專利名稱：層壓裝置、固化處理裝置、載體板、層壓加工系統(tǒng)和層壓方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于制造太陽能電池面板等的層壓構(gòu)造體的層壓裝置、固化處理裝置、載體板、層壓加工系統(tǒng)和層壓方法。
背景技術(shù)：
太陽能電池面板通過層壓加工來制造，該層壓加工是對將玻璃板、填充材料、太陽能電池CELL、填充材料、背板等構(gòu)成部件疊層的太陽能電池組件(疊層材料)加熱壓制而形成為規(guī)定的厚度。作為用于制造太陽能電池面板的層壓裝置，有使用日本特開 2008-47765(日本國公開專利公報)記載的隔膜的裝置。在日本特開2008-47765中所記載的現(xiàn)有的層壓裝置包括通過具有伸縮性的隔膜分割的上下一對的腔室。在其中一個腔室內(nèi)設(shè)置熱盤，在熱盤與隔膜之間配置太陽能電池組件。如果對配置有太陽能電池組件的一個腔室抽真空，將另一個腔室向大氣開放，那么， 隔膜就會向內(nèi)壓低的一個腔室一側(cè)突出，太陽能電池組件在熱盤與隔膜之間被加熱壓制 (成形壓制)。另外，太陽能電池面板在氣溫變化劇烈的室外環(huán)境下長期使用。因此，為了提高熱穩(wěn)定性，對成形后的太陽能電池組件施以長期的加熱處理(固化處理)。作為用于進行固化處理的裝置，具有日本特開平11-238898號公報(日本國公開專利公報)中所記載的多層儲藏箱型的固化爐裝置。使用這種多層儲藏箱型的固化爐裝置，能夠同時對多個太陽能電池組件進行固化處理，并且能夠有效地進行需要長時間的固化處理。

發(fā)明內(nèi)容
日本特開平11-238898號中所述的固化爐裝置利用內(nèi)置的加熱器的輻射和爐內(nèi)的加熱空氣產(chǎn)生的熱傳導來加熱疊層材料。因此，固化爐裝置的固化處理向疊層材料的熱傳導效率差，固化處理所需時間長。另外，為了均勻地加熱太陽能電池組件，必須使太陽能電池組件與加熱器保持一定的距離。因此，固化爐裝置對疊層材料的加熱存在熱效率低的缺點。另外，日本特開2008-47765中所述的現(xiàn)有的隔膜式的層壓裝置采用在真空下對疊層材料加熱壓制的結(jié)構(gòu)。因此，使因加熱而融化的填充材料向疊層材料的外部流出，存在不能適當實施層壓加工的情況。另外，如果填充材料流出到疊層材料的外部，那么，就會附著在腔室內(nèi)壁上，妨礙下一次層壓加工。因此，當填充材料向疊層材料的外部流出時必須清掃腔室內(nèi)壁，除去附著在腔室內(nèi)壁上的填充材料，成為導致作業(yè)效率下降的原因。本發(fā)明就是鑒于上述情況而產(chǎn)生的。本發(fā)明的特征之一在于，在提供一種熱效率高且能夠短時間有效地進行固化處理的固化處理裝置方面是有用的。另外，本發(fā)明的特征之一在于，在提供一種在成形壓制過程中填充材料難以流出的太陽能電池面板的層壓加工方法和太陽能電池面板用層壓加工裝置方面是有用的。
根據(jù)本發(fā)明的實施方式，提供一種進行固化處理的固化處理裝置，該固化處理對將太陽能電池的構(gòu)成部件疊層并通過層壓而成形的太陽能電池組件加熱使太陽能電池組件的熱反應(yīng)結(jié)束。本發(fā)明的固化處理裝置包括上部可動盤；配置于上部可動盤的下方的下部可動盤；配置于上部可動盤與下部可動盤之間的至少一個中間可動盤；對上部可動盤、下部可動盤和中間可動盤進行加熱的加熱單元；上下驅(qū)動下部可動盤的可動盤驅(qū)動單元；用于將太陽能電池組件配置于可動盤之間并取出配置于該可動盤之間的該太陽能電池組件的搬送單元；和控制單元，上部可動盤和中間可動盤在其下表面設(shè)置有彈性膜，并包括能夠在下表面與彈性膜之間的空間施加正壓的空氣泵，控制單元能夠使固化處理裝置以搬送模式和壓縮模式進行動作。其中，搬送模式為，選擇在上下方向上相鄰的一對可動盤，選擇性地擴大已選擇的該一對可動盤的間隔，相對于該一對可動盤之間，能夠搬入和搬出太陽能電池組件；壓縮模式為，使下部可動盤上升，形成該太陽能電池組件被夾持在一對可動盤之間的狀態(tài)，接著，驅(qū)動空氣泵，在該太陽能電池組件的上側(cè)的可動盤的下表面與該上側(cè)的可動盤的彈性膜之間的空間施加正壓，形成該彈性膜對該太陽能電池組件進行壓制的狀態(tài)?？刂茊卧慨攲⒃搲嚎s模式切換成該搬送模式時，按照規(guī)定的順序切換在該搬送模式中選擇的一對可動盤。如果利用上述結(jié)構(gòu)的固化處理裝置進行固化處理，則太陽能電池組件被夾持在已被加熱的下側(cè)的可動盤與已被上側(cè)的可動盤加熱的彈性膜之間，太陽能電池組件被加熱。 這樣，太陽能電池組件通過與可動盤和彈性膜的接觸而被加熱，因此，與使用固化爐的情況相比，能夠短時間進行固化處理。另外，在本結(jié)構(gòu)中，作為熱源的可動盤與太陽能電池組件接近，因此，來自可動盤的熱量被毫不浪費地傳遞給太陽能電池組件，熱能量的損失小。上述固化處理裝置還可以包括可動盤保持單元，該可動盤保持單元進行固定，使得多個中間可動盤和上部可動盤中的一個不會下降至規(guī)定高度以下，這種情況下，控制單元在搬送模式下，控制可動盤保持單元，以固定已選擇的一對可動盤的上側(cè)的可動盤，并且使下部可動盤下降，由此，擴大已選擇的一對可動盤的間隔。如上所述，通過采用可動盤保持單元，無需設(shè)置多個驅(qū)動荷重大的可動盤的機構(gòu)， 能夠?qū)崿F(xiàn)小型且低成本的固化處理裝置。例如，在本發(fā)明的幾個實施方式中，在多個中間可動盤和上部可動盤的側(cè)面形成大致沿著水平方向延伸的孔，可動盤保持單元具有被保持在規(guī)定高度的固定部；相對于固定部能夠進退的桿；和驅(qū)動桿的驅(qū)動部。在這種情況下，使桿從固定部突出并插入可動盤的孔中，由此，將可動盤固定在規(guī)定高度。這樣，通過凹部(孔)與凸部(桿)的卡合來保持可動盤的結(jié)構(gòu)不需要用于保持荷重大的可動盤的能量。另外，也不需要復(fù)雜的機構(gòu)，提供一種低成本牢固的可動盤保持單兀。另外，本發(fā)明的幾個實施方式中的搬送單元是相對于太陽能電池組件，設(shè)置在與該太陽能電池組件的搬送方向和上下方向垂直的寬度方向兩側(cè)的傳送帶。該傳送帶能夠在搬送位置和退避位置之間移動，所述搬送位置為能夠搬送太陽能電池組件的位置，所述退避位置為從該搬送位置向?qū)挾确较蛲鈧?cè)移動而不與太陽能電池組件干擾的位置，控制單元在壓縮模式下，在太陽能電池組件從傳送帶上移動至所述可動盤上之后，使傳送帶向退避位置移動。
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另外，根據(jù)本發(fā)明的實施方式，提供一種進行固化處理的固化處理裝置，該固化處理對將層壓構(gòu)造體的構(gòu)成部件疊層并通過層壓而成形的疊層體加熱并使該疊層體穩(wěn)定化。 該固化處理裝置包括上部可動盤；配置于上部可動盤的下方的下部可動盤；按照上下排列的方式配置于上部可動盤與下部可動盤之間的至少一個中間可動盤；配置于可動盤間的隔膜；使任意的相互相鄰的一對可動盤上下分離的可動盤隔離機構(gòu)；和內(nèi)壓控制單元，其控制在相互相鄰的一對可動盤未分離時形成于可動盤之間的由隔膜分開的腔室的內(nèi)壓，任意的相互相鄰的可動盤的至少一個包括加熱器，通過內(nèi)壓的控制，在包括加熱器的至少一個可動盤與隔膜之間夾持疊層體，由此，能夠進行固化處理。如果使用上述結(jié)構(gòu)的固化處理裝置，那么，由于在隔膜緊貼在已經(jīng)將疊層體加熱的可動盤上的狀態(tài)下進行固化處理，因此，疊層體在均勻的溫度下被迅速加熱。因此，能夠在短時間內(nèi)進行熱效率高且高精度的固化處理。可動盤隔離機構(gòu)也可以包括上下驅(qū)動下部可動盤的可動盤驅(qū)動單元；和將上部可動盤和中間可動盤的任意一個保持在規(guī)定高度的保持單元。作為典型，可動盤隔離機構(gòu)通過可動盤驅(qū)動單元來驅(qū)動下部可動盤，將任意的相鄰的一對可動盤的上側(cè)的一個移動至規(guī)定高度，通過保持單元將上側(cè)的一個可動盤保持在規(guī)定高度，進而通過可動盤驅(qū)動單元驅(qū)動下部可動盤，使下側(cè)的另一個可動盤下降，由此， 使任意的相互相鄰的一對可動盤上下分離。通過如所述那樣采用保持單元，不必設(shè)置多個驅(qū)動重量大的可動盤的機構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)小型的裝置。另外，作為典型，層壓構(gòu)造體是太陽能電池，疊層體是將太陽能電池的構(gòu)成部件疊層而形成的太陽能電池組件。另外，根據(jù)本發(fā)明的實施方式，提供一種適合包括脆性部件的層壓構(gòu)造體的層壓加工的載體板。本發(fā)明的實施方式的載體板構(gòu)成為，包括具有中空部的實質(zhì)上是剛體的框體；和以覆蓋框體的中空部的方式固定于框體的上表面的具有可撓性的薄板?？蝮w的中空部具有能夠收納可動盤的大小。另外，該載體板在薄板上載置有將層壓構(gòu)造體的構(gòu)成部件疊層的疊層體的狀態(tài)下，配置于層壓的可動盤間，能夠與疊層體一同被壓制。通過使用這種結(jié)構(gòu)的載體板，防止因搬送過程中的振動使包含于層壓構(gòu)造體中的脆性部件(例如太陽能電池等的玻璃基板等)破損。另外，在每個載體板上都能加工疊層體，因此，無需在每個工藝中從載體板上替換疊層體，能夠進行有效的加工。根據(jù)本發(fā)明的實施方式，提供一種層壓方法控制由隔膜分開的第一腔室和第二腔室的內(nèi)壓，在配置于第一腔室的第一熱盤與隔膜之間對疊層體進行加熱壓制而使該疊層體形成層壓構(gòu)造體。該層壓方法包括使第二腔室的內(nèi)壓比第一腔室的內(nèi)壓高，由此，對疊層體加熱壓制而使該疊層體成形的壓制成形步驟，在壓制成形步驟中，不使第一腔室為真空，將第一腔室的內(nèi)壓控制在包含在疊層體中的填充材料的流出被抑制的規(guī)定的壓力范圍內(nèi)。。根據(jù)這種層壓方法，由于疊層體在一定的氣壓下被加熱壓制，因此，壓制成形時不會使熔化的填充材料中的氣泡因減壓而膨脹，而將填充材料推出到疊層體外部，能夠制造成品率高且品質(zhì)優(yōu)良的層壓構(gòu)造體。另外，也不需要擦拭從疊層體流出而附著在熱盤或隔膜上的填充材料的作業(yè)。
另外，上述層壓方法優(yōu)選還包括在所述壓制成形步驟之前，使所述第一腔室的內(nèi)壓為負壓，從所述疊層體中除去氣泡的真空脫泡步驟。通過在壓制成形前除去氣泡，抑制在壓制成形時發(fā)生的填充材料的流出。另外，殘留在層壓構(gòu)造體中的氣泡會對層壓構(gòu)造體的性能和長期可靠性產(chǎn)生影響，因此，通過導入真空脫泡的步驟，提高加工后的層壓構(gòu)造體的品質(zhì)。優(yōu)選在壓制成形步驟之前，按照隔膜體不對層疊體加壓的方式，將第二腔室的內(nèi)壓控制在與第一腔室的內(nèi)壓相同程度以下。如果利用隔膜對在壓制成形前包含氣泡的狀態(tài)的疊層體進行壓制，那么，因疊層體中的氣泡的膨脹和移動，已軟化的填充材料就會被擠壓到疊層體外部。特別是如果在真空脫泡中的減壓下對疊層體進行壓制，那么，加上氣壓差引起的氣泡的膨脹，填充材料向疊層體外流出的問題變得明顯。因此，通過進行上述的內(nèi)壓控制，填充材料從壓制成形前的疊層體的流出被控制。優(yōu)選還包括在壓制成形步驟之前，使第二腔室的內(nèi)壓比第一腔室的內(nèi)壓低，由此， 使隔膜緊貼在配置于第二腔室的第二熱盤上而將隔膜加熱的隔膜加熱步驟。這樣，通過在壓制成形前加熱隔膜，在壓制成形步驟中，疊層體從兩面被均勻地加熱，因此，能夠獲得殘余變形少，且長期穩(wěn)定性良好的層壓構(gòu)造。還可以包括在壓制成形步驟之后，加熱疊層體直至填充材料變得穩(wěn)定的固化步驟。將層壓加工的工藝分成較短時間完成的壓制成形步驟和需要長時間的固化步驟，使用單獨的裝置來進行各個步驟，由此，能夠大幅提高生產(chǎn)效率。此處，壓制成形步驟是在層壓加工的工藝中以保持疊層體的形狀的程度，加熱壓制疊層體，直至填充材料的流動性消失， 而形成規(guī)定的形狀的處理。在壓制成形步驟結(jié)束的階段，填充材料未充分硬化(反應(yīng))，處于不穩(wěn)定的狀態(tài)。固化步驟是加熱被壓制成形的疊層體，進行填充材料的硬化，直至達到確保層壓構(gòu)造體所要求的性能(例如長期可靠性等)所需的水平。此外，在壓制成形后，填充材料的流動幾乎消失，因此，在固化步驟中，即使在真空中對疊層體進行加壓，也不會發(fā)生填充材料從疊層體中流出這樣的問題。因此，在固化步驟中，也可以在真空中加熱壓制疊層體。另外，根據(jù)本發(fā)明的實施方式，提供一種使計算機中執(zhí)行上述層壓方法的程序。


圖1是本發(fā)明的實施方式的層壓加工系統(tǒng)的外觀圖。圖2是表示本發(fā)明的實施方式的控制裝置的概略結(jié)構(gòu)的模塊圖。圖3是本發(fā)明的實施方式的載體板的立體圖。圖4是本發(fā)明的實施方式的層壓裝置的側(cè)視圖。圖5是本發(fā)明的實施方式的層壓裝置的固定盤及可動盤的截面圖。圖6是表示本發(fā)明的實施方式的層壓步驟的流程圖。圖7是本發(fā)明的實施方式的固化裝置的主視圖。圖8是表示本發(fā)明的實施方式的固化處理步驟的流程圖。
具體實施例方式下面，參照附圖，對本發(fā)明的實施方式進行詳細的說明。圖1是本發(fā)明的實施方式的太陽能電池用層壓加工系統(tǒng)1的外觀圖。層壓加工系統(tǒng)1包括疊層裝置100、搬入用傳送帶200、層壓裝置300、固化處理裝置400、搬出用傳送帶500、以及控制裝置700?？刂蒲b置700通過通信電纜與構(gòu)成層壓加工系統(tǒng)1的各個裝置連接，控制各個裝置的動作。疊層裝置100是一種將構(gòu)成太陽能電池的多個部件(例如，玻璃板、填充材料、太陽能電池元件、填充材料及背板)重疊來組裝太陽能電池組件A的裝置。由疊層裝置100 組裝的太陽能電池組件A被搬入用傳送帶200搬送至層壓裝置300。層壓裝置300對太陽能電池組件A進行加熱壓制，形成為規(guī)定厚度的板狀體。此外，層壓裝置300的加熱壓制一直進行到壓制溫度下的填充材料的流動性實質(zhì)上消失。成形后的太陽能電池組件A被內(nèi)置于層壓裝置300的搬送單元搬送至固化處理裝置400。固化處理裝置400在由層壓裝置300所成形的太陽能電池組件A上施加用于保持形狀的輕的壓力同時進行加熱的固化處理，使作為熱硬化性樹脂的太陽能電池組件A的填充材料穩(wěn)定化。通過以上的處理來制造太陽能電池面板。結(jié)束固化處理而完成的太陽能電池面板被搬出用傳送帶500從層壓加工系統(tǒng)1中搬出。以上的一系列處理是通過控制裝置700控制疊層裝置100、搬入用傳送帶200、層壓裝置300、固化處理裝置400、以及搬出用傳送帶500來進行的。圖2是表示控制裝置 700的概略結(jié)構(gòu)的模塊圖。控制裝置700包括記錄有用于控制層壓加工系統(tǒng)1的控制程序721的ROM (Read Only Memory，只讀存儲器)720 ；讀出記錄在R0M720中的程序并運行的 CPU (Central Processing Unit，中央處理器)710 ；作為主存儲裝置的 RAM (Random-Access Memory,隨機存儲器)730 ；進行與構(gòu)成層壓加工系統(tǒng)1的各個裝置的通信的通信界面740 ； 以及作為顯示層壓加工系統(tǒng)1的操作狀態(tài)并受理用戶輸入的觸控面板顯示器的顯示裝置 750。本實施方式的控制程序721除了包括用于控制例如被加工品的交接時間調(diào)整等各個裝置的聯(lián)合操作的控制以外，也包括用于控制后述的層壓裝置300所進行的層壓處理(圖 6)和固化處理裝置400所進行的固化處理(圖8)的子程序，層壓處理和固化處理在控制裝置700的控制下進行。在本實施方式中，太陽能電池組件A和加工后的太陽能電池面板在被載置于以下說明的載體板800上的狀態(tài)下被搬送，由層壓裝置300和固化處理裝置400對載體板800 逐個壓制。圖3是在本實施方式中所使用的載體板800的立體圖。本實施方式的載體板800 具有在中央部形成中空部H的框體810 ；和以覆蓋中空部H的方式而固定在框體810的上面的薄板820。薄板820例如被粘結(jié)劑固定在框體810上?？蝮w810是具有在太陽能電池面板的制造工藝中實質(zhì)上不變形(實質(zhì)上是剛體) 程度的足夠的剛性的構(gòu)造材料。另外，框體810采用金屬或耐熱性樹脂(例如聚酰亞胺樹脂)形成，以在加熱壓制時也保持足夠的剛性。在本實施方式中，使用通過不銹鋼鋼板的折曲加工而形成的框體810。另外，薄板820是柔軟地支承作為脆性部件的太陽能電池元件和玻璃板以保護其不受到?jīng)_擊的具有可撓性的低剛性的支承部件。為了反復(fù)加熱壓制也不會破損，薄板 820采用在高溫下也具有足夠的強度的氟樹脂片材、纖維強化耐熱樹脂片材、或者金屬薄板 (例如不銹鋼鋼板或銅板)等耐熱材料形成。另外，將薄板820的厚度設(shè)定在兼具耐久性和柔軟性的范圍。例如，在使用以聚酰亞胺作為母材的碳纖維強化塑料形成的薄板820的情況下，將薄板820的厚度設(shè)定在0. 05 1.5毫米的范圍，優(yōu)選0.5 1.0毫米的范圍。在載體板800中，薄板820的周邊緣部被背裱在框體810上而喪失柔軟性，但面對中空部H的中央部保持有柔軟性。太陽能電池組件A被配置在具有柔軟性的薄板820的中央部的上表面，被薄板820柔軟地支承。另外，當載體板800被搬入用傳送帶200和搬出用傳送帶500等搬送單元搬送時，框體810被搬送單元支承。因此，在搬送過程中不會有強烈的沖擊施加在載置于載體板800上的太陽能電池組件A上，防止搬送過程中的太陽能電池組件A的破損。下面，對層壓裝置300的結(jié)構(gòu)進行說明。圖4是層壓裝置300的側(cè)視圖。層壓裝置300包括用于搬送載置有太陽能電池組件A的載體板800的一對傳送帶310 (圖中僅表示前面?zhèn)鹊囊粋€)。此外，在以下的說明中，將載置有太陽能電池組件A的載體板800的搬送方向(圖4中的左右方向)定義為“搬送方向”，將與搬送方向垂直的水平方向(圖4中與紙面垂直的方向)定義為“寬度方向”。一對傳送帶310沿著寬度方向并列地配置。在一對傳送帶310之間配置固定盤320。另外，在固定盤320的上方設(shè)有可動盤 330。固定盤320被固定在層壓轉(zhuǎn)頭固執(zhí)300的框架上。另外，可動盤330借助氣缸單元被固定在框架上，利用氣缸單元340能夠沿著上下方向驅(qū)動。將載置有太陽能電池組件A的載體板800配置于固定盤320的上表面，接著，使可動盤330下降，在將太陽能電池組件A 夾在可動盤330與固定盤320之間的狀態(tài)下，進行使用了后述的隔膜333的太陽能電池組件A的層壓。此外，為了使固定盤320與載體板800的框體810不干擾，按照固定盤320的整個上表面被收納在載體板800的中空部H(圖幻內(nèi)的方式來設(shè)定固定盤320的寬度方向以及進深方向的尺寸。另外，傳送帶310利用未圖示的致動器能夠沿著上下方向移動。當傳送帶310搬送載置了太陽能電池組件A的載體板800時，傳送帶310的上表面311移動至比固定盤320 的上表面321高的位置。因此，載體板800和太陽能電池組件A以不與固定盤320干擾的方式被搬送。另一方面，當進行太陽能電池組件A的層壓時，傳送帶310的上表面311移動至固定盤320的上表面321低的位置，變成載體板800的薄板820被直接載置在固定盤320 的上表面321的狀態(tài)。此時，框體810變成借助薄板820從固定盤320的上表面321垂下的狀態(tài)。下面，對利用固定盤320和可動盤330層壓太陽能電池組件A的層壓方法進行說明。圖5(a) (e)是在與搬送方向垂直的面上剖切層壓過程中的固定盤320和可動盤330 的截面圖。另外，圖6是說明層壓處理的流程圖。如圖5所示，可動盤330包括可動盤主體331 ；和安裝于可動盤主體331的下表面331a的框部332?？虿?32采用耐熱性橡膠等彈性材料形成?？虿?32具有上部框體 332a和下部框體332b。在上部框體33 與下部框體332b之間夾持有關(guān)閉框部332的開口的隔膜333。隔膜333是具有伸縮性、氣密性和耐熱性的片狀部件，利用粘結(jié)劑與上部框體33 及下部框體332b氣密地接合。由此，在可動盤主體331上形成被隔膜333、可動盤主體331的下表面331a和框部332(具體而言，為上部框體332a)所圍成的上部腔室UC。 另外，在可動盤主體331設(shè)有將上部腔室UC與外部空間連通的連通路徑331c。在可動盤主體331的下表面331a與側(cè)面上形成連通路徑331c的開口。在設(shè)置于可動盤主體331的側(cè)面的連通路徑331c的開口處連接未圖示的真空泵和壓縮機(或者高壓氣體瓶)，能夠?qū)ι?br> 11部腔室UC內(nèi)加壓和減壓。另外，在可動盤主體331與固定盤320中內(nèi)置有未圖示的加熱器，通過該加熱器， 可動盤主體331與固定盤320被保持在將太陽能電池組件A加熱至成形溫度所需的溫度。在進行層壓之前，首先利用搬入用傳送帶200，將載置有太陽能電池組件A的載體板800搬送至可動盤330與固定盤320之間(Si)。圖5 (a)表示步驟Sl完成后的狀態(tài)。接著，利用與可動盤主體331的連通路徑331c連接的真空泵對上部腔室UC減壓 (S2)。圖5(b)表示步驟S2完成后的狀態(tài)。如圖5(b)所示，此時，因上部腔室UC的內(nèi)壓與大氣壓的壓力差，上部腔室UC的體積縮小。S卩，隔膜333向上部腔室UC側(cè)突出，與可動盤主體331的下表面331a接觸。因該接觸，熱量從可動盤主體331迅速向隔膜333移動，隔膜333被快速加熱至太陽能電池組件A的加工溫度。接著，使傳送帶310(圖4)下降(S3)，如圖5(c)所示，載體板800的薄板820被載置在固定盤320之上。接著，可動盤330向下方移動，變成載體板800的薄板820被框部 332的下表面與固定盤320的上表面321夾持的狀態(tài)(S4)。此處，由彈性材料形成的框部 332緊貼薄板820。即，框部332發(fā)揮襯墊的功能，形成被載體板800的薄板820、框部332、 和隔膜333密閉的下部腔室LC。在框部332的下部框體332b上形成沿著水平方向貫通的連通路徑332c。在形成于下部框體332b的外側(cè)面的連通路徑332c的開口處，連接有未圖示的真空泵和傳送帶(或者高壓氣瓶)，能夠?qū)ο虏壳皇襆C內(nèi)加壓和減壓。此外，在步驟 S4之前，連通路徑332c向大氣開放，下部腔室LC內(nèi)被保持在大氣壓。另外，上部腔室UC被保持在負壓，隔膜333被可動盤主體331繼續(xù)加熱。接著，利用與下部框體332b的連通路徑332c連接的真空泵，將下部腔室LC減壓至與上部腔室UC大體相同的內(nèi)壓，保持一定時間的減壓狀態(tài)(SO。此時，上部腔室UC與下部腔室LC的內(nèi)壓大致相等，因此，如圖5(d)所示，隔膜333返回大致平坦的自然狀態(tài)。另夕卜，隔膜333從可動盤主體331的下表面331a分離，因此，不被加熱。但是，上部腔室UC與下部腔室LC的內(nèi)部接近真空狀態(tài)，因此，來自隔膜333的散熱量較少，隔膜333的溫度幾乎不下降，被大致保持在一定溫度。另外，此時，太陽能電池組件A借助載體板800的薄板820 與被加熱的固定盤320接觸。因此，熱量從固定盤320迅速地向太陽能電池組件A移動，太陽能電池組件A的溫度快速上升至加工溫度，包含在太陽能電池組件A中的填充材料軟化。 另外，太陽能電池組件A的周圍(下部腔室LC內(nèi))是接近真空的低壓，因此，包含在軟化的填充材料中的氣泡被釋放，填充材料在短時間內(nèi)被脫泡。另外，此時，上部腔室UC與下部腔室LC的內(nèi)壓大致相等，因此，因上下腔室的內(nèi)壓差，隔膜333不會對太陽能電池組件A加壓。因此，如現(xiàn)有的隔膜式層壓裝置那樣，在真空中壓制填充材料已軟化的太陽能電池組件 A，由此，填充材料不會與膨脹的氣泡一同從太陽能電池組件A的端部流出。另外，在下部腔室LC的減壓過程中，下部腔室LC也被保持在內(nèi)壓比上部腔室UC高的狀態(tài)。因此，在下部腔室LC的減壓過程中，隔膜333也不會對太陽能電池組件A加壓。在下部腔室LC的減壓過程中，太陽能電池組件A的填充材料也因從固定盤320傳來的熱量而軟化。另外，在該階段的填充材料中包含大量的氣泡，下部腔室LC的內(nèi)壓減少，同時填充材料的氣泡膨脹。如果對這種狀態(tài)下的太陽能電池組件A壓制，那么，因壓制而施加在填充材料上的壓力、與因氣泡的膨脹而施加在填充材料上的壓力的共同作用，容易發(fā)生使軟化的填充材料從太陽能電池組件A的端部流出的現(xiàn)象。因此，如上述那樣，采用在下部腔室LC的減壓過程中不對太陽能電池組件A加壓的結(jié)構(gòu)，由此，防止填充材料從太陽能電池組件A的端部流出。接著，將上部腔室UC與下部腔室LC的內(nèi)壓保持在大致相同的壓力，并使兩腔室的內(nèi)壓逐漸上升至大氣壓(S6)。此時，在兩腔室間幾乎沒有內(nèi)壓差，因此，隔膜333保持圖 5(d)所示的形態(tài)。因此，在升壓過程中，隔膜333也不會對太陽能電池組件A加壓。如果上部腔室UC與下部腔室LC的內(nèi)壓到達大氣壓，則下部腔室LC被保持在大氣壓，利用與可動盤主體331的連通路徑331c連接的壓縮機，將上部腔室UC的內(nèi)壓加壓至正壓(加壓)(S7)。此時，如圖5 (e)所示，因兩腔室的內(nèi)壓差，上部腔室UC膨脹，隔膜333向下部腔室LC側(cè)突出而緊貼在太陽能電池組件A的上表面。隔膜333在與固定盤320之間， 按照與兩腔室的內(nèi)壓差大致相等的加壓，對被加熱的太陽能電池組件A加壓。此時，填充材料中的氣泡幾乎已經(jīng)被除去，太陽能電池組件A的周圍變成與氣泡的內(nèi)壓大致相同的大氣壓，因此，壓制過程中軟化的填充材料不會隨著氣泡的膨脹從太陽能電池組件A的端部流出。另外，如上所述，隔膜333被預(yù)先加熱至適當?shù)臏囟龋虼?，通過與太陽能電池組件A的接觸，從太陽能電池組件A奪走大量的熱量，不會在太陽能電池組件A上產(chǎn)生不均一的溫度分布。因此，太陽能電池組件A在被加熱至大致均一的溫度的狀態(tài)下被壓制，因此，能夠制造殘留熱應(yīng)力較少的均一厚度的太陽能電池面板。如果規(guī)定時間的加熱壓制結(jié)束，則上部腔室UC的內(nèi)壓被減壓至大氣壓(S8)。如果上部腔室UC的內(nèi)壓被減壓至大氣壓，則隔膜333的形態(tài)返回圖5(d)所示的狀態(tài)?？蓜颖P 330向上方移動，框部332從載體板800的薄板820分離(S9)。接著，傳送帶310上升，載體板800的薄板820被傳送帶310抬起，從固定盤320的上表面321離開(SlO)，驅(qū)動傳送帶310將載置有成形后的太陽能電池組件A的載體板800搬送至固化處理裝置400 (Sll)。下面，對本發(fā)明的實施方式的固化處理裝置400的結(jié)構(gòu)進行說明。圖7是從搬送方向觀察固化處理裝置400的主視圖。如圖7所示，固化處理裝置400包括沿著上下方向排列的上部可動盤411、第一中間可動盤421、第二中間可動盤422、第三中間可動盤423和下部可動盤431。在相鄰的可動盤間分別配置一個載置有太陽能電池組件A的載體板800， 固化處理裝置400最多能夠同時固化處理四個太陽能電池組件A。上部可動盤411、第一中間可動盤421、第二中間可動盤422、和第三中間可動盤423按照相對于固化處理裝置400 的框架能夠沿上下方向自由移動的方式設(shè)置。另外，固化處理裝置400包括相對于框架沿著上下方向驅(qū)動下部可動盤431的驅(qū)動單元441。驅(qū)動單元441是進給絲杠機構(gòu)等的能夠精密地控制下部可動盤431的高度的驅(qū)動機構(gòu)。上部可動盤411、第一中間可動盤421、第二中間可動盤422和第三中間可動盤423 具有與層壓裝置300的可動盤330(圖5)大致相同的結(jié)構(gòu)。即，加熱器內(nèi)置于上部可動盤 411和各個中間可動盤421 423的主體中，在主體的下表面設(shè)有張結(jié)有隔膜333的框體。 在形成于上部可動盤411和各個中間可動盤421 423的框體的連通路徑，連接用于調(diào)節(jié)上部腔室UC或下部腔室LC內(nèi)的氣壓的未圖示的真空泵和/或壓縮機(或者高壓氣瓶)。另外，下部可動盤431是與層壓裝置300的固定盤320(圖5)大致相同的結(jié)構(gòu)。 艮口，在下部可動盤431中內(nèi)置有加熱器。當利用固化處理裝置400對太陽能電池組件A進行固化處理時，利用驅(qū)動單元 441，使下部可動盤431上升。如果下部可動盤431上升，則第三中間可動盤423、第二中間可動盤422、第一中間可動盤421、和上部可動盤411依次被下部可動盤431抬起。因上部可動盤411和各個中間可動盤421 423的自重，載體板800被夾持在上下的可動盤之間。配置于下部可動盤431或各個中間可動盤421 423之上的太陽能電池組件A隔著載體板800與這些可動盤接觸，從下側(cè)被加熱。另外，在載體板800被下側(cè)的可動盤431 或中間可動盤421 423與上側(cè)的中間可動盤421 423或上部可動盤411的框部夾持的狀態(tài)下，利用壓縮機在上部腔室UC內(nèi)施加比下部腔室LC高的內(nèi)壓，將空氣從下部腔室LC 擠壓出來(或者利用真空泵將空氣從下部腔室LC中排出)，由此，設(shè)置于上側(cè)的中間可動盤421 423或上部可動盤411的下表面的隔膜333向下部腔室LC側(cè)突出并緊貼太陽能電池組件A。各個中間可動盤421 423和上部可動盤411被內(nèi)置的加熱器加熱，該熱量借助上部腔室UC內(nèi)的空氣，和/或借助在固化處理前緊貼上側(cè)的可動盤421 423及411 被加熱的隔膜333向太陽能電池組件A移動，由此，太陽能電池組件A也從上側(cè)被加熱。這樣，太陽能電池組件A從上下兩個方向被加熱，由此，進行太陽能電池組件A的固化處理，形成太陽能電池。下面，對在固化處理裝置400的各個可動盤間配置太陽能電池組件A，進而從各個可動盤間取出太陽能電池組件A的結(jié)構(gòu)進行說明。本實施方式的固化處理裝置400包括一對傳送帶450，該傳送帶450從層壓裝置300的傳送帶310 (圖4)接受載置有固化處理前的太陽能電池組件A的載體板800，向固化處理裝置400的可動盤間移動，將載置有固化處理后的太陽能電池組件A的載體板800交給搬出用傳送帶500。傳送帶450能夠在能夠搬送載體板800的搬送位置(圖7中實線部)、與從搬送位置向?qū)挾确较蛲鈧?cè)斜下方移動的退避位置(圖7中的虛線部)之間移動。搬送位置的傳送帶450的高度被設(shè)定成與層壓裝置 300的傳送帶310和搬出用傳送帶500相同的高度。在本實施方式中，能夠?qū)⑤d置有太陽能電池組件A的載體板800移動到任意的中間可動盤421 423和下部可動盤431的上表面?；诖四康模軌?qū)⒅虚g可動盤421 423和下部可動盤431中的任意一個的上表面移動至與傳送帶450的上面大致相同的高度。 另外，能夠?qū)⑸喜靠蓜颖P411和中間可動盤421 423中的任意一個的下表面保持在比傳送帶450的上表面高很多的規(guī)定高度。因此，利用驅(qū)動單元441，按照將所需的可動盤(下部可動盤431或中間可動盤421 42 的上表面的高度與傳送帶450的上表面大致相同的高度的方式，使下部可動盤431上下移動，而且，將與該所需的可動盤的上側(cè)相鄰的可動盤(上部可動盤411或中間可動盤421 42 的下表面保持在規(guī)定高度，由此，收納載置有太陽能電池組件A的載體板800的空間形成于所需的可動盤的上表面與其上的可動盤的下表面之間。在此狀態(tài)下驅(qū)動傳送帶450，由此，能夠?qū)⑤d置有太陽能電池組件A的載體板 800移動至所需的可動盤上。另外，在搬出固化處理后的太陽能電池的情況下，將在中間夾持載置有所搬出的太陽能電池的載體板800的相鄰的兩個可動盤和傳送帶450移動至與搬入時相同的位置后，驅(qū)動傳送帶450，將載體板800向搬出用傳送帶500 (圖1)推出。即，通過驅(qū)動傳送帶450，能夠?qū)⒐袒幚砬暗奶柲茈姵亟M件A搬入可動盤間，并從可動盤間搬出固化處理后的太陽能電池。此外，傳送帶450位于退避位置時，即便使夾持有載體板800的可動盤上下移動， 傳送帶450與載體板800也不會接觸。下面，對用于將上部可動盤411和中間可動盤421 423保持在規(guī)定高度的保持機構(gòu)進行說明。如圖7所示，在上部可動盤411和中間可動盤421 423的寬度方向(圖
14中左右方向)兩側(cè)面設(shè)有沿著搬送方向排列的兩對卡合孔h (圖7中僅表示一對)。另外， 固化處理裝置400具有與兩對卡合孔h對應(yīng)的兩對保持部件460。具體而言，各個保持部件 460被設(shè)置在當可動盤被配置在規(guī)定高度時各保持部件460與可動盤的卡合孔h相對的位置。保持部件460具有氣缸461和桿462。氣缸461被固定在未圖示的支承框上。另夕卜，桿462按照從氣缸461向?qū)挾确较騼?nèi)側(cè)突出，即，向卡合孔h突出的方式構(gòu)成。桿462 能夠在固定位置(圖7的狀態(tài))和退避位置之間進退，該固定位置為，按照前端被插入可動盤的卡合孔h中的方式從氣缸461突出的位置。該退避位置為，按照前端從可動盤的卡合孔h中脫離的方式向氣缸461內(nèi)退回的位置。桿462被保持部件460的未圖示的驅(qū)動單元驅(qū)動，而在固定位置與退避位置之間移動。此外，驅(qū)動單元使用油壓、空壓、或者螺線管來驅(qū)動桿462。在將上部可動盤411和中間可動盤421 423中的任一個可動盤保持在規(guī)定高度時，進行以下的處理。首先，通過驅(qū)動單元441驅(qū)動下部可動盤431，將任意的可動盤移動至卡合孔h在規(guī)定高度的位置。接著，如果將被支承在規(guī)定高度的保持部件460的桿462從退避位置驅(qū)動至固定位置，則桿462被插入可動盤的卡合孔h中。結(jié)果，插入了桿462的可動盤、以及該可動盤之上的其它可動盤、載體板800和太陽能電池組件A被保持部件460保持。如果從該狀態(tài)，通過驅(qū)動單元441使下部可動盤431向下方移動，則其下的可動盤離開插入了桿462的可動盤，在兩個可動盤之間形成空間。下面，對固化處理裝置400的固化處理的次序進行說明。圖8是表示固化處理裝置400所進行的固化處理的次序的流程圖。此外，固化處理是通過層壓加工系統(tǒng)1的控制裝置700(圖1)來控制固化處理裝置400的各部(傳送帶450、驅(qū)動單元441和保持部件 460等)來進行的。另外，在本實施方式中，層壓裝置(圖幻對天陽能電池組件A的層壓時間是5分鐘，每5分鐘將載置有已被層壓的太陽能電池組件A的載體板800送往固化處理裝置400。在固化處理中，首先向下部可動盤431的上表面搬入和/或搬出載體板800 (S21)。 在步驟S21中，控制裝置700首先驅(qū)動固化處理裝置400的下部可動盤431，使第三中間可動盤423向第三中間可動盤423的卡合孔h與保持部件460的桿462變成相同的高度的位置移動。然后，控制裝置700使保持部件460的桿462從退避位置移動至固定位置，使桿 462的前端插入第三中間可動盤423的卡合孔h中。接著，控制裝置700再次驅(qū)動下部可動盤431，使下部可動盤431的上表面下降至比搬送位置的傳送帶450的上表面低的高度。 此時，在下部可動盤431的上表面與第三中間可動盤423的下表面之間，形成用于搬入和/ 或搬出載體板800的空間。接著，控制裝置700使傳送帶450從退避位置移動至搬送位置后，驅(qū)動傳送帶450，將載置有完成固化處理的太陽能電池的載體板800從可動盤間的空間搬出，將載置有固化壓制前的太陽能電池組件A的載體板800搬入可動盤間的空間內(nèi)，成為圖7所示的狀態(tài)，處理S21結(jié)束。在步驟S22中，控制裝置700首先使下部可動盤431上升，將傳送帶450上的載置有太陽能電池組件A的載體板800移動至下部可動盤431上后，使傳送帶450從搬送位置移動到退避位置。接著，控制裝置700使下部可動盤431繼續(xù)上升，將載置在下部可動盤431 上的載體板800夾持在下部可動盤431與第三中間可動盤423之間。接著，控制裝置700使保持部件460的桿462從固定位置移動到退避位置，將桿462的前端從第三中間可動盤 423的卡合孔h中拔出。接著，控制裝置700驅(qū)動與第三中間可動盤423連接的真空泵和/ 或壓縮機，通過隔膜對太陽能電池組件A加壓。該狀態(tài)例如被保持大約5分鐘，直至開始下一個步驟S23。此外，在通過后述的處理S23 S^再次返回處理S21之前，第三中間可動盤423被載置在下部可動盤431上，繼續(xù)實施載置于下部可動盤431的上表面的太陽能電池組件A的固化處理。在接下來的步驟S23中，對第三中間可動盤423的上表面搬入和/或搬出載體板 800。在步驟S23中，控制裝置700首先驅(qū)動固化處理裝置400的下部可動盤431，使第二中間可動盤422向第二中間可動盤422的卡合孔h變成與保持部件460的桿462相同高度的位置移動。接著，控制裝置700使保持部件460的桿462從退避位置移動到固定位置，將桿462的前端插入第二中間可動盤422的卡合孔h中。接著，控制裝置700再次驅(qū)動下部可動盤431，使第三中間可動盤423的上表面下降至比搬送位置的傳送帶450的上表面低的高度。此時，在第三中間可動盤423的上表面與第二中間可動盤422的下表面之間，形成用于搬入和/或搬出載體板800的空間。接著，控制裝置700使傳送帶450從退避位置移動至搬送位置后，驅(qū)動傳送帶450，將載置有固化處理后的太陽能電池的載體板800從可動盤間的空間搬出，將載置有固化壓制前的太陽能電池組件A的載體板800搬入可動盤間的空間內(nèi)，處理S23結(jié)束。在步驟S24中，控制裝置700首先使下部可動盤431上升，將傳送帶450上的載置有太陽能電池組件A的載體板800移動至第三中間可動盤423的上表面。如果將太陽能電池組件A移動至第三中間可動盤423上，那么，控制裝置700使傳送帶450從搬送位置移動到退避位置。接著，控制裝置700使下部可動盤431繼續(xù)上升，使載置在第三中間可動盤 423上的載體板800夾持在第三中間可動盤423與第二中間可動盤422之間。接著，控制裝置700使保持部件460的桿462從固定位置移動到退避位置，將桿462的前端從第二中間可動盤422的卡合孔h中拔出。接著，控制裝置700驅(qū)動與第二中間可動盤422連接的真空泵和/或壓縮機，通過隔膜對太陽能電池組件A加壓。該狀態(tài)例如被保持大約5分鐘，直至開始下一個步驟S25。此外，在經(jīng)由后述的處理S25 S^和S21 S22再次返回處理 S23之前，第二中間可動盤422被載置在第三中間可動盤423上，繼續(xù)實施載置于第二中間可動盤422的上表面的太陽能電池組件A的固化處理。在接下來的步驟S25中，向第二中間可動盤422的上表面搬入和/或搬出載體板 800。在步驟S25中，控制裝置700首先驅(qū)動固化處理裝置400的下部可動盤431，使第一中間可動盤421移動到第一中間可動盤421的卡合孔h變成與保持部件460的桿462相同高度的位置。接著，控制裝置700使保持部件460的桿462從退避位置移動到固定位置，將桿462的前端插入第一中間可動盤421的卡合孔h中。接著，控制裝置700再次驅(qū)動下部可動盤431，使第二中間可動盤422的上表面下降至比搬送位置的傳送帶450的上表面低的高度。此時，在第二中間可動盤422的上表面與第一中間可動盤421的下表面之間，形成用于搬入和/或搬出載體板800的空間。接著，控制裝置700使傳送帶450從退避位置移動至搬送位置后，驅(qū)動傳送帶450，將載置有固化處理后的太陽能電池的載體板800從可動盤間的空間搬出，將載置有固化處理前的太陽能電池組件A的載體板800搬入可動盤間的空間內(nèi)，處理S25完畢。
在步驟S26中，控制裝置700首先使下部可動盤431上升，使傳送帶450上的載置有太陽能電池組件A的載體板800移動至第二中間可動盤422上之后，使傳送帶450從搬送位置移動到退避位置。接著，控制裝置700使下部可動盤431繼續(xù)上升，將載置在第二中間可動盤422上的載體板800夾持在第二中間可動盤422與第一中間可動盤421之間。接著，控制裝置700使保持部件460的桿462從固定位置移動到退避位置，將桿462的前端從第二中間可動盤422的卡合孔h中拔出。然后，控制裝置700驅(qū)動與第一中間可動盤421 連接的真空泵和/或壓縮機，通過隔膜對太陽能電池組件A加壓。該狀態(tài)例如被保持大約 5分鐘，直至開始下一個步驟S27。此外，在經(jīng)由后述的處理S27 S^和S21 M再次返回處理S25之前，第一中間可動盤421被載置在第二中間可動盤422上，繼續(xù)實施載置于第二中間可動盤422的上表面的太陽能電池組件A的固化處理。在接下來的步驟S27中，向第一中間可動盤421的上面搬入和/或搬出載體板 800。在步驟S27中，控制裝置700首先驅(qū)動固化處理裝置400的下部可動盤431，使第一中間可動盤421移動到第一中間可動盤421的卡合孔h變成與保持部件460的桿462相同高度的位置。接著，控制裝置700使保持部件460的桿462從退避位置移動到固定位置，將桿462的前端插入上部可動盤411的卡合孔h中。接著，控制裝置700再次驅(qū)動下部可動盤431，使第一中間可動盤421的上表面下降至比搬送位置的傳送帶450的上表面低的高度。此時，在第一中間可動盤421的上表面與上部可動盤411的下表面之間，形成用于搬入和/或搬出載體板800的空間。接著，控制裝置700使傳送帶450從退避位置移動至搬送位置后，驅(qū)動傳送帶450，將載置有固化處理后的太陽能電池的載體板800從可動盤間的空間搬出，將載置有固化處理前的太陽能電池組件A的載體板800搬入可動盤間的空間內(nèi)，處理S27完畢。在步驟S28中，控制裝置700首先使下部可動盤431上升，將傳送帶450上的載置有太陽能電池組件A的載體板800移動至第一中間可動盤421上。如果太陽能電池組件A 移動至第一中間可動盤421上，那么，控制裝置700使傳送帶450從搬送位置移動到退避位置。接著，控制裝置700使下部可動盤431繼續(xù)上升，把載置在第一中間可動盤421上的載體板800夾持在第一中間可動盤421與上部可動盤411之間。接著，控制裝置700使保持部件460的桿462從固定位置移動到退避位置，將桿462的前端從第一間可動盤421的卡合孔h中拔出。然后，控制裝置700驅(qū)動與上部可動盤411連接的真空泵和/或壓縮機， 通過隔膜對太陽能電池組件A加壓。該狀態(tài)例如被保持大約5分鐘，直至開始下一個步驟 S29。此外，在經(jīng)由后述的處理S^和S21 S^再次返回處理S27之前，上部可動盤411 被載置在第一中間可動盤421上，繼續(xù)實施載置于第一中間可動盤421的上表面的太陽能電池組件A的固化處理。在步驟S29中，判斷是否重復(fù)實施上述步驟S21 S28的動作。判斷是否重復(fù)實施操作，既可以根據(jù)未圖示的輸入單元的操作者的指示來進行，也可以通過判斷利用計數(shù)器所記錄的重復(fù)次數(shù)是否達到預(yù)先設(shè)定的次數(shù)來進行。在重復(fù)動作的情況下(步驟S29: YES)，返回步驟S21，在不重復(fù)動作的情況下(步驟S29 :N0)，結(jié)束流程。在重復(fù)動作的情況下，在再次實施的步驟S21中，在前一次的步驟S21中，配置于下部可動盤431與第三中間可動盤423之間的太陽能電池組件A作為固化處理后的太陽能電池被傳送帶450搬出。此外，載置有被傳送帶450搬出的固化處理后的太陽能電池的載
17體板800被交給搬出用傳送帶500(圖1)，被搬出用傳送帶500移送至未圖示的儲藏箱。根據(jù)以上的程序，一個太陽能電池組件A被固化處理裝置400加壓重復(fù)四個循環(huán)的層壓的時間，即，大約20分鐘的時間。另一方面，固化處理裝置400能夠大約每5分鐘實施搬入新的太陽能電池組件A并搬出固化處理完畢的太陽能電池組件A的處理。因此， 在本實施方式中，對于各個太陽能電池組件A能夠確保有充足的固化處理時間(大約20分鐘)，并且能夠適時(大約每5分鐘)開始結(jié)束了加工時間短的層壓的太陽能電池組件A的層壓。以上是對本發(fā)明的最佳實施方式的一例進行的說明。但是，本發(fā)明的實施方式的具體形態(tài)并不限于上述的內(nèi)容，在權(quán)利要求書所述的技術(shù)思想范疇內(nèi)能夠任意更改。例如，在上述實施方式的層壓裝置中，在加熱壓制時，配置有被加工物的腔室的內(nèi)壓被保持在大氣壓，但也可以將加熱壓制時的內(nèi)壓設(shè)定在大氣壓以上。但是，如果加熱壓制時的內(nèi)壓過高，則被加壓的氣體就有可能殘留在加工后的層壓構(gòu)造體上，成為粘接剝離等的原因。因此，被加工物所配置的腔室的加熱壓制時的內(nèi)壓優(yōu)選設(shè)定在2個大氣壓以下，更優(yōu)選1.5個大氣壓以下。另外，即使配置了被加工物的腔室的加熱壓制時的內(nèi)壓比大氣壓稍低，也能夠發(fā)揮本發(fā)明的效果。具體而言，如果加熱壓制時的該內(nèi)壓在0. 1個大氣壓以上，那么，能夠獲得一定的防止填充材料流出的效果。但是，為了獲得充分的效果，將被加工物所配置的腔室的加熱壓制時的內(nèi)壓優(yōu)選設(shè)定在0. 5個大氣壓以上，更優(yōu)選0. 8個大氣壓以上。另外，在上述實施方式的層壓裝置中，采用將被加工物配置于下部腔室LC中的結(jié)構(gòu)，但也可以采用將被加工物配置于上部腔室UC中的結(jié)構(gòu)。在此情況下，隔膜被固定在下部腔室LC上，上部腔室UC能夠開閉。被加工物例如被配置于隔膜上。另外，各個腔室的內(nèi)壓控制與上述實施方式上下相反。即，將上部腔室UC的內(nèi)壓保持在大氣壓，將下部腔室LC 的內(nèi)壓形成為正壓，于是，隔膜向上部腔室UC側(cè)突出，被加工物在上部腔室UC的頂面與隔膜之間被加熱。在此情況下，也可以在隔膜與被加工物之間還設(shè)置可動熱盤，在可動熱盤與上部腔室UC的頂面之間對被加工物加熱壓制。此外，在上述實施方式的層壓裝置中，采用將下部腔室LC支承在固定盤上，將上部腔室UC支承在可動盤上的結(jié)構(gòu)，但是也可以采用將下部腔室支承在可動盤上，將上部腔室UC支承在固定盤上的結(jié)構(gòu)?；蛘?，采用將兩腔室分別支承在可動盤上的結(jié)構(gòu)。直到對被加工物加熱壓制之前，優(yōu)選被加工物實質(zhì)上未被隔膜加壓。在上述實施方式的層壓裝置中，采用在使上部腔室UC與下部腔室LC的內(nèi)壓均衡的狀態(tài)下使兩腔室的內(nèi)壓升壓至大氣壓的控制，但是通過其他的控制也能實施本發(fā)明。在直到脫泡完成之前的期間，將下部腔室LC的內(nèi)壓始終保持在與上部腔室UC相同程度以上，由此，能夠使被加工物實質(zhì)上未被隔膜加壓。例如，也可以采用保持對上部腔室UC的減壓，使配置有被加工物的下部腔室LC升壓至大氣壓，然后對上部腔室UC加壓的結(jié)構(gòu)。通過這種控制，也能防止被加工物在真空中被加熱壓制而導致軟化的填充材料從被加工物流出。另外，在上述實施方式中，固化處理裝置400的中間可動盤的數(shù)量為三個，能夠同時對四個太陽能電池組件A進行固化處理。但是，本發(fā)明并非限定于此結(jié)構(gòu)。例如，在固化處理所需的時間更長的情況下，使用配備了更多的中間可動盤的固化處理裝置，能夠有效地制造太陽能電池。
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在上述實施方式中，固化處理裝置400的可動盤411、421、422、423和431、以及層壓裝置300的固定盤320和可動盤330通過設(shè)置于各個可動盤或固定盤內(nèi)的電熱器被加熱，但也可以采用使已被加熱的制冷劑(油等)在可動盤或者固定盤內(nèi)循環(huán)的結(jié)構(gòu)。此外， 本實施方式的電熱器方式不會產(chǎn)生油霧，因此，能夠在清潔室內(nèi)使用。在上述實施方式中，利用與層壓裝置300和固化處理裝置400分開設(shè)置的控制裝置700來進行層壓處理及固化處理的控制，但也可以采用在層壓裝置300和固處理裝置400 中設(shè)置控制部，利用各個裝置的控制部來控制實施層壓處理和固化處理的結(jié)構(gòu)。另外，在上述實施方式中，控制裝置700進行各個裝置的聯(lián)系動作的控制，但也可以不設(shè)置集中控制層壓加工系統(tǒng)1的控制裝置700，根據(jù)設(shè)置于各個裝置中的控制部間的通信來自發(fā)進行聯(lián)系動作。另外，上述實施方式在太陽能電池面板的制造中應(yīng)用本發(fā)明，但是本發(fā)明也能應(yīng)用于任意的層壓構(gòu)造體的成形。例如，本發(fā)明能夠應(yīng)用于通過對包括預(yù)浸材料的構(gòu)成材料的疊層體加熱壓制而成形的印刷配線基板等的板狀層壓構(gòu)造體的制造中。另外，也能應(yīng)用于等離子體顯示面板、有機EL顯示面板等制造中。符號說明1 層壓加工系統(tǒng)100疊層裝置200搬入用傳送帶300層壓裝置310傳送帶320固定盤330可動盤333 隔膜400固化處理裝置411上部可動盤421第一中間可動盤422第二中間可動盤423第三中間可動盤431下部可動盤441馬區(qū)動單元450傳送帶460保持部件461 氣紅462 桿700控制裝置800載體板810 框體820 薄板A 太陽能電池組件
UC上部腔室LC下部腔室
權(quán)利要求
1.一種固化處理裝置，其進行固化處理，該固化處理對將太陽能電池的構(gòu)成部件疊層并通過層壓而成形的太陽能電池組件加熱，使該太陽能電池組件的熱反應(yīng)結(jié)束，該固化處理裝置的特征在于，包括上部可動盤；配置于所述上部可動盤的下方的下部可動盤；配置于所述上部可動盤與所述下部可動盤之間的至少一個中間可動盤； 對所述上部可動盤、所述下部可動盤和所述中間可動盤進行加熱的加熱單元； 上下驅(qū)動所述下部可動盤的可動盤驅(qū)動單元；將所述太陽能電池組件配置于所述可動盤之間并取出配置于該可動盤之間的該太陽能電池組件的搬送單元；和控制單元，所述上部可動盤和所述中間可動盤在其下表面設(shè)置有彈性膜，并包括能夠在該下表面與該彈性膜之間的空間施加正壓的空氣泵，所述控制單元能夠使所述固化處理裝置以搬送模式和壓縮模式進行動作，其中，所述搬送模式為，選擇在上下方向上相鄰的一對所述可動盤，選擇性地擴大已選擇的該一對可動盤的間隔，相對于該一對可動盤之間，能夠搬入和搬出所述太陽能電池組件；所述壓縮模式為，使所述下部可動盤上升，形成該太陽能電池組件被夾持在一對可動盤之間的狀態(tài)，接著，驅(qū)動所述空氣泵，在該太陽能電池組件的上側(cè)的可動盤的下表面與該上側(cè)的可動盤的彈性膜之間的空間施加正壓，形成該彈性膜對該太陽能電池組件進行壓制的狀態(tài)，所述控制單元每當將該壓縮模式切換成該搬送模式時，按照規(guī)定的順序切換在該搬送模式中選擇的一對可動盤。
2.如權(quán)利要求1所述的固化處理裝置，其特征在于還包括可動盤保持單元，該可動盤保持單元進行固定，使得所述多個中間可動盤和上部可動盤中的一個不會下降至規(guī)定高度以下，所述控制單元在所述搬送模式下，控制所述可動盤保持單元，以固定已選擇的一對可動盤的上側(cè)的可動盤，并且使所述下部可動盤下降，由此，擴大已選擇的該一對可動盤的間隔。
3.如權(quán)利要求2所述的固化處理裝置，其特征在于在所述多個中間可動盤和上部可動盤的側(cè)面形成有大致沿著水平方向延伸的孔， 所述可動盤保持單元具有被保持在規(guī)定高度的固定部；構(gòu)成為相對于所述固定部能夠進退的桿；和驅(qū)動所述桿的驅(qū)動部，使所述桿從所述固定部突出并插入所述可動盤的孔中，由此，將所述可動盤固定在規(guī)定尚度。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的固化處理裝置，其特征在于所述搬送單元是相對于所述太陽能電池組件，設(shè)置在與該太陽能電池組件的搬送方向和上下方向垂直的寬度方向兩側(cè)的傳送帶，所述傳送帶能夠在搬送位置和退避位置之間移動，所述搬送位置為能夠搬送所述太陽能電池組件的位置，所述退避位置為從該搬送位置向?qū)挾确较蛲鈧?cè)移動而不與所述太陽能電池組件干擾的位置，所述控制單元在所述壓縮模式下，在所述太陽能電池組件從所述傳送帶上移動至所述可動盤上之后，使所述傳送帶向退避位置移動。
5.一種固化處理裝置，其進行固化處理，該固化處理對將層壓構(gòu)造體的構(gòu)成部件疊層并通過層壓而成形的疊層體進行加熱而使該疊層體穩(wěn)定化，該固化處理裝置的特征在于， 包括上部可動盤；配置于所述上部可動盤的下方的下部可動盤；按照上下排列的方式配置于所述上部可動盤與所述下部可動盤之間的至少一個中間可動盤；配置于所述可動盤間的隔膜；使任意的相互相鄰的一對所述可動盤上下分離的可動盤隔離機構(gòu)；和內(nèi)壓控制單元，其控制在相互相鄰的一對所述可動盤未分離時形成于所述可動盤之間的由所述隔膜分開的腔室的內(nèi)壓，任意的相互相鄰的所述可動盤的至少一個包括加熱器，通過所述內(nèi)壓的控制，在包括所述加熱器的至少一個可動盤與所述隔膜之間夾持所述疊層體，由此，能夠進行固化處理。
6.如權(quán)利要求5所述的固化處理裝置，其特征在于所述可動盤隔離機構(gòu)包括上下驅(qū)動所述下部可動盤的可動盤驅(qū)動單元；和將所述上部可動盤和所述中間可動盤的任意一個保持在規(guī)定高度的保持單元。
7.如權(quán)利要求6所述的固化處理裝置，其特征在于所述可動盤隔離機構(gòu)，通過所述可動盤驅(qū)動單元驅(qū)動所述下部可動盤，將所述任意的相互相鄰的一對可動盤的上側(cè)的一個移動至所述規(guī)定高度，通過保持單元將所述上側(cè)的一個可動盤保持在所述規(guī)定高度，進而通過所述可動盤驅(qū)動單元驅(qū)動所述下部可動盤，使下側(cè)的另一個可動盤下降，由此，使所述任意的相互相鄰的一對可動盤上下分離。
8.如權(quán)利要求5至7中任一項所述的固化處理裝置，其特征在于所述層壓構(gòu)造體是太陽能電池，所述疊層體是將太陽能電池的構(gòu)成部件疊層而形成的太陽能電池組件。
9.一種層壓裝置，其對疊層體加熱壓制而將該疊層體成形為層壓構(gòu)造體，該層壓裝置的特征在于，包括隔膜；被所述隔膜分開的第一腔室和第二腔室；能夠獨立地控制所述第一腔室和第二腔室的內(nèi)壓的內(nèi)壓控制單元；和第一熱盤，其設(shè)置于所述第一腔室，在該第一熱盤與所述隔膜之間對疊層體進行壓制成形，所述內(nèi)壓控制單元，在使所述第二腔室的內(nèi)壓比所述第一腔室的內(nèi)壓高而通過所述隔膜對疊層體進行壓制成形時，不使所述第一腔室為真空，將所述第一腔室的內(nèi)壓控制在包含在所述疊層體中的填充材料的流出被抑制的規(guī)定的壓力范圍內(nèi)。
10.如權(quán)利要求9所述的層壓裝置，其特征在于所述內(nèi)壓控制單元在進行所述壓制成形前，將所述第一腔室的內(nèi)壓控制為負壓，以使所述疊層體真空脫泡。
11.如權(quán)利要求9或10所述的層壓裝置，其特征在于所述內(nèi)壓控制單元在進行所述壓制成形前，將所述第二腔室的內(nèi)壓控制在與所述第一腔室的內(nèi)壓相同的程度以下，以使所述隔膜不對疊層體加壓。
12.如權(quán)利要求9至11中任一項所述的層壓裝置，其特征在于 還包括設(shè)置于所述第二腔室的第二熱盤，所述內(nèi)壓控制單元在進行所述壓制成形前，將所述第二腔室的內(nèi)壓控制在比所述第一腔室的內(nèi)壓低的壓力，以使所述隔膜緊貼所述第二熱盤，將所述隔膜加熱，
13.如權(quán)利要求9至12中任一項所述的層壓裝置，其特征在于 所述層壓構(gòu)造體是太陽能電池面板。
14.一種層壓加工系統(tǒng)，其特征在于，包括對疊層體進行加熱壓制而將該疊層體成形為層壓構(gòu)造體的層壓裝置；和進行對所述層壓構(gòu)造體加熱而使該層壓構(gòu)造體穩(wěn)定化的固化處理的固化處理裝置，其中所述層壓裝置是權(quán)利要求9至13中任一項所述的層壓裝置。
15.如權(quán)利要求14所述的層壓加工系統(tǒng)，其特征在于所述固化處理裝置是權(quán)利要求1至8中任一項所述的固化處理裝置。
16.一種層壓加工系統(tǒng)，其特征在于，包括對疊層體加熱壓制而將該疊層體成形為層壓構(gòu)造體的層壓裝置；和進行對所述層壓構(gòu)造體加熱而使該層壓構(gòu)造體穩(wěn)定化的固化處理的固化處理裝置，其中所述固化處理裝置是權(quán)利要求1至8中任一項所述的固化處理裝置。
17.一種載體板，其適合于包括脆性部件的層壓構(gòu)造體的層壓加工，該載體板的特征在于，包括具有中空部的實質(zhì)上為剛體的框體；和以覆蓋所述框體的中空部的方式固定于所述框體的上表面的具有可撓性的薄板， 所述框體的中空部具有能夠收納所述可動盤的大小，所述載體板構(gòu)成為能夠在所述薄板上載置有將所述層壓構(gòu)造體的構(gòu)成部件疊層形成的疊層體的狀態(tài)下，配置于層壓的可動盤間，與所述疊層體一起進行壓制。
18.一種層壓方法，其通過控制被隔膜分開的第一腔室和第二腔室的內(nèi)壓，在配置于所述第一腔室的第一熱盤與所述隔膜之間對疊層體加熱壓制而將該疊層體成形為層壓構(gòu)造體，該層壓方法的特征在于包括使所述第二腔室的內(nèi)壓比所述第一腔室的內(nèi)壓高，由此，對所述疊層體加熱壓制而使該疊層體成形的壓制成形步驟，在所述壓制成形步驟中，不使所述第一腔室為真空，將所述第一腔室的內(nèi)壓控制在包含在所述疊層體中的填充材料的流出被抑制的規(guī)定的壓力范圍內(nèi)。
19.如權(quán)利要求18所述的層壓方法，其特征在于還包括在所述壓制成形步驟之前，使所述第一腔室的內(nèi)壓為負壓，從所述疊層體中除去氣泡的真空脫泡步驟。
20.如權(quán)利要求18或19所述的層壓方法，其特征在于在所述壓制成形步驟之前，將所述第二腔室的內(nèi)壓控制在與所述第一腔室的內(nèi)壓相同的程度以下，以使所述隔膜不對疊層體加壓。
21.如權(quán)利要求18至20中任一項所述的層壓方法，其特征在于還包括在所述壓制成形步驟之前，使所述第二腔室的內(nèi)壓比所述第一腔室的內(nèi)壓低， 由此，使所述隔膜緊貼在配置于所述第二腔室的第二熱盤上，以加熱所述隔膜的隔膜加熱步驟。
22.如權(quán)利要求18至21中任一項所述的層壓方法，其特征在于還包括在所述壓制成形步驟之后，對所述疊層體加熱直至所述填充材料穩(wěn)定的固化步馬聚ο
23.如權(quán)利要求18至22中任一項所述的層壓方法，其特征在于 所述層壓構(gòu)造體是太陽能電池面板。
24.一種程序，其特征在于用于使計算機執(zhí)行權(quán)利要求18至23中任一項所述的層壓方法。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明的實施方式，提供一種進行對疊層體加熱而使該疊層體穩(wěn)定化的固化處理的固化處理裝置，該疊層體通過將層壓構(gòu)造體的構(gòu)成部件疊層并利用層壓而成形。該固化處理裝置包括上部可動盤；配置于上部可動盤的下方的下部可動盤；在上部可動盤與下部可動盤之間以上下排列的方式配置的至少一個中間可動盤；配置于可動盤間的隔膜；使任意的相互相鄰的一對可動盤上下分離的可動盤隔離機構(gòu)；和內(nèi)壓控制單元，其控制在相互相鄰的一對可動盤未分離時而形成于可動盤間的由隔膜分開的腔室的內(nèi)壓。另外，任意的相鄰相鄰的可動盤的至少一個包括加熱器，根據(jù)內(nèi)壓的控制，在包括加熱器的至少一個可動盤與隔膜之間夾持疊層體，由此能夠進行固化處理。
文檔編號H01L31/042GK102481727SQ20108004025
公開日2012年5月30日 申請日期2010年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月10日
發(fā)明者岡崎靜明 申請人:北川精機株式會社