專利名稱：一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨舟技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)能電池制作工具，具體涉及一種用于太陽(yáng)能電池片生 產(chǎn)的石墨舟。
背景技術(shù)：
[0002]在晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)是目前 主流的鍍減反射膜的方法。PECVD設(shè)備主要有兩種，即板式PECVD與管式PECVD。管 式PECVD使用石墨舟作為硅片載體，在石墨周片間通入高頻的射頻電源，硅片作為電極 的一部分，石墨舟片之間的間距均勻一致，故其中的電場(chǎng)強(qiáng)度均勻一致，通過(guò)此方法得 到的減反射膜的厚度相同，顏色主要以藍(lán)黑色為主。隨著光伏行業(yè)的不斷進(jìn)步及光伏與 建筑一體化的發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)光伏產(chǎn)品提出了更高的要求，不但要保證效率的不斷提升， 對(duì)電池片的外觀，尤其是顏色提出了更苛刻的要求。目前現(xiàn)有制作彩色電池片的工藝，可 以實(shí)現(xiàn)整片顯示某種顏色，如紅、黃、綠等，但無(wú)法實(shí)現(xiàn)片內(nèi)的彩色化。發(fā)明內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述存在的缺陷而提供一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn) 的石墨舟，該石墨舟放置硅片的板面為平面，內(nèi)部相對(duì)的板面設(shè)有凸起，在等離子體電 離并沉積的過(guò)程中，石墨舟板間電場(chǎng)強(qiáng)度產(chǎn)生改變，從而電池片表面的減反射膜的厚度 發(fā)生變化，而呈現(xiàn)出不同的顏色，形成單片不同顏色的彩色太陽(yáng)能電池片。[0004]本實(shí)用新型的一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨舟技術(shù)方案為，包括石墨舟 板，所述的石墨舟板放置硅片的板面為平面，內(nèi)部相對(duì)的板面設(shè)有凸起。[0005]所述的板面上的凸起高度為Imm-lOmm，單片硅片范圍內(nèi)的板面上的凸起有高 度差。所述的板面上的凸起組成有規(guī)則的圖形、者圖案或者是組成無(wú)規(guī)則的圖形或圖 案。[0006]本實(shí)用新型的有益效果為本實(shí)用新型的一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨 舟，該石墨舟放置硅片的板面為平面，內(nèi)部相對(duì)的板面設(shè)有凸起，在等離子體電離并沉 積的過(guò)程中，石墨舟板兩板之間的電場(chǎng)強(qiáng)度由于板面上的凸起從而產(chǎn)生改變，電場(chǎng)強(qiáng)度 高的地方電離較為充分，沉積到電池片表面的膜層就較厚，單片電池片表面的減反射膜 的厚度發(fā)生變化，呈現(xiàn)出不同的顏色，形成單片不同顏色的彩色太陽(yáng)能電池片。滿足了 光伏與建筑一體化發(fā)展過(guò)程中對(duì)光伏產(chǎn)品的外觀要求。[0007]
[0008]圖1所示為本實(shí)用新型實(shí)施例1基本結(jié)構(gòu)示意圖；[0009]圖2所示為本實(shí)用新型實(shí)施例2基本結(jié)構(gòu)示意圖[0010]圖3所示為本實(shí)用新型實(shí)施例3基本結(jié)構(gòu)示意圖。[0011]圖中，1.石墨舟，2.硅片。[0012]具體實(shí)施方式
[0013]為了更好地理解本實(shí)用新型，
以下結(jié)合附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方 案，但是本實(shí)用新型并不局限于此。[0014]實(shí)施例1[0015]硅片2經(jīng)過(guò)制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣絕緣、去磷硅玻璃等步驟之后，準(zhǔn)備放入 石墨舟1，進(jìn)入PECVD裝置，鍍減反射膜。[0016]如附圖1所示，石墨舟1放置硅片2的板面為平面，內(nèi)部相對(duì)的板面設(shè)有凸起。 板面上的凸起為間隔的階梯狀，階梯間隔距離為lcm-3Cm，階梯高度為Imm-IOmm不寸。[0017]鍍減反射膜完成之后，將硅片2取出進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)及檢測(cè)分選。形成單 片片內(nèi)顏色不同的彩色太陽(yáng)能電池片。[0018]實(shí)施例2[0019]硅片2經(jīng)過(guò)制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣絕緣、去磷硅玻璃等步驟之后，準(zhǔn)備放入 石墨舟1，進(jìn)入PECVD裝置，鍍減反射膜。[0020]如附圖2所示，石墨舟1放置硅片2的板面為平面，內(nèi)部相對(duì)的板面設(shè)有凸起。 板面上的凸起為鋸齒狀，鋸齒底部寬度為lcm-15Cm，鋸齒頂端高度為5mm。[0021]鍍減反射膜完成之后，將硅片2取出進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)及檢測(cè)分選。形成單 片片內(nèi)顏色不同的彩色太陽(yáng)能電池片。[0022]實(shí)施例3[0023]硅片2經(jīng)過(guò)制絨、清洗、擴(kuò)散、邊緣絕緣、去磷硅玻璃等步驟之后，準(zhǔn)備放入 石墨舟1，進(jìn)入PECVD裝置，鍍減反射膜。[0024]如附圖3所示，石墨舟1放置硅片2的板面為平面，內(nèi)部相對(duì)的板面設(shè)有凸起。 板面上的凸起為連續(xù)的階梯狀，每層寬度為lcm-5Cm，階梯高度為Imm-IOmm不等。[0025]鍍減反射膜完成之后，將硅片2取出進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)及檢測(cè)分選。形成單 片片內(nèi)顏色不同的彩色太陽(yáng)能電池片。
權(quán)利要求1.一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨舟，包括石墨舟板，其特征在于，所述的石墨 舟板放置硅片的板面為平面，內(nèi)部相對(duì)的板面設(shè)有凸起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨舟，其特征在于，所述的 板面上的凸起高度為lmm-10mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨舟，其特征在于，單片硅 片范圍內(nèi)的板面上的凸起有高度差。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨舟，其特征在于，所述的 板面上的凸起組成有規(guī)則的圖形或者圖案。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨舟，其特征在于，所述的 板面上的凸起組成無(wú)規(guī)則的圖形或者圖案。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的石墨舟，該石墨舟放置硅片的板面為平面，內(nèi)部相對(duì)的板面設(shè)有凸起，在等離子體電離并沉積的過(guò)程中，石墨舟板間電場(chǎng)強(qiáng)度產(chǎn)生改變，從而電池片表面的減反射膜的厚度發(fā)生變化，而呈現(xiàn)出不同的顏色，形成單片不同顏色的彩色太陽(yáng)能電池片。
文檔編號(hào)H01L31/18GK201812845SQ20102055535
公開(kāi)日2011年4月27日 申請(qǐng)日期2010年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月11日
發(fā)明者劉斌賢, 吳志強(qiáng), 張志杰, 李秉霖, 李虎, 武明 申請(qǐng)人:山東力諾太陽(yáng)能電力股份有限公司