專利名稱：壓電制動(dòng)器的接線連接結(jié)構(gòu)、壓電制動(dòng)器、以及磁頭懸架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體上涉及一種具有壓電元件的壓電制動(dòng)器，其可響應(yīng)于所施加的電能彎 曲(warp)以相對(duì)于基底部微小地移動(dòng)對(duì)象部。特別地，本發(fā)明涉及能夠在不破壞壓電元件 或其可靠性的前提下實(shí)現(xiàn)與該壓電元件的連線的接線連接結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還涉及壓電制動(dòng)器 和使用該壓電制動(dòng)器的磁頭懸架。
背景技術(shù)：
小型化、精密信息設(shè)備的發(fā)展十分迅速，并且對(duì)于能夠執(zhí)行非常短距離的定位控
制的微型制動(dòng)器的需求日益增長(zhǎng)。例如在用于校正聚焦和傾角的光學(xué)系統(tǒng)、用于控制噴墨
頭的噴墨打印機(jī)、以及用于控制磁頭的磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器中都非常需要上述的微型制動(dòng)器。 本發(fā)明的申請(qǐng)人已經(jīng)在日本待審專利申請(qǐng)公開(kāi)No. 2002-50140中提出了一種磁
盤(pán)驅(qū)動(dòng)器的磁頭懸架，該磁頭懸架具有基底板、與基底板相連并且具有比基底板更薄的鉸
鏈的連接板、與該連接板相連的承載梁、與該承載梁相連并且具有滑塊的彎曲部、以及一對(duì)
壓電元件。 上述現(xiàn)有技術(shù)使用了雙制動(dòng)器系統(tǒng)，出于精確定位的目的，該雙制動(dòng)器系統(tǒng)包括 音圈馬達(dá)和例如由PZT(鋯鈦酸鉛)制成的壓電元件。該壓電元件形成了可微小地驅(qū)動(dòng)承 載梁的前端或是僅在磁頭懸架的寬度方向(搖擺方向)上驅(qū)動(dòng)滑塊的壓電制動(dòng)器。與僅使 用音圈馬達(dá)的單個(gè)制動(dòng)器系統(tǒng)相比較，使用音圈馬達(dá)和壓電制動(dòng)器的雙制動(dòng)器系統(tǒng)可更加 精確地定位與磁頭懸架的前端相連的磁頭。 使用雙制動(dòng)器系統(tǒng)的磁頭懸架所存在的一個(gè)重要問(wèn)題在于，如何向壓電元件供 電。 在日本待審專利申請(qǐng)公開(kāi)No. 2003-61371 (具體的，圖9和圖10)中公開(kāi)了一種解 決上述問(wèn)題的技術(shù)。上述現(xiàn)有技術(shù)在磁頭懸架上設(shè)置了一對(duì)配線，其中一條配線通過(guò)配線 接合法(wire bonding)連接到基底電極，并且另一條配線通過(guò)配線接合法連接到各壓電元 件的頂面上的暴露部分。 上述現(xiàn)有技術(shù)存在壓電元件破裂的危險(xiǎn)，這是由于在對(duì)壓電元件進(jìn)行配線接合時(shí) 會(huì)對(duì)容易破裂的壓電元件施加局部應(yīng)力以便確保接合的強(qiáng)度。 如果使用不會(huì)破裂壓電元件的減小的力執(zhí)行配線接合處理，則接合強(qiáng)度又會(huì)不充 分以至于破壞與壓電元件的電連接的可靠性。 以上述方式，難以在不破壞壓電元件的前提下，執(zhí)行和壓電元件的線連接。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種壓電制動(dòng)器的接線連接結(jié)構(gòu)，其能夠?qū)崿F(xiàn)與壓電制
動(dòng)器的壓電元件配線連接的同時(shí)，不會(huì)破損壓電元件或是破壞其可靠性。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一個(gè)方面提供了一種具有壓電元件的壓電制動(dòng)器的 接線連接結(jié)構(gòu)，所述壓電元件被設(shè)置在具有基底部和移動(dòng)部的對(duì)象(object)上，根據(jù)所述
4壓電元件響應(yīng)于對(duì)其所施加的電功率產(chǎn)生的變形，相對(duì)于所述基底部微小地移動(dòng)所述移動(dòng) 部。所述接線連接結(jié)構(gòu)包括端子，其具有電絕緣層和配線層，所述電絕緣層朝向壓電元件 的電極表面，并且所述配線層形成于沒(méi)有朝向電極表面的絕緣層的表面上并且用于向電極 表面供電；通孔，其形成在所述端子當(dāng)中并且至少經(jīng)過(guò)所述絕緣層；第一液體塞子，其設(shè)置 在所述電極表面和端子之間的間隙中的通孔周?chē)灰后w存留彎，其設(shè)置在鄰近所述第一液 體塞子的位置處；以及在所述通孔中填充的導(dǎo)電粘合劑，當(dāng)向所述通孔中填充時(shí)，所述導(dǎo)電 粘合劑是液態(tài)的。所述導(dǎo)電粘合劑使得所述電極表面和所述配線層彼此之間電連接。所述 液體存留彎具有用于接受多余的導(dǎo)電粘合劑的存留空間，所述多余的導(dǎo)電粘合劑是在向所
述通孔填充導(dǎo)電粘合劑時(shí)產(chǎn)生。 根據(jù)本發(fā)明的這個(gè)方面，所述電極表面和所述配線層通過(guò)導(dǎo)電粘合劑彼此之間電 連接。所述液體存留彎具有用于接受多余的導(dǎo)電粘合劑的存留空間，所述多余的導(dǎo)電粘合 劑是在向所述通孔填充液體粘合劑時(shí)所形成的。 在電極表面和端子之間的間隙中存在第一液體塞子(liquid stopper)，以限定出 縮短的間隙。當(dāng)向通孔填充液體導(dǎo)電粘合劑時(shí)，粘合劑在縮短的間隙中展現(xiàn)出毛細(xì)現(xiàn)象，以 使粘合劑滲入并且分散到該縮短的間隙中。 對(duì)于通過(guò)第一液體塞子限定的縮短的間隙當(dāng)中的電極表面和端子之間的間隙，不 出現(xiàn)毛細(xì)現(xiàn)象，由此液體導(dǎo)電粘合劑不會(huì)滲入或是分散到第一液體塞子外面的間隙當(dāng)中。
即，液體粘合劑不會(huì)溢出到第一液體塞子的外邊緣之外。第一液體塞子的外邊緣 起到了將粘合劑保持在第一液體塞子的外邊緣內(nèi)的保護(hù)堤的作用。結(jié)果，本發(fā)明的這個(gè)方 面可確保壓電元件的電極表面和端子之間的電連接具有充分的接合強(qiáng)度，同時(shí)不會(huì)對(duì)壓電 元件施加機(jī)械應(yīng)力。 根據(jù)本發(fā)明的上述方面，液體存留彎具有用于接受多余的液體粘合劑的存留空 間，所述多余的導(dǎo)電粘合劑是在向所述通孔填充液體粘合劑時(shí)所形成的。即使所施加的液 體粘合劑的量相對(duì)大，仍可防止粘合劑溢出。 因此，上述方面可執(zhí)行與壓電元件的配線連接，同時(shí)不會(huì)損壞壓電元件或是破壞 它的可靠性。


圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的磁頭懸架的透視圖； 圖2是示出了在圖1的磁頭懸架中嵌入的壓電制動(dòng)器的透視圖； 圖3是沿著圖2中的線A-A看去的截面圖； 圖4是示出了圖1的磁頭懸架的底面圖； 圖5A和圖5B是示出了圖1的磁頭懸架的配線部件的示意圖，其中圖5A是從磁頭 懸架的下方看去的示意圖，而圖5B是從磁頭懸架中嵌入的壓電元件看去的示意圖；
圖6A和圖6B是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1的端子的示意圖，其中圖6A是從壓 電元件側(cè)看去的前視圖，而圖6B是沿著圖4中的線B-B看去的連接狀態(tài)下的截面圖；
圖7A和圖7B是示出了將實(shí)施例1中的端子連接到壓電元件的處理的截面圖；
圖8A和圖8B是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例2的端子的示意圖，其中圖8A是從壓 電元件側(cè)看去的前視圖，而圖8B是沿著圖4中的線B-B看去的連接狀態(tài)下的截面 圖9A和圖9B是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例3的端子的示意圖，其中圖9A是從壓 電元件側(cè)看去的前視圖，而圖9B是沿著圖4中的線B-B看去的連接狀態(tài)下的截面圖； 圖10A是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1的變形例1的端子的示意圖； 圖10B是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1的變形例2的端子的示意圖； 圖11A是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例3的變形例1的端子的示意圖； 圖11B是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例3的變形例2的端子的示意圖； 圖12是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1的變形例3的端子的示意圖；以及 圖13是示出了根據(jù)本發(fā)明的變形例的磁頭懸架的總體示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面參考附圖詳細(xì)地說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓電制動(dòng)器的接線連接結(jié)構(gòu)、壓電 制動(dòng)器、以及磁頭懸架。 首先，說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的磁頭懸架。
圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的磁頭懸架31的透視圖。 磁頭懸架31包括具有可根據(jù)施加的電壓變形的壓電元件13的壓電制動(dòng)器11、 對(duì)應(yīng)于權(quán)利要求書(shū)中指明的"基底部"的基底板33、承載梁35、以及起到鉸鏈功能的連接板 37等。 基底板33具有可嵌入壓電元件13的開(kāi)口 43。壓電元件13響應(yīng)于所施加的電壓
而變形，以便在搖擺方向上、即承載梁35的水平方向上，移動(dòng)承載梁35的前端。 基底板33彈性地支撐承載梁35并且是由具有例如大約150至200 y m厚度的不
銹鋼薄板制成的。 基底板33具有一對(duì)都呈U形的撓性部件41a和41b、用于容納壓電元件13的開(kāi) 口 43、以及實(shí)質(zhì)上呈圓形的突起45。撓性部件41a和41b在對(duì)應(yīng)于壓電元件13的側(cè)面的 位置處各自向外彎曲。 基底板33被固定到制動(dòng)器的臂的前端(未示出)，并且通過(guò)音圈馬達(dá)(未示出) 驅(qū)動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)。 基底板33可由諸如鋁合金等輕金屬和包括輕金屬和不銹鋼的復(fù)合材料制成。這 樣的輕材料可降低基底板33的慣量，提高搖擺方向上的磁頭懸架31的諧振頻率，并且改善 磁頭懸架31的尋跡性能。 除了為基底板33提供撓性部件41a和41b以及開(kāi)口 43之外，還可使用具有撓性 部件41a和41b以及開(kāi)口 43的制動(dòng)器板34。在這種情況下，將制動(dòng)器板34的后端布置到 基底板33上并且通過(guò)諸如激光焊接等合適的固定方式將其固定。 也就是說(shuō)，本發(fā)明不僅包括具有基底板33和制動(dòng)器板34兩者的磁頭懸架，并且還 包括僅具有基底板33的磁頭懸架。 在下面的說(shuō)明中，認(rèn)為制動(dòng)器板34和基底板33是一體的，這是出于方便說(shuō)明的考 慮。 承載梁35具有彎曲部39。彎曲部39的前端支撐具有磁頭的滑塊(未示出)。承
載梁35可由大約30至150 ii m厚的不銹鋼板制成并且用于將負(fù)載施加到滑塊上。 彎曲部39具有用于向壓電元件13的電極提供電能并且用于傳送從磁頭發(fā)送的讀信號(hào)/發(fā)送到磁頭的寫(xiě)信號(hào)的配線部件55。彎曲部39可由不銹鋼薄板彈簧制成并且比承 載梁35更薄并且更精確。 承載梁35具有可改善承載梁35的硬度的、在長(zhǎng)度方向上彎折的邊緣36a和36b。 承載梁35的后端是與連接板37 —體的。 承載梁35可由諸如鋁合金等輕金屬和包括輕金屬和不銹鋼的復(fù)合材料制成。這 樣的輕材料可降低承載梁35的慣量，提高搖擺方向上的磁頭懸架31的諧振頻率，并且改善 磁頭懸架31的尋跡性能。 連接板37可由大約30 i！ m厚的彈性金屬板制成。連接部37的一部分具有用于降 低厚度方向上的硬度的孔47。在孔47的兩側(cè)上，分別具有在厚度方向上彎折的鉸鏈49a和 49b。將連接板37的后端布置到基底板33的前端的底面上并且通過(guò)諸如激光焊接等合適 的固定方式將其固定。 下面將會(huì)說(shuō)明在磁頭懸架31中嵌入的壓電制動(dòng)器11。 圖2是示出了壓電制動(dòng)器11的透視圖，而圖3是沿著圖2中的線A-A看去的截面 圖。 在圖2和圖3中，壓電制動(dòng)器11具有實(shí)質(zhì)上呈矩形形狀的壓電元件13。壓電元件 13響應(yīng)于所施加的電壓變形，并且壓電制動(dòng)器11相應(yīng)地驅(qū)動(dòng)對(duì)象部(承載梁35)。當(dāng)對(duì)壓 電元件13施加電壓時(shí)，或是當(dāng)停止對(duì)壓電元件13施加電壓時(shí)、或是根據(jù)對(duì)壓電元件13施 加的電壓等級(jí)，發(fā)生壓電元件13的變形。 壓電元件13包括設(shè)置在公共板上并且彼此之間間隔預(yù)定距離的第一和第二電 極15和17、與第一和第二電極15和17相對(duì)的公共電極19、以及在第一和第二電極15和 17與公共電極19之間設(shè)置的壓電材料21。 第一和第二電極15和17以及公共電極19可由諸如金(Au)的具有低接觸電阻的 金屬制成。 第一和第二電極15和17實(shí)質(zhì)上具有相同的形狀和大小。公共電極19在大小和 形狀上與第一和第二電極15和17的組合實(shí)質(zhì)上相同。 壓電材料21包括根據(jù)對(duì)第一電極15施加的電壓而變形的第一壓電材料21a和 根據(jù)對(duì)第二電極17施加的電壓而變形的第二壓電材料21b。將第一和第二壓電材料21a和 21b設(shè)置成使它們產(chǎn)生相反的極化。第一和第二壓電材料21a和21b可由例如壓電陶瓷制 成，該壓電陶瓷在極性方向上彼此相差180度。 下面將會(huì)說(shuō)明壓電制動(dòng)器11的操作。在圖2中，標(biāo)記有"X"的壓電元件13的側(cè) 面是固定側(cè)面，標(biāo)記有"Y"的側(cè)面是驅(qū)動(dòng)側(cè)面，第一和第二電極15和17接地，并且公共電 極19接收電壓。 當(dāng)接收到電壓時(shí)，壓電元件13變形成為一梯形，該梯形具有收縮的第一電極15的 端面23和伸長(zhǎng)的第二電極17的端面25。 結(jié)果，壓電元件13在Z方向上移動(dòng)非常小的距離，從而移動(dòng)與壓電元件13的驅(qū)動(dòng) 側(cè)面Y相連接的部件(承載梁35)。 當(dāng)公共電極19接地并且第一和第二電極15和17接收到電壓時(shí)，壓電元件13在Z 方向上(與Z方向相反的方向)移動(dòng)微小的距離，從而移位(displace)與壓電元件13的 驅(qū)動(dòng)側(cè)面Y相連接的部件(承載梁35)。
7
壓電制動(dòng)器11需要第一和第二電極15和17以及公共電極19所需的三個(gè)電系統(tǒng)。
這樣的配置可以簡(jiǎn)化與壓電元件13的連線并且確保壓電元件13的可靠性。 壓電制動(dòng)器11具有單個(gè)的壓電元件13，以便減少部件的個(gè)數(shù)，最小化部件設(shè)置，
并且降低磁頭懸架31的成本。 下面進(jìn)一步說(shuō)明磁頭懸架31。 圖4是示出了圖1中的磁頭懸架31的底視圖。 如圖l和圖4所示，在磁頭懸架31的基底板33形成的開(kāi)口 43中嵌入有壓電元件 13，從而使得第一和第二電極位于頂面，而使公共電極19位于底面?；装?3的頂面與壓 電元件13的頂部電極表面齊平。 開(kāi)口 43的外圍邊緣的前端和后端都被部分地刻蝕以改善非導(dǎo)電的粘合劑51的粘 性。部分刻蝕形成了支撐體33al和33a2。支撐體33al和33a2中的每一個(gè)都具有用于支 撐壓電元件13的公共電極19的表面。 在壓電元件13的公共電極19和支撐體33al、33a2之間，設(shè)置了具有合適厚度的 一層非導(dǎo)電粘合劑51。該粘合劑層有效地將壓電元件13的變形(移位)傳遞給承載梁35 并且確保了公共電極19和基底板33(支撐體33al和33a2)之間的電絕緣。
基底板33與連接板37重疊的部分對(duì)應(yīng)于壓電制動(dòng)器11的驅(qū)動(dòng)側(cè)面Y。
接下來(lái)，將會(huì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓電制動(dòng)器的接線連接結(jié)構(gòu)。
圖5A和圖5B是示出了圖1中的磁頭懸架31的配線部件55，其中圖5A是從磁頭 懸架31的下方看去的示意圖，而圖5B是從磁頭懸架31中嵌入的壓電元件13看去的示意 圖。圖6A和圖6B是示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1的端子57-l的示意圖，其中圖6A是從 壓電元件13側(cè)看去的前視圖，而圖6B是沿著圖4中的線B-B看去的連接狀態(tài)下的截面圖。
當(dāng)組裝磁頭懸架31時(shí)，相對(duì)于開(kāi)口43的內(nèi)圓周來(lái)定位壓電元件13，以使壓電元件 13的公共電極19(對(duì)應(yīng)于權(quán)利要求書(shū)中指明的"電極表面")朝向彎曲部39的配線部件55 的端子57，如圖4、圖5A和圖5B所示。在彎曲部39的端子57和壓電元件13的公共電極 19之間，存在一個(gè)幾十微米寬的間隙(gap)。在這個(gè)間隙中，設(shè)置了接線連接結(jié)構(gòu)以確保端 子57和公共電極19之間的電連接。 首先，將會(huì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的接線連接結(jié)構(gòu)的基本形態(tài)。接線連接結(jié)構(gòu)的基本形 態(tài)包括端子57、通孔67、第一液體塞子69、液體存留彎73、以及導(dǎo)電粘合劑79。
如圖5A所示，端子57(配線部件55)具有導(dǎo)電基底59 (彎曲部39的不銹鋼基 底)、在導(dǎo)電基底上形成的電絕緣層61、以及例如由絕緣層61上布置的銅配線制成的配線 63。導(dǎo)電基底59、絕緣層61、以及配線63在公共電極19側(cè)依次連續(xù)地形成疊層。
如圖5B所示，朝向壓電元件13的公共電極19的端子57(配線部件55)的區(qū)域65 不具有導(dǎo)電基底。即，在區(qū)域65中，通過(guò)刻蝕去除了導(dǎo)電基底59，以便防止在公共電極19 和導(dǎo)電基底59之間形成短路故障。結(jié)果，絕緣層61朝向區(qū)域65中的公共電極19。配線 63向公共電極19供電。 經(jīng)過(guò)絕緣層61和端子57的配線63形成有通孔67。至少經(jīng)過(guò)端子57的絕緣層 61來(lái)形成通孔67，這是因?yàn)楫?dāng)至少經(jīng)過(guò)絕緣層61形成通孔67時(shí)可確保公共電極19和配 線63之間的電連接。 第一液體塞子69與公共電極19和端子57之間的間隙中環(huán)繞通孔67形成第一液體塞子69。當(dāng)在通孔67中填充液體狀態(tài)下的導(dǎo)電粘合劑79時(shí)，第一液體塞子69可縮短公 共電極19和端子57之間的間隙，以便限定出縮短的間隙并且使得在縮短的間隙中出現(xiàn)毛 細(xì)現(xiàn)象?？墒沟谝灰后w塞子69與導(dǎo)電基底層59分離并且可將第一液體塞子69與端子57 和公共電極19的表面的其中之一相連。 第一液體塞子69必須是可阻擋液體導(dǎo)電粘合劑79的固體阻擋物，因此第一液體 塞子69可由諸如金屬和樹(shù)脂等不會(huì)被粘合劑79腐蝕或溶解的合適材料制成。
液體存留彎73具有存留空間77，當(dāng)向通孔67填充粘合劑79時(shí)，該存留空間77用 于接收多余的液體導(dǎo)電粘合劑79。當(dāng)向通孔67注入液體導(dǎo)電粘合劑79時(shí)，需要將液體導(dǎo) 電粘合劑79保持為液態(tài)，之后使其慢慢地喪失液態(tài)性并且固化?？拷谝灰后w塞子69的 位置處設(shè)置液體存留彎73。導(dǎo)電粘合劑79可以例如是銀的漿糊或是其他合適的粘合劑。
通過(guò)導(dǎo)電粘合劑79使得公共電極19和配線63彼此之間電連接。液體存留彎73 的存留空間77接受當(dāng)向通孔67填充液態(tài)下的粘合劑79時(shí)出現(xiàn)的多余的導(dǎo)電粘合劑79。
在基底板33與壓電元件13的第一和第二電極15、 17之間，如圖1所示地施加導(dǎo) 電粘合劑53a和53b，以確保電極15、17和基底板33之間的電連接。 以上述方式，接線連接結(jié)構(gòu)的基本形態(tài)可通過(guò)導(dǎo)電粘合劑79使得公共電極19和 配線63彼此之間電連接，并且如果需要還可設(shè)置用于保留多余的導(dǎo)電粘合劑79的具有存 留空間77的液體存留彎73。 當(dāng)液體導(dǎo)電粘合劑79充滿了通孔67時(shí)，在公共電極19和端子57之間的間隙中 存在第一液體塞子69，以便形成縮短的間隙。該縮短的間隙產(chǎn)生毛細(xì)現(xiàn)象以分散在該縮短 的間隙中的導(dǎo)電粘合劑79。 與第一液體塞子69限定出的縮短的間隙相比較，在電極19和端子57之間的相對(duì) 寬的間隙中，不會(huì)出現(xiàn)毛細(xì)現(xiàn)象，因此粘合劑79不會(huì)滲入或是分散到寬的間隙中。
S卩，粘合劑79不會(huì)溢出到第一液體塞子69的外邊緣之外。第一液體塞子69的外 邊緣起到使粘合劑79保留在其中的防護(hù)堤的作用。結(jié)果，接線連接結(jié)構(gòu)的基本形態(tài)確保了 壓電元件13的公共電極19與端子57之間的電連接，并且無(wú)需對(duì)壓電元件13施加機(jī)械應(yīng) 力即可使其具有充分的接合強(qiáng)度。 液體存留彎73具有用于當(dāng)向通孔67填充粘合劑79時(shí)可保留多余的粘合劑79的 存留空間77。即使所施加的液體粘合劑79的量相對(duì)較大，粘合劑79仍不會(huì)溢出到外面。
因此，接線連接結(jié)構(gòu)可執(zhí)行與壓電元件13的配線連接，同時(shí)不會(huì)破壞壓電元件13 或是影響壓電元件13的可靠性。 然而，接線連接結(jié)構(gòu)的基本形態(tài)具有如下危險(xiǎn)，S卩如果通孔67中填充了量過(guò)多的 導(dǎo)電粘合劑79則導(dǎo)電粘合劑79就會(huì)溢出。如果粘合劑79溢出，則它會(huì)破壞磁頭懸架31 的硬度平衡和振蕩特性，并會(huì)造成公共電極19和磁頭懸架31的任何導(dǎo)電部件之間的短路。
可通過(guò)圖6A和圖6B所示的實(shí)施例1的端子57_1的接線連接結(jié)構(gòu)來(lái)解決上述問(wèn) 題。 在圖6A中，根據(jù)實(shí)施例1的端子57-1具有第一液體塞子69-1。第一液體塞子 69-1具有實(shí)質(zhì)上具有的環(huán)形形狀的塞子部71和與塞子部71 —體的液體存留彎73。
第一液體塞子69-1的塞子部71具有用于將多余的液體導(dǎo)電粘合劑79引導(dǎo)到液 體存留彎73的切口 75。 S卩，切口 75將多余的液體導(dǎo)電粘合劑79引入到液體存留彎73的存留空間77中。 與切口75相比，存留空間77具有延伸的空間。即使充滿了通孔67的粘合劑79造 成相對(duì)大的余量，仍可將該余量引入到寬的存留空間77當(dāng)中，從而防止了粘合劑79溢出。
通過(guò)當(dāng)刻蝕掉區(qū)域65 (圖5B)中的導(dǎo)電基底59時(shí)部分地留下環(huán)繞通孔67的導(dǎo)電 基底59不被刻蝕的方式來(lái)形成第一液體塞子69-1。在這種情況下，第一液體塞子69-1必 須與導(dǎo)電基底59的剩余部分電絕緣，從而避免公共電極19和導(dǎo)電基底59之間出現(xiàn)短路。
可選的，還可完全地刻蝕掉區(qū)域65 (圖5B)中的導(dǎo)電基底59，隨后環(huán)繞通孔67設(shè) 置與導(dǎo)電基底59分離的第一液體塞子69-1。在圖6B中，使用覆蓋層81完全地覆蓋配線 63，從而避免導(dǎo)電粘合劑79和配線被氧化。 下面將會(huì)參考圖7A和圖7B說(shuō)明如何使端子57_1連接壓電元件13，其中圖7A說(shuō) 明了端子57-1的第一連接處理，而圖7B說(shuō)明了端子57-1的第二連接處理。
在圖7A中，端子57-l和通孔67的開(kāi)口位置顛倒，通孔67的開(kāi)口位于頂部。在這 種狀態(tài)下，液體狀態(tài)下的導(dǎo)電粘合劑79填充到通孔67當(dāng)中。 之后，再次顛倒端子57-1成為圖7A所示的狀態(tài)，以使端子57_1的絕緣層61朝向 壓電元件13的公共電極19。之后，如圖7B所示，將端子57-1放置到公共電極19之上。
此時(shí)，第一液體塞子69-l可防止導(dǎo)電粘合劑79向外流出。如果存在多余的導(dǎo)電 粘合劑79，則將其引入到液體存留彎73的存留空間77當(dāng)中，從而防止多余的導(dǎo)電粘合劑 79向外溢出。 當(dāng)液體導(dǎo)電粘合劑79充滿通孔67時(shí)，在根據(jù)實(shí)施例1的接線連接結(jié)構(gòu)的端子 57-1和公共電極19之間的間隙中具有第一液體塞子69-1，以便限定出如圖6B所示的縮短 的間隙。該縮短的間隙可產(chǎn)生毛細(xì)現(xiàn)象以使導(dǎo)電粘合劑79分散到該縮短的間隙當(dāng)中。
與第一液體塞子69-1限定出的縮短的間隙相比較，在電極19和端子57-1之間的 相對(duì)寬的間隙中，不會(huì)出現(xiàn)毛細(xì)現(xiàn)象，因此粘合劑79不會(huì)滲入或是分散到寬的間隙中。
S卩，粘合劑79不會(huì)溢出到第一液體塞子69-1的外邊緣之外。第一液體塞子69-1 的外邊緣起到使粘合劑79保留在其中的防護(hù)堤的作用。結(jié)果，根據(jù)實(shí)施例1的接線連接結(jié) 構(gòu)確保了壓電元件13的公共電極19與端子57-1的配線63之間的電連接，并且無(wú)需對(duì)壓 電元件13施加機(jī)械應(yīng)力即可使其具有充分的接合強(qiáng)度。 如果在公共電極19和端子57-1之間的間隙中不存在液體塞子，則不需要用于防 止液體粘合劑79流散的防護(hù)堤。 隨后，通孔67中充滿的液體粘合劑79可在公共電極19和端子57_1之間自由地流散。 這會(huì)導(dǎo)致如下問(wèn)題的出現(xiàn)1)很難控制填充到通孔67當(dāng)中的液體粘合劑的量并 且很難自動(dòng)化向通孔67的粘合劑填充操作，2)破壞了磁頭懸架31的硬度平衡和振蕩特性， 以及3)液體粘合劑的余量會(huì)導(dǎo)致公共電極19和磁頭懸架31的任何導(dǎo)電部件之間出現(xiàn)短 路。 為了解決上述問(wèn)題，根據(jù)實(shí)施例1的接線連接結(jié)構(gòu)在公共電極19和端子57-1之 間的間隙中插入了液體塞子69-1，從而防止了通孔67中填充的液體導(dǎo)電粘合劑79在公共 電極19和端子57-1之間自由地散開(kāi)。 實(shí)施例1能夠1)方便地控制填充到通孔67當(dāng)中的液體粘合劑的量并且自動(dòng)化向通孔67的粘合劑填充操作，2)正確地保持磁頭懸架31的硬度平衡和振蕩特性，以及3) 防止導(dǎo)電粘合劑79在公共電極19和端子57-1之間自由地散開(kāi)，從而避免了公共電極19 和磁頭懸架31的任何導(dǎo)電部件之間出現(xiàn)短路。 如果通孔67中填充的液體粘合劑79過(guò)量，則多余的液體粘合劑79被引入到液體 存留彎73的存留空間77當(dāng)中，以便防止余量溢出。即，即使液體粘合劑79過(guò)量，余量也不 會(huì)溢出到外面。 相應(yīng)地，實(shí)施例1可執(zhí)行與壓電元件13的配線連接的同時(shí)，不會(huì)損壞壓電元件13 或是破壞它的可靠性。 下面將會(huì)說(shuō)明根據(jù)實(shí)施例2的壓電制動(dòng)器的接線連接結(jié)構(gòu)。這種接線連接結(jié)構(gòu)使 用了如圖8A和圖8B所示的端子57-2，其中圖8A是從壓電元件13側(cè)看去的前視圖，而圖 8B是沿著圖4的線B-B看去的連接狀態(tài)下的截面圖。 根據(jù)實(shí)施例2的端子57-2包括第一液體塞子69-2，該第一液體塞子69_2具有環(huán) 繞公共電極19和端子57-2之間的間隙中的通孔67的環(huán)形形狀。環(huán)繞第一液體塞子69-2， 設(shè)置了環(huán)形的第二液體塞子101，第二液體塞子101的直徑不同于第一液體塞子69-2的直 徑并且與第一液體塞子69-2呈同心圓。第一和第二液體塞子69-2和101之間的環(huán)形凹陷 限定了液體存留彎73的存留空間77。 如果通孔67中填充的液體導(dǎo)電粘合劑79過(guò)量并且如果余量溢出了第一液體塞子 69-2，則將余量引入到液體存留彎73的存留空間77當(dāng)中，即第一和第二液體塞子69_2和 101之間的環(huán)形凹陷。S卩，即使通孔67中填充的粘合劑79過(guò)量，也可將余量引入到液體存 留彎73的存留空間77當(dāng)中，從而防止了余量溢出到外面。 當(dāng)刻蝕掉區(qū)域65(圖5B)中的導(dǎo)電基底59時(shí)通過(guò)部分地留下通孔61周?chē)膶?dǎo)電 基底59形成第一和第二液體塞子69-2和101。在這種情況下，液體塞子69-2和101必須 與導(dǎo)電基底59的剩余部分電絕緣，從而避免公共電極19和導(dǎo)電基底59之間出現(xiàn)短路。
可選的，還可完全地刻蝕掉區(qū)域65 (圖5B)中的導(dǎo)電基底59，隨后環(huán)繞通孔67設(shè) 置與導(dǎo)電基底59分離的液體塞子69-2和101。 根據(jù)實(shí)施例2，第一和第二液體塞子69-2、101的外邊緣起到了雙層防護(hù)堤的作 用。如果液體導(dǎo)電粘合劑79溢出第一液體塞子69-2的外邊緣，則可在第二液體塞子101 的外邊緣當(dāng)中容納溢出的粘合劑。結(jié)果，實(shí)施例2可確保公共電極19和端子57-2的配線 63之間的電連接具有合適的接合強(qiáng)度，同時(shí)不會(huì)給壓電元件13帶來(lái)機(jī)械應(yīng)力。
如果通孔67中填充的液體導(dǎo)電粘合劑79過(guò)量，則多余的液體導(dǎo)電粘合劑79會(huì)被 引入液體存留彎73的存留空間77當(dāng)中，即第一和第二液體塞子69-2和101之間的環(huán)形凹 陷，從而防止余量從凹陷當(dāng)中溢出。也就是說(shuō)，即使液體粘合劑79過(guò)量，余量也不會(huì)溢出到 外面。 相應(yīng)地，實(shí)施例2可執(zhí)行與壓電元件13的配線連接，而不會(huì)損壞壓電元件13或是 破壞它的可靠性。 下面將會(huì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例3的壓電制動(dòng)器的接線連接結(jié)構(gòu)。這種接線連 接結(jié)構(gòu)使用了如圖9A和圖9B所示的端子57-3，其中圖9A是從壓電元件13側(cè)看去的前視 圖，而圖9B是沿著圖4中的線B-B看去的連接狀態(tài)下的截面圖。根據(jù)實(shí)施例3的端子57-3包括在公共電極19和端子57-3之間的間隙中在通孔67周?chē)木哂协h(huán)形形狀的第一液體塞子69-3。環(huán)繞第一液體塞子69-3，設(shè)置了環(huán)形的第二 液體塞子101，第二液體塞子101的直徑不同于第一液體塞子69-3的直徑并且與第一液體 塞子69-3呈同心圓。第一液體塞子69-3的圓周部分具有實(shí)施例3所特有的切口 103。
第一和第二液體塞子69-2和101之間的環(huán)形凹陷限定了液體存留彎73的存留空 間77。 如果通孔67中填充的液體導(dǎo)電粘合劑79過(guò)量，則將余量通過(guò)切口 103引入到液 體存留彎73的存留空間77當(dāng)中，即第一和第二液體塞子69-3和101之間的環(huán)形凹陷。也 就是說(shuō)，即使通孔67中填充的粘合劑79過(guò)量，也可將余量引入到液體存留彎73的存留空 間77當(dāng)中，從而防止了余量溢出到外面。 當(dāng)刻蝕掉區(qū)域65(圖5B)中的導(dǎo)電基底59時(shí)通過(guò)部分地留下通孔67周?chē)膶?dǎo)電 基底59來(lái)形成第一和第二液體塞子69-3和101。在這種情況下，液體塞子69-3和101必 須與導(dǎo)電基底59的剩余部分電絕緣，從而避免公共電極19和導(dǎo)電基底59之間出現(xiàn)短路。
可選的，還可完全地刻蝕掉區(qū)域65 (圖5B)中的導(dǎo)電基底59，隨后環(huán)繞通孔67設(shè) 置與導(dǎo)電基底59分離的液體塞子69-3和101。 根據(jù)實(shí)施例3，第一和第二液體塞子69-3、101的外邊緣起到了雙層防護(hù)堤的作 用。如果液體導(dǎo)電粘合劑79溢出第一液體塞子69-3的外邊緣或是切口 103，則可在第二 液體塞子101的外邊緣當(dāng)中容納溢出的粘合劑。結(jié)果，實(shí)施例3可確保公共電極19和端子 57-3的配線63之間的電連接具有合適的接合強(qiáng)度，同時(shí)不會(huì)給壓電元件13帶來(lái)機(jī)械應(yīng)力。
如果通孔67中填充的液體導(dǎo)電粘合劑79過(guò)量，則多余的液體導(dǎo)電粘合劑79會(huì)被 引入液體存留彎73的存留空間77當(dāng)中，即第一和第二液體塞子69-3和IOI之間的環(huán)形凹 陷，從而防止余量從凹陷當(dāng)中溢出。也就是說(shuō)，即使液體粘合劑79過(guò)量，余量也不會(huì)溢出到 外面。 相應(yīng)地，實(shí)施例3可執(zhí)行與壓電元件13的配線連接，而不會(huì)損壞壓電元件13或是 破壞它的可靠性。 返回圖1至圖4，說(shuō)明磁頭懸架31的操作。假設(shè)壓電元件13的第一和第二電極 15和17接地并且它們的公共電極19接收預(yù)定的電壓。 如圖2所示，第一電極15的端面23收縮并且第二電極17的端面25伸長(zhǎng)，由此壓 電元件變形成為梯形。 也就是說(shuō)，壓電元件13在方向Z上微小地移動(dòng)，從而在搖擺方向(磁頭懸架31的 寬度方向)上移動(dòng)驅(qū)動(dòng)側(cè)面Y上的承載梁35。 如果公共電極19接地并且第一和第二電極15和17接收預(yù)定的電壓，則壓電元件 13在方向Z上微小地移動(dòng)，從而在相對(duì)的搖擺方向上移動(dòng)驅(qū)動(dòng)側(cè)面Y上的承載梁35。
包括壓電制動(dòng)器11的磁頭懸架31需要第一和第二電極15、 17和壓電元件13的 公共電極19的三個(gè)電系統(tǒng)。這樣的配置使得與壓電元件13的配線連接變得簡(jiǎn)單和可靠。
基底板33在開(kāi)口 43中容納壓電元件13并且從下方支撐該壓電元件13?；装?33的開(kāi)口 43環(huán)繞壓電元件13，從而可以方便地定位壓電元件13并且保護(hù)易損的壓電元件 13不受損壞。 彼此相對(duì)的公共電極19和端子57通過(guò)單一的連接(導(dǎo)電粘合劑79)彼此相連。 這樣的配置減少了彎曲部39上的配線的個(gè)數(shù)并且增多了一塊材料上可產(chǎn)生的彎曲部的個(gè)數(shù)。 盡管通過(guò)實(shí)施例已經(jīng)說(shuō)明本發(fā)明，但是這些實(shí)施例并不用于限制本發(fā)明。在不脫 離權(quán)利要求書(shū)和說(shuō)明書(shū)所指明或暗示的本發(fā)明的范圍和技術(shù)精神的前提下，可以對(duì)實(shí)施例 作出修改。根據(jù)這些修改的壓電元件的接線連接結(jié)構(gòu)、壓電制動(dòng)器、以及磁頭懸架都落入本 發(fā)明的范圍之內(nèi)。 例如，除了基底板33之外，本發(fā)明還包括在制動(dòng)器板34上具有可撓性部件41a和 41b以及開(kāi)口 43(圖1)的磁頭懸架。 權(quán)利要求書(shū)中所提及的"基底部"包括基底板33和制動(dòng)器板34。相應(yīng)地，權(quán)利要 求書(shū)中所提及的"基底部"還可是"基底板"或"制動(dòng)器板"。 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1 ，端子57-1的第一液體塞子69-1具有兩者一體的環(huán)形塞子 部件71和單個(gè)液體存留彎73。這并不限制本發(fā)明。 圖IOA是示出了根據(jù)實(shí)施例1的變形例1的端子57-lA的示意圖，而圖10B是示 出了根據(jù)實(shí)施例1的變形例2的端子57-1B的示意圖。 在圖10A中，端子57-1A具有彼此一體的環(huán)形塞子部71以及兩個(gè)液體存留彎73a 和73b。在圖10B中，端子57-1B具有彼此一體的環(huán)形塞子部71以及三個(gè)液體存留彎73a、 73b和73c。 鄰近環(huán)形塞子部71設(shè)置的液體存留彎73的個(gè)數(shù)是可選的并且可根據(jù)設(shè)計(jì)條件等 來(lái)確定。 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例3，端子57-3的第一液體塞子69-3具有單個(gè)切口 103。這并 不限制本發(fā)明。 圖11A是示出了根據(jù)實(shí)施例3的變形例1的端子57-3A的示意圖，而圖IIB是示 出了根據(jù)實(shí)施例3的變形例2的端子57-3B的示意圖。 在圖11A中，端子57-3A具有環(huán)形形狀的第一液體塞子部69-3和兩個(gè)切口 103a和 103b。在圖11B中，端子57-3B具有環(huán)形形狀的第一液體塞子部69-3以及三個(gè)切口 103a、 103b和103c。 環(huán)形的第一液體塞子的個(gè)數(shù)是可選的并且可根據(jù)設(shè)計(jì)條件等來(lái)確定。 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例和變形例，通過(guò)端子57的電絕緣層61和配線63來(lái)形成通過(guò)
67。這并不限制本發(fā)明。 圖12是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例1的變形例3的端子57-1X的示意圖。
在圖12中，端子57-1X包括沒(méi)有通孔的配線63。配線63具有朝向壓電元件13的 公共電極19并且與經(jīng)過(guò)端子57-1X的絕緣層61形成的通孔67中填充的導(dǎo)電粘合劑79接 觸的表面區(qū)域63a，由此確保了公共電極19和配線63之間的電連接。 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例和變形例，在基底板33和承載梁35之間插入了壓電制動(dòng)器。 這并不限制本發(fā)明。 本發(fā)明可應(yīng)用于固定到用于移動(dòng)磁頭懸架的磁頭的托架臂上的磁頭懸架。在這 種情況下，可在基底部和磁頭之間插入壓電制動(dòng)器，以便微小地移動(dòng)磁頭懸架、或是磁頭滑 塊、或是磁頭。 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例和變形例，第一和第二液體塞子69和101是環(huán)形的并且被同 心圓地設(shè)置。這并不限制本發(fā)明。
例如，還可采用具有圖6A所示的液體存留彎73的液體塞子69-1和例如圖8A所示的環(huán)形第二液體塞子101的組合。 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例和變形例，壓電制動(dòng)器11使用了一個(gè)應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明的接
線連接結(jié)構(gòu)的壓電元件13。這并不限制本發(fā)明。 圖13是示出了根據(jù)本發(fā)明的變形例的磁頭懸架的示意圖。 在圖13中，壓電制動(dòng)器113使用了 一對(duì)壓電元件11 la和11 lb，并且壓電元件11 la和lllb中的每一個(gè)都使用了本發(fā)明的接線連接結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
一種用于具有壓電元件的壓電制動(dòng)器的接線連接結(jié)構(gòu)，所述壓電元件被設(shè)置在具有基底部和移動(dòng)部的對(duì)象上，根據(jù)所述壓電元件響應(yīng)于對(duì)其所施加的電功率產(chǎn)生的變形，相對(duì)于所述基底部微小地移動(dòng)所述移動(dòng)部，所述接線連接結(jié)構(gòu)包括端子，其具有電絕緣層和配線層，所述電絕緣層朝向壓電元件的電極表面，所述配線層形成于沒(méi)有朝向電極表面的絕緣層的表面上并且用于向電極表面供電；通孔，其形成在所述端子當(dāng)中并且至少通過(guò)所述絕緣層；第一液體塞子，其設(shè)置在所述電極表面和端子之間的間隙中的通孔周?chē)?；液體存留彎，其設(shè)置在鄰近所述第一液體塞子的位置處；以及在所述通孔中填充的導(dǎo)電粘合劑，當(dāng)向所述通孔中填充時(shí)，所述導(dǎo)電粘合劑是液態(tài)的，所述導(dǎo)電粘合劑使得所述電極表面和所述配線層彼此之間電連接，所述液體存留彎具有用于接受多余的導(dǎo)電粘合劑的存留空間，所述多余的導(dǎo)電粘合劑是在向所述通孔填充導(dǎo)電粘合劑時(shí)產(chǎn)生。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線連接結(jié)構(gòu)，其中 所述液體存留彎與所述第一液體塞子是一體的。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的接線連接結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步包括第二液體塞子，其具有環(huán)形形狀，并且環(huán)繞所述電極表面和端子之間的間隙中的第一 液體塞子而形成，所述液體存留彎的存留空間是通過(guò)所述第一和第二液體塞子限定的。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線連接結(jié)構(gòu)，其中所述端子具有從電極表面?zhèn)乳_(kāi)始順序地疊層設(shè)置的導(dǎo)電基底層、電絕緣層、以及配線層；通過(guò)刻蝕去除對(duì)應(yīng)于所述電極表面的導(dǎo)電基底層的區(qū)域；并且所述第一液體塞子與所述導(dǎo)電基底層分開(kāi)并且與所述端子和電極表面中的一個(gè)相連。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的接線連接結(jié)構(gòu)，其中所述端子具有從電極表面?zhèn)乳_(kāi)始順序地疊層設(shè)置的導(dǎo)電基底層、電絕緣層、以及配線層；通過(guò)刻蝕去除對(duì)應(yīng)于所述電極表面的導(dǎo)電基底層的區(qū)域；并且所述第二液體塞子與所述導(dǎo)電基底層分開(kāi)并且與所述端子和電極表面中的一個(gè)相連。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線連接結(jié)構(gòu)，其中所述端子具有從電極表面?zhèn)乳_(kāi)始順序地疊層設(shè)置的導(dǎo)電基底層、電絕緣層、以及配線層；通過(guò)刻蝕去除對(duì)應(yīng)于所述電極表面的導(dǎo)電基底層的區(qū)域；并且當(dāng)從所述導(dǎo)電基底層去除所述電極表面對(duì)應(yīng)的區(qū)域時(shí)，通過(guò)部分地留下環(huán)繞所述通孔 的導(dǎo)電基底層，由所述導(dǎo)電基底層形成所述第一液體塞子。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的接線連接結(jié)構(gòu)，其中所述端子具有從電極表面?zhèn)乳_(kāi)始順序地疊層設(shè)置的導(dǎo)電基底層、電絕緣層、以及配線層；通過(guò)刻蝕去除對(duì)應(yīng)于所述電極表面的導(dǎo)電基底層的區(qū)域；并且當(dāng)從所述導(dǎo)電基底層去除所述電極表面對(duì)應(yīng)的區(qū)域時(shí)，通過(guò)部分地留下環(huán)繞所述通孔的導(dǎo)電基底層，由所述導(dǎo)電基底層形成所述第二液體塞子。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線連接結(jié)構(gòu)，其中所述第一液體塞子具有用于將多余的導(dǎo)電粘合劑導(dǎo)向所述液體存留彎的切口。
9. 一種壓電制動(dòng)器，其包括根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線連接結(jié)構(gòu)。
10. —種磁頭懸架，所述磁頭懸架具有基底、承載梁和壓電制動(dòng)器，所述壓電制動(dòng)器包括響應(yīng)于對(duì)其所施加的電功率產(chǎn)生變形的壓電元件，以便根據(jù)所述變形相對(duì)于所述基底微小地移動(dòng)所述承載梁的前端，所述磁頭懸架包括彎曲部，其具有電絕緣層和配線層，所述電絕緣層朝向壓電元件的電極表面，所述配線 層形成于沒(méi)有朝向電極表面的絕緣層的表面上并且用于向電極表面供電；通孔，其形成在所述彎曲部當(dāng)中并且至少通過(guò)所述絕緣層；第一液體塞子，其設(shè)置在所述電極表面和彎曲部之間的間隙中的通孔周?chē)?；液體存留彎，其設(shè)置在鄰近所述第一液體塞子的位置處；以及在所述通孔中填充的導(dǎo)電粘合劑，當(dāng)向所述通孔中填充時(shí)，所述導(dǎo)電粘合劑是液態(tài)的， 所述導(dǎo)電粘合劑使得所述電極表面和所述配線層彼此之間電連接， 所述液體存留彎具有用于接受多余的導(dǎo)電粘合劑的存留空間，所述多余的導(dǎo)電粘合劑 是在向所述通孔填充導(dǎo)電粘合劑時(shí)產(chǎn)生。
全文摘要
一種壓電制動(dòng)器的接線連接結(jié)構(gòu)，包括端子(57-1)、經(jīng)過(guò)端子形成的通孔(67)、在端子(57-1)和壓電制動(dòng)器的壓電元件(13)的公共電極(19)之間的間隙中通孔(67)周?chē)O(shè)置的第一液體塞子(69-1)、以及鄰近第一液體塞子(69-1)設(shè)置的液體存留彎(73)。端子(57-1)朝向公共電極(19)，電絕緣層(61)位于壓電元件(13)側(cè)上并且第一液體塞子(69-1)位于公共電極(19)和端子(57-1)之間的間隙當(dāng)中。在通孔(67)中填充有液體導(dǎo)電粘合劑(79)。如果出現(xiàn)了多余的液體粘合劑(79)，則將余量引入到液體存留彎(73)的存留空間(77)當(dāng)中，從而防止余量溢出。
文檔編號(hào)H01L41/04GK101794583SQ20101000390
公開(kāi)日2010年8月4日 申請(qǐng)日期2010年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月15日
發(fā)明者淵野英己 申請(qǐng)人:日本發(fā)條株式會(huì)社