專利名稱：一種硅片干法刻蝕前的整理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光伏產(chǎn)業(yè)的一種太陽能電池生產(chǎn)過程中對中間產(chǎn)品操作工藝過程的改進(jìn)，具體是一種硅片干法刻蝕前的整理方法。
背景技術(shù)：
在目前單晶硅太陽能電池的生產(chǎn)工藝流程中，硅片在經(jīng)過制絨和擴(kuò)散工序后，進(jìn)入到去除擴(kuò)散過程中形成的周邊PN結(jié)這一工序，進(jìn)行該工序的硅片大都采用等離子干法刻蝕方法來完成的。在對硅片進(jìn)入刻蝕工序前，將數(shù)百張的硅片需要經(jīng)過人工在工作平臺上小心翼翼地來回捋平，直到整理均齊后放置到夾具上，但在放置的過程中硅片又難免會產(chǎn)生移動，此時，操作人員往往不會在意，而是直接擰緊夾具上的螺栓，將夾具上的硅片置入刻蝕機(jī)內(nèi)刻蝕。對于操作人員來說，影響刻蝕效果除了與設(shè)定刻蝕時間長短等相關(guān)因素有關(guān)外， 還與硅片整理的均齊程度有直接關(guān)系。一般來說，將數(shù)百片的硅片通過人工整理得很均齊是有一定難度的，操作不當(dāng)還會導(dǎo)致硅片受損，若是整理的均齊程度不一，對硅片的刻蝕效果會出現(xiàn)差異，最終使得電池片的光電轉(zhuǎn)換效率受到影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出一種硅片干法刻蝕前的整理方法，涉及到硅片、夾具、支撐架、夾具絲杠加力桿、微型振動器、手柄、按鈕、微型振動器PP板和支撐架PP板共9個部件，通過該方法整理后的硅片均齊程度可達(dá)到手工整理無法滿足的效果。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是一種硅片干法刻蝕前的整理方法，具體包括以下步驟a.將夾具置放在支撐架上。b.取出200片裝的一組硅片，按工藝要求將上面的一張硅片翻面，并在上下面各襯墊一張泡沫片后，放入支撐架上的夾具中，使硅片下部互相垂直的兩個側(cè)邊分別與支撐架PP板的兩個直角面接觸。c.同上述的操作過程一樣，將后面的幾組硅片依次放入支撐架上的夾具中。d. 一只手握住微型振動器的手柄，并拿起將微型振動器，將微型振動器PP板對準(zhǔn)硅片上部的兩個側(cè)邊輕輕地放下，使微型振動器PP板與硅片上部的兩個側(cè)邊接觸。e.握住微型振動器手柄的一只手手指啟動微型振動器按鈕，使微型振動器開始振動，振動力通過微型振動器PP板均勻傳遞到所有硅片的兩個側(cè)邊，所有硅片在受到該振動力作用下，四個側(cè)邊將與支撐架PP板和微型振動器PP板密切接觸。f.在微型振動器開始振動時，另一只手同時握住夾具絲杠加力桿并開始旋動，逐步擰緊絲杠，微型振動器在振動5秒鐘后所有硅片將被自動整理得均勻整齊，繼而關(guān)停微型振動器按鈕，隨后擰緊夾具絲杠加力桿，并將硅片隨夾具從支撐架上取下，待進(jìn)入刻蝕機(jī)進(jìn)行刻蝕。
本發(fā)明中，微型振動器的頻率及振幅與手持電動按摩器相同本發(fā)明中，支撐架是設(shè)置呈水平狀的，且支撐架pp板上的兩個面與微型振動器PP 板下的兩個面各自均呈直角方式設(shè)置。本發(fā)明中，支撐架是金屬材料制作的，支撐架PP板和微型振動器PP板的兩個面均分別采用具有柔性的PP有機(jī)材料制作，以降低金屬材料對硅片的損壞。本發(fā)明技術(shù)方案的有益效果是具有操作方法簡單，易于學(xué)習(xí)掌握的優(yōu)點，從上道工序轉(zhuǎn)移過來200片裝的一組硅片后，不必放在工作臺上采用手工捋齊的方法進(jìn)行整理， 而是直接放入支撐架上的夾具中按本發(fā)明的方法進(jìn)行整理，從而簡化了操作程序，降低了勞動強(qiáng)度，提高了工作效率，也降低了硅片的破損率。同時通過本發(fā)明后硅片的均齊程度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于手工整理無法滿足的效果，對于提高硅片刻蝕的均勻性將十分有利，對影響硅片的光電轉(zhuǎn)換效率也減少了一個方面的因素。


下面結(jié)合附圖和實例對本發(fā)明進(jìn)一步說明圖1是本發(fā)明的正面圖。圖2是圖1的A向側(cè)視圖。圖中標(biāo)記1、硅片，2、夾具，3、支撐架，4、夾具絲杠加力桿，5、微型振動器，6、手柄，7、按鈕，8、 微型振動器PP板，9、支撐架PP板，
具體實施例方式如圖1、2所示，本發(fā)明中的實施過程是先將夾具2置放在支撐架3上，然后取出從上道擴(kuò)散工序傳遞過來200片裝的一組硅片1，按工藝要求將上面的一張硅片翻面，并在上下面各襯墊一張泡沫片后，隨即放入支撐架3上的夾具2中，使硅片1下部互相垂直的兩個側(cè)邊分別與支撐架PP板9的兩個直角面接觸，隨后同上述的操作過程一樣，將后面的幾組硅片1依次放入支撐架3上的夾具2中。一只手握住微型振動器5的手柄6并拿起微型振動器5，將微型振動器pp板8對準(zhǔn)夾具2上硅片1上部的兩個側(cè)邊輕輕地放下，使微型振動器pp板8與硅片1上部的兩個側(cè)邊接觸。握住微型振動器5手柄6的一只手手指啟動微型振動器5的按鈕7，使微型振動器5開始振動，振動力通過微型振動器pp板8均勻傳遞到所有硅片1的兩個側(cè)邊，所有硅片1在受到該振動力作用下，四個側(cè)邊將與支撐架PP板8和微型振動器pp板9密切接觸。在微型振動器5開始振動時，另一只手同時握住夾具絲杠加力桿4并開始旋動，逐步擰緊絲杠，微型振動器5在振動5秒鐘后所有硅片1將被自動整理得均勻整齊，繼而關(guān)停微型振動器5的按鈕7，隨后擰緊夾具絲杠加力桿4，并將硅片1隨夾具2從支撐架3上取下，待進(jìn)入刻蝕機(jī)進(jìn)行刻蝕。
權(quán)利要求
1.一種硅片干法刻蝕前的整理方法，其特征在于，所述方法涉及到硅片(1)、夾具O)、 支撐架(3)、夾具絲杠加力桿G)、微型振動器(5)、手柄(6)、按鈕(7)、微型振動器PP板 ⑶、支撐架PP板(9)共9個部件，并包括以下步驟a.將夾具( 置放在支撐架( 上；b.取出200片裝的一組硅片(1)，按工藝要求將上面的一張硅片(1)翻面，并在上下面各襯墊一張泡沫片后，放入支撐架3上的夾具( 中，使硅片(1)下部互相垂直的兩個側(cè)邊分別與支撐架PP板(9)的兩個直角面接觸；c.同上述的操作過程一樣，將后面的幾組硅片(1)依次放入支撐架C3)上的夾具(2)中；d.一只手握住微型振動器( 的手柄(6)，并拿起將微型振動器(5)，將微型振動器pp 板(8)對準(zhǔn)硅片(1)上部的兩個側(cè)邊輕輕地放下，使微型振動器pp板(8)與硅片(1)上部的兩個側(cè)邊接觸；e.握住微型振動器( 手柄(6)的一只手手指啟動微型振動器( 按鈕(7)，使微型振動器( 開始振動，振動力通過微型振動器PP板(8)均勻傳遞到所有硅片(1)的兩個側(cè)邊，所有硅片(1)在受到該振動力作用下，四個側(cè)邊將與支撐架PP板(9)和微型振動器PP 板⑶密切接觸；f.在微型振動器(5)開始振動時，另一只手同時握住夾具絲杠加力桿(4)并開始旋動， 逐步擰緊絲杠，微型振動器( 在振動5秒鐘后所有硅片(1)將被自動整理得均勻整齊，繼而關(guān)停微型振動器( 按鈕(7)，隨后擰緊夾具絲杠加力桿G)，并將硅片(1)隨夾具(2) 從支撐架( 上取下，待進(jìn)入刻蝕機(jī)進(jìn)行刻蝕。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片干法刻蝕前的整理方法，其特征在于，所述微型振動器的頻率及振幅與手持電動按摩器相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片干法刻蝕前的整理方法，其特征在于，所述支撐架 (3)是設(shè)置呈水平狀的，且支撐架pp板(9)上的兩個面與微型振動器pp板下的兩個面各自均呈直角方式設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片干法刻蝕前的整理方法，其特征在于，所述支撐架 (3)是金屬材料制作的，支撐架pp板(9)和微型振動器pp板(8)的兩個面均分別采用具有柔性的PP有機(jī)材料制作，以降低金屬材料對硅片(1)的損壞。
全文摘要
本發(fā)明為光伏行業(yè)的太陽能電池生產(chǎn)操作過程中對硅片干法刻蝕前整理方法上的改進(jìn)，主要涉及到硅片、夾具、支撐架、微型振動器、微型振動器pp板和支撐架pp板幾個主要部件。方法是從上道工序轉(zhuǎn)過來硅片，直接放入支撐架上的夾具中，后手持微型振動器放在硅片的兩個側(cè)邊并啟動，產(chǎn)生的振動力通過微型振動器pp板傳遞到所有硅片的兩個側(cè)邊，隨后所有硅片四個側(cè)邊將與微型振動器PP板和微型振動器pp板密切接觸，5秒鐘后所有硅片整理的均勻程度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于手工整理無法滿足的效果。本發(fā)明對于提高硅片刻蝕的均勻性十分有利，對影響硅片的光電轉(zhuǎn)換效率將減少了一個方面的因素。本發(fā)明具有操作方法簡單易學(xué)，降低勞動強(qiáng)度，提高工作效率，降低硅片破損率的優(yōu)點。
文檔編號H01L21/683GK102184881SQ20111008416
公開日2011年9月14日 申請日期2011年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月1日
發(fā)明者鄭用琦 申請人:百力達(dá)太陽能股份有限公司