專利名稱：有機(jī)電致發(fā)光裝置及其制造方法、電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)電致發(fā)光裝置、有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著信息設(shè)備的多樣化等，對(duì)耗電量少且輕量化的平面顯示裝置的需求正在提高。作為這樣的平面顯示裝置之一，已知有具備有機(jī)發(fā)光層的有
機(jī)電致發(fā)光裝置(以下稱為"有機(jī)EL裝置")。
有機(jī)EL裝置具備多個(gè)在陽(yáng)極與陰極之間夾持有機(jī)發(fā)光層(發(fā)光層)、電子注入層等功能層而構(gòu)成的有機(jī)發(fā)光元件(有機(jī)E1元件)。其中，由于陰極、電子注入層由具有容易釋放電子的特性的材料形成，所以容易與大氣中存在的水分發(fā)生反應(yīng)而劣化。如果它們劣化，則會(huì)形成被稱之為黑斑的非發(fā)光區(qū)域。因此，在有機(jī)EL裝置中，阻斷大氣中的水分對(duì)有機(jī)發(fā)光元件造成影響的密封結(jié)構(gòu)十分重要。
近年來(lái)，能夠使用數(shù)nm厚的薄密封膜，將有機(jī)發(fā)光元件與外部環(huán)境阻斷。如果使用這樣的密封技術(shù)，則能夠不具備用于在內(nèi)部密封氣體、液體的中空結(jié)構(gòu)地實(shí)現(xiàn)完全的固體結(jié)構(gòu)。具備固體結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL裝置可以實(shí)現(xiàn)大幅度的薄型化、輕量化，從而能夠期待更高功能、更高品質(zhì)的有機(jī)EL裝置。
上述的薄密封膜使用透明且透濕性低的無(wú)機(jī)化合物層，阻斷來(lái)自外部環(huán)境的水分浸入。不過(guò)，由于這樣的無(wú)機(jī)化合物層具備高密度、高楊氏模量、高膜應(yīng)力，所以存在銜底、容易破損的問(wèn)題。在密封膜覆蓋的有機(jī)發(fā)光元件的周圍，形成有因在發(fā)光元件之間設(shè)置的像素隔壁、與發(fā)光元件連接的布線等引起的凹凸形狀，由于這樣的凹凸部而特別容易破損。如果將無(wú)機(jī)化合物層厚膜化來(lái)防止破損，則成膜時(shí)的殘留應(yīng)力增大，而容易成為發(fā)生翹曲或裂紋的原因，反而有可能使性能降低。 一旦密封膜破損，則水分會(huì)從破損部分連續(xù)浸入，使得發(fā)光元件持續(xù)劣化。于是，不僅在密封膜的破損部分發(fā)生黑斑，而且黑斑以破損部分為中心生長(zhǎng)，使非發(fā)光部分向周圍擴(kuò)大，從而導(dǎo)致產(chǎn)品壽命顯著縮短。
因此，提出一種為了使凹凸平坦化、緩和熱應(yīng)力而形成樹(shù)脂層，并使其與具有防止水分透過(guò)功能的無(wú)機(jī)化合物層層疊的結(jié)構(gòu)(例如參照專利文
獻(xiàn)1、 2)。而且，提出了一種層疊形成材料或密度不同的無(wú)機(jī)化合物層，用這樣的層疊結(jié)構(gòu)M發(fā)光元件，由此實(shí)現(xiàn)破損的抑制和高拔菱性，實(shí)現(xiàn)良好密封的技術(shù)(例如參照專利文獻(xiàn)3、 4)。
專利文獻(xiàn)1:特開(kāi)平10 - 312883號(hào)爿>才艮
專利文獻(xiàn)2:特開(kāi)2000 - 223264號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3:特開(kāi)2007 - 184251號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)4:特開(kāi)2003-282237號(hào)>^凈艮
然而，在將無(wú)枳4化合物層層疊到樹(shù)脂層上的情況下，當(dāng)在樹(shù)脂層上i殳置無(wú)機(jī)化合物層時(shí)，由于因溫度變化等引起樹(shù)脂層的伸縮，有可能導(dǎo)致樹(shù)脂層的端部的無(wú)機(jī)化合物層無(wú)法追隨該伸縮而破裂。在不使用樹(shù)脂層的情況下，由于難以佳發(fā)光元件附近的凹凸形狀平坦化，殘留無(wú)機(jī)化合物層容易破損的凹凸形狀，所以制造的有機(jī)EL裝置的可靠性低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于這樣的情況而完成，其目的在于，提供一種具備耐久性得以提高的密封層且實(shí)現(xiàn)了高可靠性的有機(jī)EL裝置。而且，其目的還在于，提供這樣的有機(jī)EL裝置的制造方法。并且，其目的還在于，提供具備這樣的有機(jī)EL裝置的電子設(shè)備。
為了解決上述課題，本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光裝置具備141;在一對(duì)電極之間夾持有機(jī)發(fā)光層，被配置在上i^jfel上的多個(gè)發(fā)光元件；被設(shè)置成覆蓋上述多個(gè)發(fā)光元件的有杌變沖層；和祐i殳置成覆蓋上述有M沖層的阻氣層；上述阻氣層具有含有含氮的硅化合物的第一無(wú)機(jī)膜、與形成材料中含有上述笫一無(wú)機(jī)膜的形成材料的氧化物且比上述第一無(wú)機(jī)膜薄
的第二無(wú)機(jī)膜交替層疊而成的結(jié)構(gòu)，上述第一無(wú)機(jī)膜及上述第二無(wú)機(jī)膜分別形成2層以上。
5第一無(wú)機(jī)膜以含氮原子的硅化合物為形成材料。在含氮原子的硅化合
物中，由于原子間的鍵合有氮原子(鍵數(shù)3)介于其間，所以共價(jià)鍵的數(shù)量多，成為高密度、阻氣性高的膜。另一方面，楊氏模量高、欠缺柔軟性。
第二無(wú)機(jī)膜以第一無(wú)機(jī)膜的形成材料的氧化物為形成材料。在這樣的氧化物中，由于原子間的鍵合有氧原子(鍵數(shù)2)介于其間，所以與原來(lái)的第一無(wú)機(jī)膜的形成材料相比，原子間的共價(jià)鍵的數(shù)量相對(duì)減少。于是，成為與第一無(wú)機(jī)膜的形成材料相比，阻氣性相對(duì)低、楊氏模量低的膜。
在本發(fā)明的阻氣層中，具有這樣性質(zhì)的第一無(wú)機(jī)膜和第二無(wú)機(jī)膜交替地層疊多層。即，在兩層第一無(wú)機(jī)膜之間夾持有楊氏模量比第一無(wú)機(jī)膜相對(duì)低的第二無(wú)機(jī)膜。
在這樣的阻氣層被施加應(yīng)力的情況下，在兩個(gè)第一無(wú)機(jī)膜之間，相對(duì)層內(nèi)方向(笫二無(wú)機(jī)膜的面方向)的剪切力具有相對(duì)柔軟性的第二無(wú)機(jī)膜，與第一無(wú)機(jī)膜相比發(fā)生較大變形。因此，如果與不具備第二無(wú)機(jī)膜的情況相比，則相對(duì)層內(nèi)方向的剪切力能夠較大地變形。由于本發(fā)明的阻氣層中設(shè)置有多個(gè)這樣的層疊結(jié)構(gòu)，所以整體能實(shí)現(xiàn)大的變形。因此，如果與不
具備第二無(wú)機(jī)膜的情;;U目比，阻氣層可以相對(duì)應(yīng)力柔軟變形，難以發(fā)生由
應(yīng)力引起的>^損。
另一方面，第二無(wú)機(jī)膜是比第一無(wú)機(jī)膜薄的膜，阻氣性能主要由第一無(wú)機(jī)膜承扭。因此，阻氣層強(qiáng)烈反映第一無(wú)機(jī)膜的性質(zhì)，顯示高的阻氣性。
因此，通過(guò)本發(fā)明的構(gòu)成，阻氣層成為兼具高阻氣性和針對(duì)應(yīng)力的耐久性的層，可以實(shí)現(xiàn)可靠性高的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明中，優(yōu)選具名"覆蓋上述多個(gè)發(fā)光元件的表面且形成在上述多個(gè)發(fā)光元件與上述有機(jī)緩沖層之間的電極保護(hù)層，上述電極保護(hù)層具有含有含氮的硅化合物的第三無(wú)機(jī)膜、與形成材料中含有上述第三無(wú)機(jī)膜的形成材料的氧化物且比上述第三無(wú)機(jī)膜薄的第四無(wú)機(jī)膜交替層疊而成的結(jié)構(gòu)，上述第三無(wú)機(jī)膜及上述第四無(wú)機(jī)膜分別形成兩層以上。
根據(jù)該構(gòu)成，通過(guò)進(jìn)一步用電扭 隊(duì)護(hù)層覆蓋在發(fā)光元件上，能夠進(jìn)一步提高阻氣性、提高密封性能.而且，由于所設(shè)置的電極保護(hù)層具備與阻氣層同樣構(gòu)成的第三無(wú)機(jī)膜與第四無(wú)機(jī)膜的層疊結(jié)構(gòu)，所以成為兼具高阻氣性和高耐久性的層。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性更高的有機(jī)EL裝置。
在本發(fā)明中，對(duì)于上述第二無(wú)機(jī)膜而言，優(yōu)選所含有的氧原子相對(duì)珪 原子的原子個(gè)數(shù)比為1以上2以下。
如果第二無(wú)機(jī)膜中氧原子相對(duì)硅原子的原子個(gè)數(shù)比小于1,則與第一 無(wú)機(jī)膜的楊氏模量差減小，難以得到所需要的柔軟性。另外，在氧原子個(gè) 數(shù)比為2的情況下，由于成為氧化硅(Si02 )，所以原子個(gè)數(shù)比以2為上限。 因此，通過(guò)該構(gòu)成，可形成相對(duì)應(yīng)力能夠發(fā)生變形的阻氣層。
在上述第四無(wú)機(jī)膜中，優(yōu)選所含有的氧原子相對(duì)硅原子的原子個(gè)數(shù)比 也為1以上2以下。
如果第四無(wú)機(jī)膜中氧原子相對(duì)珪原子的原子個(gè)數(shù)比小于1,則與第一 第三無(wú)機(jī)膜的楊氏模量差減小，難以得到所需要的柔軟性。另外，在氧原 子個(gè)數(shù)比為2的情況下，由于成為氧化硅(Si02)，所以原子個(gè)數(shù)比以2 為上限。因此，通過(guò)該構(gòu)成，可實(shí)現(xiàn)相對(duì)應(yīng)力能夠發(fā)生變形的電極保護(hù)層。
在本發(fā)明中，上述笫二無(wú)機(jī)膜的膜厚優(yōu)選為O.lnm以上10nm以下。
如果膜厚小于O.lnm，則由于成為硅原子一個(gè)原子的量左右的厚度， 所以在第一無(wú)機(jī)膜和第二無(wú)機(jī)膜的層間方向沒(méi)有第二無(wú)機(jī)膜的擴(kuò)展。因 此，在層內(nèi)方向上，無(wú)法發(fā)生以第二無(wú)機(jī)膜所含的共價(jià)鍵的角度變化等為 J^4的第二無(wú)機(jī)膜的變形，不能實(shí)現(xiàn)阻氣層塾沐的變形。另外，為了不影 響第一無(wú)機(jī)膜的阻氣性，優(yōu)選第二無(wú)機(jī)膜的膜厚是到10nm左右的膜厚。 因此，通過(guò)該構(gòu)成，可以形成兼具耐久性和阻氣性的阻氣層。
基于同樣的理由，優(yōu)選上述第四無(wú)機(jī)膜的膜厚也為O.lnm以上10nm以下。
如果膜厚小于O.lnm，則在第三無(wú)機(jī)膜和第四無(wú)機(jī)膜的層間方向沒(méi)有 笫四無(wú)機(jī)膜的擴(kuò)展，無(wú)法實(shí)現(xiàn)阻氣層整體的變形。另外，為了不影響第三 無(wú)機(jī)膜的阻氣性，優(yōu)選第四無(wú)機(jī)膜的膜厚是到lOnm左右的膜厚。因此， 通過(guò)該構(gòu)成，可以形成兼具耐久性和阻氣性的阻氣層。
在本發(fā)明中，優(yōu)選上述有機(jī)緩沖層的周緣端部的角度為20度以下。根據(jù)該構(gòu)成，由于在有M沖層的周緣端部，覆蓋有M沖層而形成 的阻氣層不具備陡峭的角度，所以能夠抑制阻氣層在有M沖層的周緣端 部損傷。因此，能夠基于阻氣層確實(shí)可靠地密封。這里，"有M沖層的 周緣端部的角度"表示相對(duì)于形成有^沖層的基底面的、有M沖層的 周緣端部的接觸角度(仰角)。
另外，本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，是上述有機(jī)電致發(fā)光
裝置的制造方法，其特征在于，包括形成含有含氮的硅化合物的材料膜 的工序；和對(duì)上述材料膜的表面實(shí)施氧等離子處理，在上述材料膜的表面
形成^^有該材料膜的形成材料的氧化物的氧化膜的工序。
通過(guò)該方法，可以容易地形成薄膜的氧化膜，能夠容易地制造具備良 好耐久性的有機(jī)EL裝置。
本發(fā)明涉及的電子設(shè)備，具備上述的有機(jī)電致發(fā)光裝置。
根據(jù)該構(gòu)成，可以實(shí)現(xiàn)耐久性高且壽命長(zhǎng)的電子設(shè)備。


圖1是示意^示本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的剖面圖。
圖2是表示本實(shí)施方式中的有機(jī)EL裝置的制造方法的工序圖。
圖3是表示在ICP — CVD成膜法中使用的ICP — CVD裝置的說(shuō)明圖。
圖4是表示在壓力梯度型等離子槍成膜法中使用的成膜裝置的說(shuō)明圖。
圖5是表示本實(shí)施方式中的有機(jī)EL裝置的制造方法的工序圖。
圖6是表示本實(shí)施方式中的有機(jī)EL裝置的制造方法的工序圖。
圖7是示意地表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的剖 面圖。
8圖8是表示本發(fā)明的電子設(shè)備的例子的立體圖。 圖9是表示實(shí)施例的結(jié)果的表。
圖中1、 2 -有機(jī)EL裝置(有機(jī)電致發(fā)光裝置)，10-陽(yáng)極(電極)， ll-陰極(電極)，12 -發(fā)光層(有機(jī)發(fā)光層)，17-電極保護(hù)層，17a
-第一保護(hù)層(第三無(wú)機(jī)膜)，17b-第二保護(hù)層(第四無(wú)機(jī)膜)，18-有機(jī)緩沖層，19-阻氣層，19a-第一阻氣層(第一無(wú)機(jī)膜)，19b-第 二阻氣層(第二無(wú)機(jī)膜)，20A -元件基板(基板)，21-發(fā)光元件，1300
-移動(dòng)電話(電子設(shè)備)，1400-電視接收機(jī)(電子設(shè)備)，ei、 02-仰 角(周緣端部的角度)。
具體實(shí)施例方式圖7是本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的有機(jī)EL裝置的說(shuō)明圖。本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置與第一實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置一部分共用。不 同點(diǎn)在于，不對(duì)輔助布線賦予作為陰極的保護(hù)層的功能，而設(shè)置對(duì)陰極 進(jìn)行保護(hù)的電極保護(hù)層。因此，對(duì)于本實(shí)施方式中與第一實(shí)施方式共用 的構(gòu)成要素，附加相同的符號(hào)，省略詳細(xì)說(shuō)明。
如圖7 (a)所示，在陰極ll的端部設(shè)置有用于輔助陰極ll和陰 極配線22A的通電的輔助陰極配線24，并覆蓋陰極ll、陰極布線22A、 輔助陰極布線24的表面整個(gè)面地形成有電極保護(hù)層17。通過(guò)該電極保 護(hù)層17，即便以具備透光性的程度(20nm以下)非常薄地形成陰極11, 也可以抑制陰極ll、其下的發(fā)光層12的破損。而且，還具有防止氧、 水分浸入到發(fā)光元件21的功能，由此，可以抑制由氧、水分導(dǎo)致發(fā)光 元件21劣化。
本實(shí)施方式的電極保護(hù)層17與阻氣層19同樣，具有含氮的硅化 合物(氮化硅或氧氮化硅等)和其氧化物交替層疊而成的結(jié)構(gòu)。電極保 護(hù)層17的膜厚優(yōu)選為100nm以上400nm以下的范圍。如果形成例如3 ~ 5pm左右的膜厚，則還可以完全埋沒(méi)因隔壁13引起的凹凸不平，但由 于欠缺柔軟性、膜應(yīng)力增高，所以不優(yōu)選。
如圖7(b)所示，電極保護(hù)層17與阻氣層19同樣，由以含氮的 硅化合物為形成材料的笫一保護(hù)層17a(第三無(wú)機(jī)膜、材料膜)、和以第 一保護(hù)層的形成材料的氧化物為形成材料的第二保護(hù)層17b (第四無(wú)機(jī) 膜、氧化膜)交替層疊而形成。電極保護(hù)層17可以使用與前述的阻氣 層19相同的形成方法形成。
如此形成的電極保護(hù)層17被i殳置成與阻氣層19相接，成為由電 極保護(hù)層17和阻氣層19密封有機(jī)緩沖層18的構(gòu)成。有機(jī)緩沖層18的 周緣端部相對(duì)電極保護(hù)層17表面的仰角(周緣端部的角度)6 2，優(yōu)選 形成為20度以下，特別優(yōu)選形成為IO度左右。在本實(shí)施方式中，仰角 62為IO度.
在上述構(gòu)成的有機(jī)EL裝置2中，可以更有效地抑制來(lái)自外部環(huán) 境的水分浸入，能夠?qū)崿F(xiàn)耐久性更高、高品質(zhì)的有機(jī)EL裝置。
[電子設(shè)備
24接著，對(duì)本發(fā)明涉及的電子設(shè)備的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖8是表示 使用了本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的電子設(shè)備的例子的圖，圖8(a)是表示 移動(dòng)電話的立體圖，圖8 (b)是表示電視接收機(jī)的立體圖.圖8(a) 是將本發(fā)明的有機(jī)EL裝置用于移動(dòng)電話顯示部那樣的小型面板的例 子，圖8 (b)是將本發(fā)明的有機(jī)EL裝置用于薄型電視的顯示部那樣的 大型面板的例子。
圖8 ( a )所示的移動(dòng)電話1300具備本發(fā)明的有機(jī)EL裝置作為小 尺寸的顯示部1301，并具有多個(gè)操作按鈕1302、受話口 1303及送話口 1304。由此，可以提供具備由本發(fā)明的有機(jī)EL裝置構(gòu)成的顯示品質(zhì)出 色的顯示部的移動(dòng)電話1300。
圖8 ( b )所示的電視接收機(jī)1400具備接收機(jī)主體(框體)1402、 揚(yáng)聲器等聲音輸出部1404、和使用了上述有機(jī)EL裝置1的顯示部1406。 由此，可以提供具備高品質(zhì)的顯示部1406、且輕量的薄型大畫(huà)面電視 1400。
由于這些電子設(shè)備具備本發(fā)明的有機(jī)EL裝置，所以可以成為具 備耐久性高、壽命長(zhǎng)的顯示部的電子設(shè)備。
另外，本發(fā)明的有機(jī)EL裝置并不限于上述的電子設(shè)備，還可以 適當(dāng)用作電子圖書(shū)、投影儀、個(gè)人電腦、數(shù)碼相機(jī)、電視接收機(jī)、取景 器型或監(jiān)視器直視型錄#4^、車輛導(dǎo)航裝置、傳呼機(jī)、電子記事本、計(jì)算 器、文字處理器、工作站、電視電話、POS終端、具備觸摸面板的設(shè)備等 的圖像顯示機(jī)構(gòu)，通過(guò)這樣構(gòu)成，可以提供具備顯示品質(zhì)高且可靠性出色 的顯示部的電子該:備。
以上，邊參照附圖邊對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，本發(fā) 明當(dāng)然并不限于上述例子。在上述的例子中示出的各構(gòu)成部件的諸形 狀、組合等只是一個(gè)例子，可以在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，根據(jù) 設(shè)計(jì)要求等進(jìn)行各種變更。
實(shí)施例
下面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施例中，為了確認(rèn)發(fā)明 的效果，制作成為有機(jī)EL裝置的替代品的評(píng)價(jià)用試驗(yàn)體來(lái)進(jìn)行評(píng)價(jià)。本實(shí)施例中采用的試驗(yàn)體，在玻璃性的支承基板上形成鎂膜(Mg 膜)，覆蓋Mg膜地形成由電極保護(hù)層(SiON) /有機(jī)緩沖層/阻氣層構(gòu) 成的薄膜密封層，進(jìn)而在薄膜密封層上貼合玻璃性的對(duì)置基板。電極保 護(hù)層形成為與支承基板相接，成為密封Mg膜的結(jié)構(gòu)。而且，按照電極 保護(hù)層與阻氣層相接的方式形成，成為密封有機(jī)緩沖層的結(jié)構(gòu)。
在所使用的試驗(yàn)體中，將各構(gòu)成的厚度設(shè)為，Mg膜50nm，電 極保護(hù)層(SiON): 400nm,有機(jī)緩沖層3pm，阻氣層400nm。在 實(shí)施例的試驗(yàn)體中，當(dāng)形成阻氣層時(shí)，層疊8層50nm的SiON層，在 各層成形之前進(jìn)行氧等離子處理，形成了氧化物的薄膜。另一方面，在 比較例的試驗(yàn)體中，當(dāng)形成阻氣層時(shí)，層疊形成8層50nm的SiON層， 不進(jìn)行氧等離子處理。
在使用了這樣的試驗(yàn)體的評(píng)價(jià)中，通過(guò)將Mg膜看作有機(jī)EL裝 置的陰極，對(duì)Mg膜的劣化程度進(jìn)行評(píng)價(jià)，由此評(píng)價(jià)對(duì)有機(jī)EL裝置的 陰極進(jìn)行覆蓋的薄膜密封層的密封性能。
將上述的試驗(yàn)體在設(shè)定成1.7個(gè)大氣壓、120"C、相對(duì)濕度85% RH的試驗(yàn)環(huán)境的高度加速壽命試驗(yàn)裝置(壓力鍋試驗(yàn)機(jī))內(nèi)放置500 小時(shí)，目視評(píng)價(jià)放置后的Mg膜的變質(zhì)。
試驗(yàn)體所具備的具有50nm厚度的Mg膜，具有金屬光澤且不透 明，但如果Mg膜發(fā)生變質(zhì)成為MgO (氧化鎂)，則失去Mg的金屬光 澤而變得透明。即,在放置后的Mg膜有這樣的變質(zhì)部分的情況下，薄 膜密封層受損，表示水分、空氣從損傷部分浸入的情況。所以，目視確 認(rèn)放置后的Mg膜上是否發(fā)生這樣的變質(zhì)部分來(lái)進(jìn)行評(píng)價(jià)。
結(jié)果，如圖9所示，在實(shí)施例的試驗(yàn)體中，Mg膜上未觀察到變 質(zhì)，與此相對(duì)，在比較例的試驗(yàn)體中，可以確認(rèn)在Mg膜的周緣部有透 明的變質(zhì)部分。
根據(jù)該結(jié)果，可以確認(rèn)具備本發(fā)明的構(gòu)成的阻氣層的耐久性提高， 能夠知曉本發(fā)明的構(gòu)成可以有效解決問(wèn)題.
2權(quán)利要求
1.一種有機(jī)電致發(fā)光裝置，其特征在于，具備基板；在一對(duì)電極之間夾持有機(jī)發(fā)光層，被配置在所述基板上的多個(gè)發(fā)光元件；被設(shè)置成覆蓋所述多個(gè)發(fā)光元件的有機(jī)緩沖層；和被設(shè)置成覆蓋所述有機(jī)緩沖層的阻氣層；所述阻氣層具有含有含氮的硅化合物的第一無(wú)機(jī)膜、與形成材料中含有所述第一無(wú)機(jī)膜的形成材料的氧化物且比所述第一無(wú)機(jī)膜薄的第二無(wú)機(jī)膜交替層疊而成的結(jié)構(gòu)，所述第一無(wú)機(jī)膜及所述第二無(wú)機(jī)膜分別形成2層以上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置，其特征在于，具^(guò)^覆蓋所述多個(gè)發(fā)光元件的表面、形成在所述多個(gè)發(fā)光元件與所述有機(jī)緩沖層之間的電極保護(hù)層，所述電極保護(hù)層具有^^有含氮的硅化合物的第三無(wú)積i膜、與形成材料中含有所述第三無(wú)機(jī)膜的形成材料的氧化物且比所述第三無(wú)機(jī)膜薄的第四無(wú)機(jī)膜交替層疊而成的結(jié)構(gòu)，所述第三無(wú)機(jī)膜及所述第四無(wú)機(jī)膜分別形成兩層以上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l或2所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置，其特征在于，在所述第二無(wú)機(jī)膜中，所含有的氧原子相對(duì)硅原子的原子個(gè)數(shù)比為l以上2以下。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置，其特征在于，所述第二無(wú)機(jī)膜的膜厚為O.lnm以上10nm以下。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置，其特征在于，在所述第四無(wú)機(jī)膜中，所含有的氧原子相對(duì)硅原子的原子個(gè)數(shù)比為1以上2以下。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置，其特征在于，所述第四無(wú)機(jī)膜的膜厚為O.lnm以上10nm以下。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置，其特征在于，所述有M沖層的周緣端部的角度為20度以下。
8. —種有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，是權(quán)利要求1~7所述的有機(jī)電ltiC光裝置的制造方法，包括形成含有含氮的硅化合物的材料膜的工序；和對(duì)所述材料膜的表面實(shí)施氧等離子處理，在所述材料膜的表面形成含有該材料膜的形成材料的氧化物的氧化膜的工序。
9. 一種電子i殳備，其特征在于，具備權(quán)利要求l ~7中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具備耐久性得以提高的密封成且實(shí)現(xiàn)了高可靠性的有機(jī)EL裝置及其制造方法和電子設(shè)備。該有機(jī)EL裝置具有元件基板(20A)；在一對(duì)電極之間夾持有機(jī)發(fā)光層(12)，被配置在元件基板(20A)上的多個(gè)發(fā)光元件(21)；至少覆蓋多個(gè)發(fā)光元件(21)而設(shè)置的有機(jī)緩沖層(18)；和至少覆蓋有機(jī)緩沖層(18)而設(shè)置的阻氣層(19)；阻氣層(19)具有含有含氮的硅化合物的第一阻氣層(19a)、與形成材料中含有第一阻氣層(19a)的形成材料的氧化物且比第一阻氣層(19a)薄的第二阻氣層(19b)交替層疊而成的結(jié)構(gòu)，第一阻氣層(19a)及第二阻氣層(19b)分別形成2層以上。
文檔編號(hào)H01L27/32GK101635306SQ200910164760
公開(kāi)日2010年1月27日 申請(qǐng)日期2009年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月24日
發(fā)明者林建二 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社