(tài)、再向反應(yīng)槽150相對(duì)快速補(bǔ)充藥液、再停止運(yùn)行濕法刻蝕系統(tǒng)100、使自動(dòng)補(bǔ)液裝置130進(jìn)入自動(dòng)狀態(tài)等過程后才能進(jìn)入正常生產(chǎn)狀態(tài)。由此可知，在向反應(yīng)槽150大量補(bǔ)充藥液時(shí)，過程繁瑣且效率低。有鑒于此，有必要提出一種新型的補(bǔ)液裝置
發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的之一在于，方便、高效地實(shí)現(xiàn)對(duì)補(bǔ)液裝置的液位管上的液位感應(yīng)器進(jìn)行校準(zhǔn)。本發(fā)明的又一目的在于，避免補(bǔ)液裝置中的藥液浪費(fèi)。本發(fā)明的再一目的在于，易于保證反應(yīng)槽中的溶液濃度穩(wěn)定。本發(fā)明的還一目的在于，方便、高效地通過補(bǔ)液裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)反應(yīng)槽進(jìn)行大量藥液補(bǔ)充。為實(shí)現(xiàn)以上目的或者其它目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案。按照本發(fā)明的一方面，提供一種補(bǔ)液裝置，其包括
補(bǔ)液容器；
液位管；
液位感應(yīng)器，其設(shè)置于所述液位管上；
手動(dòng)加液管，其與所述液位管連通；
第一閥門，其用于控制所述補(bǔ)液容器是否與所述液位管和所述手動(dòng)加液管連通； 第二閥門和流量計(jì)，其設(shè)置于所述手動(dòng)加液管上；以及 自動(dòng)加液管。按照本發(fā)明提供的補(bǔ)液裝置的一實(shí)施例，所述液位管和所述補(bǔ)液容器之間設(shè)置連通管，所述第一閥門設(shè)置于所述連通管上。在以上所述的補(bǔ)液裝置中，較佳地，所述連通管上設(shè)置T形管，所述T形管用于實(shí)現(xiàn)所述連通管同時(shí)與所述液位管和手動(dòng)加液管連通。在以上所述的補(bǔ)液裝置中，較佳地，所述液位感應(yīng)器包括在所述液位管上由上至下依次設(shè)置的高液位感應(yīng)器、工作液位感應(yīng)器和低液位感應(yīng)器。在以上所述的補(bǔ)液裝置中，較佳地，所述液位感應(yīng)器為光電式液位感應(yīng)器。在以上所述的補(bǔ)液裝置中，較佳地，所述手動(dòng)加液管的內(nèi)徑范圍可以為I厘米至I. 5厘米。在以上所述的補(bǔ)液裝置中，較佳地，所述補(bǔ)液裝置處于正常的自動(dòng)模式時(shí)，所述第一閥門打開，所述第二閥門關(guān)閉。在以上所述的補(bǔ)液裝置中，較佳地，所述補(bǔ)液裝置處于校準(zhǔn)模式時(shí)，所述第一閥門關(guān)閉，所述第二閥門打開。
在以上所述的補(bǔ)液裝置中，較佳地，所述補(bǔ)液裝置以非自動(dòng)模式向所述反應(yīng)槽快速補(bǔ)充藥液時(shí)，所述第一閥門打開，所述第二閥門打開。按照本發(fā)明的又一方面，提供一種太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)，其包括
一個(gè)或一個(gè)以上所述述及的任一種補(bǔ)液裝置；
反應(yīng)槽，其用于為所述太陽電池硅片提供反應(yīng)溶液；以及 集中供液裝置，其用于為所述補(bǔ)液裝置提供相應(yīng)的藥液；
其中，所述補(bǔ)液裝置用于向所述反應(yīng)槽定量地補(bǔ)充相應(yīng)藥液。本發(fā)明的技術(shù)效果是，通過控制第一閥門和第二閥門，可以使補(bǔ)液裝置工作于正常的自動(dòng)模式、校準(zhǔn)模式以及手動(dòng)模式；工作于自動(dòng)模式時(shí)，同樣能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)準(zhǔn)確地向反應(yīng)槽補(bǔ)充藥液；工作于校準(zhǔn)模式時(shí)，過程簡單、效率高，其不需要放空補(bǔ)液容器中的藥液，避 免出現(xiàn)藥液浪費(fèi)和反應(yīng)槽的溶液濃度失調(diào)的情形；工作于手動(dòng)模式時(shí)，以非自動(dòng)模式向反應(yīng)槽大量補(bǔ)充藥液，其不需要停止運(yùn)行濕法刻蝕系統(tǒng)，過程方便、簡單且高效。


從結(jié)合附圖的以下詳細(xì)說明中，將會(huì)使本發(fā)明的上述和其它目的及優(yōu)點(diǎn)更加完全清楚，其中，相同或相似的要素采用相同的標(biāo)號(hào)表示。圖I是現(xiàn)有技術(shù)的太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是按照本發(fā)明一實(shí)施例提供的太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面介紹的是本發(fā)明的多個(gè)可能實(shí)施例中的一些，旨在提供對(duì)本發(fā)明的基本了解。并不旨在確認(rèn)本發(fā)明的關(guān)鍵或決定性的要素或限定所要保護(hù)的范圍。容易理解，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案，在不變更本發(fā)明的實(shí)質(zhì)精神下，本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員可以提出可相互替換的其它實(shí)現(xiàn)方式。因此，以下具體實(shí)施方式
以及附圖僅是對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案的示例性說明，而不應(yīng)當(dāng)視為本發(fā)明的全部或者視為對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案的限定或限制。圖2所示為按照本發(fā)明一實(shí)施例提供的太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。下面的描述中，為描述的清楚和簡明，并沒有對(duì)濕法刻蝕系統(tǒng)(圖2中示出的或者未示出的)的所有多個(gè)部件進(jìn)行描述。附圖中示出的多個(gè)部件是為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員提供本發(fā)明的完全能夠?qū)崿F(xiàn)而公開的內(nèi)容。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，許多部件設(shè)置及操作都是熟悉而且明顯的。如圖2所示，太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)300包括反應(yīng)槽350、補(bǔ)液裝置330和集中供液裝置310。其中，反應(yīng)槽350中置放大量反應(yīng)溶液(例如刻蝕溶液)，通常地，反應(yīng)溶液通過各種藥液與水按比例地調(diào)配形成，其溶液濃度在濕法刻蝕的生產(chǎn)過程中必須保持恒定，從而有利于保證產(chǎn)品的一致性；太陽電池片可以分批地置放于反應(yīng)槽350進(jìn)行刻蝕；在其它實(shí)例中，需要刻蝕的太陽電池片也可以處于其它容器中(圖中未示出)，該其它容器以反應(yīng)槽350為中心并與其連通，從而可以循環(huán)地向其它容器提供反應(yīng)溶液。因此，反應(yīng)槽350的主要功能在于向太陽電池硅片直接地或者間接地向太陽電池硅片的濕法刻蝕提供反應(yīng)溶液。反應(yīng)槽350的具體結(jié)構(gòu)形式不受本發(fā)明實(shí)施例限制。根據(jù)反應(yīng)溶液的成分，可以相應(yīng)地設(shè)置一個(gè)或多個(gè)如圖2中所示的補(bǔ)液裝置330(圖2中僅示意性地給出了其中的一個(gè))，在濕法刻蝕的過程中，反應(yīng)槽350中的反應(yīng)溶液的濃度會(huì)不斷發(fā)生變化，反應(yīng)溶液的體積也可能發(fā)生變化。因此，需要補(bǔ)液裝置330在濕法刻蝕的生產(chǎn)過程中不斷向反應(yīng)槽350中以預(yù)定速率定量地自動(dòng)補(bǔ)充其所盛放的藥液，以使反應(yīng)槽350中的反應(yīng)溶液的濃度和/或體積基本保持恒定。其中，自動(dòng)補(bǔ)充的速率以及時(shí)間等參數(shù)是本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)太陽電池片的刻蝕條件、數(shù)量等因素計(jì)算得出的。而集中供液裝置310用于向每個(gè)補(bǔ)液裝置330提供相應(yīng)的藥液。繼續(xù)參閱圖2，補(bǔ)液裝置330包括補(bǔ)液容器331、液位管333，補(bǔ)液容器331和液位管333之間設(shè)置有連通管332，從而將液位管和補(bǔ)液容器331連通；進(jìn)一步，在連通管332上設(shè)置有第一閥門334，通過第一閥門334，可以控制補(bǔ)液容器331與液位管333是否連通，即，當(dāng)?shù)谝婚y門334打開時(shí)，補(bǔ)液容器331中藥液的液位可以在液位管333上得到反映，如果第一閥門334關(guān)閉時(shí)，補(bǔ)液容器331中藥液不能流向液位管333。進(jìn)一步，液位管333上由上至下依次設(shè)置有高液位感應(yīng)器3335、工作液位感應(yīng)器3333和低液位感應(yīng)器3331 ;其中，工作液位感應(yīng)器3333用于檢測補(bǔ)液容器331的藥液的工作液位，通過工作液位感應(yīng)器3333的反饋信息，濕法刻蝕系統(tǒng)300的控制系統(tǒng)(圖中未示出)控制集中供液裝置310和補(bǔ)液裝置330 ;高液位感應(yīng)器3335用于在工作液位感應(yīng)器3333失靈時(shí)、進(jìn)一步檢測藥的液·位，以保證液位不會(huì)流出補(bǔ)液容器331 (例如，高液位感應(yīng)器3335檢測到信息時(shí)濕法刻蝕系統(tǒng)300開始報(bào)警)，從而保證濕法刻蝕的安全性；低液位感應(yīng)器3331用于在補(bǔ)液裝置330向反應(yīng)槽350中補(bǔ)液時(shí)，監(jiān)控補(bǔ)液容器331的最低液位，并配合濕法刻蝕系統(tǒng)300的控制系統(tǒng)計(jì)算出補(bǔ)液容器331的排空時(shí)間，從而使?jié)穹涛g系統(tǒng)300及時(shí)運(yùn)行后續(xù)程序。高液位感應(yīng)器3335、工作液位感應(yīng)器3333和低液位感應(yīng)器3331的具體設(shè)置位置根據(jù)具體情況來設(shè)定，其中，以光電感應(yīng)原理工作的光電式液位感應(yīng)器為例(例如采用德國RECHNER公司的M18FLUSH12mm-PTFE型號(hào)感應(yīng)器)，如背景技術(shù)中所描述，液位感應(yīng)器(特別是工作液位感應(yīng)器3333)容易由于其所處的酸堿環(huán)境而失靈或者靈敏度失準(zhǔn)，三個(gè)液位感應(yīng)器的校準(zhǔn)非常重要。繼續(xù)如圖2所示，在連通管332上還朝下設(shè)置有手動(dòng)加液管335，手動(dòng)加液管335的一頭在第一閥門334與液位管333之間接通連通管332，其另一頭朝向反應(yīng)槽350。在該實(shí)施例中，可以在連通管332上設(shè)置T形管，從而實(shí)現(xiàn)同時(shí)與液位管333和手動(dòng)加液管335的連通。同樣地，第一閥門334可以控制補(bǔ)液容器331與手動(dòng)加液管335是否連通，即，當(dāng)?shù)谝婚y門334打開時(shí)，補(bǔ)液容器331中藥液可以流入手動(dòng)加液管335，如果第一閥門334關(guān)閉時(shí)，補(bǔ)液容器331中藥液不能流向手動(dòng)加液管335。在手動(dòng)加液管335上，還設(shè)置有第二閥門336和流量計(jì)337，第二閥門336也可以控制連通管332中的藥液是否流至反應(yīng)槽350，流量計(jì)337用于計(jì)量從手動(dòng)加液管335添加至反應(yīng)槽350的藥液體積。補(bǔ)液裝置330的基本工作原理如下
補(bǔ)液裝置330處于正常的自動(dòng)模式時(shí)，也即高液位感應(yīng)器3335、工作液位感應(yīng)器3333和低液位感應(yīng)器3331均處于正常狀態(tài)時(shí)，第一閥門334打開、第二閥門336關(guān)閉，其基本工作原理與圖I所示的自動(dòng)補(bǔ)液裝置130的工作原理基本相同。補(bǔ)液裝置330處于校準(zhǔn)模式時(shí)，也即需要對(duì)高液位感應(yīng)器3335、工作液位感應(yīng)器3333和/或低液位感應(yīng)器3331進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)，第一閥門334關(guān)閉，阻斷補(bǔ)液容器331中的藥液流入液位管333，從而使液位管333處于控制狀態(tài)，從而可以方便地對(duì)各個(gè)液位感應(yīng)器進(jìn)行校準(zhǔn)，過程簡單、效率高，其不需要放空補(bǔ)液容器331中藥液，避免出現(xiàn)藥液浪費(fèi)和反應(yīng)槽的溶液濃度失調(diào)的情形。補(bǔ)液裝置330以非自動(dòng)模式向反應(yīng)槽大量補(bǔ)充藥液時(shí)，打開第一閥門334和第二閥門336，從而使補(bǔ)液容器331中的藥液可直接通過連通管332、手動(dòng)加液管335向反應(yīng)槽350快速注入藥液，因此，手動(dòng)加液管335是用來快速向反應(yīng)槽350大量補(bǔ)充藥液。手動(dòng)加液管335上所設(shè)置的流量計(jì)337可以用來計(jì)量通過手動(dòng)加液管335向反應(yīng)槽350所補(bǔ)充的溶液。較佳地，手動(dòng)加液管335的內(nèi)徑可以設(shè)置在1-1. 5厘米的范圍內(nèi)，其相對(duì)于自動(dòng)加液管339(由于自動(dòng)加液管中會(huì)設(shè)置堵片以降低自動(dòng)加液時(shí)的流速、從而更精確地控制自動(dòng)模式下的藥液補(bǔ)充量)，藥液的流速更快。例如，在發(fā)現(xiàn)反應(yīng)槽350內(nèi)的溶液的某一組分的濃度大大偏低時(shí)，經(jīng)過計(jì)算需要向反應(yīng)槽350內(nèi)快速補(bǔ)充12升的相應(yīng)藥液，如果以自動(dòng)模式來補(bǔ)充該藥液，可能需要30分鐘，如果以背景技術(shù)中所描述的先停止刻蝕系統(tǒng)運(yùn)行再通過自動(dòng)加液管339補(bǔ)充藥液，可能需要15分鐘，而根據(jù)以上方式(非自動(dòng)模式)補(bǔ)充藥液時(shí)，整個(gè)過程可能只需要2分鐘即可完成。因此，對(duì)反應(yīng)槽進(jìn)行大量藥液補(bǔ)充時(shí)，不需要停止運(yùn)行濕法刻蝕系統(tǒng)，過程方便簡單且高效。在藥液補(bǔ)充結(jié)束時(shí)，關(guān)閉第二閥門336即可。 因此，濕法刻蝕系統(tǒng)300通過對(duì)補(bǔ)液裝置330進(jìn)行改進(jìn)，很好地整合了液位感應(yīng)器的校準(zhǔn)、自動(dòng)準(zhǔn)確向反應(yīng)槽補(bǔ)充溶液、以及手動(dòng)快速高效向反應(yīng)槽大量補(bǔ)充溶液等幾方面的要求，有利于提高太陽電池的成品率及生成效率，并降低成本。以上例子主要說明了本發(fā)明的太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)及其中的補(bǔ)液裝置。盡管只對(duì)其中一些本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了描述，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，本發(fā)明可以在不偏離其主旨與范圍內(nèi)以許多其他的形式實(shí)施。因此，所展示的例子與實(shí)施方式被視為示意性的而非限制性的，在不脫離如所附各權(quán)利要求所定義的本發(fā)明精神及范圍的情況下，本發(fā)明可能涵蓋各種的修改與替換。
權(quán)利要求
1.一種補(bǔ)液裝置，其特征在于，包括 補(bǔ)液容器； 液位管； 液位感應(yīng)器，其設(shè)置于所述液位管上； 手動(dòng)加液管，其與所述液位管連通； 第一閥門，其用于控制所述補(bǔ)液容器是否與所述液位管和所述手動(dòng)加液管連通； 第二閥門和流量計(jì)，其設(shè)置于所述手動(dòng)加液管上；以及 自動(dòng)加液管。
2.如權(quán)利要求I所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述液位管和所述補(bǔ)液容器之間設(shè)置連通管，所述第一閥門設(shè)置于所述連通管上。
3.如權(quán)利要求2所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述連通管上設(shè)置T形管，所述T形管用于實(shí)現(xiàn)所述連通管同時(shí)與所述液位管和手動(dòng)加液管連通。
4.如權(quán)利要求I所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述液位感應(yīng)器包括在所述液位管上由上至下依次設(shè)置的高液位感應(yīng)器、工作液位感應(yīng)器和低液位感應(yīng)器。
5.如權(quán)利要求I或4所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述液位感應(yīng)器為光電式液位感應(yīng)器。
6.如權(quán)利要求I所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述手動(dòng)加液管的內(nèi)徑范圍為I厘米至I. 5厘米。
7.如權(quán)利要求I所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述補(bǔ)液裝置處于正常的自動(dòng)模式時(shí)，所述第一閥門打開，所述第二閥門關(guān)閉。
8.如權(quán)利要求I所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述補(bǔ)液裝置處于校準(zhǔn)模式時(shí)，所述第一閥門關(guān)閉，所述第二閥門打開。
9.如權(quán)利要求I所述的補(bǔ)液裝置，其特征在于，所述補(bǔ)液裝置以非自動(dòng)模式向所述反應(yīng)槽快速補(bǔ)充藥液時(shí)，所述第一閥門打開，所述第二閥門打開。
10.一種太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)，其特征在于，包括 一個(gè)或一個(gè)以上如權(quán)利要求I至9中任一項(xiàng)所述的補(bǔ)液裝置； 反應(yīng)槽，其用于為所述太陽電池硅片提供反應(yīng)溶液；以及 集中供液裝置，其用于為所述補(bǔ)液裝置提供相應(yīng)的藥液； 其中，所述補(bǔ)液裝置用于向所述反應(yīng)槽定量地補(bǔ)充相應(yīng)藥液。
全文摘要
本發(fā)明提供一種補(bǔ)液裝置以及包括所述補(bǔ)液裝置的太陽電池片的濕法刻蝕系統(tǒng)，屬于太陽電池技術(shù)領(lǐng)域。該補(bǔ)液裝置其包括補(bǔ)液容器、液位管、設(shè)置于所述液位管上的液位感應(yīng)器、與所述液位管連通的手動(dòng)加液管、第一閥門、設(shè)置于所述手動(dòng)加液管上的第二閥門和流量計(jì)、以及自動(dòng)加液管。該濕法刻蝕系統(tǒng)包括該補(bǔ)液裝置，補(bǔ)液裝置用于向反應(yīng)槽定量地補(bǔ)充相應(yīng)藥液。通過控制第一閥門和第二閥門，該補(bǔ)液裝置可以工作于三種模式，液位感應(yīng)器的校準(zhǔn)簡單并方便，以非自動(dòng)模式向反應(yīng)槽大量補(bǔ)充藥液，其不需要停止運(yùn)行濕法刻蝕系統(tǒng)，過程方便、簡單且高效。
文檔編號(hào)H01L31/18GK102828184SQ20111016019
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2011年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月15日
發(fā)明者暢西林, 榮道蘭, 曹韻, 韓啟明 申請(qǐng)人:尚德太陽能電力有限公司, 無錫尚德太陽能電力有限公司