專利名稱：砷酸鈦氧鉀晶體全固態(tài)拉曼自倍頻黃光激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種固體激光器，特別涉及一種砷酸鈦氧鉀晶體全固態(tài)拉曼自倍頻黃光激光器。
(二)
背景技術(shù)：
黃橙波段(560—600nm)的激光可在多個(gè)領(lǐng)域獲得重要應(yīng)用，巳成為激光器領(lǐng)域的研究 熱點(diǎn)之一。固體拉曼激光器是基于晶體的受激拉曼散射(SRS)效應(yīng)，將1064 nm基頻光頻 移到110(Tl200 nm波段，再倍頻獲得黃橙激光。相對于其他幾種方式，采用固體拉曼激光 器倍頻的方式有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)激光二極管(LD)泵浦效率高、結(jié)構(gòu)相對簡單、便于維護(hù)、受 激拉曼散射的光束清理效應(yīng)(beam clean-up effect)有助于獲得好的光束質(zhì)量、腔內(nèi)倍頻 方案提高轉(zhuǎn)換效率等。
在固體拉曼激光倍頻獲得黃橙波段激光方面，目前主要有兩種方案 一是如H. M. Pask 等在Opt. Lett. 24， 1490-1492 (1999)這篇文章描述的，用Nd:YAG晶體做激光介質(zhì)產(chǎn)生 1064nm的基頻光，用BaW04、 SrW04等晶體做拉曼介質(zhì)實(shí)現(xiàn)1180nm附近的拉曼光輸出，再用 KTiOP04 (KTP)或LiB30s (LBO)晶體腔內(nèi)倍頻產(chǎn)生590nm附近的黃橙激光，；該方案的優(yōu)點(diǎn) 是激光產(chǎn)生過程和受激拉曼散射過程分別在兩塊晶體中進(jìn)行，因而晶體內(nèi)部的熱負(fù)載相對較 小，有利于獲得穩(wěn)定的大功率黃橙波段激光，缺點(diǎn)是至少需要用到三塊晶體，激光腔結(jié)構(gòu)相 對復(fù)雜、成本相對較高、調(diào)整難度較大。第二種方案如A. J. Lee等在Opt. Express 16， 21958-21963 (2008)這篇文章中所述，用Nd:YV04或Nd:GdV04晶體實(shí)現(xiàn)自拉曼激光運(yùn)轉(zhuǎn)，再 用KTP或LBO進(jìn)行腔內(nèi)倍頻，獲得586nm附近的黃橙光；該方案的優(yōu)點(diǎn)是只需要兩塊晶體， 激光腔結(jié)構(gòu)簡單，缺點(diǎn)是激光產(chǎn)生過程與受激拉曼散射過程在同一塊晶體中進(jìn)行，使得晶體 內(nèi)部的熱效應(yīng)相對嚴(yán)重，難以獲得高功率激光輸出。
發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提供一種砷酸鈦氧鉀(KTiOAs04， KTA)晶體全固態(tài)拉 曼自倍頻黃光激光器，以獲得黃光激光輸出。
一種砷酸鈦氧鉀(KTA)晶體全固態(tài)拉曼自倍頻黃光激光器，包括激光二極管(LD)泵 浦源、諧振腔，諧振腔由后腔鏡和輸出鏡組成，諧振腔中放置激光增益介質(zhì)、拉曼晶體、調(diào) 。裝置和倍頻晶體；激光增益介質(zhì)、拉曼晶體、調(diào)。裝置和倍頻晶體均由冷卻裝置對其進(jìn)行 溫度控制，其特征在于采用一塊KTA晶體替代拉曼晶體和倍頻晶體，諧振腔中依次放置激光 增益介質(zhì)、調(diào)。裝置和KTA晶體，由KTA晶體實(shí)現(xiàn)1. 06微米基頻光的拉曼轉(zhuǎn)換獲得1. 14微 米附近的拉曼光，同時(shí)，該KTA晶體可以實(shí)現(xiàn)拉曼光的倍頻獲得0.57微米附近的黃光，即 用一塊KTA晶體同時(shí)完成拉曼轉(zhuǎn)換及拉曼光的倍頻過程。
所述的激光二極管LD泵浦源可以是連續(xù)光泵浦，也可以是準(zhǔn)連續(xù)光(脈沖光)泵浦；LD 泵浦源其輸出中心波長可以是808nm也可以是880nm。
所述的LD泵浦源可以是LD端面泵浦源，它包括驅(qū)動電源、激光二極管、冷卻裝置、光 纖和耦合透鏡組；也可以是LD側(cè)面泵浦源，它包括驅(qū)動電源、LD側(cè)泵模塊、冷卻裝置。
所述的諧振腔是直腔，也可以是折疊腔(折疊腔時(shí)需加入折疊鏡以改變光路途徑)，腔 長為5cm—50cm，諧振腔的后腔鏡和輸出鏡的曲率半徑可根據(jù)實(shí)際情況選擇。
所述的諧振腔在LD端面泵浦情況下，諧振腔內(nèi)的調(diào)Q裝置和KTA晶體的相對位置可進(jìn)行調(diào)換；在LD側(cè)面泵浦情況下，諧振腔內(nèi)的側(cè)泵模塊及激光增益介質(zhì)、調(diào)Q裝置、KTA晶體 的相對位置可相互進(jìn)行調(diào)換。
所述的激光增益介質(zhì)可以是摻釹(Nd)的以下諸晶體中的一種釔鋁石榴石(Nd:YAG)、 釩酸釔(Nd:YV04)、釩酸釓(Nd:GdV04)、釩酸镥(Nd:LuV04)。激光增益介質(zhì)也可以是摻Nd 的陶瓷材料，即Nd:YAG陶瓷。
所述的激光增益介質(zhì)的摻雜濃度為0. 05-at. %至3-at. %。
所述的激光增益介質(zhì)的兩個(gè)端面均鍍有對泵浦光波段及1000 nm—1150 nm波段的增透膜。
所述的調(diào)C裝置可以是電光調(diào)C裝置、聲光調(diào)P裝置或可飽和吸收體被動調(diào)。裝置中的 任意一禾t;聲光調(diào)P裝置由射頻輸入裝置和調(diào)。晶體組成調(diào)。晶體的兩端面均鍍有1000 nm 一1100nm波長的增透膜；調(diào)制頻率為1Hz — 100kHz，通過輸入射頻波改變調(diào)C晶體的密度， 來實(shí)現(xiàn)周期性改變激光諧振腔閾值的目的，起到調(diào)Q裝置作用；電光調(diào)C裝置由電光晶體和 驅(qū)動電源組成利用晶體的電光效應(yīng)對通過其中的激光的相位產(chǎn)生調(diào)制，進(jìn)而改變偏振態(tài)， 完成開、關(guān)門過程，調(diào)制頻率為1Hz — 100kHz;可飽和吸收體是利用材料的激發(fā)、躍遷特性， 受激吸收時(shí)關(guān)門、向下躍遷時(shí)開門，以此完成對激光的開、關(guān)門控制，調(diào)制頻率為lHz — 100kHz。
所述的冷卻裝置有兩種方式循環(huán)水冷卻——晶體側(cè)面均用帶有管道的金屬塊包住，金 屬塊的管道內(nèi)持續(xù)通有循環(huán)冷卻水，用來給晶體降低溫度；半導(dǎo)體制冷——晶體側(cè)面被半導(dǎo) 體制冷塊包圍。溫控范圍為5攝氏度到30攝氏度。
所述的KTA晶體其切割角度如下0=0度，被84度到90度范圍內(nèi)。其端面鍍膜情況 如下可以在兩個(gè)端面均鍍在l微米一l. 15微米波段的增透膜(透過率大于98%)及0.57 微米的增透膜(透過率大于95% >也可以在一個(gè)端面鍍1微米一l. 15微米波段的增透膜(透 過率大于98%)及0.57微米的增透膜(透過率大于95%)、另一端面鍍1微米一1.15微米 波段的增透膜(透過率大于98%)及0.57微米的高反膜(反射率大于95%)。
本發(fā)明中的所有晶體的長度均可以根據(jù)具體要求進(jìn)行選??；晶體的端面形狀和面積可以 根據(jù)光束截面的面積來確定。
所述的諧振腔中的后腔鏡鍍有泵浦光波段的增透膜和1微米一l. 15微米波段的高反膜； 輸出鏡鍍有l(wèi)微米一l. 15微米波段的高反膜(反射率大于98%)，并且該膜對波長為0.57 微米的光具有高透射率(透過率>80%)。
由于拉曼效應(yīng)為三階的非線性效應(yīng)，需要基頻光具有較高的峰值功率，所以我們在激光 器中使用調(diào)C裝置，這樣可以增加基頻光的峰值功率，從而提高基頻光到拉曼光的轉(zhuǎn)換效 率，有效的改善了激光器的性能。
激光器的工作流程如下LD泵浦源發(fā)出的泵浦光耦合進(jìn)入激光增益介質(zhì)，當(dāng)調(diào)P裝置 的調(diào)Q裝置關(guān)閉時(shí)，泵浦光轉(zhuǎn)為反轉(zhuǎn)粒子存儲起來；當(dāng)P開關(guān)打開時(shí)，積攢的大量反轉(zhuǎn)粒子 瞬間通過受激輻射轉(zhuǎn)為基頻光；具有較高峰值功率的基頻光經(jīng)過KTA拉曼晶體，由受激拉曼 散射轉(zhuǎn)為拉曼光，同時(shí)，拉曼光在同一塊KTA中完成倍頻過程，產(chǎn)生0.57微米的黃光并由 輸出鏡輸出。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是只需兩塊晶體(激光晶體和KTA晶體)即可獲得黃光輸出，且本方案的 激光過程與受激拉曼散射過程分別在兩塊晶體中進(jìn)行，降低了晶體內(nèi)部的熱負(fù)載，即本方案 同時(shí)兼顧了 "背景技術(shù)"中描述兩種方案的優(yōu)點(diǎn)，能夠獲得結(jié)構(gòu)緊湊的、高功率的、穩(wěn)定的固體黃光激光器。
本發(fā)明使用了一種新的拉曼晶體KTA，使用激光二極管LD泵浦源和激光增益介質(zhì)，采用 腔內(nèi)拉曼自倍頻的方式成功產(chǎn)生0.57微米的黃光激光，提供了一種新的高效率、高功率、 體積小、穩(wěn)定性好的全固體拉曼激光器。本發(fā)明激光頭的體積可以做到8 cmX8 cmX15 cm 左右，黃光的輸出功率大于0.5W，性能穩(wěn)定。
(四)


圖1是本發(fā)明激光器LD端面泵浦情況下直腔光路結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是本發(fā)明激光器LD 側(cè)面泵浦情況下直腔光路結(jié)構(gòu)示意圖。
其中1.激光二極管LD， 2.光纖，3.耦合透鏡組，4.后腔鏡，5.激光增益介質(zhì)，6. 調(diào)。裝置，7. KTA晶體，8.輸出鏡，9.冷卻裝置，10. LD側(cè)面泵浦模塊。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1:
本發(fā)明激光器實(shí)施例1如圖1所示，包括激光二極管LD1、光纖2、耦合透鏡組3和諧振 腔，諧振腔由后腔鏡4和輸出鏡8組成，諧振腔中依次放置的激光增益介質(zhì)5為摻釹釔鋁石 榴石(Nd:YAG)激光晶體、聲光調(diào)Q裝 置6和KTA晶體7;由LD端面泵浦源產(chǎn)生的泵浦光 耦合進(jìn)入激光增益介質(zhì)5，所產(chǎn)生的1064ran基頻光通過KTA晶體7，由于KTA晶體7具有拉 曼效應(yīng)，由受激拉曼散射轉(zhuǎn)為1146nm拉曼光，同時(shí)，拉曼光在同一塊KTA晶體7中完成倍 頻過程，產(chǎn)生573微米的黃光并由輸出鏡8輸出。KTA晶體7作為拉曼介質(zhì)及拉曼光的倍頻 介質(zhì)，可以有效的產(chǎn)生拉曼轉(zhuǎn)換并進(jìn)行倍頻，獲得573nm的拉曼激光。上述Nd:YAG激光增 益介質(zhì)5、聲光調(diào)Q裝置6和KTA晶體7側(cè)面均用帶有管道的金屬塊圍住，金屬塊內(nèi)的管道 持續(xù)通有循環(huán)冷卻水，用來給晶體降低溫度，Nd:YAG激光增益介質(zhì)5及聲光調(diào)Q裝置6的 冷卻水水溫控制在20度、KTA晶體7的水溫控制在5度。
所述的激光二極管LD1端面泵浦源是由中心波長為808 nm的連續(xù)光LD端面泵浦源(最 高功率25W)及相應(yīng)的光纖2 (纖芯直徑600微米，數(shù)值孔徑0.22)和耦合透鏡組3 (1:1 成像，工作距離80mm)組成。
所述的激光晶體Nd:YAG晶體5的尺寸為05 mmX8咖，其摻雜濃度為1-at. %兩個(gè)端面 均鍍有808nm及1000 nm—1100 nm波長的增透膜(透過率大于99. 8% )。
所述的聲光調(diào)C裝置6由射頻輸入裝置和調(diào)。晶體組成，調(diào)C晶體的長度為38 mm，兩 端面均鍍有對l微米一l. 15微米波段的增透膜(透過率大于99%);調(diào)制頻率為20.8kHz， 通過輸入射頻波改變調(diào)。晶體的密度，來實(shí)現(xiàn)周期性改變激光諧振腔閾值的目的，起到調(diào)Q 裝置作用。
所述的砷酸鈦氧鉀KTA晶體7的尺寸為5X5X30 1^3兩端面均鍍有對1微米一l. 15微米 波段的增透膜(透過率大于99.5%)、及對0. 57微米波長的增透膜(透過率大于99.5%)。 其切割角度為^=90度，-=0度。
所述的后腔鏡4的曲率半徑為3000 mm，鍍有808 nm泵浦光的增透膜和1微米一l. 15微 米波段的高反膜(反射率大于99.8%)。
所述的輸出鏡8鍍有1微米一1.15微米波段的高反膜(反射率大于99.5%)、及對0.57 微米波長的增透膜(透過率約為95%)。
所述的諧振腔腔長為90 rara。 激光器的工作流程LD發(fā)出808 nm的泵浦光經(jīng)光纖2和耦合透鏡組3進(jìn)入摻釹釔鋁石榴石Nd:YAG晶體，當(dāng)聲光調(diào)。裝置6關(guān)閉時(shí)，泵浦光轉(zhuǎn)為反轉(zhuǎn)粒子存儲起來；當(dāng)調(diào)^ 裝置 6打開時(shí)，積攢的大量反轉(zhuǎn)粒子通過受激輻射瞬間轉(zhuǎn)為1064.2 nm基頻光；具有較高峰值功 率的基頻光經(jīng)過KTA晶體7時(shí)，由于受激拉曼散射的作用轉(zhuǎn)為1146.0 nm拉曼光，同時(shí)由 KTA晶體7完成倍頻過程產(chǎn)生573. 0nm黃光激光，并由輸出鏡8輸出。在輸入LD功率為 10.9W、重復(fù)頻率為20. 8kHz時(shí)，可以獲得0.82W的黃光輸出。 實(shí)施例2:
本發(fā)明實(shí)施例2如圖2所示，包括激光二極管LD側(cè)面泵浦模塊10和諧振腔，諧振腔由 后腔鏡4和輸出鏡8組成，諧振腔中依次放置激光增益介質(zhì)5 —即Nd:YAG激光晶體、聲光 調(diào)Q裝置6和KTA晶體7;由LD側(cè)面泵浦源產(chǎn)生的泵浦光耦合進(jìn)入激光增益介質(zhì)5，所產(chǎn)生 的基頻光通過KTA晶體7,由于KTA晶體7具有拉曼效應(yīng)，由受激拉曼散射轉(zhuǎn)為1146nm拉 曼光，同時(shí)，拉曼光在同一塊KTA晶體7中完成倍頻過程，產(chǎn)生573微米的黃光并由輸出鏡 8輸出。上述調(diào)Q裝置6、 KTA晶體7側(cè)面均用帶有管道的金屬塊圍住，金屬塊內(nèi)的管道持 續(xù)通有循環(huán)冷卻水，用來給晶體降低溫度，Nd:YAG晶體及聲光調(diào)Q裝置6的冷卻水水溫控 制在20度、KTA晶體7的水溫控制在5度。
所述的激光二極管LD側(cè)面泵浦模塊10是由中心波長為808nm的連續(xù)光LD側(cè)泵激光頭(最 高功率180W)、驅(qū)動電源和水冷箱組成的。
所述的摻釹釔鋁石榴石Nd:YAG晶體5的尺寸為03 mmX68咖，其摻雜濃度為1-at. %兩 個(gè)端面均鍍有1064nm波長的增透膜(透過率大于99. 8% )。
所述的聲光調(diào)C裝置6由射頻輸入裝置和調(diào)。晶體組成，調(diào)P晶體的長度為46 mm，兩 端面均鍍有對1064皿波長的增透膜(透過率大于99.8%);調(diào)制頻率為5kHz，通過輸入射 頻波改變調(diào)P晶體的密度，來實(shí)現(xiàn)周期性改變激光諧振腔閾值的目的，起到調(diào)Q裝置作用。
所述的砷酸鈦氧鉀KTA晶體7由兩塊尺寸為5X5X30 ,3的晶體組成，兩塊晶體的各個(gè) 端面均鍍有對1微米一1.15微米波段的增透膜(透過率大于99.5%)、及對0.57微米波長 的增透膜(透過率大于99.5%)。兩塊晶體的切割角度均為0=90度，0=0度。
所述的后腔鏡4的曲率半徑為3000咖，鍍有808 nm泵浦光的增透膜和1微米一l. 15微 米波段的高反膜(反射率大于99.8%)。
所述的輸出鏡8鍍有1微米一1.15微米波段的高反膜(反射率大于99.5%)、及對0.57 微米波長的增透膜(透過率約為95%)。
所述的諧振腔腔長為210 mm。
激光器的工作流程LD側(cè)面泵浦源發(fā)出808 nm的泵浦光入射到摻釹釔鋁石榴石Nd:YAG 晶體5，當(dāng)聲光調(diào)Q裝置6在關(guān)閉時(shí)，泵浦光轉(zhuǎn)為反轉(zhuǎn)粒子存儲起來；當(dāng)Q開關(guān)6打開時(shí)， 積攢的大量反轉(zhuǎn)粒子通過受激輻射瞬間轉(zhuǎn)為1064.2nm基頻光；具有較高峰值功率的基頻光 經(jīng)過KTA晶體7時(shí)，由于受激拉曼散射的作用轉(zhuǎn)為1146.0 nm拉曼光，同時(shí)由KTA晶體7完 成倍頻過程產(chǎn)生573.0nm黃光激光，并由輸出鏡8輸出。在輸入LD功率為120W、重復(fù)頻率 為4kHz時(shí)，可以獲得1W的黃光輸出。
實(shí)施例3:
與實(shí)施例1相同，只是所述的諧振腔內(nèi)的聲光調(diào)Q裝置6和KTA晶體7的相對位置做了 調(diào)換，即KTA晶體7放置在聲光調(diào)Q裝置6的前面；聲光調(diào)Q裝置6的射頻波調(diào)制頻率為 40KHz;所述的后腔鏡4的曲率半徑為無窮大(平一平鏡)；所述的激光增益介質(zhì)5是a切的 摻釹釩酸釔(Nd:YV04)，其摻雜濃度為O. 5%，尺寸為3mraX3 mmX8 mm。激光器的工作流程LD端面泵浦源發(fā)出808 nm的泵浦光經(jīng)光纖和耦合透鏡進(jìn)入Nd:YV04 晶體，當(dāng)聲光調(diào)Q裝置6關(guān)閉時(shí)，泵浦光轉(zhuǎn)為反轉(zhuǎn)粒子存儲起來；當(dāng)Q開關(guān)6打開時(shí)，積攢 的大量反轉(zhuǎn)粒子通過受激輻射瞬間轉(zhuǎn)為1064. 7 nm基頻光；具有較高峰值功率的基頻光經(jīng)過 KTA晶體7時(shí)，由于受激拉曼散射的作用轉(zhuǎn)為1146. 6 nm拉曼光，，同時(shí)由KTA晶體7完成 倍頻過程產(chǎn)生573.0nm黃光激光，并由輸出鏡8輸出。在輸入LD功率為8. 1W、重復(fù)頻率為 30kHz時(shí)，可以獲得0.5W的黃光輸出。 實(shí)施例4:
與實(shí)施例2相同，只是所述的諧振腔內(nèi)的側(cè)泵模塊10及激光增益介質(zhì)5和KTA晶體7 的相對位置做了調(diào)換，即諧振腔內(nèi)依次放置KTA晶體7、聲光調(diào)Q裝置6和側(cè)泵模塊10及激 光增益介質(zhì)5。
權(quán)利要求
1、一種砷酸鈦氧鉀晶體全固態(tài)拉曼自倍頻黃光激光器，包括激光二極管泵浦源、諧振腔，諧振腔由后腔鏡和輸出鏡組成，諧振腔中放置激光增益介質(zhì)、拉曼晶體、調(diào)Q裝置和倍頻晶體；激光增益介質(zhì)、拉曼晶體、調(diào)Q裝置和倍頻晶體均由冷卻裝置對其進(jìn)行溫度控制，其特征在于采用一塊KTA晶體替代拉曼晶體和倍頻晶體，諧振腔中依次放置激光增益介質(zhì)、調(diào)Q裝置和KTA晶體；由KTA晶體實(shí)現(xiàn)1.06微米基頻光的拉曼轉(zhuǎn)換獲得1.14微米附近的拉曼光，同時(shí)，該KTA晶體可以實(shí)現(xiàn)拉曼光的倍頻獲得0.57微米附近的黃光，即用一塊KTA晶體同時(shí)完成拉曼轉(zhuǎn)換及拉曼光的倍頻過程。
2、 如權(quán)利要求l所述的一種砷酸鈦氧鉀晶體全固態(tài)拉曼自倍頻黃光激光器，其特征在 于所述的激光二極管LD泵浦源可以是連續(xù)光泵浦，也可以是準(zhǔn)連續(xù)光泵浦；LD泵浦源其輸 出中心波長可以是808nm也可以是880nm。
3、 如權(quán)利要求l所述的一種砷酸鈦氧鉀晶體全固態(tài)拉曼自倍頻黃光激光器，其特征在 于所述的LD泵浦源可以是LD端面泵浦源，它包括驅(qū)動電源、激光二極管、冷卻裝置、光纖 和耦合透鏡組；也可以是LD側(cè)面泵浦源，它包括驅(qū)動電源、LD側(cè)泵模塊、冷卻裝置。
4、 如權(quán)利要求l所述的一種砷酸鈦氧鉀晶體全固態(tài)拉曼自倍頻黃光激光器，其特征在 于所述的諧振腔是直腔，也可以是折疊腔。
5、 如權(quán)利要求l所述的一種砷酸釹氧鉀晶體全固態(tài)拉曼自倍頻黃光激光器，其特征在 于所述的諧振腔在LD端面泵浦情況下，諧振腔內(nèi)的調(diào)Q裝置和KTA晶體的相對位置可進(jìn)行 調(diào)換；在LD側(cè)面泵浦情況下，諧振腔內(nèi)的側(cè)泵模塊及激光增益介質(zhì)、調(diào)Q裝置、KTA晶體 的相對位置可相互進(jìn)行調(diào)換。
全文摘要
砷酸鈦氧鉀晶體全固態(tài)拉曼自倍頻黃光激光器，屬于固體激光器領(lǐng)域，包括激光二極管泵浦源、諧振腔，諧振腔由后腔鏡和輸出鏡組成，諧振腔中放置激光增益介質(zhì)、拉曼晶體、調(diào)Q裝置和倍頻晶體；激光增益介質(zhì)、拉曼晶體、調(diào)Q裝置和倍頻晶體均由冷卻裝置對其進(jìn)行溫度控制，其特征在于采用一塊KTA晶體替代拉曼晶體和倍頻晶體，諧振腔中依次放置激光增益介質(zhì)、調(diào)Q裝置和KTA晶體；由KTA晶體實(shí)現(xiàn)1.06微米基頻光的拉曼轉(zhuǎn)換獲得1.14微米附近的拉曼光，同時(shí)，該KTA晶體還可實(shí)現(xiàn)拉曼光的倍頻獲得0.57微米附近的黃光。該激光器具有體積小、性能穩(wěn)定、功率高、成本低等優(yōu)點(diǎn)，具有廣泛的應(yīng)用前景。
文檔編號H01S3/109GK101562311SQ20091001536
公開日2009年10月21日 申請日期2009年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月27日
發(fā)明者叢振華, 劉兆軍, 孫文佳, 張行愚, 王青圃, 范書振, 陳曉寒, 陶緒堂 申請人:山東大學(xué)