技術(shù)編號：6842459
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型有關(guān)于一種搬運系統(tǒng)，特別是有關(guān)于一種用于搬運制造系統(tǒng)中工件的搬運系統(tǒng)。背景技術(shù)在晶片制造廠中，隨著晶片半徑的增加及廠房面積擴增，人工運送晶片工件的方式漸漸被自動化的搬運系統(tǒng)所取代。一般晶片制造廠的制程機臺及搬運系統(tǒng)的配置如圖1所示，制造系統(tǒng)100包含為數(shù)眾多的制程機臺，而這些制程機臺又依據(jù)其制程能力等因素而被組織成機臺群組，例如制程機臺11a至11h屬于機臺群組11，而制程機臺15a至15h屬于機臺群組15。機臺群組之間晶片工件的運送，是由機臺群...
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