專利名稱：散熱器以及用于制造散熱器的方法
散熱器以及用于制造散熱器的方法
現(xiàn)有技術(shù)本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1前序部分所述的散熱器。這種散熱器通常是公開的。比如在文件JP 2005 044 841A.W02004/005 566 A2、 EP 1 168 438 A2、US 5 886 407A和EP 0 859 410 A2中公開了由均質(zhì)金屬碳復(fù)合材料以 及尤其金屬陶瓷復(fù)合材料(MMC)制成的散熱器。該復(fù)合材料包含一種基體和碳微粒，該基 體由諸如銅或鋁的金屬制成，碳微粒分散于該基體中。該均質(zhì)復(fù)合材料設(shè)置用于導(dǎo)出尤其 半導(dǎo)體組件的功率廢熱，其中該半導(dǎo)體組件設(shè)置于該散熱器的第一側(cè)上。另外為了降低熱 應(yīng)力在該半導(dǎo)體組件與該散熱器之間需要與該半導(dǎo)體組件襯底的熱膨脹系數(shù)相當(dāng)?shù)纳?器。在與MMC基板結(jié)構(gòu)相組合時(shí)，半導(dǎo)體組件通過在絕緣層上的銅被電氣接觸，其中該絕緣 層設(shè)置于、并尤其粘貼于該MMC散熱器上，從而力求把該散熱器的熱膨脹系數(shù)與絕緣層的 熱膨脹系數(shù)相匹配。本發(fā)明的公開根據(jù)并列的權(quán)利要求所述的本發(fā)明的散熱器以及用于制造散熱器的本發(fā)明方法 相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)所具有的優(yōu)點(diǎn)是，在該散熱器本身中集成有由第一材料構(gòu)成的絕緣層，從 而該絕緣層的熱膨脹系數(shù)明顯較好地與其余散熱器的熱膨脹系數(shù)相匹配，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了該絕 緣層與其余散熱器好得多的熱耦合，以及另外該絕緣層與其余散熱器更穩(wěn)定的機(jī)械連接， 其中尤其有利的是完全節(jié)省了用于把絕緣層與其余散熱器通過材料配合地連接的粘貼層。 因此一方面在該絕緣層上的熱量明顯更快地通過該散熱器導(dǎo)出，從而尤其避免了在半導(dǎo)體 結(jié)構(gòu)上的過熱損壞，另一方面明顯降低了或者完全阻止了在該絕緣層上或者在該絕緣層與 其余散熱器之間由于在該絕緣層與其余散熱器之間明顯不同的熱膨脹系數(shù)而產(chǎn)生的機(jī)械 應(yīng)力。該散熱器是復(fù)合體，其中在第一側(cè)上該第一絕緣材料的材料份額大于在該第二側(cè)上 的，使得該散熱器的第一側(cè)優(yōu)選地體現(xiàn)為由該第一材料制成的絕緣層，并且該第二側(cè)主要 包含有該第二材料。從而尤其有利地如此實(shí)現(xiàn)了該第二材料相對(duì)好的導(dǎo)熱性與該第一材料 相對(duì)小的電導(dǎo)率的組合，使得在該復(fù)合體內(nèi)實(shí)現(xiàn)了熱膨脹系數(shù)的相對(duì)良好的匹配，并從而 與現(xiàn)有技術(shù)相比明顯降低了在該復(fù)合體內(nèi)的熱力應(yīng)力。本發(fā)明的有利擴(kuò)展方案和改進(jìn)方案可參見從屬權(quán)利要求、以及參照附圖的說明。根據(jù)一個(gè)優(yōu)選的改進(jìn)方案，規(guī)定在該第二側(cè)區(qū)域中在復(fù)合材料中的第二材料的材 料成分大于在該第一側(cè)區(qū)域中第二材料的材料成分，其中優(yōu)選該第一側(cè)基本僅具有該第一 材料，和/或該第二側(cè)基本僅具有該第二材料，從而尤其有利地該第一側(cè)作為絕緣層具有 最小的電導(dǎo)率，并且該第二側(cè)具有最大的導(dǎo)熱性，并且其中同時(shí)實(shí)現(xiàn)了在第一側(cè)與第二側(cè) 之間的最大熱耦合以及該第一側(cè)的熱膨脹系數(shù)與該第二側(cè)的熱膨脹系數(shù)的最大匹配。根據(jù)另一優(yōu)選的改進(jìn)方案，規(guī)定在復(fù)合材料中該第一材料的材料成分垂直于主延 伸方向從第一側(cè)到第二側(cè)尤其連續(xù)地、單調(diào)地和/或逐級(jí)地下降，而在復(fù)合材料中該第二 材料的材料成分垂直于主延伸方向從第一側(cè)到第二側(cè)尤其連續(xù)地、單調(diào)地和/或逐級(jí)地增 加。從而尤其有利地使復(fù)合材料中的熱應(yīng)力最小化，因?yàn)橥ㄟ^在垂直于主延伸方向的方向 上從該第一材料的高材料成分到第二材料的高材料成分的優(yōu)選連續(xù)的過渡而不會(huì)在該方向上出現(xiàn)相對(duì)大突出的熱膨脹系數(shù)躍變點(diǎn)，其中同時(shí)使在該第一材料與該第二材料之間的 熱耦合最大化。根據(jù)另一優(yōu)選的改進(jìn)方案，規(guī)定該第一材料具有孔隙率，其中該孔隙率垂直于該 主延伸方向從該第一側(cè)到第二側(cè)增加，并且其中優(yōu)選地該第一材料的孔大小和/或孔密度 平均地從該第一側(cè)到第二側(cè)垂直于主延伸方向增加，其中尤其優(yōu)選地這些孔填充有該第二 材料。從而能夠以尤其簡(jiǎn)單而價(jià)格合理地制造的方式通過在第一材料中孔大小和/或孔密 度的變化在該第一側(cè)與該第二側(cè)之間實(shí)現(xiàn)第一材料的不同材料成分。可替換地，也可以考 慮尤其垂直于主延伸方向地在孔大小和/或孔密度方面來對(duì)第二材料的孔隙率進(jìn)行變化。根據(jù)另一優(yōu)選的擴(kuò)展方案，規(guī)定該復(fù)合材料垂直于主延伸方向具有多個(gè)復(fù)合材料 層，其中尤其該第一材料與該第二材料的比例在這些復(fù)合材料層之間分別是不同的，從而 能夠以尤其簡(jiǎn)單和價(jià)格合理的方式來制造在該第一側(cè)與該第二側(cè)之間具有該第一材料的 不同材料成分的一個(gè)復(fù)合體。尤其可以考慮具有多個(gè)復(fù)合材料層的一個(gè)復(fù)合體，其中該第 一材料與該第二材料的比例從該第一側(cè)附近的復(fù)合材料層到該第二側(cè)附近的復(fù)合材料層 以相對(duì)小的等級(jí)和/或單調(diào)上升或下降地變化。根據(jù)另一優(yōu)選的擴(kuò)展方案，規(guī)定該第一材料與該第二材料通過形狀配合 (formschluessig)和/或通過力傳遞配合(kraftschluessig)地被連接，和/或該第一材 料與該第二材料構(gòu)成互穿網(wǎng)絡(luò)。在該第一材料與該第二材料之間的形狀鎖合和/或構(gòu)成傳 力鏈的連接優(yōu)選地通過給第一材料的孔填充第二材料來形成。尤其有利地通過在該第一材 料與該第二材料之間的通過形狀配合和/或通過力傳遞配合的連接與現(xiàn)有技術(shù)相比大大 提高了在該散熱器中的機(jī)械承載能力。根據(jù)另一優(yōu)選的擴(kuò)展方案，規(guī)定該第一材料垂直于主延伸平面具有優(yōu)選從Ovol % 至95vol %并尤其優(yōu)選從Ovol %至65vol %的孔隙度變化曲線，其中更尤其優(yōu)選地該第一 側(cè)具有基本完全由垂直于主延伸平面厚度至少為50 μ m的第一材料構(gòu)成的復(fù)合材料層，從 而相對(duì)良好地實(shí)現(xiàn)了絕緣層的小電導(dǎo)率、散熱器的良好導(dǎo)熱性、以及熱膨脹系數(shù)的良好匹 配的特性。根據(jù)另一優(yōu)選的擴(kuò)展方案，規(guī)定該第一材料包含有陶瓷材料、優(yōu)選地為氧化物、氮 化物和/或碳化物，尤其優(yōu)選地為A1203、A1N、Si3N4和/或SiC，更尤其優(yōu)選地是Al2O3，該第 二材料包含有金屬材料，優(yōu)選地為銅、銅合金、鋁和/或鋁合金。尤其優(yōu)選地該陶瓷材料具 有相對(duì)小的電導(dǎo)率，由此滿足了對(duì)絕緣層高絕緣性的要求，其中金屬材料具有相對(duì)好的導(dǎo) 熱性，由此同時(shí)能夠滿足對(duì)散熱器良好冷卻能力的要求。本發(fā)明的另一對(duì)象是一種具有散熱器的裝置，其中在該散熱器的第一側(cè)上設(shè)置有 至少一個(gè)電氣、電子和/或微機(jī)械元件和/或印制導(dǎo)線和/或復(fù)合層，其中優(yōu)選地該第一 側(cè)至少部分地被金屬層、尤其優(yōu)選地是至少部分地被鋁層和/或銅層覆蓋。由于該散熱器 的電氣絕緣的絕緣層，能夠尤其有利地直接在該絕緣層上施加印制導(dǎo)線用于電氣、電子和/ 或微機(jī)械元件的接觸，由此通過所述的裝置而取消了 DBC堆的實(shí)施。本發(fā)明的另一對(duì)象是一種用于制造散熱器的方法，其中在一個(gè)第一方法步驟中垂 直于由第一材料構(gòu)成的主延伸平面來制造具有孔隙率梯度的一個(gè)預(yù)制體(Vork0rper )， 其中在一個(gè)第二方法步驟中該預(yù)制體的孔被填充有該第二材料。從而能夠?qū)崿F(xiàn)用僅兩個(gè) 相對(duì)簡(jiǎn)單和可良好控制的工序來制造根據(jù)本發(fā)明的散熱器，使得這種制造是相對(duì)價(jià)格合理的，并能夠使用相對(duì)價(jià)格合理的材料。根據(jù)一個(gè)優(yōu)選的改進(jìn)方案，規(guī)定在第一方法步驟中通過負(fù)鑄模 (Negativabformimg)、尤其通過借助陶瓷漿料而相互壓緊的泡沫的負(fù)鑄模來制造該預(yù)制 體，其中優(yōu)選地使用了聚氨酯泡沫，或者在第一方法步驟中通過漿料壓濾以及隨后的燒結(jié) 來制造該預(yù)制體，其中優(yōu)選地首先利用不同組成的兩種漿料來填充一個(gè)漿料模，其中這兩 種漿料之間的比例被連續(xù)地改變，并且其中接著通過壓濾和燒結(jié)法來制造該預(yù)制體，或者 在第一步驟中通過粉壓(Pulververpressimg)來制造該預(yù)制體，其中優(yōu)選地不同組成的粉 末在一個(gè)模具中被相疊地刮刀涂布(einrakeln)并接著被擠壓，或者在第一方法步驟中通 過把多個(gè)坯板進(jìn)行層疊和燒結(jié)來制造該預(yù)制體，其中優(yōu)選地這些坯板被相互層疊，它們?cè)?燒結(jié)時(shí)形成不同的孔隙率，或者在第一方法步驟中通過把不同孔隙率的板進(jìn)行層疊和復(fù)合 來制造該預(yù)制體，其中優(yōu)選地把陶瓷板相互層疊并再燒結(jié)以相互連接，或者在第一方法步 驟中通過鑄造法來制造該預(yù)制體，尤其薄膜鑄造法，其中優(yōu)選地在薄膜鑄造技術(shù)中把不同 組成的漿料相疊地澆注并接著燒結(jié)，或者該第二方法步驟包含有一種熔化滲透法，其中優(yōu) 選地利用該第二材料來借助壓力滲透該預(yù)制體，并且其中尤其優(yōu)選地在該第二方法步驟之 前以液態(tài)的物態(tài)來摻入該第二材料。從而尤其有利地能夠?qū)崿F(xiàn)通過多種制造方法來制造該 散熱器，由此能夠?qū)崿F(xiàn)相對(duì)靈活且價(jià)格優(yōu)化的制造。這些制造方法全部能夠可相對(duì)良好控 制并價(jià)格合理地被實(shí)施。本發(fā)明的實(shí)施例在附圖中示出，并在下文說明中來詳細(xì)解釋。附圖的簡(jiǎn)述其中

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)第一示例實(shí)施形式的一種散熱器裝置的示意性側(cè)視 圖，以及圖2a示出了用于制造根據(jù)本發(fā)明第二示例實(shí)施形式的一種散熱器的示意性預(yù)制 體側(cè)視圖，以及圖2b示出了根據(jù)本發(fā)明第二示例實(shí)施形式的散熱器的示意性側(cè)視圖。本發(fā)明的實(shí)施形式本發(fā)明的實(shí)施形式在圖1中示出了根據(jù)本發(fā)明第一示例實(shí)施形式的散熱器1的一種裝置20的示意 性側(cè)視圖，其中該散熱器1具有復(fù)合材料2，該復(fù)合材料2具有第一材料3和第二材料4，其 中該第一材料3包含有電絕緣體、優(yōu)選為陶瓷材料，該第二材料4包含有電導(dǎo)體、優(yōu)選地為 金屬，其中該散熱器1具有平行于該散熱器1的主延伸平面100的第一側(cè)5，并且其中該散 熱器1具有垂直于該主延伸平面100與該第一側(cè)5相對(duì)、并基本與該第一側(cè)5平行的第二 側(cè)6，并且其中在該第一側(cè)5區(qū)域中該第一材料3的材料成分(Materialanteil)大于在該 第二側(cè)6區(qū)域中該第一材料3的材料成分，而在該第二側(cè)6區(qū)域中復(fù)合材料2中的第二材 料4的材料成分大于在第一側(cè)5區(qū)域中第二材料4的材料成分，從而尤其該第一側(cè)5基本 僅具有該第一材料3，該第二側(cè)6基本僅具有該第二材料4。在復(fù)合材料2中該第一材料3 的材料成分垂直于該主延伸方向100從該第一側(cè)5到第二側(cè)6尤其逐級(jí)地下降，而在復(fù)合 材料2中該第二材料4的材料成分垂直于主延伸方向100地從該第一側(cè)5向第二側(cè)6尤 其逐級(jí)地上升，使得該復(fù)合材料2垂直于主延伸方向具有多個(gè)復(fù)合材料層7，在這些復(fù)合材料層7之間第一材料3與第二材料4的比例分別是不同的。優(yōu)選地該第一材料3具有一個(gè) 孔隙率，其中該孔隙率垂直于該主延伸方向100從該第一側(cè)5到該第二側(cè)6增加，并且其中 尤其該第一材料3的孔隙大小和孔隙密度平均從該第一側(cè)5到第二側(cè)6垂直于主延伸方向 100增加，并且其中該孔10填充有該第二材料4。通過把該第一材料3的孔10用該第二材 料4填充，該第一材料3與該第二材料4至少部分地通過形狀配合和通過力傳遞配合地被 連接。在基本僅具有該第一材料3的該第一側(cè)5區(qū)域中該復(fù)合材料層7具有垂直于主延伸 平面100的至少50 μ m的厚度。在該散熱器1的第一側(cè)5上設(shè)置有半導(dǎo)體元件11，其中在 該第一側(cè)5與該半導(dǎo)體元件11之間尤其設(shè)置有由銅制成的印制導(dǎo)線11’。在圖2a中示出了一種用于制造根據(jù)本發(fā)明第二示例實(shí)施形式的散熱器1的預(yù)制 體1’的示意性側(cè)視圖，其中該散熱器1’僅包含有第一材料3，其中該預(yù)制體1’具有多個(gè)孔 10，并且其中孔密度垂直于主延伸平面100從第一側(cè)5到第二側(cè)6連續(xù)地或逐級(jí)地增加，如 此使得該第一材料1的材料密度從該第一側(cè)5到第二側(cè)6連續(xù)地或逐級(jí)地下降。通過借助 陶瓷漿料或通過分梯度的漿料壓濾而相互壓緊的聚氨酯泡沫的負(fù)鑄模針對(duì)適孔劑或粒度 來填充漿料模，其中在這兩種漿料之間的比例尤其是連續(xù)地被改變，并且其中接著借助壓 濾來制造坯，該坯比如在適孔劑份額上具有梯度，使得在接下來的燒結(jié)過程之后形成具有 孔隙率梯度的預(yù)制體1’。可替換地，該預(yù)制體1’通過有梯度的/分級(jí)的粉壓來制造，其中 優(yōu)選不同組成的粉末在一個(gè)模具中被相疊地刮刀涂布并接著被擠壓，其中可以針對(duì)粒度或 適孔劑來進(jìn)行粉末變化，或者該預(yù)制體1’通過坯板的相互層疊并接著借助通過坯板的燒結(jié) 來制造，其中這些坯板在相同燒結(jié)條件下由于粒度或適孔劑分量的變化而得到不同的孔隙 率?？商鎿Q地，為了制造該預(yù)制體，也規(guī)定把不同孔隙率的陶瓷板進(jìn)行相互層疊，其中這些 陶瓷板被再燒結(jié)以相互連接，或者規(guī)定一種薄膜鑄造法，其中在薄膜鑄造技術(shù)中把不同組 成的陶瓷漿料比如針對(duì)粒度或適孔劑份額來相疊澆注，并接著燒結(jié)。在圖2b中示出了根據(jù)本發(fā)明第二示例實(shí)施形式的一種散熱器1的示意性側(cè)視圖， 其中該散熱器1由在圖2a中所示的并在第一方法步驟中所制造的預(yù)制體1’制成，該預(yù)制 體在第二方法步驟中優(yōu)選地借助擠壓鑄造技術(shù)或借助氣體壓力滲透而借助壓力被滲透了 金屬熔體，從而這些孔10填充有該第二材料4，并且該散熱器優(yōu)選地在該第二側(cè)6上具有一 個(gè)復(fù)合材料層7，該復(fù)合材料層基本僅包含有該第二材料4。
權(quán)利要求
一種由復(fù)合材料(2)制成的散熱器(1)，該復(fù)合材料具有第一材料(3)和第二材料(4)，其中該第一材料(3)包含有電絕緣體，該第二材料(4)包含有電導(dǎo)體，其中該散熱器(1)具有平行于該散熱器(1)的主延伸平面(100)的一個(gè)第一側(cè)(5)，并且其中該散熱器(1)具有垂直于該主延伸平面(100)地與該第一側(cè)(5)相對(duì)的、基本與該第一側(cè)(5)平行的一個(gè)第二側(cè)(6)，其特征在于，在該第一側(cè)(5)的區(qū)域中該第一材料(3)的材料成分大于在該第二側(cè)(6)區(qū)域中該第一材料(3)的材料成分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的散熱器(1)，其特征在于，在第二側(cè)(6)區(qū)域中在復(fù)合材料(2)中第二材料(4)的材料成分大于在該第一側(cè)(5)區(qū)域中該第二材料(4)的材料成分，其 中優(yōu)選地該第一側(cè)(5)基本僅具有該第一材料(3)，和/或該第二側(cè)(6)基本僅具有該第二 材料⑷。
3.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的散熱器(1)，其特征在于，在該復(fù)合材料(2)中的該第 一材料(3)的材料成分垂直于該主延伸方向(100)從該第一側(cè)(5)到該第二側(cè)(6)尤其連 續(xù)地、單調(diào)地和/或逐級(jí)地下降，而在該復(fù)合材料(2)中的該第二材料(4)的材料成分垂直 于主延伸方向(100)從該第一側(cè)(5)到該第二側(cè)(6)尤其連續(xù)地、單調(diào)地和/或逐級(jí)地增 加。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的散熱器(1)，其特征在于，該第一材料(3)具有尤其 開口孔隙率，其中該孔隙率垂直于該主延伸方向(100)從該第一側(cè)(5)到該第二側(cè)(6)增 加，并且其中優(yōu)選地該第一材料(3)的孔密度和/或孔大小平均從該第一側(cè)(5)到該第二 側(cè)(6)垂直于該主延伸方向(100)增加，其中尤其優(yōu)選地這些孔(10)被該第二材料(4)填充。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的散熱器(1)，其特征在于，該復(fù)合材料(2)垂直于該主 延伸方向具有多個(gè)復(fù)合材料層(7)，其中尤其在這些復(fù)合材料層(7)之間第一材料(3)與第 二材料(4)的比例分別是不同的。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的散熱器(1)，其特征在于，該第一材料(3)與該第二材 料(4)通過形狀配合和/或通過力傳遞配合地被連接，和/或該第一材料(3)與該第二材 料(4)形成互穿網(wǎng)絡(luò)。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的散熱器(1)，其特征在于，該第一材料(3)垂直于該主 延伸平面(100)具有優(yōu)選從0vol%至95vol%并尤其優(yōu)選從0vol%至65vol%的孔隙度變 化曲線，其中更尤其優(yōu)選地該第一側(cè)(5)具有基本完全由該第一材料(3)構(gòu)成的、垂直于主 延伸平面(100)厚度至少為50 μ m的復(fù)合材料層(7)。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的散熱器(1)，其特征在于，該第一材料(3)包含有陶瓷 材料，所述陶瓷材料優(yōu)選地是氧化物、氮化物和/或碳化物，尤其優(yōu)選地為A1203、A1N、Si3N4 和/或SiC，更尤其優(yōu)選地為Al2O3，該第二材料(4)包含有金屬材料，所述金屬材料優(yōu)選地 是銅、銅合金、鋁和/或鋁合金。
9.一種具有根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的散熱器(1)的裝置(20)，其特征在于，在該 散熱器(1)的第一側(cè)(5)上設(shè)置有至少一個(gè)電氣、電子和/或微機(jī)械元件(11)和/或印制 導(dǎo)線(11’)和/或復(fù)合層，其中優(yōu)選地該第一側(cè)(5)至少部分地覆蓋有金屬層，并尤其優(yōu)選 地至少部分地覆蓋有鋁層和/或銅層。
10.一種用于制造根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的散熱器(1)的方法，其特征在于，在第2一方法步驟中以垂直于該主延伸平面(100)的一個(gè)孔隙率梯度由該第一材料(3)來制造一 個(gè)預(yù)制體(1’)，其中在一個(gè)第二方法步驟中給該預(yù)制體的孔(10)填充該第二材料(4)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，在第一方法步驟中該預(yù)制體(1’)通過 負(fù)鑄模、尤其通過借助漿料而相互壓緊的泡沫的負(fù)鑄模來制造，其中優(yōu)選地使用了聚氨酯 泡沫。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的方法，其特征在于，在第一方法步驟中通過漿料壓濾 以及隨后的燒結(jié)來制造該預(yù)制體(1’)，其中優(yōu)選首先利用不同組成的兩種漿料來填充一個(gè) 漿料模，其中這兩種漿料之間的比例被連續(xù)地改變，并且其中接著通過壓濾和燒結(jié)法來制 造該預(yù)制體。
13.根據(jù)權(quán)利要求10或12之一所述的方法，其特征在于，在該第一方法步驟中通過粉 壓來制造該預(yù)制體(1’)，其中優(yōu)選將不同組成的粉末在一個(gè)模具中相疊地進(jìn)行刮刀涂布并 接著進(jìn)行擠壓。
14.根據(jù)權(quán)利要求10或13之一所述的方法，其特征在于，在該第一方法步驟中該預(yù)制 體(1’)通過把多個(gè)坯板進(jìn)行層疊和燒結(jié)來制造，其中優(yōu)選將這些坯板相互層疊，這些坯板 在燒結(jié)時(shí)形成不同的孔隙率。
15.根據(jù)權(quán)利要求10或14之一所述的方法，其特征在于，在該第一方法步驟中通過把 不同孔隙率的板進(jìn)行層疊和連接來制造該預(yù)制體(1’)，其中優(yōu)選地把陶瓷板相互層疊并再 燒結(jié)以相互連接。
16.根據(jù)權(quán)利要求10或15之一所述的方法，其特征在于，在該第一方法步驟中該預(yù)制 體(1’)通過鑄造法、尤其是薄膜鑄造法來制造，其中優(yōu)選地在薄膜鑄造技術(shù)中把不同組成 的漿料依次澆注，并接著燒結(jié)。
17.根據(jù)權(quán)利要求10或16之一所述的方法，其特征在于，該第二方法步驟包括一種熔 化滲透法，其中優(yōu)選地用該第二材料(4)來借助壓力地滲透該預(yù)制體(1’)，并且其中尤其 優(yōu)選在該第二方法步驟之前以液態(tài)的物態(tài)來摻入該第二材料(4)。
全文摘要
本發(fā)明推薦了由一種復(fù)合材料構(gòu)成的散熱器，該復(fù)合材料具有一種第一材料和一種第二材料，其中該第一材料包含有一種電絕緣體，該第二材料包含有一種電導(dǎo)體，其中該散熱器具有平行于該散熱器的主延伸平面的一個(gè)第一側(cè)，并且其中該散熱器具有垂直于該主延伸平面與該第一側(cè)相對(duì)的、基本與該第一側(cè)平行的一個(gè)第二側(cè)，并且其中另外在該第一側(cè)的區(qū)域中該第一材料的材料成分大于在該第二側(cè)區(qū)域中該第一材料的材料成分。
文檔編號(hào)H01L23/373GK101925999SQ200880125268
公開日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2008年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月22日
發(fā)明者M·利昂哈特 申請(qǐng)人:羅伯特.博世有限公司