專利名稱：懸臂石英槳的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)元件，尤其是一種懸臂石英槳。
背景技術(shù)：
從硅片到芯片的加工過程中，片子進出爐管的傳統(tǒng)方式是推拉式，但是隨著芯片直徑加 大，自重增加，推拉式因為與爐管直接接觸，容易對爐管造成損傷，因此這個加工過程就由 傳統(tǒng)的推拉式變?yōu)閼冶凼降墓铇?，懸臂式硅槳可以保證芯片與爐管的同心度，進而使擴散、 氧化更均勻，并且保證了芯片的承載器不與爐管直接接觸，延長了爐管的使用壽命，但是硅 槳不易清洗、質(zhì)地較脆、易斷裂，并且斷裂后不能修補，其所能承載的石英舟少，使用成本 高。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于，提供一種懸臂石英槳，它可以保證芯片與爐管的同心度，不與 爐管直接接觸，能承載的石英舟較多，并且容易清洗、不易斷裂，即使斷裂也可以進行修補 ，承載量大，節(jié)約了成本。
本實用新型的技術(shù)方案是1、懸臂石英槳，其特征在于它包括懸臂部分l與承載部分 2，懸臂部分1與承載部分2通過結(jié)合部分4連接，結(jié)合部分4上設(shè)有支點3。
所述的懸臂石英槳，懸臂部分l厚度為10 12mm，承載部分2厚度為4. 5 5. 5mm。
上述的懸臂石英槳，支點3在結(jié)合部分4的中點處。
前述的懸臂石英槳的材料為熔凝石英。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的懸臂石英槳不與爐管直接接觸，延長了爐管的使用壽命 ，能承載的石英舟數(shù)量可以達到至少5只，并且懸臂石英槳容易清洗，并且不易斷裂，即使 斷裂也可以進行修補，延長了懸臂石英槳的使用壽命，節(jié)約了使用成本。
說明書附圖
圖l為懸臂石英槳的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為

圖1的俯視圖； 圖3為圖1的左視圖。
具體實施方式

實施例l:懸臂石英槳的結(jié)構(gòu)如圖l、圖2和圖3所示，它包括由熔凝石英制成的懸臂部分
l與承載部分2，懸臂部分1與承載部分2通過結(jié)合部分4連接，懸臂部分l厚度為llmm，承載部 分2厚度為5mm，結(jié)合部分4的中點位置處為支點3。
本例中將懸臂石英槳的懸臂部分l的厚度，由常規(guī)的厚度增加到llm，以提高其受力能力 ，使能承載的石英舟數(shù)量增加到至少5只，并且能保證芯片與爐管的同心度，懸臂石英槳不 與爐管直接接觸，避免了因反復(fù)進出而對爐管造成磨損，延長了爐管的使用壽命，由于了采 用熔凝石英，懸臂石英槳容易清洗，并且不易斷裂，即使斷裂也可以進行修補，節(jié)約了成本 ;支點3在結(jié)合部分4的中點位置處，因為石英槳的槳部(即承載部分2)要承載石英舟，因 此選擇一個合適的支點3可以很好的保持整個槳的平衡，使其受力平衡均勻；熔凝石英的分 子為非結(jié)晶排布，這樣可以在其斷裂時能進行修補，以增加懸臂石英槳的使用壽命。
權(quán)利要求1、懸臂石英槳，其特征在于它包括懸臂部分(1)與承載部分(2)，懸臂部分(1)與承載部分(2)通過結(jié)合部分(4)連接，結(jié)合部分(4)上設(shè)有支點(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的懸臂石英槳，其特征在于懸臂部分(1)厚度為10 12mm，承載部分(2)厚度為4. 5 5. 5mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的懸臂石英槳，其特征在于支點(3)在結(jié) 合部分(4)的中點處。
4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的懸臂石英槳，其特征在于懸臂石英槳的材 料為熔凝石英。
專利摘要本實用新型公開了一種懸臂石英槳，它包括懸臂部分(1)與承載部分(2)，懸臂部分(1)與承載部分(2)通過結(jié)合部分(4)連接，結(jié)合部分(4)上設(shè)有支點(3)。本實用新型的懸臂石英槳不與爐管直接接觸，延長了爐管的使用壽命，能承載的石英舟數(shù)量可以達到至少5只，并且懸臂石英槳容易清洗，并且不易斷裂，即使斷裂也可以進行修補，延長了懸臂石英槳的使用壽命，節(jié)約了使用成本。
文檔編號H01L21/67GK201066685SQ20072020071
公開日2008年5月28日 申請日期2007年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月27日
發(fā)明者張彩根 申請人:張彩根