專利名稱：搬運(yùn)系統(tǒng)及制造系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)于一種搬運(yùn)系統(tǒng)，特別是有關(guān)于一種用于搬運(yùn)制造系統(tǒng)中工件的搬運(yùn)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在晶片制造廠中，隨著晶片半徑的增加及廠房面積擴(kuò)增，人工運(yùn)送晶片工件的方式漸漸被自動(dòng)化的搬運(yùn)系統(tǒng)所取代。一般晶片制造廠的制程機(jī)臺(tái)及搬運(yùn)系統(tǒng)的配置如圖1所示，制造系統(tǒng)100包含為數(shù)眾多的制程機(jī)臺(tái)，而這些制程機(jī)臺(tái)又依據(jù)其制程能力等因素而被組織成機(jī)臺(tái)群組，例如制程機(jī)臺(tái)11a至11h屬于機(jī)臺(tái)群組11，而制程機(jī)臺(tái)15a至15h屬于機(jī)臺(tái)群組15。機(jī)臺(tái)群組之間晶片工件的運(yùn)送，是由機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)19為之。機(jī)臺(tái)群組內(nèi)各制程機(jī)臺(tái)之間晶片工件的運(yùn)送，則由各機(jī)臺(tái)群組所對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)為之，亦即，機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)12及16分別用以在機(jī)臺(tái)群組11及15中各制程機(jī)臺(tái)之間搬運(yùn)晶片工件。而晶片工件并不在上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)及機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)之間直接流通，其必須經(jīng)由倉儲(chǔ)系統(tǒng)轉(zhuǎn)運(yùn)，其中每一倉儲(chǔ)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)一機(jī)臺(tái)群組，亦即，倉儲(chǔ)系統(tǒng)13及17分別對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)群組11及15。倉儲(chǔ)系統(tǒng)13及17分別設(shè)有群組間存取埠139a、139b及179a、179b以及群組內(nèi)存取埠131a、131b及175a、175b，當(dāng)晶片工件由機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)出入倉儲(chǔ)系統(tǒng)時(shí)，必須經(jīng)由群組間存取埠，而當(dāng)晶片工件由機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)出入倉儲(chǔ)系統(tǒng)時(shí)，則由群組內(nèi)存取端口進(jìn)出倉儲(chǔ)系統(tǒng)。
一般晶片制造系統(tǒng)中包含非常多的機(jī)臺(tái)群組，而每一機(jī)臺(tái)群組又包含非常多的制程機(jī)臺(tái)，在執(zhí)行制程程序時(shí)，為數(shù)眾多的機(jī)臺(tái)群組及制程機(jī)臺(tái)，使得機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)及機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)的工件流量非常大。由上述可知，晶片工件在機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)及機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)之間運(yùn)送時(shí)，必須經(jīng)過倉儲(chǔ)系統(tǒng)，而一般傳統(tǒng)的倉儲(chǔ)系統(tǒng)僅設(shè)有一群組間存取埠(包含一加載埠，用以將晶片工件由機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)加載倉儲(chǔ)系統(tǒng)；及一運(yùn)出埠用以將晶片工件自倉儲(chǔ)系統(tǒng)輸出至機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng))，以及一群組內(nèi)存取埠(包含一加載埠，用以將晶片工件由機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)加載倉儲(chǔ)系統(tǒng)；及一運(yùn)出埠用以將晶片工件自倉儲(chǔ)系統(tǒng)輸出至機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng))。此種單一輸出入管道的設(shè)計(jì)，使得倉儲(chǔ)系統(tǒng)的群組間存取埠及群組內(nèi)存取端口成為整個(gè)制造系統(tǒng)中工件搬運(yùn)的主要瓶頸之一。
由上述說明可知，傳統(tǒng)制造系統(tǒng)中倉儲(chǔ)系統(tǒng)所造成的運(yùn)輸瓶頸問題延長工件運(yùn)送時(shí)間，使得制程機(jī)臺(tái)空置時(shí)間增加，而嚴(yán)重影響制造效率。參見圖7上部的傳統(tǒng)制造系統(tǒng)中制程機(jī)臺(tái)運(yùn)作時(shí)間的示意圖，就一制程機(jī)臺(tái)而言，由于其所預(yù)定處理的工件在搬運(yùn)系統(tǒng)中由于流量過大而壅塞等因素，未能在制程機(jī)臺(tái)完成上一加工批處理時(shí)到達(dá)上述制程機(jī)臺(tái)，使得制程機(jī)臺(tái)必須等候其到達(dá)而造成制程機(jī)臺(tái)空置時(shí)間(如圖中所示加工批次之間的空檔)，而使得制程機(jī)臺(tái)的整體效能低落，進(jìn)而影響制造系統(tǒng)的制造效率。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本實(shí)用新型的目的為提供一種搬運(yùn)系統(tǒng)，使得能夠解決傳統(tǒng)搬運(yùn)系統(tǒng)中工件出入倉儲(chǔ)系統(tǒng)壅塞的問題，以增加倉儲(chǔ)系統(tǒng)載卸效率及整題制造效率。
為達(dá)成本實(shí)用新型的上述目的，本實(shí)用新型提供適用于制造系統(tǒng)的搬運(yùn)系統(tǒng)。上述制造系統(tǒng)，連結(jié)于一包括多個(gè)制程機(jī)臺(tái)的制造系統(tǒng)，其特征在于，該制造系統(tǒng)包括多個(gè)制程機(jī)臺(tái)，其包含一倉儲(chǔ)子系統(tǒng)，具有一倉儲(chǔ)本體以及多個(gè)存取埠，其中，上述存取埠設(shè)置于上述倉儲(chǔ)本體之上；以及一搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)，具有一搬運(yùn)軌道部及一倉儲(chǔ)載卸部，上述搬運(yùn)軌道部連接上述倉儲(chǔ)載卸部，上述倉儲(chǔ)載卸部具有多個(gè)軌道分支，上述軌道分支對(duì)應(yīng)連接上述存取埠。在上述制造系統(tǒng)中，是可將上述多個(gè)制程機(jī)臺(tái)配置為多個(gè)機(jī)臺(tái)群組，其中每一上述機(jī)臺(tái)群組包含具有相關(guān)或相同制程能力的多個(gè)制程機(jī)臺(tái)。上述制造系統(tǒng)包含多個(gè)機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，其分別與上述多個(gè)機(jī)臺(tái)群組相對(duì)應(yīng)，用以在對(duì)應(yīng)的上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)的制程機(jī)臺(tái)間搬運(yùn)工件。上述制造系統(tǒng)亦包含一機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，用以在上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)工件。該搬運(yùn)系統(tǒng)包括多個(gè)制程機(jī)臺(tái)；一搬運(yùn)系統(tǒng)，連接上述制程機(jī)臺(tái)，上述搬運(yùn)系統(tǒng)具有一倉儲(chǔ)子系統(tǒng)以及一搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)，其中，上述倉儲(chǔ)子系統(tǒng)具有一倉儲(chǔ)本體以及多個(gè)存取埠，上述存取埠設(shè)置于上述倉儲(chǔ)本體之上，上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)具有一搬運(yùn)軌道部及一倉儲(chǔ)載卸部，上述搬運(yùn)軌道部連接上述倉儲(chǔ)載卸部以及上述制程機(jī)臺(tái)，上述倉儲(chǔ)載卸部具有多個(gè)軌道分支，上述軌道分支對(duì)應(yīng)連接上述存取埠。另一本實(shí)用新型的搬運(yùn)系統(tǒng)包括多個(gè)機(jī)臺(tái)群組，其中每一上述機(jī)臺(tái)群組具有多個(gè)制程機(jī)臺(tái)；多個(gè)機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，分別連結(jié)到上述各機(jī)臺(tái)群組中的多個(gè)制程機(jī)臺(tái)；多個(gè)倉儲(chǔ)系統(tǒng)，分別對(duì)應(yīng)連結(jié)到于上述各機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，具有一倉儲(chǔ)本體、一群組內(nèi)存取埠以及多個(gè)群組間存取埠，上述群組內(nèi)存取埠以及上述群組間存取埠設(shè)于上述倉儲(chǔ)本體之上，上述群組內(nèi)存取埠連接上述各機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)；以及一機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，連接到上述多個(gè)機(jī)臺(tái)群組，上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)具有一搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)以及一倉儲(chǔ)載卸子系統(tǒng)，上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)連接上述倉儲(chǔ)載卸子系統(tǒng)，其中，上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)具有多個(gè)搬運(yùn)軌道部，上述倉儲(chǔ)載卸子系統(tǒng)具有多個(gè)倉儲(chǔ)載卸部，上述多個(gè)搬運(yùn)軌道部連接上述多個(gè)倉儲(chǔ)載卸部，每一上述倉儲(chǔ)載卸部具有多個(gè)軌道分支，每一軌道分支對(duì)應(yīng)連接上述群組間存取埠。
本實(shí)用新型所提供的上述搬運(yùn)系統(tǒng)可以應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，亦可應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)。
當(dāng)上述搬運(yùn)系統(tǒng)應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)時(shí)，上述存取埠為群組內(nèi)存取埠，使得上述工件能夠由對(duì)應(yīng)的上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)出及加載上述倉儲(chǔ)本體。上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，其包含相連結(jié)的一搬運(yùn)軌道部及一倉儲(chǔ)載卸部。其中上述倉儲(chǔ)載卸部包含多個(gè)與上述存取端口相對(duì)應(yīng)的軌道分支，其中每一軌道分支用以將上述工件加載或運(yùn)出其對(duì)應(yīng)的群組內(nèi)存取埠。
當(dāng)上述搬運(yùn)系統(tǒng)應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)時(shí)，上述存取埠為群組間存取埠，其是設(shè)置于上述倉儲(chǔ)本體，使得上述工件能夠由上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)出或加載上述倉儲(chǔ)本體，其數(shù)量及配置方式是依據(jù)上述制程機(jī)臺(tái)群組特性而定。上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)則包含相連結(jié)的搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)及倉儲(chǔ)載卸子系統(tǒng)，其中上述倉儲(chǔ)載卸子系統(tǒng)包含多個(gè)倉儲(chǔ)載卸部，每一上述倉儲(chǔ)載卸部包含多個(gè)軌道分支，其中每一軌道分支與一上述群組間存取埠相對(duì)應(yīng)，用以將上述工件加載或運(yùn)出其對(duì)應(yīng)的群組間存取埠。
上述搬運(yùn)系統(tǒng)是依據(jù)下述搬運(yùn)方法于上述制造系統(tǒng)中進(jìn)行工件的運(yùn)送。首先，決定上述工件的目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)。繼之，依據(jù)上述工件目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)特性、上述倉儲(chǔ)載卸部狀況、以及上述存取埠狀況，決定上述工件的較佳存取埠及其對(duì)應(yīng)的上述軌道分支。最后，依據(jù)上述較佳存取埠及其對(duì)應(yīng)的上述軌道分支，發(fā)出一搬運(yùn)指令，使得上述搬運(yùn)系統(tǒng)執(zhí)行上述工件的搬運(yùn)。
上述搬運(yùn)方法是可以藉由一計(jì)算機(jī)程序的執(zhí)行而實(shí)現(xiàn)。上述計(jì)算機(jī)程序儲(chǔ)存于一儲(chǔ)存媒體中，其可以加載于一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)并且執(zhí)行一搬運(yùn)方法。上述搬運(yùn)方法首先接收上述工件的目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)訊息。繼之，依據(jù)上述工件目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)特性、上述倉儲(chǔ)載卸部狀況、以及上述存取埠狀況，決定上述工件的較佳存取埠及其對(duì)應(yīng)的上述軌道分支。最后，依據(jù)上述較佳存取埠及其對(duì)應(yīng)的上述軌道分支，發(fā)出一搬運(yùn)指令，使得上述搬運(yùn)系統(tǒng)執(zhí)行上述工件的搬運(yùn)。
由此，本實(shí)用新型的有益效果是克服了傳統(tǒng)制造及搬運(yùn)系統(tǒng)中倉儲(chǔ)系統(tǒng)所造成的運(yùn)輸瓶頸問題延長工件運(yùn)送時(shí)間，使得制程機(jī)臺(tái)空置時(shí)間增加的缺陷，使得制程機(jī)臺(tái)的整體效能提高，進(jìn)而提高制造系統(tǒng)的制造效率。


為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，本文特舉實(shí)施例，并配合所附圖示，進(jìn)行詳細(xì)說明如下圖1為顯示傳統(tǒng)晶片制造系統(tǒng)的制程機(jī)臺(tái)及搬運(yùn)系統(tǒng)配置的示意圖。
圖2顯示依據(jù)本實(shí)用新型搬運(yùn)系統(tǒng)的示意圖。
圖3顯示依據(jù)本實(shí)用新型第一實(shí)施例的制造系統(tǒng)的示意圖。
圖4顯示依據(jù)本實(shí)用新型第二實(shí)施例的制造系統(tǒng)的示意圖。
圖5顯示依據(jù)本實(shí)用新型搬運(yùn)方法的流程圖。
圖6顯示依據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的儲(chǔ)存媒體的示意圖。
圖7顯示本實(shí)用新型提升制程機(jī)臺(tái)運(yùn)作效能的示意圖。
符號(hào)說明100制造系統(tǒng)11、15機(jī)臺(tái)群組11a～11h；15a～15h制程機(jī)臺(tái)12、16機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)13、17倉儲(chǔ)系統(tǒng)131a、131b、175a、175b群組內(nèi)存取埠139a、139b、179a、179b群組間存取埠19機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)20搬運(yùn)系統(tǒng)21倉儲(chǔ)本體22、23存取埠22a、23a載入埠22b、23b運(yùn)出埠24搬運(yùn)軌道部24a、24b搬運(yùn)軌道區(qū)段25倉儲(chǔ)載卸部25a、25b軌道分支30機(jī)臺(tái)群組31、33制程機(jī)臺(tái)34群組間存取埠35機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)40制造系統(tǒng)
41機(jī)臺(tái)群組41a～41h制程機(jī)臺(tái)42機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)43群組內(nèi)存取埠43a載入埠43b運(yùn)出埠S51決定工件的目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)S53決定工件的較佳存取埠及其對(duì)應(yīng)的軌道分支S55發(fā)出一搬運(yùn)指令60計(jì)算機(jī)程序61目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)訊息接收模塊63較佳存取端口及軌道分支決定模塊65搬運(yùn)指令發(fā)布模塊具體實(shí)施方式
如前所述，本實(shí)用新型是藉由在倉儲(chǔ)系統(tǒng)中倉儲(chǔ)本體上設(shè)置多個(gè)存取埠，并建立相對(duì)應(yīng)的軌道分支，使得運(yùn)出或輸入倉儲(chǔ)本體的工件有多個(gè)管道可以出入倉儲(chǔ)本體，而不會(huì)在倉儲(chǔ)系統(tǒng)處壅塞而延誤運(yùn)送時(shí)間。
茲以晶片制造系統(tǒng)為例，說明本實(shí)用新型的實(shí)施。
圖2顯示依據(jù)本實(shí)用新型搬運(yùn)系統(tǒng)的示意圖。圖2所示的搬運(yùn)系統(tǒng)20適用于一制造系統(tǒng)(圖2未顯示)，且上述制造系統(tǒng)包括多個(gè)制程機(jī)臺(tái)(圖2未顯示)，其中每一制程機(jī)臺(tái)用以處理至少一工件(圖2未顯示)。
搬運(yùn)系統(tǒng)20包括一倉儲(chǔ)子系統(tǒng)及一搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)。其中上述倉儲(chǔ)子系統(tǒng)包含一倉儲(chǔ)本體21、存取埠22及23(分別包括加載埠22a、23a及運(yùn)出埠22b、23b)。上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)包含相連結(jié)的搬運(yùn)軌道部24(包括圖2所示的24a及24b二搬運(yùn)軌道區(qū)段)及倉儲(chǔ)載卸部25。其中倉儲(chǔ)載卸部25包含二軌道分支25a及25b，其分別與存取埠22及23相對(duì)應(yīng)，其中軌道分支25a及25b分別用以將上述工件加載或運(yùn)出其對(duì)應(yīng)的存取埠22及23。
在此實(shí)施例中，倉儲(chǔ)本體21上設(shè)置有存取埠22及23，且其位于倉儲(chǔ)本體21同一壁面上，此僅為例示，并非用以限制本實(shí)用新型搬運(yùn)系統(tǒng)的實(shí)施態(tài)樣，實(shí)際上存取埠的數(shù)量是依據(jù)實(shí)際需要而設(shè)計(jì)，其尤其是依據(jù)上述制程機(jī)臺(tái)特性及空間配置等因素而定，而倉儲(chǔ)載卸部的軌道分支的數(shù)量是依據(jù)其所對(duì)應(yīng)的存取埠而設(shè)計(jì)。當(dāng)上述制造系統(tǒng)中的制程機(jī)臺(tái)于每一加工批次所能處理的工件數(shù)量較搬運(yùn)系統(tǒng)每一載具所能運(yùn)送的工件數(shù)量大時(shí)，倉儲(chǔ)本體21所設(shè)置的存取埠就可能較多，以使得每一存取埠的流量不至于超過其負(fù)荷而造成壅塞。舉例言之，搬運(yùn)系統(tǒng)20包含數(shù)個(gè)具有測(cè)試晶片功能的制程機(jī)臺(tái)，其每一加工批處理的晶片工件的量為50片，而搬運(yùn)系統(tǒng)20中用來搬運(yùn)晶片工件的載具最多載運(yùn)量為10片。亦即，上述制程機(jī)臺(tái)每一加工批次所處理的晶片工件，至少需以5個(gè)載具次才能完全運(yùn)送，而上述制程機(jī)臺(tái)必須等所有預(yù)定于一加工批次中處理的工件到齊，才能開始加工處理。且因?yàn)橹瞥虣C(jī)臺(tái)每加工批處理的工件量為載具承載量的5倍，搬運(yùn)系統(tǒng)中的整體運(yùn)送量也因此會(huì)較大，而容易造成壅塞。在這種情況下，倉儲(chǔ)本體21上就可以設(shè)置多個(gè)存取端口，來分擔(dān)流量負(fù)荷，以保持搬運(yùn)系統(tǒng)20中工件運(yùn)送的順暢。
將搬運(yùn)系統(tǒng)20應(yīng)用在制造系統(tǒng)中的方式不同，能夠達(dá)成不一樣的效能。舉例而言，在上述制造系統(tǒng)中，將上述多個(gè)制程機(jī)臺(tái)配置為多個(gè)機(jī)臺(tái)群組，其中每一上述機(jī)臺(tái)群組包含具有相關(guān)或相同制程能力的多個(gè)制程機(jī)臺(tái)。上述制造系統(tǒng)包含多個(gè)機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，其分別與上述多個(gè)機(jī)臺(tái)群組相對(duì)應(yīng)，用以在對(duì)應(yīng)的上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)的制程機(jī)臺(tái)間搬運(yùn)上述工件。上述制造系統(tǒng)亦包含一機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，用以在上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)上述工件。搬運(yùn)系統(tǒng)20能夠應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，亦可應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，兩種不同的實(shí)施態(tài)樣能夠達(dá)成的效能不同。
參見圖3，上述搬運(yùn)系統(tǒng)應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)。機(jī)臺(tái)群組30包含用以處理至少一工件的制程機(jī)臺(tái)31及33等多個(gè)制程機(jī)臺(tái)(圖3未顯示其它的制程機(jī)臺(tái))及搬運(yùn)系統(tǒng)。搬運(yùn)系統(tǒng)中的倉儲(chǔ)本體21設(shè)有存取埠22及23(分別包括加載埠22a、23a及運(yùn)出埠22b、23b)，在此為群組內(nèi)存取埠，使得倉儲(chǔ)本體能將上述工件運(yùn)出至上述機(jī)臺(tái)群組中各制程機(jī)臺(tái)，或?qū)⑸鲜龉ぜ缮鲜鲋瞥虣C(jī)臺(tái)載入倉儲(chǔ)本體21。上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，其包含相連結(jié)的一搬運(yùn)軌道部24及倉儲(chǔ)載卸部25。倉儲(chǔ)載卸部25包含二軌道分支25a及25b，其分別與存取埠22及23相對(duì)應(yīng)，其中軌道分支25a及25b分別用以將上述工件加載或運(yùn)出其對(duì)應(yīng)的存取埠22及23。搬運(yùn)軌道部及24則連結(jié)機(jī)臺(tái)群組30中的制程機(jī)臺(tái)31及33等，使得上述工件能夠在上述制程機(jī)臺(tái)之間運(yùn)送。倉儲(chǔ)本體21另藉由一群組間存取埠34(分別包括加載埠34a及運(yùn)出埠34b)與機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)35連結(jié)，使得能夠與其它機(jī)臺(tái)群組連結(jié)。
若存取埠22及23仍不敷使用，或由于其它原因必須增加一群組內(nèi)存取埠時(shí)，亦可利用既有的群組間存取埠34來分擔(dān)倉儲(chǔ)本體21與機(jī)臺(tái)群組內(nèi)各制程機(jī)臺(tái)間的工件運(yùn)送流量，此時(shí)必須另外建立一軌道分支以連結(jié)群組間存取埠34與搬運(yùn)軌道部24，使得倉儲(chǔ)本體能藉由群組間存取埠34將上述工件運(yùn)出至上述機(jī)臺(tái)群組中各制程機(jī)臺(tái)，或?qū)⑸鲜龉ぜ缮鲜鲋瞥虣C(jī)臺(tái)載入倉儲(chǔ)本體21。
搬運(yùn)系統(tǒng)20應(yīng)用在上述機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，是提供多個(gè)軌道分支及多個(gè)存取埠給倉儲(chǔ)本體21與機(jī)臺(tái)群組內(nèi)各制程機(jī)臺(tái)間的工件運(yùn)送之用，其能夠緩解倉儲(chǔ)本體與機(jī)臺(tái)群組內(nèi)各制程機(jī)臺(tái)間的工件運(yùn)送的壅塞，以提升倉儲(chǔ)本體與機(jī)臺(tái)群組內(nèi)各制程機(jī)臺(tái)間的工件運(yùn)送的效率。
參見圖4，上述搬運(yùn)系統(tǒng)應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)。制造系統(tǒng)40包含多個(gè)機(jī)臺(tái)群組、對(duì)應(yīng)的多個(gè)機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)、對(duì)應(yīng)的多個(gè)倉儲(chǔ)系統(tǒng)、及一機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)。圖4中僅以一機(jī)臺(tái)群組為例來說明。機(jī)臺(tái)群組41包含制程機(jī)臺(tái)41a～41h，用以處理至少一工件。機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)42連結(jié)制程機(jī)臺(tái)41a～41h，并藉由倉儲(chǔ)本體21所設(shè)置的存取埠43a及43b與倉儲(chǔ)本體21連結(jié)，使得能夠?qū)⑸鲜龉ぜ趥}儲(chǔ)本體21和制程機(jī)臺(tái)41a～41h之間搬運(yùn)。在此，倉儲(chǔ)本體21所設(shè)置的存取埠22及23(分別包括加載專用存取埠22a、23a及運(yùn)出專用存取埠22b、23b)為機(jī)臺(tái)群組間存取埠，使得上述工件能夠由倉儲(chǔ)本體21運(yùn)出至其它機(jī)臺(tái)群組或由其它機(jī)臺(tái)群組加載倉儲(chǔ)本體21。上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)應(yīng)用于上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，其包含相連結(jié)的一搬運(yùn)軌道部及24倉儲(chǔ)載卸部25。倉儲(chǔ)載卸部25包含二軌道分支25a及25b，其分別與存取埠22及23相對(duì)應(yīng)，其中軌道分支25a及25b分別用以將上述工件加載或運(yùn)出其對(duì)應(yīng)的存取埠22及23。搬運(yùn)軌道部及24包含24a及24b二軌道區(qū)段，其連結(jié)制造系統(tǒng)40中的機(jī)臺(tái)群組41及其它機(jī)臺(tái)群組，使得上述工件能夠在各機(jī)臺(tái)群組之間運(yùn)送。倉儲(chǔ)本體21另藉由一群組內(nèi)存取埠43(分別包括加載埠43a及運(yùn)出埠43b)與機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)42連結(jié)，使得能夠連結(jié)機(jī)臺(tái)群組41內(nèi)的各制程機(jī)臺(tái)。
若存取埠22及23仍不敷使用，或由于其它原因必須增加一群組間存取埠時(shí)，亦可利用既有的群組內(nèi)存取埠43來分擔(dān)倉儲(chǔ)本體21與各機(jī)臺(tái)群組間的工件運(yùn)送流量，此時(shí)必須另外建立一軌道分支以連結(jié)群組內(nèi)存取埠43與搬運(yùn)軌道部24，使得倉儲(chǔ)本體能藉由群組內(nèi)存取埠43將上述工件由倉儲(chǔ)本體21運(yùn)出至其它機(jī)臺(tái)群組或由其它機(jī)臺(tái)群組加載倉儲(chǔ)本體21。
搬運(yùn)系統(tǒng)20應(yīng)用在上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，是提供多個(gè)軌道分支及存取端口給倉儲(chǔ)本體21與制造系統(tǒng)中各機(jī)臺(tái)群組間工件運(yùn)送之用，其能夠緩解倉儲(chǔ)本體與各機(jī)臺(tái)群組間的工件運(yùn)送的壅塞，以提升倉儲(chǔ)本體與各機(jī)臺(tái)群組間的工件運(yùn)送的效率。
搬運(yùn)系統(tǒng)20可以單獨(dú)應(yīng)用于機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)或機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，亦可以同時(shí)應(yīng)用于機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)及機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，視實(shí)際情況決定。
搬運(yùn)系統(tǒng)20是依據(jù)下述搬運(yùn)方法于上述制造系統(tǒng)中進(jìn)行工件的運(yùn)送，參見圖5所示搬運(yùn)方法的流程圖。首先，決定上述工件的目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)(步驟S51)。繼之，依據(jù)上述工件目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)特性、上述倉儲(chǔ)載卸部狀況、以及上述存取埠狀況，決定上述工件的較佳存取埠及其對(duì)應(yīng)的上述軌道分支(步驟S53)。最后，依據(jù)上述較佳存取埠及其對(duì)應(yīng)的上述軌道分支，發(fā)出一搬運(yùn)指令，使得上述搬運(yùn)系統(tǒng)執(zhí)行上述工件的搬運(yùn)(步驟S55)。
上述搬運(yùn)方法是可以藉由一計(jì)算機(jī)程序的執(zhí)行而實(shí)現(xiàn)。上述計(jì)算機(jī)程序儲(chǔ)存于一儲(chǔ)存媒體中，其可以加載于一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)并且執(zhí)行一搬運(yùn)方法。如圖6所示，上述計(jì)算機(jī)程序60包括目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)訊息接收模塊61、較佳存取端口及軌道分支決定模塊63、搬運(yùn)指令發(fā)布模塊65。
上述計(jì)算機(jī)程序的執(zhí)行，首先由目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)訊息接收模塊61接收上述工件的目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)訊息。繼之，較佳存取端口及軌道分支決定模塊63依據(jù)上述工件目標(biāo)制程機(jī)臺(tái)特性、上述倉儲(chǔ)載卸部狀況、以及上述存取埠狀況，決定上述工件的較佳存取埠及其對(duì)應(yīng)的上述軌道分支。最后，搬運(yùn)指令發(fā)布模塊65依據(jù)上述較佳存取埠及其對(duì)應(yīng)的上述軌道分支，發(fā)出一搬運(yùn)指令，使得上述搬運(yùn)系統(tǒng)執(zhí)行上述工件的搬運(yùn)。
參見圖7，將搬運(yùn)系統(tǒng)20應(yīng)用于機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)或機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，均能夠使制程機(jī)臺(tái)每一加工批次完成后即可處理下一加工批次的工件，而無須等候工件到達(dá)而浪費(fèi)空置時(shí)間，而使得制程機(jī)臺(tái)的整體效能提高，進(jìn)而提升制程機(jī)臺(tái)運(yùn)作效能如圖7所示，相同的時(shí)間內(nèi)，本實(shí)用新型制造系統(tǒng)中的制程機(jī)臺(tái)可以處理5個(gè)加工批次，而傳統(tǒng)制造系統(tǒng)中的制程機(jī)臺(tái)僅能處理4個(gè)加工批次。
雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求范圍所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，該搬運(yùn)系統(tǒng)包含一倉儲(chǔ)子系統(tǒng)，具有一倉儲(chǔ)本體以及多個(gè)存取埠，其中，上述存取埠設(shè)置于上述倉儲(chǔ)本體之上；以及一搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)，具有一搬運(yùn)軌道部及一倉儲(chǔ)載卸部，上述搬運(yùn)軌道部連接上述倉儲(chǔ)載卸部，上述倉儲(chǔ)載卸部具有多個(gè)軌道分支，上述軌道分支對(duì)應(yīng)連接上述存取埠。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，上述工件為半導(dǎo)體晶片工件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，上述半導(dǎo)體晶片直徑為12英寸。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，上述聯(lián)外存取埠與一上述軌道分支對(duì)應(yīng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，上述倉儲(chǔ)本體具有一聯(lián)外存取埠。
6.一種制造系統(tǒng)，其特征在于，其包含多個(gè)制程機(jī)臺(tái)；一搬運(yùn)系統(tǒng)，連接上述制程機(jī)臺(tái)，上述搬運(yùn)系統(tǒng)具有一倉儲(chǔ)子系統(tǒng)以及一搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)，其中，上述倉儲(chǔ)子系統(tǒng)具有一倉儲(chǔ)本體以及多個(gè)存取埠，上述存取埠設(shè)置于上述倉儲(chǔ)本體之上，上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)具有一搬運(yùn)軌道部及一倉儲(chǔ)載卸部，上述搬運(yùn)軌道部連接上述倉儲(chǔ)載卸部以及上述制程機(jī)臺(tái)，上述倉儲(chǔ)載卸部具有多個(gè)軌道分支，上述軌道分支對(duì)應(yīng)連接上述存取埠。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，上述工件為半導(dǎo)體晶片工件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，上述半導(dǎo)體晶片直徑為12英寸。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，上述聯(lián)外存取埠與一上述軌道分支對(duì)應(yīng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，上述倉儲(chǔ)本體具有一聯(lián)外存取埠。
11.一種制造系統(tǒng)，其特征在于，其包含多個(gè)機(jī)臺(tái)群組，其中每一上述機(jī)臺(tái)群組具有多個(gè)制程機(jī)臺(tái)；多個(gè)機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，分別連結(jié)到上述各機(jī)臺(tái)群組中的多個(gè)制程機(jī)臺(tái)；多個(gè)倉儲(chǔ)系統(tǒng)，分別對(duì)應(yīng)連結(jié)到于上述各機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)，具有一倉儲(chǔ)本體、一群組內(nèi)存取埠以及多個(gè)群組間存取埠，上述群組內(nèi)存取埠以及上述群組間存取埠設(shè)于上述倉儲(chǔ)本體之上，上述群組內(nèi)存取埠連接上述各機(jī)臺(tái)群組內(nèi)搬運(yùn)系統(tǒng)；以及一機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)，連接到上述多個(gè)機(jī)臺(tái)群組，上述機(jī)臺(tái)群組間搬運(yùn)系統(tǒng)具有一搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)以及一倉儲(chǔ)載卸子系統(tǒng)，上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)連接上述倉儲(chǔ)載卸子系統(tǒng)，其中，上述搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)具有多個(gè)搬運(yùn)軌道部，上述倉儲(chǔ)載卸子系統(tǒng)具有多個(gè)倉儲(chǔ)載卸部，上述多個(gè)搬運(yùn)軌道部連接上述多個(gè)倉儲(chǔ)載卸部，每一上述倉儲(chǔ)載卸部具有多個(gè)軌道分支，每一軌道分支對(duì)應(yīng)連接上述群組間存取埠。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，上述工件為半導(dǎo)體晶片工件。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制造系統(tǒng)，其特征在于，上述半導(dǎo)體晶片直徑為12英寸。
專利摘要一種搬運(yùn)系統(tǒng)，其包含一倉儲(chǔ)子系統(tǒng)，具有一倉儲(chǔ)本體以及多個(gè)存取埠，其中，上述存取埠設(shè)置于上述倉儲(chǔ)本體之上；以及一搬運(yùn)軌道子系統(tǒng)，具有一搬運(yùn)軌道部及一倉儲(chǔ)載卸部，上述搬運(yùn)軌道部連接上述倉儲(chǔ)載卸部，上述倉儲(chǔ)載卸部具有多個(gè)軌道分支，上述軌道分支對(duì)應(yīng)連接上述存取埠。解決現(xiàn)有搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)輸瓶頸問題延長工件運(yùn)送時(shí)間，使得制程機(jī)臺(tái)空置時(shí)間減少，使得制程機(jī)臺(tái)的整體效能提高，進(jìn)而提高制造系統(tǒng)的制造效率。
文檔編號(hào)H01L21/677GK2832753SQ20042011741
公開日2006年11月1日 申請(qǐng)日期2004年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月2日
發(fā)明者黃建榮, 李念松 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司