專(zhuān)利名稱(chēng)：玻璃鈍化臺(tái)面二極管酸腐蝕工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種臺(tái)面二極管酸腐蝕工藝，尤其是一種玻璃鈍化臺(tái)面二極管酸腐蝕 工藝。
背景技術(shù)：
目前廣泛用于玻璃鈍化臺(tái)面二極管芯柱腐蝕的方法是酸腐法。硅材料的傳統(tǒng)酸腐 是利用硝酸、氫氟酸與冰乙酸的混合液進(jìn)行腐蝕。這種成熟的傳統(tǒng)腐蝕法用于玻璃鈍化臺(tái) 面二極管的柱腐蝕時(shí)，腐蝕效果的重復(fù)性較差。造成這種現(xiàn)象的主要原因是腐蝕液對(duì)相同 復(fù)合電極的強(qiáng)烈腐蝕引起腐蝕液溫度升高，造成腐蝕速率和腐蝕時(shí)間不宜控制所致。時(shí)間 稍長(zhǎng)，反應(yīng)劇烈，在進(jìn)行去離子水沖洗時(shí)很容易造成管芯臺(tái)面氧化；時(shí)間稍短，又使得管芯 臺(tái)面腐蝕不充分、不均勻，達(dá)不到清潔臺(tái)面的目的。這兩種臺(tái)面狀況都會(huì)造成器件的低擊穿 和軟特性。同時(shí)，由于鉬銅復(fù)合電極與腐蝕液的劇烈反應(yīng)，使得大量的鉬、銅離子進(jìn)入腐蝕 液，對(duì)臺(tái)面表面造成了新的沽污，這種金屬離子吸附在臺(tái)面表面會(huì)引起器件的高溫動(dòng)態(tài)特 性不良。因此，在操作中為了控制腐蝕液的溫升，避免復(fù)合電極的過(guò)量腐蝕并得到充分腐蝕 的臺(tái)面，在工藝中往往采用加大腐蝕液用量和冰鎮(zhèn)腐蝕液等措施，這樣又造成了操作麻煩， 并增加了材料成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種玻璃鈍化臺(tái)面二極管酸腐蝕工藝，它能有效控制管芯 腐蝕的速率和溫度，以得到電特性良好、臺(tái)面表面清潔的二極管，而且加工成本低，生產(chǎn)操 作方便，以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的玻璃鈍化臺(tái)面二極管酸腐蝕工藝，將25 40份mol濃度 為65 70%的硝酸，10 40份mol濃度為38 42%氫氟酸，8 15份mol濃度為96 98%的硫酸以及35 40份mol濃度為99. 9%的冰乙酸混合均勻得到腐蝕液，待腐蝕液冷 卻至常溫后注入到插好管芯的腐蝕模內(nèi)，對(duì)管芯腐蝕2 4次，每次腐蝕60 120秒，每次 腐蝕后均用噴水槍對(duì)管芯沖水30 180秒；并預(yù)先用10 20份雙氧水，10 20份mol濃 度為83 88 %的磷酸以及70 80份去離子水配制得到鈍化液，將配制好的鈍化液注入到 腐蝕好管芯的腐蝕模內(nèi)，進(jìn)行化學(xué)鈍化1 2分鐘，鈍化結(jié)束后用噴水槍對(duì)管芯沖水30 180秒，然后將腐蝕盤(pán)放入超聲清洗器中超聲5 10分鐘，最后用噴水槍沖水將管芯沖洗干 凈，送入管芯保存箱中存放，待梳料后涂玻璃成型即可；所有份數(shù)均按體積份數(shù)計(jì)算。將配置好的腐蝕液放置在容器中，用冰水浴降溫至20 30°C后使用。配置好的鈍化液的使用時(shí)間不超過(guò)2小時(shí)。由于采用了上述技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明采用腐蝕液短時(shí)間次數(shù)多的 腐蝕方法來(lái)對(duì)管芯進(jìn)行腐蝕，既能有效控制管芯腐蝕的速率和溫度，又防止大量的鉬、銅離 子進(jìn)入腐蝕液，避免對(duì)臺(tái)面表面造成新的沽污，從而得到電特性良好，臺(tái)面表面清潔的二極 管。本發(fā)明的方法簡(jiǎn)單，操作方便，使用效果好。
具體實(shí)施例方式
具體實(shí)施例方式玻璃鈍化臺(tái)面二極管酸腐蝕工藝，在生產(chǎn)A423型時(shí)，將30份 mol濃度為68%的硝酸，15份mol濃度為42%氫氟酸，13份mol濃度為96%的硫酸以及35 份mol濃度為99. 9%的冰乙酸混合均勻得到腐蝕液，將腐蝕液裝入有蓋的塑料容器中，用 加冰塊的水將腐蝕液冷卻至25°C后注入到插好管芯的腐蝕模內(nèi)，對(duì)管芯腐蝕4次，第1次腐 蝕時(shí)間為120秒，第1次腐蝕后用噴水槍對(duì)管芯沖水30秒，再進(jìn)行第2次腐蝕，第2次腐蝕 的時(shí)間為90秒，腐蝕后用噴水槍對(duì)管芯沖水30秒，再進(jìn)行第3次腐蝕，第3次腐蝕的時(shí)間 為60秒，腐蝕后用噴水槍對(duì)管芯沖水30秒，最后進(jìn)行第4次腐蝕，第4次腐蝕的時(shí)間為30 秒，腐蝕后用噴水槍對(duì)管芯沖水180秒；并預(yù)先用15份雙氧水，15份mol濃度為85%的磷 酸以及75份去離子水配制得到鈍化液，將配制好的鈍化液注入到腐蝕好管芯的腐蝕模內(nèi)， 進(jìn)行化學(xué)鈍化1分鐘，鈍化結(jié)束后用噴水槍對(duì)管芯沖水120秒，然后將腐蝕盤(pán)放入超聲清洗 器中超聲6分鐘，以除去管芯表面的雜質(zhì)，最后用噴水槍沖水將管芯沖洗干凈，送入管芯保 存箱中存放，待梳料后涂玻璃成型即可；所有份數(shù)均按體積份數(shù)計(jì)算；配置好的鈍化液的 使用時(shí)間不超過(guò)2小時(shí)。腐蝕的時(shí)間及次數(shù)與管芯及引線(xiàn)的大小有關(guān)。采用短時(shí)間次數(shù)多的方法來(lái)對(duì)管芯 進(jìn)行腐蝕的目的是為了控制管芯腐蝕的速率和溫度，防止大量的鉬、銅離子進(jìn)入腐蝕液，避 免對(duì)臺(tái)面表面造成新的沽污，從而得到電特性良好，臺(tái)面表面清潔的二極管。采用冰水浴對(duì) 腐蝕液進(jìn)行降溫，既能縮短降溫時(shí)間，又能節(jié)約降溫成本。由于鈍化液中采用了雙氧水進(jìn)行 配置，因此放置時(shí)間過(guò)長(zhǎng)則會(huì)導(dǎo)致雙氧水分解，而影響鈍化液的配比，從而影響鈍化效果。
權(quán)利要求
1.一種玻璃鈍化臺(tái)面二極管酸腐蝕工藝，其特征在于將25 40份mol濃度為65 70%的硝酸，10 40份mol濃度為38 42%氫氟酸，8 15份mol濃度為96 98%的 硫酸以及35 40份mol濃度為99. 9%的冰乙酸混合均勻得到腐蝕液，待腐蝕液冷卻至常 溫后注入到插好管芯的腐蝕模內(nèi)，對(duì)管芯腐蝕2 4次，每次腐蝕60 120秒，每次腐蝕后 均用噴水槍對(duì)管芯沖水30 180秒；并預(yù)先用10 20份雙氧水，10 20份mol濃度為 83 88%的磷酸以及70 80份去離子水配制得到鈍化液，將配制好的鈍化液注入到腐蝕 好管芯的腐蝕模內(nèi)，進(jìn)行化學(xué)鈍化1 2分鐘，鈍化結(jié)束后用噴水槍對(duì)管芯沖水30 180 秒，然后將腐蝕盤(pán)放入超聲清洗器中超聲5 10分鐘，最后用噴水槍沖水將管芯沖洗干凈， 送入管芯保存箱中存放，待梳料后涂玻璃成型即可；所有份數(shù)均按體積份數(shù)計(jì)算。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃鈍化臺(tái)面二極管酸腐蝕工藝，其特征在于將配置好的 腐蝕液放置在容器中，用冰水浴降溫至20 30°C后使用。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃鈍化臺(tái)面二極管酸腐蝕工藝，其特征在于配置好的鈍 化液的使用時(shí)間不超過(guò)2小時(shí)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種玻璃鈍化臺(tái)面二極管酸腐蝕工藝，將硝酸、氫氟酸、硫酸以及冰乙酸混合均勻得到腐蝕液，待腐蝕液冷卻至常溫后注入到插好管芯的腐蝕模內(nèi)，對(duì)管芯腐蝕2～4次，每次腐蝕后均用噴水槍對(duì)管芯沖水；并預(yù)先用雙氧水、磷酸以及去離子水配制得到鈍化液，將配制好的鈍化液注入到腐蝕好管芯的腐蝕模內(nèi)，進(jìn)行化學(xué)鈍化，鈍化結(jié)束后用噴水槍對(duì)管芯沖水，然后將腐蝕盤(pán)放入超聲清洗器中超聲5～10分鐘，最后用噴水槍沖水將管芯沖洗干凈，待梳料后涂玻璃成型即可。本發(fā)明采用腐蝕液短時(shí)間次數(shù)多的腐蝕方法來(lái)對(duì)管芯進(jìn)行腐蝕，控制管芯腐蝕的速率和溫度，防止大量的鉑、銅離子進(jìn)入腐蝕液，從而得到電特性良好，臺(tái)面表面清潔的二極管。
文檔編號(hào)H01L21/329GK102082092SQ20091031059
公開(kāi)日2011年6月1日 申請(qǐng)日期2009年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月27日
發(fā)明者王智 申請(qǐng)人:中國(guó)振華集團(tuán)永光電子有限公司