專利名稱：腔門固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種板類部件的固定裝置，尤其涉及一種適用于將腔門固定于腔體壁
上且能解除固定的腔門固定裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件或平板顯示器件的制造工藝中，為了保證較高的清潔度，常常需要 在真空設(shè)備中完成各種工藝，因此用于制造半導(dǎo)體器件或平板顯示器件的設(shè)備， 一般被設(shè) 計(jì)成將基板輸送到真空設(shè)備中并利用等離子體對(duì)基板執(zhí)行所需的工藝，以0LED(0rganic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)的真空蒸鍍?yōu)槔瑢⒓庸ず玫幕鍌鬏斨撩芊獾?真空工藝室內(nèi)，在真空條件下，將真空工藝室內(nèi)的固體材料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來的原子或分 子自由地吸附在基板上逐漸形成薄膜，進(jìn)而形成OLED的各個(gè)材料層。 現(xiàn)有的真空加工設(shè)備通常包括三種真空腔室，即負(fù)載室、傳送室及工藝室，負(fù)載室 用于從外部站臺(tái)接收將要在設(shè)備中進(jìn)行加工的基板以便裝載基板，或用來輸出設(shè)備中加工 完成的基板以便卸載基板；傳送室用于在各個(gè)腔室之間傳送基板；工藝室用來在真空環(huán)境 下利用等離子體或熱能對(duì)基板執(zhí)行所需的工藝，如真空蒸鍍或蝕刻工藝等。由于工藝室利 用各種加工氣體或等離子氣體來重復(fù)大量工藝，因此，工藝室內(nèi)的設(shè)備易于受損或受污染， 從而需要定期更換或維修。因此，工藝室一般設(shè)計(jì)成由中空結(jié)構(gòu)的腔體和可啟閉的腔門密 封構(gòu)成，腔門可以打開以便對(duì)工藝室內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)或更換，而在執(zhí)行工藝步驟時(shí)腔門關(guān)閉 且要能保證工藝室內(nèi)部的密封性，因此常常在腔門內(nèi)側(cè)安裝密封圈，當(dāng)腔門關(guān)閉時(shí)保證腔 門與腔體密封，腔門關(guān)閉后還需要一固定裝置將腔門與腔體進(jìn)行固定連接，以進(jìn)一步加強(qiáng) 真空工藝室的密封性并保證操作的安全性。 如圖1所示，現(xiàn)有的用于將腔門200—固定于腔體壁100—上的裝置，一般采用具有 壓紋的旋鈕30(T ，旋鈕30(T的頭部30r具有螺紋，中部具有壓紋302—，在腔門20(T上開設(shè) 有與旋鈕30(T相對(duì)應(yīng)的安裝孔20r，旋鈕30(T安裝于腔門200—上的安裝孔201—內(nèi)并穿
過安裝孔2or ，腔體壁io(T上開設(shè)有與安裝孔2or相對(duì)應(yīng)的螺紋孔ior ，用與旋鈕3ocr
配合連接，腔門200—關(guān)閉時(shí)，將旋鈕300—的頭部30r旋入腔壁100—上的螺紋孔101—內(nèi) 使腔門200—與腔體壁100—固定，腔門200—與腔體壁100—壓緊實(shí)現(xiàn)真空工藝室的密封； 然而，為了保持真空工藝室的密封需要最大限度的旋進(jìn)壓紋旋鈕30(T，這樣所有的壓力都 需要由腔門200—上的密封圈202—承擔(dān)，導(dǎo)致密封圈202—壓迫量過大而影響密封效果，同 時(shí)也縮短了密封圈202—的使用壽命；需要開啟腔門200—時(shí)，需要將旋鈕300—旋出腔體壁 100—上的螺紋孔ior ，這樣在腔門200—開啟過程中旋鈕300—在重力的作用下容易脫離腔 門200—上的安裝孔201—，為使用帶來諸多不便。 因此，急需一種能分擔(dān)密封圈壓迫量，且在腔門開啟時(shí)能防止脫落的固定裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能分擔(dān)密封圈壓迫量，且在腔門開啟時(shí)能防止脫落的固定裝置。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種腔門固定裝置，適用于將腔門固
定于腔體壁上且能解除固定，其包括手柄、阻擋件及彈簧，所述手柄向外凸伸出凸臺(tái)，所述
凸臺(tái)向外凸伸出連接桿，所述連接桿的末端開設(shè)有螺紋并形成螺紋部，所述凸臺(tái)開設(shè)有環(huán)
繞所述連接桿的第一環(huán)槽，所述彈簧穿設(shè)于所述連接桿上且一端安裝于所述第一環(huán)槽內(nèi)，
所述彈簧的另一端凸伸出所述第一環(huán)槽，所述腔門貫穿開設(shè)有安裝孔，所述腔體壁正對(duì)所
述安裝孔開設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔，所述連接桿穿入所述安裝孔且所述螺紋部伸出所述
安裝孔，所述阻擋件卡設(shè)于所述連接桿上且位于所述螺紋部與所述凸臺(tái)之間，所述阻擋件
與所述腔門的內(nèi)表面分離地抵觸，所述凸臺(tái)與所述腔門的外表面分離地抵觸。 較佳地，所述安裝孔呈臺(tái)階狀，所述臺(tái)階自所述腔門的內(nèi)表面凹陷形成且正對(duì)所
述螺紋孔，所述阻擋件容置于所述安裝孔內(nèi)并與所述安裝孔的臺(tái)階分離地抵觸；腔門關(guān)閉
時(shí)，將手柄的螺紋部旋進(jìn)腔體壁上的螺紋孔內(nèi)，使螺紋部與腔體壁螺紋連接，所述阻擋件與
所述安裝孔的臺(tái)階相分離，手柄的凸臺(tái)與所述腔門的外表面相抵觸；開啟腔門時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄
使螺紋部退出腔體壁的螺紋孔，所述阻擋件與所述安裝孔的臺(tái)階相抵觸，手柄的凸臺(tái)與所
述腔門的外表面相分離，腔門開啟的過程中，腔門固定裝置不會(huì)脫離腔門，方便腔門的頻繁開啟。 較佳地，所述阻擋件為彈性擋圈；更具體地，所述連接桿開設(shè)有安裝槽，所述彈性 擋圈卡設(shè)于所述安裝槽內(nèi)并凸出所述安裝槽，彈性擋圈具有較好的彈性，使用壽命長(zhǎng)，且成 本低。 較佳地，所述阻擋件為螺母，所述螺母與所述連接桿的螺紋部相嚙合且旋進(jìn)所述 螺紋部，采用螺母作為阻擋件，只需加長(zhǎng)螺紋部，螺母通過螺紋部連接于手柄上，設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單， 安裝方便。 較佳地，所述腔門的外表面上具有與所述第一環(huán)槽相對(duì)應(yīng)的第二環(huán)槽，所述第二 環(huán)槽用于容納所述彈簧伸出第一環(huán)槽的一端，手柄的螺紋部旋入腔體壁上的安裝孔內(nèi)而與 腔體壁連接時(shí)，手柄的凸臺(tái)與所述腔門的外表面相抵觸，彈簧伸出第一環(huán)槽的一端容置于 腔門上的第二環(huán)槽內(nèi)并被壓縮，彈簧產(chǎn)生的彈力減小手柄的凸臺(tái)對(duì)腔門施加的壓力，使腔 門與腔體壁保持適合的距離，分擔(dān)腔門內(nèi)表面上安裝的密封圈的壓迫量，即保持腔門上的 密封圈具有適合的壓迫量，保證腔門與腔體壁之間良好的密封效果，且增長(zhǎng)密封圈的使用 壽命。 較佳地，所述腔門的內(nèi)表面上安裝有密封圈，腔門與腔體壁壓合時(shí)，對(duì)密封圈施加
壓力，使腔門與腔體壁之間保持良好的密封性，保持工藝腔室內(nèi)部具有良好的真空性。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明腔門固定裝置包括手柄、阻擋件及彈簧，所述手柄向
外凸伸出凸臺(tái)，所述凸臺(tái)向外凸伸出連接桿，所述連接桿的末端開設(shè)有螺紋并形成螺紋部，
所述凸臺(tái)開設(shè)有環(huán)繞所述連接桿的第一環(huán)槽，所述彈簧穿設(shè)于所述連接桿上且一端安裝于
所述第一環(huán)槽內(nèi)，所述彈簧的另一端凸伸出所述第一環(huán)槽，所述腔門貫穿開設(shè)有安裝孔，所
述腔體壁正對(duì)所述安裝孔開設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔，所述連接桿穿入所述安裝孔且所述
螺紋部伸出所述安裝孔，所述阻擋件卡設(shè)于所述連接桿上且位于所述螺紋部與所述凸臺(tái)之
間，所述阻擋件與所述腔門的內(nèi)表面分離地抵觸，所述凸臺(tái)與所述腔門的外表面分離地抵
觸；腔門關(guān)閉時(shí)，將手柄的螺紋部旋進(jìn)腔體壁上的螺紋孔內(nèi)，使螺紋部與腔體壁螺紋連接，將腔門固定于腔體壁上，手柄的凸臺(tái)與所述腔門的外表面相抵觸，凸臺(tái)上安裝的彈簧與腔 門相抵觸并被壓縮，彈簧產(chǎn)生的彈力減小手柄的凸臺(tái)對(duì)腔門施加的壓力，使腔門與腔體壁 保持適合的距離，使腔門上的密封圈保持有適合的壓迫量，進(jìn)而保證腔門與腔體壁的密封 效果，同時(shí)延長(zhǎng)密封圈的使用壽命；開啟腔門時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄使螺紋部退出腔體壁的螺紋孔， 手柄的凸臺(tái)與腔門的外表面相分離，所述阻擋件與所述安裝孔的臺(tái)階相抵觸，腔門開啟的 過程中，腔門固定裝置不會(huì)脫離腔門，方便腔門的頻繁開啟。


圖1是現(xiàn)有腔門固定裝置的截面示意圖。 圖2是本發(fā)明腔門固定裝置的第一實(shí)施例的截面示意圖。 圖3是圖2所示腔門固定裝置的分解截面示意圖。 圖4圖2所示腔門固定裝置的使用狀態(tài)的截面示意圖。 圖5是本發(fā)明腔門固定裝置的第二實(shí)施例的截面示意圖。 圖6是圖5所示腔門固定裝置的使用狀態(tài)的截面示意圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元件。
如圖2、圖3所示，本發(fā)明腔門固定裝置300的第一實(shí)施例中，阻擋件為彈性擋圈 330，腔門固定裝置300用于將閉合的腔門200固定于腔體壁100上，且能拆除固定使腔門 200打開，該腔門固定裝置300包括手柄310、彈簧320及彈性擋圈330，手柄310向外凸伸 出凸臺(tái)311，凸臺(tái)311向外凸伸出連接桿312，連接桿312的末端開設(shè)有螺紋并形成螺紋部 313，凸臺(tái)311開設(shè)有環(huán)繞連接桿312的第一環(huán)槽314，彈簧320穿設(shè)于連接桿312上且一端 安裝于第一環(huán)槽314內(nèi)，彈簧320的另一端凸伸出第一環(huán)槽314，連接桿312上接近螺紋部 313的位置處開設(shè)有安裝槽315 ;腔門200具有外表面201及與腔體壁100配合連接的內(nèi)表 面202，在腔門200上貫穿開設(shè)有與手柄310相對(duì)應(yīng)的安裝孔205，安裝孔205呈臺(tái)階狀，安 裝孔205的臺(tái)階206自腔門200的內(nèi)表面202凹陷形成；腔體壁100上正對(duì)安裝孔205開 設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔101 ;手柄310末端的螺紋部313由腔門200外表面201穿過腔 門200的安裝孔205并伸出安裝孔205，彈性擋圈330卡設(shè)于連接桿312上的安裝槽315內(nèi) 并凸出安裝槽315，彈性擋圈330容置于安裝孔205內(nèi)，彈性擋圈330與安裝孔205的臺(tái)階 206分離地抵觸，凸臺(tái)311與腔門200的外表面分離地抵觸；在腔門200的外表面201上設(shè) 置有與第一環(huán)槽314相對(duì)應(yīng)的第二環(huán)槽204，第二環(huán)槽204用于容納彈簧320伸出第一環(huán)槽 314的一端。安裝時(shí)，將彈簧320穿設(shè)于連接桿312上并將其一端裝入凸臺(tái)311上的第一環(huán) 槽314內(nèi)，彈簧320的另一端伸出第一環(huán)槽314，安裝好彈簧320后，將連接桿312末端的 螺紋部313由腔門200外表面201伸入安裝孔205內(nèi)并穿過安裝孔205，再將彈性擋圈330 卡于連接桿312上的安裝槽315內(nèi)，彈性擋圈330容置于安裝孔205內(nèi)并與安裝孔205的 臺(tái)階206分離地抵觸，凸臺(tái)311與腔門200的外表面分離地抵觸。 如圖4所示，使用時(shí)，腔門200閉合于腔體壁IOO上且兩者之間通過安裝于腔門內(nèi) 表面202上的密封圈203達(dá)到密封，本發(fā)明腔門固定裝置300將閉合的腔門200固定于腔 體壁100上，當(dāng)腔門200關(guān)閉時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄310使連接桿312末端的螺紋部313旋入腔體壁
5100上的螺紋孔101內(nèi)，使腔門200與腔體壁100密封固定，手柄310的螺紋部313旋入腔 體壁100上的螺紋孔101后，彈性擋圈330與臺(tái)階206相分離，彈簧320伸出第一環(huán)槽314 的一端容納于腔門200上的第二環(huán)槽204內(nèi)，凸臺(tái)311與腔門200外表面201相接觸，彈簧 320被壓縮，彈簧320產(chǎn)生的彈力減小凸臺(tái)311對(duì)腔門200施加的壓力，使腔門200與腔體 壁100之間保持適合的距離，進(jìn)而緩解安裝于腔門200內(nèi)表面202上的密封圈203的壓力， 改善密封圈203的壓迫量，使腔門200與腔體壁100之間的密封效果更好，并提高密封圈 203的使用壽命；當(dāng)需要打開腔門200時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄310使連接桿312末端的螺紋部313退 出腔體壁100上的螺紋孔101，凸臺(tái)311與腔門200外表面201相分離，彈性擋圈330與臺(tái) 階206相抵觸，在腔門200開啟后，由于彈性擋圈330與安裝孔205的臺(tái)階206相抵觸，使 手柄310不會(huì)脫離腔門200，方便腔門200的頻繁開啟。 如圖5所示，本發(fā)明腔門固定裝置300的第二實(shí)施例中，阻擋件為螺母340，腔門 固定裝置300包括手柄310、彈簧320及螺母340，手柄310向外凸伸出凸臺(tái)311，凸臺(tái)311 向外凸伸出連接桿312，連接桿312的末端開設(shè)有螺紋并形成螺紋部313，凸臺(tái)311開設(shè)有 環(huán)繞連接桿312的第一環(huán)槽314，彈簧320穿設(shè)于連接桿312上且一端安裝于第一環(huán)槽314 內(nèi)，彈簧320的另一端凸伸出第一環(huán)槽314，安裝時(shí)，將彈簧320穿設(shè)于連接桿312上并將其 一端裝入凸臺(tái)311上的第一環(huán)槽314內(nèi)，彈簧320的另一端伸出第一環(huán)槽314，安裝好彈簧 320后，將連接桿312末端的螺紋部313由腔門200外表面201伸入安裝孔205內(nèi)并穿過安 裝孔205，再將螺母340旋進(jìn)連接桿312的螺紋部313，并使螺母340容置于安裝孔205內(nèi) 并與臺(tái)階206分離地抵觸，凸臺(tái)311與腔門200的外表面分離地抵觸。
如圖6所示，本發(fā)明腔門固定裝置300的第二實(shí)施例在使用時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄310使連 接桿312末端的螺紋部313旋入腔體壁100上的螺紋孔101內(nèi)，使腔門200與腔體壁100 密封固定，連接桿312末端的螺紋部313旋入腔體壁100上的螺紋孔101后，螺母340與臺(tái) 階206相分離，彈簧320伸出第一環(huán)槽314的一端容納于腔門200上的第二環(huán)槽204內(nèi)，凸 臺(tái)311與腔門200外表面201相接觸，彈簧320被壓縮，彈簧320產(chǎn)生的彈力減小凸臺(tái)311 對(duì)腔門200施加的壓力，使腔門200與腔體壁IOO之間保持適合的距離，進(jìn)而緩解安裝于腔 門200內(nèi)表面202上的密封圈203的壓力，改善密封圈203的壓迫量，使腔門200與腔體壁 IOO之間的密封效果更好，并提高密封圈203的使用壽命；當(dāng)需要打開腔門200時(shí)，旋轉(zhuǎn)手 柄310使連接桿312前端的螺紋部313退出腔體壁100上的螺紋孔101，凸臺(tái)311與腔門 200外表面201相分離，螺母340與臺(tái)階206相抵觸，在腔門200開啟后，由于螺母340與安 裝孔205的臺(tái)階206相抵觸，使手柄310不會(huì)脫離腔門200，方便腔門200的頻繁開啟，在該 實(shí)施例中，只需要加長(zhǎng)手柄310的螺紋部313，將螺母340旋裝于螺紋部313即可達(dá)到防止 手柄310脫落的目的，設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，安裝方便。 由于本發(fā)明腔門固定裝置300包括手柄310、彈簧320及阻擋件330，手柄310向外 凸伸出凸臺(tái)311，凸臺(tái)311向外凸伸出連接桿312，連接桿312的末端開設(shè)有螺紋并形成螺 紋部313，凸臺(tái)311開設(shè)有環(huán)繞連接桿312的第一環(huán)槽314，彈簧320穿設(shè)于連接桿312上 且一端安裝于第一環(huán)槽314內(nèi)，彈簧320的另一端凸伸出第一環(huán)槽314，腔門200貫穿開設(shè) 有安裝孔205，腔體壁100正對(duì)安裝孔205開設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔101，連接桿312穿 入安裝孔205且螺紋部313伸出安裝孔205，阻擋件330卡設(shè)于連接桿312上且位于螺紋部 313與凸臺(tái)311之間，阻擋件330與腔門200的內(nèi)表面分離地抵觸，凸臺(tái)311與腔門200的外表面分離地抵觸；腔門200關(guān)閉時(shí)，將連接桿312前端的螺紋部313旋進(jìn)腔體壁100上的 螺紋孔101內(nèi)，使螺紋部313與腔體壁100螺紋連接，將腔門200固定于腔體壁100上，手 柄310的凸臺(tái)311與腔門200的外表面201相抵觸，凸臺(tái)311上安裝的彈簧320與腔門100 相抵觸并被壓縮，彈簧320產(chǎn)生的彈力減小凸臺(tái)311對(duì)腔門200施加的壓力，使腔門200與 腔體壁100保持適合的距離，使腔門200上的密封圈203保持有適合的壓迫量，進(jìn)而保證腔 門200與腔體壁100的密封效果，同時(shí)延長(zhǎng)密封圈203的使用壽命；開啟腔門200時(shí)，旋轉(zhuǎn) 手柄310使螺紋部313退出腔體壁100的螺紋孔IOI，手柄310的凸臺(tái)311與腔門200的外 表面201相分離，阻擋件330與安裝孔205的臺(tái)階206相抵觸，腔門200開啟的過程中，手 柄310不會(huì)脫離腔門200，方便腔門200的頻繁開啟。 本發(fā)明腔門固定裝置300并不限于將閉合的腔門200連接于腔體壁100上，還可 根據(jù)實(shí)際需要，用于相類似的板類部件的固定。 本發(fā)明中腔門200與腔體壁100的安裝方式、密封圈203的安裝方式等均為本領(lǐng) 域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說明。 以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利 范圍，因此依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
一種腔門固定裝置，適用于將腔門固定于腔體壁上且能解除固定，其特征在于所述腔門固定裝置包括手柄、阻擋件及彈簧，所述手柄向外凸伸出凸臺(tái)，所述凸臺(tái)向外凸伸出連接桿，所述連接桿的末端開設(shè)有螺紋并形成螺紋部，所述凸臺(tái)開設(shè)有環(huán)繞所述連接桿的第一環(huán)槽，所述彈簧穿設(shè)于所述連接桿上且一端安裝于所述第一環(huán)槽內(nèi)，所述彈簧的另一端凸伸出所述第一環(huán)槽，所述腔門貫穿開設(shè)有安裝孔，所述腔體壁正對(duì)所述安裝孔開設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔，所述連接桿穿入所述安裝孔且所述螺紋部伸出所述安裝孔，所述阻擋件卡設(shè)于所述連接桿上且位于所述螺紋部與所述凸臺(tái)之間，所述阻擋件與所述腔門的內(nèi)表面分離地抵觸，所述凸臺(tái)與所述腔門的外表面分離地抵觸。
2. 如權(quán)利要求l所述的腔門固定裝置，其特征在于所述安裝孔呈臺(tái)階狀，所述臺(tái)階自 所述腔門的內(nèi)表面凹陷形成且正對(duì)所述螺紋孔，所述阻擋件容置于所述安裝孔內(nèi)并與所述 安裝孔的臺(tái)階分離地抵觸。
3. 如權(quán)利要求1所述的腔門固定裝置，其特征在于所述阻擋件為彈性擋圈。
4. 如權(quán)利要求3所述的腔門固定裝置，其特征在于所述連接桿開設(shè)有安裝槽，所述彈 性擋圈卡設(shè)于所述安裝槽內(nèi)并凸出所述安裝槽。
5. 如權(quán)利要求1所述的腔門固定裝置，其特征在于所述阻擋件為螺母，所述螺母與所 述連接桿的螺紋部相嚙合且旋進(jìn)所述螺紋部。
6. 如權(quán)利要求1所述的腔門固定裝置，其特征在于所述腔門的外表面上具有與所述 第一環(huán)槽相對(duì)應(yīng)的第二環(huán)槽。
7. 如權(quán)利要求6所述的腔門固定裝置，其特征在于所述腔門的內(nèi)表面上安裝有密封圈。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種腔門固定裝置，適用于將腔門固定于腔體壁上且能解除固定，其包括手柄、阻擋件及彈簧，手柄向外凸伸出凸臺(tái)，凸臺(tái)向外凸伸出連接桿，連接桿的末端開設(shè)有螺紋并形成螺紋部，凸臺(tái)開設(shè)有環(huán)繞連接桿的第一環(huán)槽，彈簧穿設(shè)于連接桿上且一端安裝于第一環(huán)槽內(nèi)，彈簧的另一端凸伸出第一環(huán)槽，腔門貫穿開設(shè)有安裝孔，腔體壁正對(duì)安裝孔開設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔，連接桿穿入安裝孔且螺紋部伸出安裝孔，阻擋件卡設(shè)于連接桿上且位于螺紋部與凸臺(tái)之間，阻擋件與腔門的內(nèi)表面分離地抵觸，凸臺(tái)與腔門的外表面分離地抵觸；本發(fā)明腔門固定裝置能分擔(dān)腔門上密封圈的壓迫量，且在腔門開啟時(shí)不會(huì)脫落。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101764045SQ20091021532
公開日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2009年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月23日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭葉祥 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司