專利名稱：：黃光返工分析方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明是有關(guān)于一種黃光返工(rework)分析方法及系統(tǒng)，且特別是有關(guān)于一種在黃光顯影操作中，借助網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)所進(jìn)行的黃光返工分析的方法及系統(tǒng)。這些信息是未經(jīng)整理及分析的，當(dāng)機(jī)臺(tái)人員欲分析機(jī)臺(tái)在生產(chǎn)過程中，半成品或最終產(chǎn)品的的合格率，或是分析機(jī)臺(tái)在生產(chǎn)產(chǎn)品各階段的操作時(shí)間，就必須以人工進(jìn)行一一對(duì)比。因?yàn)樵谏a(chǎn)過程中可能會(huì)有一些原因?qū)е抡`差的情形產(chǎn)生，如生產(chǎn)的規(guī)格不符、錯(cuò)誤的操作、設(shè)備未放置妥當(dāng)即進(jìn)行生產(chǎn)等，使得生產(chǎn)的貨物有瑕疵，所以機(jī)臺(tái)在生產(chǎn)過程中部分生產(chǎn)的貨物并不是無瑕疵的產(chǎn)品，而這些有瑕疵的貨物可能必須重做或是丟棄。而這些運(yùn)轉(zhuǎn)的執(zhí)行時(shí)間及相關(guān)信息都會(huì)被記錄在原始數(shù)據(jù)庫(kù)102及原始數(shù)據(jù)庫(kù)104中，通過打印裝置106將原始數(shù)據(jù)庫(kù)102及原始數(shù)據(jù)庫(kù)104中的所有信息打印出來，包括需進(jìn)行返工的生產(chǎn)信息，以供機(jī)房分析人員進(jìn)行信息對(duì)比及分析，而由于所打印出的信息都為未經(jīng)整理及分析的信息，導(dǎo)致機(jī)房分析人員可能需耗費(fèi)相當(dāng)多的人力及物力來完成信息的分析及整理。因此，在返工的決策機(jī)制中缺乏一個(gè)可以提供嚴(yán)整的返工信息系統(tǒng)，來分析并整合各個(gè)機(jī)臺(tái)進(jìn)行返工的原因，因此常造成原因分析上的不周全。此外，使用者要獲得返工的相關(guān)信息也相當(dāng)不容易，通常需通過安裝特殊的報(bào)表系統(tǒng)(ReportSystem)，或者是用人工的方式，去得到所想要的信息，相當(dāng)不方便。本發(fā)明提出的黃光返工分析方法包括將各個(gè)機(jī)臺(tái)的初始信息儲(chǔ)存于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)，從瀏覽器接口輸入分析時(shí)間點(diǎn)，并將此分析時(shí)間點(diǎn)傳送至網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器，使網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器可根據(jù)此分析時(shí)間點(diǎn)，從網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)得到相對(duì)應(yīng)的需求信息，且可將所有的需求信息顯示于瀏覽器接口上。其中，本發(fā)明是針對(duì)在工藝技術(shù)中，進(jìn)行黃光顯影操作的機(jī)臺(tái)進(jìn)行返工信息的分析方法，因此在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所包含的數(shù)個(gè)返工信息表中的返工信息，都是與進(jìn)行黃光操作的機(jī)臺(tái)相關(guān)的返工信息，包括產(chǎn)生報(bào)表時(shí)間、貨號(hào)、生產(chǎn)線代碼、站別代碼、部門代號(hào)、產(chǎn)品代碼、光罩、返工片數(shù)、測(cè)量機(jī)臺(tái)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)、員工姓名、返工原因代碼、返工原因名稱、目前狀態(tài)、芯片批數(shù)(Lot)注意事項(xiàng)、返工時(shí)間與工作區(qū)域等等。本發(fā)明又提出一種黃光返工分析系統(tǒng)，是為實(shí)現(xiàn)上述黃光返工分析方法的系統(tǒng)架構(gòu)，在此黃光返工分析系統(tǒng)中包括網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器及使用者計(jì)算機(jī)。其中，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器，用于連結(jié)網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)，而在使用者計(jì)算機(jī)中，具有一瀏覽器接口，經(jīng)由此瀏覽器接口可輸入分析時(shí)間點(diǎn)，并顯示網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器根據(jù)分析時(shí)間點(diǎn)在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所取得的需求信息。綜合上述，本發(fā)明即是將數(shù)筆返工信息儲(chǔ)存于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中，當(dāng)使用者欲查詢哪一部機(jī)臺(tái)在哪一個(gè)時(shí)間點(diǎn)所進(jìn)行的返工原因?yàn)楹螘r(shí)，即可通過網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器取得網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中的返工信息。圖2b是本發(fā)明的另一系統(tǒng)架構(gòu)3是本發(fā)明的流程圖100機(jī)房120、140、160群組102，104，200，202原始數(shù)據(jù)庫(kù)106打印裝置206、214網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)208網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器210使用者計(jì)算機(jī)212加載程序s300～s306本發(fā)明的實(shí)施步驟其中，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208用于連結(jié)網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206。而在使用者計(jì)算機(jī)210中，具有一瀏覽器接口(未繪出)，可讓使用者輸入某一個(gè)分析時(shí)間點(diǎn)，而瀏覽器接口即可顯示網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208根據(jù)分析時(shí)間點(diǎn)在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中所取得的需求信息。其中，由于本發(fā)明是應(yīng)用在取得各個(gè)進(jìn)行黃光操作的機(jī)臺(tái)中須進(jìn)行返工作業(yè)的返工信息，因此存放在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中的數(shù)筆黃光返工信息，包括生產(chǎn)機(jī)臺(tái)產(chǎn)生貨品的貨號(hào)、生產(chǎn)線代碼、站別代碼、部門代號(hào)、產(chǎn)品代碼、黃光生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)參數(shù)—光罩、需返工片數(shù)、測(cè)量機(jī)臺(tái)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)、員工姓名、返工原因代碼、返工原因名稱、目前狀態(tài)、芯片批數(shù)(Lot)注意事項(xiàng)、返工時(shí)間與工作區(qū)域等等。這些返工信息可成為使用者欲取得的需求信息。請(qǐng)合并參照?qǐng)D2a及圖3，其是依照本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種黃光返工分析方法，此方法適用于網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208與包括瀏覽器接口(未繪出)的使用者計(jì)算機(jī)210的系統(tǒng)中，其中此方法是針對(duì)編列于群組120中，進(jìn)行一序列黃光處理程序的數(shù)部機(jī)臺(tái)所進(jìn)行的返工原因的歸納整理與分析，雖然在以下的詳細(xì)說明中，都以編列在群組120中的機(jī)臺(tái)所產(chǎn)生的返工信息作為返工分析的對(duì)象，且以其作為黃光機(jī)臺(tái)群組的代表，但實(shí)際上，在機(jī)房100中會(huì)有數(shù)個(gè)如黃光機(jī)臺(tái)群組的群組，如群組120、140及160，可能執(zhí)行相同的生產(chǎn)程序或是執(zhí)行不同的生產(chǎn)程序。由于本實(shí)施例是對(duì)黃光機(jī)臺(tái)群組在執(zhí)行返工作業(yè)時(shí)所產(chǎn)生的返工信息作說明，因此在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中都是儲(chǔ)存有關(guān)執(zhí)行返工作業(yè)的黃光機(jī)臺(tái)群組的返工信息。其中，存在于群組中的黃光機(jī)臺(tái)是在工藝技術(shù)上生產(chǎn)電路組件的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)。于是本發(fā)明的黃光返工分析方法所進(jìn)行的步驟，即是先將各個(gè)群組中的各個(gè)機(jī)臺(tái)的初始信息存放在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中(步驟S300)。通過上述存在于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中的相關(guān)返工信息，使用者可在步驟S304中，從瀏覽器接口輸入欲查詢返工信息的分析時(shí)間點(diǎn)，這些分析時(shí)間點(diǎn)會(huì)被傳送至網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208中，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208即會(huì)在步驟S306中，根據(jù)此分析時(shí)間點(diǎn)，從網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中得到相對(duì)應(yīng)的需求信息，而這些需求信息也會(huì)顯示在使用者計(jì)算機(jī)210中的瀏覽器接口上，以供使用者觀察有關(guān)返工情形。請(qǐng)參考圖2b，其是本發(fā)明的另一較佳實(shí)施例的一種黃光返工分析系統(tǒng)，與上述黃光返工分析系統(tǒng)相同的是在本實(shí)施例的黃光返工分析系統(tǒng)中也包括網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208及使用者計(jì)算機(jī)210，其功能也相同，但所不同的是更包括了加載程序212。在實(shí)施本發(fā)明的返工分析步驟中，群組120中的黃光機(jī)臺(tái)在進(jìn)行生產(chǎn)過程中的初始信息存放在原始數(shù)據(jù)庫(kù)200及原始數(shù)據(jù)庫(kù)202中，而不是直接存放于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中，但存放在原始數(shù)據(jù)庫(kù)200及原始數(shù)據(jù)庫(kù)202中的初始信息是未經(jīng)整理且凌亂的信息，而在這些信息中有一部份是機(jī)臺(tái)在執(zhí)行返工作業(yè)的返工信息，因此在原始數(shù)據(jù)庫(kù)200及原始數(shù)據(jù)庫(kù)202中的初始信息不只包含黃光機(jī)臺(tái)在生產(chǎn)過程中的生產(chǎn)信息，也包含機(jī)臺(tái)在執(zhí)行返工作業(yè)時(shí)的返工信息，這些未經(jīng)整理且凌亂的信息會(huì)使得機(jī)臺(tái)人員在分析上造成相當(dāng)大的困難。因此存放在原始數(shù)據(jù)庫(kù)200及原始數(shù)據(jù)庫(kù)202中，未經(jīng)整理且凌亂的初始信息，就會(huì)在圖3流程圖中的步驟S300中，經(jīng)由加載程序212規(guī)則化后存放在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)214中。其中，存放在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)214中的信息，是經(jīng)由加載程序212將有關(guān)黃光機(jī)臺(tái)群組的生產(chǎn)及返工數(shù)據(jù)取出及進(jìn)行規(guī)則化分類后的信息。在本實(shí)施例中，由于步驟S300后的步驟都與上一個(gè)實(shí)施例中的步驟相同，因此在此不加贅述，只是經(jīng)由加載程序212規(guī)則化分類后的生產(chǎn)及返工信息都因此信息表(table)的形式存放在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)214中，使之成為使用者欲取得的需求信息，因此，存放在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)214中的信息更包括產(chǎn)生信息表時(shí)間，使之成為使用者可取得的需求信息。其中，在圖2a的網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206，存放機(jī)房100中所有群組中的機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)信息，而在圖2b中的網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)214，則是存放經(jīng)加載程序212規(guī)則化后的生產(chǎn)及返工信息，且其生產(chǎn)及返工信息是以信息表的形式加以分類。在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)214中存放的信息表包括員工工號(hào)與員工姓名相對(duì)應(yīng)的相互對(duì)應(yīng)表；返工原因代碼與返工原因名稱相對(duì)應(yīng)的原因?qū)?yīng)表(reasontable)；有關(guān)所有機(jī)臺(tái)返工信息的Photo-reworktable；有關(guān)每一個(gè)群組產(chǎn)出量的Layer-tunneltable；有關(guān)所有機(jī)臺(tái)產(chǎn)出量的Total-wafertable；有關(guān)每一部機(jī)臺(tái)產(chǎn)出量的Tool-Tunneltable；及有關(guān)每一個(gè)群組返工信息的Each-Layertable等。以下即介紹在使用者輸入分析時(shí)間點(diǎn)至網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208后，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208如何自動(dòng)取得不同的需求信息。1.取得關(guān)于生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的返工數(shù)據(jù)其中，在本實(shí)施例中，所謂的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)即是在執(zhí)行黃光操作群組中執(zhí)行光罩操作的機(jī)臺(tái)，由于在返工數(shù)據(jù)中可得到與生產(chǎn)機(jī)臺(tái)同屬于一個(gè)群組的測(cè)量機(jī)臺(tái)的群組代碼及站別代碼，而在一個(gè)群組中，須進(jìn)行返工作業(yè)的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的站別代碼最后三碼必為一生產(chǎn)機(jī)臺(tái)代碼，因此網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)判斷機(jī)臺(tái)的群組代碼是否等于測(cè)量機(jī)臺(tái)的群組代碼，且機(jī)臺(tái)的站別代碼最后三碼是否為生產(chǎn)機(jī)臺(tái)代碼，若是，則設(shè)定此機(jī)臺(tái)為測(cè)量機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)，否則就搜尋下一個(gè)機(jī)臺(tái)以進(jìn)行對(duì)比，以此方式得到有關(guān)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的返工信息，成為需求信息。上述得到有關(guān)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)返工信息的方式，若以程序來表示，即，If(機(jī)臺(tái)的群組代碼＝＝測(cè)量機(jī)臺(tái)的群組代碼)And(機(jī)臺(tái)的站別代碼最后三碼為040)Then(設(shè)定該機(jī)臺(tái)為測(cè)量機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)機(jī)臺(tái))Else(搜尋下一部機(jī)臺(tái))。以此程序片斷即可得到有關(guān)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)返工信息，其中假設(shè)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)代碼為040。2.取得生產(chǎn)時(shí)所需的光罩?jǐn)?shù)據(jù)由于在同一個(gè)群組中的機(jī)臺(tái)所使用的光罩，必與生產(chǎn)機(jī)臺(tái)同屬于一個(gè)相同光罩，因此網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)設(shè)定機(jī)臺(tái)的光罩等于生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的光罩。若以程序來表示，即，Set(機(jī)臺(tái)光罩＝生產(chǎn)機(jī)臺(tái)光罩)，則可得到有關(guān)機(jī)臺(tái)在進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)所需的光罩信息，成為需求信息3.取得有關(guān)操作返工作業(yè)的使用者名單其中存在于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中，內(nèi)含有全公司員工姓名及其工號(hào)的相互對(duì)應(yīng)信息中，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)判斷員工的工號(hào)是否存在于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中，若有，則可利用對(duì)應(yīng)出的工號(hào)在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中找出操作返工的員工姓名。舉例而言，若在一個(gè)內(nèi)含全公司員工姓名及其工號(hào)的相互對(duì)應(yīng)信息表—Securitytable中，可利用一程序從內(nèi)含全公司員工姓名及其工號(hào)的Securitytable中，自動(dòng)得到操作返工的員工姓名即，If(工號(hào)＝＝Security.工號(hào))Then(setNAME＝Security.NAME)。4.取得有關(guān)返工作業(yè)的返工原因名稱其中存在于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中，內(nèi)含有關(guān)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)在執(zhí)行返工作業(yè)的返工原因名稱與返工原因代碼的相互對(duì)應(yīng)信息中，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)判斷返工原因代碼是否存在于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中，若有，則可利用對(duì)應(yīng)出的返工原因代碼在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中找出返工原因名稱。舉例而言，若在一個(gè)內(nèi)含有關(guān)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)在執(zhí)行返工作業(yè)的返工原因名稱與返工原因代碼的原因?qū)φ毡怼猂easontable中，可利用一程序自內(nèi)含生產(chǎn)機(jī)臺(tái)在執(zhí)行返工作業(yè)的返工原因名稱與返工原因代碼的Reasontable中，自動(dòng)得到操作返工的員工姓名即，If(返工原因代碼＝＝Reason.返工原因代碼)Then(set返工原因名稱＝Reason.返工原因名稱)。5.當(dāng)欲統(tǒng)計(jì)各項(xiàng)返工原因所占的百分比時(shí)，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)依第一查詢步驟，即依據(jù)輸入的分析時(shí)間點(diǎn)，從網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所有返工信息中取得返工原因名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)的需求信息。以及第二查詢步驟自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所有有關(guān)機(jī)臺(tái)產(chǎn)出量的信息中，取得在輸入的分析時(shí)間點(diǎn)與第一查詢步驟相同情況下的產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序碼表示，則為Select(返工原因名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù))From(Photo-reworktable)Where(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))UNIONSelect(產(chǎn)量片數(shù))From(Total-Wafertable)Where(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))。以上五個(gè)指令處理步驟只需在瀏覽器接口輸入欲查知的分析時(shí)間點(diǎn)即可得到欲求得的需求信息，而以下的指令則是在使用者欲查知在某一個(gè)返工原因下的返工情形，使用者除了需輸入欲查知的分析時(shí)間點(diǎn)外，更需輸入某一個(gè)欲查知的返工理由。6.當(dāng)使用者欲得知所有機(jī)臺(tái)在返工原因名稱為REG-重疊失準(zhǔn)情形下的返工情形，則網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)依第一查詢步驟，即依據(jù)輸入的分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)镽EG-重疊失準(zhǔn)的情況下，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中的所有返工信息中取得所有機(jī)臺(tái)的工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)的需求信息。以及第二查詢步驟，即自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中有關(guān)每一個(gè)群組產(chǎn)出量的信息中，取得在工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩及輸入的分析時(shí)間點(diǎn)與第一查詢步驟相同情況下的產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序碼表示，則為Select(工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù))From(Photo-reworktable)Where(返工原因名稱＝＝REG-重疊失準(zhǔn))and(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))UNIONSelect(產(chǎn)量片數(shù))From(Layer-tunneltable)Where(工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩＝＝Photo-reworktable的工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩)and(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))。7.當(dāng)使用者欲得知所有機(jī)臺(tái)在返工原因名稱為DCD(超出規(guī)格)情形下的返工情形，則網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依第一查詢步驟，即依輸入的分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)镈CD(超出規(guī)格)的情況下，從網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中的所有返工信息中取得所有機(jī)臺(tái)的工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)的需求信息。以及第二查詢步驟在自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中有關(guān)每一個(gè)群組產(chǎn)出量的信息中，取得在工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩及輸入的分析時(shí)間點(diǎn)與第一查詢步驟相同情況下的產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序來表示，則為Select(工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù))From(Photo-reworktable)Where(返工原因名稱＝＝DCD)and(日期＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))UNIONSelect(產(chǎn)量片數(shù))From(Layer-tunneltable)Where(工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩＝Photo-reworktable的工藝技術(shù)代碼、產(chǎn)品代號(hào)、光罩)and(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))。8.當(dāng)欲得知某一個(gè)群組中的某一個(gè)機(jī)臺(tái)在輸入的返工原因?yàn)镽EG-重疊失準(zhǔn)的情形下，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依輸入的分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)镽EG-重疊失準(zhǔn)的情況下，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中有關(guān)每一個(gè)機(jī)臺(tái)產(chǎn)出量的信息中取得某一個(gè)群組中的某一個(gè)機(jī)臺(tái)的機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序來表示，則為Select(機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Tool-Tunneltable)Where(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))and(返工原因名稱＝＝REG-重疊失準(zhǔn))9.當(dāng)欲得知某一個(gè)群組中的某一個(gè)機(jī)臺(tái)在輸入的返工原因?yàn)镈CD-CD超出規(guī)格的返工情形，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)镈CD-CD超出規(guī)格的情況下，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中有關(guān)每一個(gè)機(jī)臺(tái)產(chǎn)出量的信息中取得某一個(gè)群組中的某一個(gè)機(jī)臺(tái)的機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序來表示，則為Select(機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Tool-Tunneltable)Where(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))and(返工原因名稱＝＝DCD-CD超出規(guī)格)。10.當(dāng)欲得知某一個(gè)群組中的某一個(gè)機(jī)臺(tái)在輸入的返工原因?yàn)橛布蛩?H/Wissue)，如Scanner當(dāng)機(jī)、Track當(dāng)機(jī)、覆蓋不良、箭影、對(duì)焦不準(zhǔn)、顯影不良、對(duì)焦異常、光組飄移或剝落、晶邊洗歪、無當(dāng)層圖形、未上光組、晶邊采紋、RejectWafer)等的返工情形，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)橛布蛩氐那闆r下，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中有關(guān)每一個(gè)機(jī)臺(tái)產(chǎn)出量的信息中取得某一個(gè)群組中的某一個(gè)機(jī)臺(tái)的機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序來表示，則為Select(機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Tool-Tunneltable)Where(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))and(返工原因名稱＝＝H/Wissue)。11.欲得知所有機(jī)臺(tái)在輸入的返工原因?yàn)閠rackdown、stepper/scannerdown、rejectwafer的返工情形，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)閠rackdown、stepper/scannerdown、rejectwafer的情況下，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所有返工信息中取得所有機(jī)臺(tái)的機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序來表示，則為Select(機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Photo-reworktable)Where(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))and(返工原因名稱＝＝trackdown；stepper/scannerdown；rejectwafer)。12.當(dāng)欲得知所有機(jī)臺(tái)在輸入的返工原因?yàn)镻oorCoating-覆蓋不良的返工情形，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)镻oorCoating-覆蓋不良的情況下，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中的所有返工信息中取得所有機(jī)臺(tái)的機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序來表示，則為Select(機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Photo-reworktable)Where(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))and(返工原因名稱＝＝PoorCoating-覆蓋不良)。13.當(dāng)欲得知所有機(jī)臺(tái)在輸入的返工原因?yàn)镈efocus-對(duì)焦不準(zhǔn)的返工情形，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)镈efocus-對(duì)焦不準(zhǔn)的情況下，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所有返工信息中取得所有機(jī)臺(tái)的機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序來表示，則為Select(機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Photo-reworktable)Where(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))and(原因＝＝Defocus-對(duì)焦不準(zhǔn))。14.當(dāng)欲得知所有機(jī)臺(tái)在輸入的返工原因?yàn)槌鰰r(shí)效、非黃光區(qū)要求、工程實(shí)驗(yàn)、試驗(yàn)芯片、誤操作、壓降、地震的返工片數(shù)所占百分比，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)槌鰰r(shí)效、非黃光區(qū)要求、工程實(shí)驗(yàn)、試驗(yàn)芯片、誤操作、壓降、地震的情況下，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所有返工信息中取得所有機(jī)臺(tái)的機(jī)臺(tái)名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)為需求信息。若以程序來表示，則為Select(返工原因、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Photo-reworktable)Where(日期＝＝輸入的分析時(shí)間點(diǎn))and(返工原因名稱＝＝超出時(shí)效、非黃光區(qū)要求、工程實(shí)驗(yàn)、試驗(yàn)芯片、誤操作、壓降、地震)。以上第6至第14指令，是使用者欲得知某一個(gè)返工原因的返工情形時(shí)，所處理的步驟。以下的指令則是使用者欲得知在某返工原因下，工藝技術(shù)及產(chǎn)品為何下的返工情形，使用者除了需輸入欲查知的分析時(shí)間點(diǎn)外，更需輸入某一個(gè)欲查知的返工理由、工藝技術(shù)代號(hào)及產(chǎn)品代號(hào)。15.當(dāng)欲統(tǒng)計(jì)某一個(gè)群組的返工片數(shù)占全部群組的產(chǎn)量片數(shù)的百分比，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)及分析時(shí)間點(diǎn)，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中有關(guān)每一個(gè)群組的返工信息中，取得工藝技術(shù)代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)的需求信息。若以程序來表示，則為Select(工藝技術(shù)代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Each-Layertable)Where(工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、日期＝＝使用者輸入的工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、分析時(shí)間點(diǎn))。16.當(dāng)欲得知返工原因名稱為REG-重疊失準(zhǔn)，某一個(gè)群組的返工片數(shù)占全部群組的產(chǎn)量片數(shù)的百分比，則網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)镽EG-重疊失準(zhǔn)，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中有關(guān)每一個(gè)群組的返工信息中，取得工藝技術(shù)代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)的需求信息。若以程序來表示，則為Select(工藝技術(shù)代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Each-Layertable)Where(工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、日期＝＝使用者輸入的工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、分析時(shí)間點(diǎn))and(Reason＝REG-重疊失準(zhǔn))。17.當(dāng)欲得知返工原因名稱為DCD(超出規(guī)格)，某一個(gè)群組的返工片數(shù)占全部群組的產(chǎn)量片數(shù)的百分比，則網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)镈CD(超出規(guī)格)，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中有關(guān)每一個(gè)群組的返工信息中，取得工藝技術(shù)代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)的需求信息。若以程序來表示，則為Select(工藝技術(shù)代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Each-Layertable)Where(工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、日期＝＝使用者輸入的工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、分析時(shí)間點(diǎn))and(Reason＝DCD)。18.當(dāng)欲統(tǒng)計(jì)在返工原因名稱為H/Wissue(即Scanner當(dāng)機(jī)、Track當(dāng)機(jī)、覆蓋不良、箭影、對(duì)焦不準(zhǔn)、顯影不良、對(duì)焦異常、光組飄移或剝落、晶邊洗歪、無當(dāng)層圖形、未上光組、晶邊采紋、RejectWafer)的狀況下，某一個(gè)群組的返工片數(shù)占全部群組的產(chǎn)量片數(shù)的百分比，則網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器208會(huì)自動(dòng)依據(jù)輸入的工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、分析時(shí)間點(diǎn)及返工原因?yàn)镠/Wissue，自網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中有關(guān)每一個(gè)群組的返工信息中，取得工藝技術(shù)代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù)的需求信息。若以程序來表示，則為Select(工藝技術(shù)代號(hào)、光罩、返工批數(shù)、返工片數(shù)、產(chǎn)量片數(shù))From(Each-Layer)Where(工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、日期＝＝使用者輸入的工藝技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)、日期)and(Reason＝H/Wissue)。其中返工率的計(jì)算可由上述第5至第18個(gè)指令中分別所得的返工片數(shù)及產(chǎn)量片數(shù)得到所有機(jī)臺(tái)、某一個(gè)群組、或某一個(gè)群組的某一個(gè)機(jī)臺(tái)的返工率為(返工片數(shù)/產(chǎn)量片數(shù))。而在各個(gè)指令關(guān)鍵詞為From的小括號(hào)內(nèi)的信息表(table)都存在于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)206中經(jīng)加載程序212規(guī)則化后的返工信息表，如上述的reasontable、Photo-reworktable、Layer-tunneltable、Total-wafertable、Tool-Tunneltable及Each-Layertable等信息表。其中，在小括號(hào)外的英文字，如Select、From及Where，都為指令關(guān)鍵詞，而由這三個(gè)指令關(guān)鍵詞所組成的查詢指令中，Select指令關(guān)鍵詞括號(hào)內(nèi)的信息，為機(jī)臺(tái)人員欲查看的需求信息，這些需求信息會(huì)顯示在使用者計(jì)算機(jī)210中的瀏覽器接口上，而Where指令關(guān)鍵詞括號(hào)內(nèi)的信息，則為欲查詢信息的限制條件。另外，在兩個(gè)查詢指令中間的UNION指令關(guān)鍵詞，是將其上下兩個(gè)查詢指令作聯(lián)集的關(guān)鍵詞。綜上所述，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于分析并整合各個(gè)機(jī)臺(tái)進(jìn)行返工的原因，且通過此方法，使用者不需通過人工的方式即可以很容易獲得哪一個(gè)群組中的哪一部機(jī)臺(tái)在進(jìn)行不同返工原因的相關(guān)信息。本發(fā)明的較佳實(shí)施例公開如上，但是其并非用以限定本發(fā)明，任何在本發(fā)明構(gòu)思范圍內(nèi)的改動(dòng)，均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。權(quán)利要求1.一種黃光返工分析方法，適用于一網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器與包括一瀏覽器接口的一使用者計(jì)算機(jī)的系統(tǒng)中，其中該方法是針對(duì)多個(gè)群組中的多個(gè)機(jī)臺(tái)，所進(jìn)行黃光返工的原因加以歸納整理與分析，其特征是，該黃光返工分析方法包括將該些機(jī)臺(tái)的一初始信息儲(chǔ)存于一網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中，其中在該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中存放多個(gè)返工信息；從該瀏覽器接口輸入一分析時(shí)間點(diǎn)，并將該分析時(shí)間點(diǎn)傳送至該網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器；該網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器根據(jù)該分析時(shí)間點(diǎn)，從該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)得到相對(duì)應(yīng)的一需求信息；以及將該需求信息顯示在該瀏覽器接口上。2.如權(quán)利要求1所述的黃光返工分析方法，其特征是，該些返工信息包括貨號(hào)、生產(chǎn)線代碼、站別代碼、部門代號(hào)、產(chǎn)品代碼、光罩、返工片數(shù)、測(cè)量機(jī)臺(tái)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)、員工姓名、返工原因代碼、返工原因名稱、目前狀態(tài)、芯片批數(shù)注意事項(xiàng)、返工時(shí)間與工作區(qū)域。3.如權(quán)利要求1所述的黃光返工分析方法，其特征是，在該些返工信息中可得到與生產(chǎn)機(jī)臺(tái)同屬于一個(gè)該群組的測(cè)量機(jī)臺(tái)的群組代碼及站別代碼，而在該群組中的該些機(jī)臺(tái)皆有相對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)代碼，而生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的機(jī)臺(tái)代碼即為一生產(chǎn)機(jī)臺(tái)代碼，因此該網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器利用得到有關(guān)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的該些返工信息，以成為該需求信息的步驟包括判斷該機(jī)臺(tái)的群組代碼是否等于測(cè)量機(jī)臺(tái)的群組代碼，且該機(jī)臺(tái)的站別代碼是否為該生產(chǎn)機(jī)臺(tái)代碼；若是，則設(shè)定該機(jī)臺(tái)為測(cè)量機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)；以及否則搜尋下一個(gè)該機(jī)臺(tái)以進(jìn)行對(duì)比。4.如權(quán)利要求1所述的黃光返工分析方法，其特征是，在同一群組的該些機(jī)臺(tái)必與生產(chǎn)機(jī)臺(tái)，是在同一個(gè)相同光罩的操作下，因此該網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器利用下列步驟，取得有關(guān)該些機(jī)臺(tái)在進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)所需的光罩信息，以成為該需求信息，該步驟包括設(shè)定該些機(jī)臺(tái)光罩等于生產(chǎn)機(jī)臺(tái)光罩。5.如權(quán)利要求1所述的黃光返工分析方法，其特征是，在該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中內(nèi)含全公司員工姓名及其工號(hào)的相互對(duì)應(yīng)信息，該網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器會(huì)利用下列步驟，得到操作返工的員工姓名，成為該需求信息如果員工的工號(hào)存在于該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中，則可利用對(duì)應(yīng)出的工號(hào)在該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中找出操作返工的員工姓名。6.如權(quán)利要求1所述的黃光返工分析方法，其特征是，在該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中內(nèi)含返工原因名稱與返工原因代碼的相互對(duì)應(yīng)信息，該網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器會(huì)自動(dòng)利用下列步驟，取得返工原因名稱，使之成為可取得的該需求信息如果返工原因代碼存在于該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中，則可利用對(duì)應(yīng)出的返工原因代碼在該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中找出返工原因名稱。7.如權(quán)利要求1所述的黃光返工分析方法，其特征是，當(dāng)欲統(tǒng)計(jì)各項(xiàng)返工原因所占的百分比，該網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器的處理步驟包括一第一查詢步驟依據(jù)輸入的該分析時(shí)間點(diǎn)，從該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所有該些返工信息中取得返工原因名稱、返工批數(shù)、返工片數(shù)的該需求信息；一第二查詢步驟自該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所有有關(guān)該些機(jī)臺(tái)產(chǎn)出量的信息中，取得在輸入的該分析時(shí)間點(diǎn)與該第一查詢步驟相同情況下的產(chǎn)量片數(shù)為該需求信息；以及由該第一查詢步驟及該第二查詢步驟所得的返工片數(shù)及產(chǎn)量片數(shù)得到各個(gè)返工原因的返工率為(返工片數(shù)/產(chǎn)量片數(shù))。8.如權(quán)利要求1所述的黃光返工分析方法，其特征是，從該瀏覽器接口中更包括輸入一返工原因。9.如權(quán)利要求1所述的黃光返工分析方法，其特征是，自該瀏覽器接口中還包括輸入制程技術(shù)代號(hào)、產(chǎn)品代號(hào)及一返工原因。10.如權(quán)利要求1所述的黃光返工分析方法，其特征是，該黃光返工分析方法的步驟還包括經(jīng)一加載程序?qū)⒃摮跏夹畔⒁?guī)則化后儲(chǔ)存于該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中。11.一種黃光返工分析系統(tǒng)，是針對(duì)多個(gè)機(jī)臺(tái)所進(jìn)行黃光返工的原因加以歸納整理與分析，包括一網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器和一使用者計(jì)算機(jī)，其特征是，所述網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器用于連結(jié)一網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)；以及所述使用者計(jì)算機(jī)，具有一瀏覽器接口，經(jīng)由該瀏覽器接口可輸入一分析時(shí)間點(diǎn)，并顯示該網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器根據(jù)該分析時(shí)間點(diǎn)在該網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所取得的一需求信息。全文摘要一種黃光返工分析方法及系統(tǒng)。其中，黃光返工分析方法適用于網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器與包括瀏覽器接口的使用者計(jì)算機(jī)的系統(tǒng)，此分析方法包括先將各個(gè)機(jī)臺(tái)的初始信息儲(chǔ)存于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)。在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中，存放進(jìn)行黃光返工操作的機(jī)臺(tái)返工信息。接著，從瀏覽器接口輸入分析時(shí)間點(diǎn)，并將此分析時(shí)間點(diǎn)傳送至網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器，當(dāng)網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器根據(jù)分析時(shí)間點(diǎn)從網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中得到相對(duì)應(yīng)的需求信息，則將其顯示在瀏覽器接口上。其中，在網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫(kù)中所包括的返工信息包括產(chǎn)生報(bào)表時(shí)間、貨號(hào)、生產(chǎn)線代碼、站別代碼、部門代號(hào)、產(chǎn)品代碼、光罩、返工片數(shù)、測(cè)量機(jī)臺(tái)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)、員工姓名、返工原因代碼、返工原因名稱、目前狀態(tài)、芯片批數(shù)注意事項(xiàng)、返工時(shí)間與工作區(qū)域。文檔編號(hào)G06F17/30GK1405706SQ01124180公開日2003年3月26日申請(qǐng)日期2001年8月21日優(yōu)先權(quán)日2001年8月21日發(fā)明者李昆倍,林保興,丁秀蘭,李乃鈞申請(qǐng)人:旺宏電子股份有限公司