專利名稱：濾色鏡基板的制造方法及其制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種進行彩色顯示時使用的濾色鏡基板的制造方法其及制造裝置。另外，本發(fā)明涉及一種作為在基板上形成發(fā)光要素來構(gòu)成的構(gòu)造體的電致發(fā)光基板的制造方法其及制造裝置。另外，本發(fā)明涉及一種用于制造所謂液晶裝置或電致發(fā)光裝置等光電裝置的制造方法。另外，本發(fā)明涉及一種用于制造便攜電話機、便攜信息終端機、PDA(PersonalDigital Assistant)等電子機器的制造方法。
背景技術(shù)：
近年來，在便攜電話機、便攜信息終端機、PDA等電子機器中廣泛使用所謂液晶裝置或電致發(fā)光裝置等光電裝置。例如，為了視覺顯示關(guān)于電子機器的各種信息，使用光電裝置。
在將液晶裝置作為光電裝置的情況下，當(dāng)通過該液晶裝置進行彩色顯示時，在液晶裝置的內(nèi)部設(shè)置濾色鏡基板。濾色鏡基板例如通過在由透光性玻璃等形成的基材上形成濾色鏡來制作。所謂濾色鏡是通過在平面內(nèi)按規(guī)定排列來排列R(紅)、G(綠)、B(藍)等3色過濾器要素、或C(藍綠)、M(洋紅)、Y(黃色)等3色過濾器要素來形成的光學(xué)要素。
在將電致發(fā)光裝置作為光電裝置的情況下，通常在該電致發(fā)光裝置的內(nèi)部設(shè)置電致發(fā)光基板。另外，該電致發(fā)光基板例如通過在由透光性玻璃等形成的基材上將多個發(fā)光要素排列成矩陣狀來形成。
因此，在基材上形成濾色鏡來制作濾色鏡基板時，即在基材上形成多個過濾器要素時，以前已知利用噴墨技術(shù)向基材上提供過濾器要素材料的方法。根據(jù)該方法，從噴嘴等液滴噴出部向基材上噴出過濾器材料，作為液滴(例如參照專利文獻1)。
專利文獻1特開2002-372614(第3頁，圖1)。
在上述現(xiàn)有濾色鏡基板的制造方法中，水平放置噴出液滴的機材，使具有噴嘴的記錄頭在水平面內(nèi)平行移動。若如此水平放置基材，則存在塵埃等異物容易附著在基材上的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題作出，其目的在于提供一種可防止異物附著在基材上的濾色鏡基板的制造方法其及制造裝置、電致發(fā)光基板的制造方法其及制造裝置、光電裝置的制造方法與電子機器的制造方法。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的濾色鏡基板的制造方法，用于制造具有基材和形成于該基材上的濾色鏡的濾色鏡基板，其特征在于具有從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的液態(tài)過濾器材料的工序，在該工序中，在垂直或大致垂直地配置所述基材的狀態(tài)下噴出所述液滴。
在上述結(jié)構(gòu)中，[基材]例如通過透光性玻璃或透光性塑料等形成。另外，[過濾器材料]由具有R(紅)、G(綠)、B(藍)或C(藍綠)、M(洋紅)、Y(黃色)顏色的材料構(gòu)成。該過濾器材料的材質(zhì)不特別限定，例如可以是以樹脂的透明材料為主體的各色顏料與乙二醇等二醇類溶媒構(gòu)成的液態(tài)物。另外，也可以是將由顏料、表面活性劑和溶媒構(gòu)成的固態(tài)成分溶入適當(dāng)溶媒中構(gòu)成的液態(tài)物。
另外，[噴出作為液滴的過濾器材料的工序]，通過液滴噴出技術(shù)的所謂噴墨技術(shù)來實現(xiàn)。該噴墨技術(shù)期望是例如在墨水存儲室中附設(shè)壓電元件和噴嘴、對應(yīng)于壓電元件的振動引起的墨水存儲室的體積變化、從噴嘴中噴出墨水、即作為液滴的液態(tài)物的技術(shù)。另外，噴墨技術(shù)也可是例如通過加熱使存儲在墨水存儲室內(nèi)的墨水膨脹來從噴嘴中噴出作為液滴的墨水的技術(shù)。另外，[液滴噴出部]例如由噴墨頭的噴嘴等細微的開口來構(gòu)成。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的濾色鏡基板的制造方法，因為垂直或大致垂直地配置基材，所以可防止塵埃等異物載于該基材上，因此，可防止異物附著在該基材上。另外，在現(xiàn)有的旋涂中，不能垂直豎立基材，但根據(jù)使用液滴噴出技術(shù)的本發(fā)明，可在垂直豎立基材的狀態(tài)下對該基材噴出液滴。
下面，本發(fā)明的另一濾色鏡基板的制造方法，用于制造具有基材和形成于該基材上的濾色鏡的濾色鏡基板，其特征在于具有從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的液態(tài)過濾器材料的工序，在該工序中，在相對垂直角度約為±5度的范圍內(nèi)傾斜所述基材。在該制造方法中，與上述制造方法相同名稱的構(gòu)成要素起到相同的作用，因此這里省略說明。
根據(jù)該濾色鏡基板的制造方法，因為在角度相對垂直約傾斜±5度的狀態(tài)下配置基材，所以可防止塵埃等異物載于該基材上，因此，可防止異物附著在該基材上。根據(jù)本發(fā)明人的實驗，若基板相對垂直的傾斜角度在5度以內(nèi)，則可大幅度降低異物對該基板的附著量。
在上述結(jié)構(gòu)的濾色鏡基板的制造方法中，最好在將從所述液滴噴出部的液滴的噴出方向設(shè)定為所述基材的法線方向或大致法線方向的狀態(tài)下，噴出所述液滴。從而，容易控制液滴對基材的彈落位置。
在上述結(jié)構(gòu)的濾色鏡基板的制造方法中，最好向該基材提供電位與所述基材的帶電電位相反的離子。從而，因為可去除基材的帶電，所以可防止異物因靜電而附著到基材上。另外，此時最好從所述基材的不與所述液滴噴出部對置的一側(cè)提供所述離子。從而，可向基材提供足夠量的離子，并且不會由于存在提供離子的機構(gòu)而妨礙液滴噴出部的動作。
在上述結(jié)構(gòu)的濾色鏡基板的制造方法中，最好將所述基材置于存在上下方向氣流的房間中。作為制造半導(dǎo)體器件等由精細結(jié)構(gòu)構(gòu)成的電子部件的環(huán)境，已知所謂無塵室。在該無塵室中，例如由沿上下方向流動的氣流回收異物，將無塵室內(nèi)保持在不存在異物的氣氛。這樣，若在氣流沿上下方向流動的環(huán)境下水平放置基材，則異物容易載于該基材上。相反，若如本發(fā)明那樣垂直地配置基材，則可大幅度降低異物載于該基材上。
在上述結(jié)構(gòu)的濾色鏡基板的制造方法中，最好在所述氣流的比所述基材還高的上流側(cè)配置防塵過濾器。如上所述，雖然在無塵室內(nèi)氣流沿上下方向流動，但配置在基材上游的防塵過濾器回收異物，所以可進一步降低異物載于該基材上。
在上述結(jié)構(gòu)的濾色鏡基板的制造方法中，最好所述液滴噴出部是使用壓電元件的噴墨頭。另外，在上述結(jié)構(gòu)的濾色鏡基板的制造方法中，最好所述液滴噴出部是通過由熱能產(chǎn)生的氣泡噴出液態(tài)過濾器材料的噴墨頭。
下面，本發(fā)明的濾色鏡基板的制造裝置，用于制造具有基材和形成于該基材上的濾色鏡的濾色鏡基板，其特征在于具有垂直或大致垂直地支撐所述基材的基材支撐機構(gòu)；從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的液態(tài)過濾器材料的液滴噴出機構(gòu)；和使所述基材相對所述液滴噴出部相對平行移動的掃描移動機構(gòu)。
上述[基材支撐機構(gòu)]可采用能垂直或大致垂直地支撐基材的結(jié)構(gòu)，但例如也可考慮在使基材面接觸作為面積比基材稍大的板狀部件的基座的狀態(tài)下、空氣吸引將基材吸附到基座上并固定的結(jié)構(gòu)，或在使基材面接觸基座的狀態(tài)下通過適當(dāng)?shù)臋C械夾持機構(gòu)將基材固定在基座上的結(jié)構(gòu)，或用適當(dāng)?shù)恼辰觿⒒墓潭ㄔ诨系慕Y(jié)構(gòu)等。
另外，[液滴噴出機構(gòu)]可使用能噴出作為液滴的液態(tài)物的任意結(jié)構(gòu)的噴出裝置。例如，可使用通過壓電元件的振動使液體室的體積變化來噴出的結(jié)構(gòu)，或通過加熱和冷卻來使液體室內(nèi)的液態(tài)物膨脹和收縮來噴出的結(jié)構(gòu)等。[液滴噴出部]可由噴嘴等細微的開口來構(gòu)成。另外，[掃描移動機構(gòu)]例如可由能使支撐基材的部件向彼此正交的兩個方向平行移動的任意結(jié)構(gòu)構(gòu)成。作為這種結(jié)構(gòu)，可采用稱為X-Y工作臺的面內(nèi)平行移動機構(gòu)。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的濾色鏡基板的制造裝置，因為垂直或大致垂直地配置基材，所以可防止塵埃等異物載于該基材上，因此，可防止異物附著在該基材上。另外，在現(xiàn)有的旋涂中，不能垂直豎立基材，但根據(jù)使用液滴噴出技術(shù)的本發(fā)明，可在垂直豎立基材的狀態(tài)下對該基材噴出液滴。
下面，本發(fā)明的另一種濾色鏡基板的制造裝置，用于制造具有基材和形成于該基材上的濾色鏡的濾色鏡基板，其特征在于具有在相對垂直角度約為±5度的范圍內(nèi)傾斜支撐所述基材的基材支撐機構(gòu)；從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的液態(tài)過濾器材料的液滴噴出機構(gòu)；和使所述基材相對所述液滴噴出部相對平行移動的掃描移動機構(gòu)。在該制造裝置中，因為名稱與上述制造裝置相同的構(gòu)成要素實現(xiàn)相同功能，所以省略說明。
根據(jù)該濾色鏡基板的制造裝置，因為在角度相對垂直約傾斜±5度的狀態(tài)下配置基材，所以可防止塵埃等異物載于該基材上，因此，可防止異物附著在該基材上。根據(jù)本發(fā)明人的實驗，若基板相對垂直的傾斜角度在5度以內(nèi)，則可大幅度降低異物對該基板的附著量。
下面，本發(fā)明的一種電致發(fā)光基板的制造方法，用于制造具有基材和形成于該基材上的發(fā)光要素的電致發(fā)光基板，其特征在于具有從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的所述發(fā)光要素的材料的工序，在該工序中，在垂直或大致垂直地配置所述基材的狀態(tài)下噴出所述液滴。
在上述結(jié)構(gòu)中，[基材]例如通過透光性玻璃或透光性塑料等形成。另外，所謂[發(fā)光要素]是電致發(fā)光裝置中使用的光電物質(zhì)，是對應(yīng)于電場的施加而以R(紅)、G(綠)、B(藍)等3原色的各色發(fā)光的物質(zhì)。
另外，[噴出作為液滴的發(fā)光要素的材料的工序]，可以通過液滴噴出技術(shù)的所謂噴墨技術(shù)來實現(xiàn)。該噴墨技術(shù)期望是例如在墨水存儲室中附設(shè)壓電元件和噴嘴、對應(yīng)于壓電元件的振動引起的墨水存儲室的體積變化、從噴嘴中噴出墨水、即作為液滴的液態(tài)物的技術(shù)。另外，噴墨技術(shù)也可是例如通過加熱使存儲在墨水存儲室內(nèi)的墨水膨脹來從噴嘴中噴出作為液滴的墨水的技術(shù)。另外，[液滴噴出部]例如由噴墨頭的噴嘴等細微的開口來構(gòu)成。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光基板的制造方法，因為垂直或大致垂直地配置基材，所以可防止塵埃等異物載于該基材上，因此，可防止異物附著在該基材上。另外，在現(xiàn)有的旋涂中，不能垂直豎立基材，但根據(jù)使用液滴噴出技術(shù)的本發(fā)明，可在垂直豎立基材的狀態(tài)下對該基材噴出液滴。
下面，本發(fā)明的另一種電致發(fā)光基板的制造方法，用于制造具有基材和形成于該基材上的發(fā)光要素的電致發(fā)光基板，其特征在于具有從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的所述發(fā)光要素的材料的工序，在該工序中，在相對垂直角度約為±5度的范圍內(nèi)傾斜所述基材。在該制造方法中，因為名稱與上述制造方法相同的構(gòu)成要素實現(xiàn)相同功能，所以省略說明。
根據(jù)該電致發(fā)光基板的制造方法，因為在角度相對垂直約傾斜±5度的狀態(tài)下配置基材，所以可防止塵埃等異物載于該基材上，因此，可防止異物附著在該基材上。根據(jù)本發(fā)明人的實驗，若基板相對垂直的傾斜角度在5度以內(nèi)，則可大幅度降低異物對該基板的附著量。
在上述結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光基板的制造方法中，最好在將從所述液滴噴出部的液滴的噴出方向設(shè)定為所述基材的法線方向或大致法線方向的狀態(tài)下，噴出所述液滴。從而，容易控制液滴對基材的彈落位置。
在上述結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光基板的制造方法中，最好向該基材提供電位與所述基材的帶電電位相反的離子。從而，因為可去除基材的帶電，所以可防止異物因靜電而附著到基材上。另外，此時最好從所述基材的不與所述液滴噴出部對置的一側(cè)提供所述離子。從而，可向基材提供足夠量的離子，并且由于存在提供離子的機構(gòu)，故不會妨礙液滴噴出部的動作。
在上述結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光基板的制造方法中，最好將所述基材置于存在上下方向氣流的房間中。作為制造半導(dǎo)體器件等由精細結(jié)構(gòu)構(gòu)成的電子部件的環(huán)境，已知所謂無塵室。在該無塵室中，例如由沿上下方向流動的氣流回收異物，將無塵室內(nèi)保持在不存在異物的氣氛下。這樣，若在氣流沿上下方向流動的環(huán)境下水平放置基材，則異物容易載于該基材上。相反，若如本發(fā)明那樣垂直地配置基材，則可大幅度降低異物載于該基材上。
在上述結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光基板的制造方法中，最好在所述氣流的比所述基材還高的上流側(cè)配置防塵過濾器。如上所述，雖然在無塵室內(nèi)氣流沿上下方向流動，但配置在基材上游的防塵過濾器回收異物，所以可進一步降低異物載于該基材上。
在上述結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光基板的制造方法中，最好所述液滴噴出部是使用壓電元件的噴墨頭。另外，在上述結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光基板的制造方法中，最好所述液滴噴出部是通過由熱能產(chǎn)生的氣泡噴出材料的噴墨頭。
下面，本發(fā)明的一種電致發(fā)光基板的制造裝置，用于制造具有基材和形成于該基材上的發(fā)光要素的電致發(fā)光基板，其特征在于具有垂直或大致垂直地支撐所述基材的基材支撐機構(gòu)；從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的所述發(fā)光要素的材料的液滴噴出機構(gòu)；和使所述基材相對所述液滴噴出部相對平行移動的掃描移動機構(gòu)。
上述[基材支撐機構(gòu)]、[液滴噴出機構(gòu)]、[液滴噴出部]、[掃描移動機構(gòu)]等各構(gòu)成要素與上述本發(fā)明的濾色鏡基板的制造裝置中使用的相同名稱成要素實現(xiàn)相同功能，所以省略這里的說明。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光基板的制造裝置，因為垂直或大致垂直地配置基材，所以可防止塵埃等異物載于該基材上，因此，可防止異物附著在該基材上。另外，在現(xiàn)有的旋涂中，不能垂直豎立基材，但根據(jù)使用液滴噴出技術(shù)的本發(fā)明，可在垂直豎立基材的狀態(tài)下對該基材噴出液滴。
下面，本發(fā)明的一種電致發(fā)光基板的制造裝置，用于制造具有基材和形成于該基材上的發(fā)光要素的電致發(fā)光基板，其特征在于具有在相對垂直角度約為±5度的范圍內(nèi)傾斜支撐所述基材的基材支撐機構(gòu)；從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的所述發(fā)光要素材料的液滴噴出機構(gòu)；和使所述基材相對所述液滴噴出部相對平行移動的掃描移動機構(gòu)。該制造裝置中，名稱與上述制造裝置相同的構(gòu)成要素實現(xiàn)相同功能，所以省略說明。
根據(jù)該電致發(fā)光基板的制造裝置，因為在角度相對垂直約傾斜0度～±5度的狀態(tài)下配置基材，所以可防止塵埃等異物載于該基材上，因此，可防止異物附著在該基材上。根據(jù)本發(fā)明人的實驗，若基板相對垂直的傾斜角度在5度以內(nèi)，則可大幅度降低異物對該基板的附著量。
下面，本發(fā)明的一種光電裝置的制造方法，用于制造在濾色鏡基板上形成光電物質(zhì)層所構(gòu)成的光電裝置，其特征在于具有實施上述的濾色鏡基板的制造方法的工序。
該制造方法中使用的光電物質(zhì)例如是液晶層，使用液晶層的光電裝置是液晶裝置。若在液晶裝置中使用濾色鏡基板，則可進行彩色顯示。在本發(fā)明的光電裝置的制造方法中，因為使用本發(fā)明的濾色鏡基板的制造方法，所以可防止異物附著在濾色鏡基板中使用的基材上，因此可進行高品質(zhì)的彩色顯示。
下面，本發(fā)明的一種光電裝置的制造方法，用于制造在電致發(fā)光基板上形成電極所構(gòu)成的光電裝置，其特征在于具有實施上述的電致發(fā)光基板的制造方法的工序。
該制造方法中使用的光電物質(zhì)，例如是電致發(fā)光的發(fā)光要素，使用該發(fā)光要素的光電裝置是電致發(fā)光裝置。在該電致發(fā)光裝置中，若使用對應(yīng)于R、G、B的3原色的發(fā)光要素作為發(fā)光要素，則可進行彩色顯示。在本發(fā)明的光電裝置的制造方法中，因為使用本發(fā)明的電致發(fā)光基板的制造方法，所以可防止異物附著在電致發(fā)光基板中使用的基材上，因此可進行高品質(zhì)的彩色顯示。
下面，本發(fā)明的一種電子機器的制造方法，用于制造具有光電裝置和控制該光電裝置的動作的控制機構(gòu)的電子機器，其特征在于具有實施上述的光電裝置的制造方法的工序。作為這種電子機器，例如是便攜電話機、便攜信息終端機、PDA、數(shù)碼相機等各種機器。
根據(jù)本發(fā)明的光電裝置的制造方法，可防止光電裝置內(nèi)部包含異物，可提供高質(zhì)量的彩色顯示。因此，根據(jù)使用該光電裝置的制造方法實現(xiàn)的本發(fā)明的電子機器的制造方法，可制造具有高質(zhì)量顯示部的電子機器。


圖1是表示本發(fā)明的濾色鏡基板的制造裝置及電致發(fā)光基板的制造裝置一實施方式的立體圖。
圖2是表示圖1所示制造裝置的制造系統(tǒng)的電路方塊圖。
圖3是表示圖1所示制造裝置的材料噴出部的立體圖。
圖4是局部截斷表示圖3所示材料噴出部的主要部分的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖5是根據(jù)圖4的D-D線的剖面圖。
圖6是表示本發(fā)明的濾色鏡基板的制造方法一實施方式的主要工序的工序圖。
圖7是接著圖6的工序圖。
圖8是接著圖7的工序圖，尤其是表示以(k)為目標(biāo)的濾色鏡基板的一實施方式。
圖9是表示多個過濾器要素的排列實例的圖，(a)表示條排列，(b)表示鑲嵌排列，(c)表示三角形排列。
圖10是用于說明本發(fā)明的光電裝置的制造方法的圖，是表示作為光電裝置一實施方式的液晶裝置的截面結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖11是表示本發(fā)明的電致發(fā)光基板的制造方法一實施方式的主要工序的工序圖。
圖12是接著圖11的工序圖。
圖13是接著圖12的工序圖。
圖14是接著圖13的工序圖。
圖15是接著圖14的工序圖。
圖16是表示電致發(fā)光裝置一例的1個象素大小的截面結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖17是表示圖16的電致發(fā)光裝置的等效電路的電路圖。
圖18是表示由本發(fā)明的電子機器制造方法制造的電子機器一例的方塊圖。
圖19是表示作為由本發(fā)明的電子機器制造方法制造的電子機器一例的數(shù)碼相機的圖。
圖中1濾色鏡基板，2基材，3遮光層，3a金屬膜，4圍堰，4a感光樹脂，6、6g、6r、6b顯示用點區(qū)域，7a抗蝕劑，8液滴，9g、9r、9b過濾器要素，20殼體，22噴墨頭，27噴嘴(液滴噴出部)，39加壓體，41壓電元件，42a、42b電極，51液晶裝置(光電裝置)，52液晶面板，55液晶層，57a、57b基板，61a、61b基材，68濾色鏡，100電致發(fā)光基板，101電致發(fā)光裝置(光電裝置)，111象素電極，111aITO膜，112反射膜，113、113r、113g、113bEL發(fā)光要素，113A空穴注入層，113B有機半導(dǎo)體膜，150數(shù)碼相機(電子機器)，201濾色鏡基板的制造裝置，202過濾器形成部，203過濾器材料供給部，213記錄頭，M0過濾器材料，M1空穴注入層材料，M2有機半導(dǎo)體膜材料，S0波形，S1位圖數(shù)據(jù)，S2噴出定時信號，S3位置信息，V有效顯示區(qū)域。
具體實施例方式
(濾色鏡基板的制造方法及其制造裝置的實施方式)下面，舉例說明本發(fā)明的濾色鏡基板的制造方法及其制造裝置。另外，本發(fā)明當(dāng)然不限于該實施方式。據(jù)此說明的濾色鏡基板的制造方法制造圖8(k)所示的濾色鏡基板1。
在說明濾色鏡基板的制造方法之前，首先說明可實現(xiàn)該制造方法的制造裝置。圖1示出這種濾色鏡基板的制造裝置的一例。該制造裝置201具有過濾器形成部202和過濾器材料提供部203。過濾器形成部202具有基座206、設(shè)置在該基座206上的X方向驅(qū)動系統(tǒng)207x和設(shè)置在同一基座206上的Y方向驅(qū)動系統(tǒng)207y。
將制造裝置201設(shè)置在無塵室內(nèi)。無塵室通常是在制造半導(dǎo)體器件等精細電子部件時使用的房間，例如如箭頭E所示從上向下流過氣流，由該氣流回收塵埃等異物，將房間內(nèi)維持在干凈的環(huán)境。
X方向驅(qū)動系統(tǒng)207x具有驅(qū)動電機211、由該驅(qū)動電機211驅(qū)動后以自身的中心軸線為中心旋轉(zhuǎn)的螺旋軸212。在螺旋軸212中螺旋嵌合記錄頭213。若驅(qū)動電機211動作、螺旋軸212順時針旋轉(zhuǎn)或逆時針旋轉(zhuǎn)，則螺旋嵌合在其中的記錄頭213沿箭頭X方向往復(fù)移動。
Y方向驅(qū)動系統(tǒng)207y具有固定在基座206上的螺旋軸216、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動嵌合在螺旋軸216中的嵌合部件的驅(qū)動電機217、和固定在驅(qū)動電機217上的平臺218。平臺218用作用于支撐接受過濾器形成處理的濾色鏡基板的基材2的基材支撐機構(gòu)。將該基材2搭載在平臺218上，例如通過空氣吸引吸附固定，或由適當(dāng)?shù)臋C械夾持機構(gòu)固定，以不易錯位。若Y方向電機217動作、上述嵌合部件順時針旋轉(zhuǎn)或逆時針旋轉(zhuǎn)，則沿螺旋軸216引導(dǎo)平臺218，使平臺218沿箭頭Y方向往復(fù)移動。Y方向為與上述X方向成直角的方向。
垂直、即與水平成直角或大致垂直地配置平臺218。所謂[大致垂直]是指包含實質(zhì)上與垂直無變化的程度的微小的偏差角度。這樣，通過垂直或大致垂直地配置平臺218，也垂直或大致垂直地配置被其支撐的基材2。
在構(gòu)成Y方向驅(qū)動系統(tǒng)207y的螺旋軸216上配置清潔裝置208，與該清潔裝置208一體的電機209的輸出軸螺旋嵌合在螺旋軸216中。若使電機209動作以將清潔裝置208傳輸?shù)接涗涱^213的位置，則可由該清潔裝置208來清潔記錄頭213。
在相對平臺218背面的基座206的表面上，固定配置作為離子供給機構(gòu)的離子發(fā)生器219。該離子發(fā)生器219的結(jié)構(gòu)是公知的，所以省略詳細說明，但該離子發(fā)生器219具有發(fā)生電位與支撐在平臺218上的基材2的帶電電位相反的離子的功能、和將發(fā)生的離子提供給平臺218的功能。為了確實實現(xiàn)向平臺218提供離子的功能，所以期望離子發(fā)生器219具有向平臺218流過發(fā)生的離子的送風(fēng)裝置、例如具備旋轉(zhuǎn)風(fēng)扇的送風(fēng)裝置。
通過由該離子發(fā)生器219向平臺218提供離子，可防止基材2帶電，或可對帶電的基材2除電，結(jié)果，可防止因靜電作用使異物附著在基材2上。另外，因為本實施方式的離子發(fā)生器219構(gòu)成為從基材2的不與記錄頭213對置的一側(cè)提供離子，所以可向基材2提供足夠量的離子，并且，也不會由于離子發(fā)生器219的存在而妨礙記錄頭213的動作。
在過濾器材料提供部203上配置存儲過濾器材料的容器222。另外，容器222與記錄頭213由管道223連接。通過管道223，向記錄頭213內(nèi)提供容器222內(nèi)的液態(tài)物、即過濾器材料。
另外，在本實施方式中，當(dāng)由R、G、B的3色形成濾色鏡時，準(zhǔn)備R色用、G色用、B色用3種制造裝置201，將它們設(shè)置在不同部位，在各制造裝置201的容器222中各容納一種顏色的R、G、B各色的過濾器材料。
在圖1的構(gòu)成過濾器形成部202的記錄頭213的底面，設(shè)置1個或多個例如圖3所示的噴墨頭22。該噴墨頭22具有大致長方形的殼體20，并在該殼體20的底面設(shè)置多個噴嘴27。這些噴嘴27具有直徑約為0.02-0.1mm左右的微小開口。
在本實施方式中，將多個噴嘴27設(shè)置成兩列，從而形成兩條噴嘴列28、28。在各噴嘴列28中，噴嘴27以一定間隔設(shè)置在直線上。從箭頭B所示方向向這些噴嘴列28提供液態(tài)物、即過濾器材料。提供的過濾器材料按照壓電元件的振動，作為微小的液滴從各噴嘴27中噴出。另外，噴嘴列28的個數(shù)也可以是1個或3個以上。
如圖4所示，噴墨頭22具有例如不銹鋼制的噴嘴板29、與其相對配置的振動板31、和將兩者相互接合的多個分隔部件32。另外，在噴嘴板29與振動板31之間，由各分隔部件32形成存儲過濾器材料用的多個存儲室33和作為暫時保存過濾器材料的部位的集液部34。并且多個存儲室33與集液部34借助通路38彼此連通。另外，在振動板31的適當(dāng)部位形成過濾器材料提供孔36，借助圖1的管道223將容器222連接到提供孔36上。從容器222提供的過濾器材料M0被填充到集液部34，并通過通路38填充到存儲室33。
在構(gòu)成噴墨頭22的一部分的噴嘴板29上，設(shè)置從存儲室33噴射狀噴射過濾器材料用的噴嘴27。排列多個該噴嘴27并構(gòu)成噴嘴列28如參照圖3所述。另外，在振動板31對應(yīng)于存儲室33的面中安裝用于加壓過濾器材料的加壓體39。加壓體39如圖5所示，具備壓電元件41及夾持其的一對電極42a和42b。
壓電元件41具有因電極42a和42b通電而向箭頭C所示外側(cè)突出地彎曲變形、從而使存儲室33的容積增大的功能。另外，若存儲室33的容積增大，則相當(dāng)于該增大容積部分的過濾器材料M0從集液部34通過通路38流入存儲室33內(nèi)。
另一方面，若解除向壓電元件41通電，則壓電元件41與振動板31都恢復(fù)最初形狀，存儲室33也恢復(fù)最初容積。因此，位于存儲室33內(nèi)部的過濾器材料的壓力上升，過濾器材料變?yōu)橐旱?從噴嘴27噴出。另外，無論包含于過濾器材料中的溶劑等是何種類，液滴8也可作為微小液滴而從噴嘴27穩(wěn)定噴出。
濾色鏡基板的制造裝置201具有圖2所示的控制裝置90。
該控制裝置90控制圖1的過濾器形成部202內(nèi)的X方向電機211、Y方向電機217和記錄頭213的各要素的動作。另外，制造裝置201還具有控制圖1的清潔用電機209動作的控制部，但省略對該控制部的詳細說明。
控制裝置90具有由計算機構(gòu)成的驅(qū)動信號控制部91、和由計算機構(gòu)成的頭位置控制部92。這些控制部可通過信號線97來彼此共享信息。驅(qū)動信號控制部91向模擬放大器93輸出驅(qū)動記錄頭213用的波形S0。另外，驅(qū)動信號控制部91向定時控制部94輸出表示向哪個位置噴出過濾器材料的位圖數(shù)據(jù)S1。
模擬放大器93放大上述波形S0后，傳送到中繼電路95。
定時控制部94內(nèi)置時鐘脈沖電路，并按照上述位圖數(shù)據(jù)S1，向中繼電路95輸出噴出定時信號S2。中繼電路95按照從定時控制部94送出的噴出定時信號S2，將從模擬放大器93送出的波形S0輸出到記錄頭213的輸入端口。
頭位置控制部92將關(guān)于記錄頭213位置的信息S3輸出到X-Y控制電路96。X-Y控制電路96根據(jù)送來的記錄頭213的位置信息S3，向X方向電機211輸出控制X方向的記錄頭213的位置的信號，并且，向Y方向電機217輸出控制Y方向的平臺218的位置的信號。
通過關(guān)于驅(qū)動信號控制部91和頭位置控制部92的以上結(jié)構(gòu)，記錄頭213在裝載于平臺218上的基材2到達希望的坐標(biāo)位置時，噴出作為液滴的過濾器材料，由此，過濾器材料的液滴彈落并涂布在基材2上的希望位置上。
接著，說明圖3所示的用噴墨頭22進行的濾色鏡基板的制造方法。圖6-圖8按工序順序表示構(gòu)成該制造方法的各工序。另外，圖8(k)示出作為目標(biāo)的濾色鏡基板1。
首先，在圖6(a)中，在由透光性玻璃、透光性塑料等形成的基材2上，作為形成遮光層3的材料，以鉻、鎳、鋁等為材料，例如使用干鍍法形成金屬薄膜3a。此時，期望金屬薄膜3a的厚度為0.1～0.5微米左右。
接著，在圖6(b)中，以一樣的厚度來涂布作為感光性樹脂的抗蝕劑7a，借助掩膜曝光該抗蝕劑7a，并進行顯影，將抗蝕劑7a形成為規(guī)定圖案。接著，將該抗蝕劑圖案作為掩膜，蝕刻金屬薄膜3a，如圖6(c)所示，在本實施方式中從箭頭A看，形成規(guī)定形狀的格子狀的遮光層3。
接著，在圖6(d)中，在遮光層3上以一樣的厚度形成感光性樹脂4a，對其實施光刻處理，如圖7(e)所示，將規(guī)定圖案的圍堰4形成為與遮光層3相同的形狀、即柵格形狀。此時，期望圍堰4的高度形成為1.0微米左右。圍堰4用作將基材2的表面區(qū)分成噴出液滴用的區(qū)域的區(qū)分要素。
通過形成圍堰4，在基材2上形成由圍堰4區(qū)分的多個顯示用點區(qū)域6。由于圍堰4為柵格形狀，所以多個顯示用點區(qū)域6從箭頭A方向看排列成矩陣狀。作為圍堰4，不必特別使用黑色的，例如可使用尿烷類或丙烯酸類固化型感光性樹脂組合物。
另外，圍堰4主要用于在顯示用點區(qū)域6內(nèi)容納過濾器材料，最好在圍堰4的表面上不附著過濾器材料。因此，作為圍堰4的材質(zhì)，期望具有不排斥過濾器材料的性質(zhì)，即具有疏液性。因此，圍堰4最好由氟類樹脂、硅樹脂或含二氧化鈦樹脂等形成。
如上所述，在基材2上形成圍堰4后，將基材2裝載在圖1中平臺218上的規(guī)定位置。之后，使X方向驅(qū)動系統(tǒng)207x和Y方向驅(qū)動系統(tǒng)207y動作，同時，使圖4 的加壓體39動作，由此進行如下的濾色鏡形成處理。另外，在本實施方式中，如圖9(a)所示，將G色過濾器要素9g、R色過濾器要素9r、B色過濾器要素9b形成為條排列。這里，所謂條排列是R、G、B各色沿縱向排列成1列、沿橫向依次逐個重復(fù)變化的排列。
圖9中，除條排列外，圖9(b)中示出鑲嵌排列，圖9(c)中示出三角形排列。所謂鑲嵌排列是在縱列和橫列雙方依次重復(fù)排列R、G、B的排列。另外，所謂三角形排列是在相當(dāng)于三角形頂點的位置上排列R、G、B的同時、在橫列方向上依次重復(fù)排列R、G、B的排列。也可采用鑲嵌排列或三角形排列來用代替條排列。
若進入濾色鏡形成處理工序，則首先在圖7(f)中，使用圖3所示的噴墨頭22，向應(yīng)形成G色過濾器要素的顯示用點區(qū)域6g內(nèi)噴出G色過濾器材料，作為液滴8。對一個顯示用點區(qū)域進行多次該液滴噴出，總計的噴出量Ag事先設(shè)定成比用圍堰4的高度規(guī)定的顯示用點區(qū)域6g的容積多。因此，提供的G色過濾器材料向比圍堰4高的上方突出。之后，通過50℃、10分鐘左右的加熱處理，進行預(yù)烘干，使G色過濾器材料內(nèi)的溶劑蒸發(fā)，如圖7(g)所示，使G色過濾器材料的表面平坦化，形成G色過濾器要素9g。
接著，在圖7(h)中，使用圖3所示的噴墨頭22，向應(yīng)形成R色過濾器要素的顯示用點區(qū)域6r內(nèi)噴出R色過濾器材料，作為液滴8。此時的總計的噴出量Ar也事先設(shè)定成比用圍堰4的高度規(guī)定的顯示用點區(qū)域6r的容積多，提供的R色過濾器材料也向比圍堰4高的上方突出。之后，通過50℃、10分鐘左右的加熱處理，進行預(yù)烘干，使R色過濾器材料內(nèi)的溶劑蒸發(fā)，如圖8(i)所示，使R色過濾器材料的表面平坦化，形成R色過濾器要素9r。
接著，在圖8(j)中，使用圖3所示的噴墨頭22，向應(yīng)形成B色過濾器要素的顯示用點區(qū)域6b內(nèi)噴出B色過濾器材料，作為液滴8。此時的總計的噴出量Ab也設(shè)定成比用圍堰4的高度規(guī)定的顯示用點區(qū)域6b的容積多，提供的R色過濾器材料也向比圍堰4高的上方突出。之后，通過50℃、10分鐘左右的加熱處理，進行預(yù)烘干，使B色過濾器材料內(nèi)的溶劑蒸發(fā)，如圖8(k)所示，使B色過濾器材料的表面平坦化，形成B色過濾器要素9b。
之后，例如通過230℃、30分鐘左右的加熱，進行后烘干，使過濾器要素固化，從而形成將R、G、G的各色過濾器要素9g、9r、9b排列成規(guī)定排列、例如圖9(a)的條排列所形成的濾色鏡。另外，同時形成由基材2和濾色鏡構(gòu)成的濾色鏡基板1。
在本實施方式中，如圖1所示，因為將平臺218設(shè)置成垂直狀態(tài)，所以支撐在其上的基材2也保持在垂直狀態(tài)，從記錄頭213向基材2噴出過濾器材料，作為液滴。因為制造裝置201如箭頭E所示置于從上向下流過的氣流中，所以一旦基材2置于水平，則塵埃等異物易落到基材2上。此時，難以以高的合格率來制造品質(zhì)高的濾色鏡。但是，在本實施方式中，因為將基材2維持在垂直狀態(tài)，所以其表面上基本上不落異物。因此，可以高的合格率來制造品質(zhì)高的濾色鏡基板。
(變形例)在上述實施方式中，在圖1中將平臺218配置成垂直狀態(tài)。由此，基材2也被配置在垂直狀態(tài)。但是，也可使平臺218相對垂直傾斜角度0度-±5度來配置。根據(jù)本發(fā)明人的實驗，若將平臺218配置成垂直狀態(tài)，可最有效防止異物附著在基材2上，但若將平臺218的傾斜角度抑制在相對垂直為±5度以內(nèi)的范圍內(nèi)，則可將異物的附著抑制在實用上完全沒問題的程度。
在上述實施方式中，將R、G、B的3色作為構(gòu)成濾色鏡的過濾器要素。但是，作為過濾器要素，除R、G、B外，也可是設(shè)為C(藍綠)、M(洋紅)、Y(黃色)。另外，在上述實施方式中，對過濾器要素9g、9r、9b排列進行圖9(a)所示的條排列。但是，也可采用圖9(b)所示的鑲嵌排列或圖9(c)所示的三角形排列來代替。
(電致發(fā)光基板的制造方法的實施方式)下面，以制造用于圖16和圖17所示的電致發(fā)光裝置中的電致發(fā)光基板的情況為例來說明本發(fā)明的電致發(fā)光基板的制造方法。另外，本發(fā)明當(dāng)然不限于該實施方式。
圖11-圖15按工序順序示出電致發(fā)光基板的制造方法的一實施方式。該制造方法的目的在于制造圖15(r)所示的電致發(fā)光基板100。在制造該電致發(fā)光基板100的情況下，首先在圖11(a)中，對透光性基材102，將四乙氧基硅烷(tetraethoxysilaneTEOS)或氧氣作為原料氣體，通過等離子體CVD(Chemical Vapor Deposition)法，將由氧化硅膜構(gòu)成的基底保護層(未圖示)形成為期望的約2000-5000埃的厚度。
接著，將基材102的溫度設(shè)定在約350℃，在基底保護膜的表面上，通過等離子體CVD法，將作為非晶硅膜的半導(dǎo)體膜120a形成為約300-700埃的厚度。之后，對半導(dǎo)體膜120a實施激光退火或固相生長法等結(jié)晶化工序，將半導(dǎo)體膜120a結(jié)晶成多晶硅膜。
之后，在半導(dǎo)體膜120a上形成抗蝕劑膜，并曝光及顯影該抗蝕劑膜，形成抗蝕劑掩膜，使用該掩膜來布圖半導(dǎo)體膜120a，從而形成圖11(b)所示的島狀半導(dǎo)體膜120b。
接著，將TEOS或氧氣等用于原料氣體，通過等離子體CVD法，在形成半導(dǎo)體膜120b的基材102的表面，如圖11(c)所示，將由氧化硅膜或氮化硅膜構(gòu)成的柵極絕緣膜121a形成為期望的約600-1500埃的厚度。另外，半導(dǎo)體膜120b形成電流薄膜晶體管110(參照圖17)的溝道區(qū)域和源極、漏極區(qū)域，但在不同的截面位置，還形成構(gòu)成開關(guān)薄膜晶體管109(參照圖17)的溝道區(qū)域和源極、漏極區(qū)域的未圖示的半導(dǎo)體膜。在圖11至圖15所示制造工序中，同時形成兩種開關(guān)薄膜晶體管和電流薄膜晶體管，但因為以相同步驟形成，所以在以下說明中，僅說明電流薄膜晶體管110，省略對開關(guān)薄膜晶體管的說明。
接著，在圖11(d)中，將鋁或鉭等作為材料，通過濺射形成導(dǎo)電膜116a。之后，涂布抗蝕劑材料，通過曝光和顯影形成抗蝕劑掩膜，使用該掩膜來布圖導(dǎo)電膜116a，如圖12(e)所示，形成柵極電極116。
在該狀態(tài)下，注入雜質(zhì)、例如高溫的磷離子，如圖12(f)所示，對柵極電極116自整合地在半導(dǎo)體膜120b中形成源極、漏極區(qū)域117a、117b。另外，未導(dǎo)入雜質(zhì)的部分形成溝道區(qū)域118。
之后，在圖12(g)中，形成層間絕緣膜122，之后，在圖12(h)中，形成接觸孔123、124。再后，如圖13(i)所示，在這些接觸孔123、124的內(nèi)部埋入導(dǎo)電材料，形成中繼電極126、127。
接著，如圖13(j)所示，在層間絕緣膜122上形成信號線104、共同供電線105和掃描線103(參照圖17)。之后，形成層間絕緣膜130，以覆蓋各布線的上面，并在對應(yīng)于中繼電極126的位置形成接觸孔132。之后，在圖13(k)中，形成ITO(Indium Tin Oxide)膜111a，以埋入接觸孔132的內(nèi)部。之后，在ITO膜111a上涂布抗蝕劑，曝光和顯影該抗蝕劑，形成抗蝕劑掩膜，使用該掩膜來布圖ITO膜111a，從而如圖13(l)所示，在包圍在信號線104、共同供電線105和掃描線103的區(qū)域中，形成電連接于源極、漏極區(qū)域117a上的象素電極111。
接著，使用圖3所示的噴墨頭22，如圖14(m)-圖15(r)所示，在基材102上形成EL發(fā)光要素。此時，在圖14(m)中，信號線104、共同供電線105和圖17的掃描線103用作區(qū)分要素，在基材102上形成多個顯示用點區(qū)域6。另外，在圖14(m)中，將形成G色發(fā)光要素的區(qū)域示為6g，將形成R色發(fā)光要素的區(qū)域示為6r，并且，將形成B色發(fā)光要素的區(qū)域示為6b。
首先，在使基材102的上面向上的狀態(tài)下，從圖3的噴墨頭22的噴嘴27噴出形成接觸圖16的EL發(fā)光要素113g下層部分的空穴注入層113A的材料M1，選擇地提供給區(qū)分要素103、104、105包圍的第1個區(qū)域、即G色區(qū)域6g內(nèi)，進行涂布。
此時的噴出量A1g事先設(shè)定得比由區(qū)分要素103、104、105的高度規(guī)定的顯示用點區(qū)域6g的容積多，提供的G色發(fā)光要素材料向比區(qū)分要素103、104、105高的上方突出。之后，進行加熱、即預(yù)烘干或光照射等，使包含于材料M1中的溶劑蒸發(fā)，如圖14(n)所示，形成表面平坦的空穴注入層113A。在空穴注入層113A不到希望厚度的情況下，重復(fù)材料M1的噴出提供處理。
之后，如圖14(o)所示，在基材102的上面向上的狀態(tài)下，從圖3的噴墨頭22的噴嘴27噴出在圖16的EL發(fā)光要素113g的上層部分形成有機半導(dǎo)體膜113B的有機半導(dǎo)體膜材料M2，作為液滴，選擇地提供給區(qū)分要素103、104、105包圍的第1個區(qū)域、即G色區(qū)域6g內(nèi)，進行涂布。有機半導(dǎo)體膜材料M2期望是溶于溶媒中的狀態(tài)的有機熒光材料。
此時的噴出量A2g事先設(shè)定得比由區(qū)分要素103、104、105的高度規(guī)定的顯示用點區(qū)域6g的容積多，提供的有機半導(dǎo)體膜材料M2向比區(qū)分要素103、104、105高的上方突出。之后，進行加熱、即預(yù)烘干或光照射等，使包含于材料M2中的溶劑蒸發(fā)，如圖15(p)所示，在空穴注入層113A上形成表面平坦的有機半導(dǎo)體膜113B。在有機半導(dǎo)體膜113B不到希望厚度的情況下，重復(fù)材料M2的噴出提供處理。從而，通過空穴注入層113A和有機半導(dǎo)體膜113B，形成發(fā)出G色的EL發(fā)光要素113g。
之后，在圖15(p)中，對作為第2顯示用點區(qū)域的R色區(qū)域6r反復(fù)進行從圖14(m)至圖15(p)所示的處理，如圖15(q)所示，在R色區(qū)域6r中形成發(fā)出R色的EL發(fā)光要素113r。并且，在圖15(q)中，一旦R色發(fā)光要素113r的形成結(jié)束，則接著對作為第3顯示用點區(qū)域的B色區(qū)域6b反復(fù)進行從14(m)至圖15(p)所示的處理，如圖15(r)所示，在B色區(qū)域6r中形成發(fā)出B色的EL發(fā)光要素113b。
如上所述，通過在圖15(r)中完成各色EL發(fā)光要素113g、113r、113b的形成，制造電致發(fā)光基板100。之后，如圖16所示，在形成EL發(fā)光要素113g、113r、113b后的基材102的整個表面或條區(qū)域中，使用例如光刻處理和蝕刻處理，形成反射電極112。另外，必要時附設(shè)其它電子要素。從而制造電致發(fā)光裝置101。在該電致發(fā)光裝置101中，從排列成矩陣狀的多個顯示用點區(qū)域6中選擇希望的區(qū)域，向象素電極111與反射電極112之間施加電壓，從而選擇地使發(fā)光要素113g、113r、113b發(fā)光。從而可在基材102側(cè)顯示字符、數(shù)字、圖形等圖像。
在本實施方式中，在實施圖11-圖15的工序時，基材102如圖1所示保持在垂直狀態(tài)。圖1示出從記錄頭213噴出發(fā)光要素的材料的裝置，但基材102最好在電致發(fā)光基板的整個制造工序中保持在垂直狀態(tài)。通過在如此垂直保持基材102的狀態(tài)下實施電致發(fā)光基板的制造工序，可防止塵埃等異物附著在基材102上，因此可防止異物附著在完成的電致發(fā)光基板的表面上。
另外，本發(fā)明的電致發(fā)光基板的制造裝置，包含圖1-圖5所示的液滴噴出裝置201來構(gòu)成。液滴噴出裝置201已說明為濾色鏡基板的制造裝置201，所以省略其說明。
(光電裝置的制造方法的實施方式1)下面，以作為光電裝置一例的液晶裝置為例來說明本發(fā)明的光電裝置的制造方法的一實施方式。另外，本發(fā)明當(dāng)然不限于該實施方式。圖10是液晶裝置的一實施方式，是不使用開關(guān)元件的單純矩陣方式，表示選擇地進行反射型顯示與透過型顯示的半透過反射型液晶裝置。
這里所示的液晶裝置51通過向液晶面板52附設(shè)照明裝置56和布線基板54來形成。液晶面板52通過用從箭頭A方向看為環(huán)狀的密封材58使從箭頭A方向看為長方形或正方形的第1基板57a與從箭頭A方向看為相同的長方形或正方形的第2基板57b貼合來形成。
在第1基板57a與第2基板57b之間形成間隙、即單元間隙，向該單元間隙內(nèi)注入液晶，形成液晶層55。符號69表示維持單元間隙的隔板。另外，觀察者從箭頭A方向觀察液晶裝置51。
第1基板57a具有由透光性玻璃、透光性塑料等形成的第1基材61a。在該第1基材61a的液晶側(cè)表面上形成反射膜62，在反射膜62上形成絕緣膜63，在絕緣膜63上形成第1電極64a，在第1電極64a上形成取向膜66a。另外，在第1基材61a的照射裝置56側(cè)的表面中通過例如粘貼來安裝第1偏振光板67a。
與第1基板57a對置的第2基板57b，具有由透光性玻璃、透光性塑料等形成的第2基材61b。在該第1基材61b的液晶側(cè)表面上形成濾色鏡68。在濾色鏡68上形成第2電極64b，在第2電極64b上形成取向膜66b。另外，在第2基材61b的外側(cè)表面上通過例如粘貼來安裝第2偏振光板67b。
第1基板57a側(cè)的第1電極64a為沿圖10的左右方向延伸的線狀電極。另外，形成多個第1電極64a，這些電極沿紙面垂直方向彼此平行排列。即，多個第1電極64a從箭頭A方向看形成為條狀。
另外，第2基板57b側(cè)的第2電極64b為沿圖10的紙面垂直方向延伸的線狀電極。另外，形成多個第2電極64b，這些電極沿圖10的左右方向彼此平行排列。即，多個第2電極64b形成為向與第1電極64a正交的方向延伸的條狀。
第1電極64a與第2電極64b從箭頭A方向看在多個排列成矩陣狀的點處交叉，這些交叉點構(gòu)成顯示用的點區(qū)域。使用R、G、B的3色或C、M、Y的3色過濾器要素構(gòu)成的濾色鏡進行彩色顯示的情況下，在上述點區(qū)域的每個中都對應(yīng)配置3色中的一種，3色的集合變?yōu)?個單元，構(gòu)成1象素。另外，由于從箭頭A看多個象素排列成矩陣狀，所以形成有效顯示區(qū)域V，在該有效顯示區(qū)域V中顯示字符、數(shù)字、圖形等圖像。
對應(yīng)于作為顯示最小單位的顯示用點區(qū)域，在反射膜62上形成開口71。這些開口71使從照明裝置56提供的面狀光透過，實現(xiàn)透過型顯示。另外，在進行透過型顯示中，不只限于在反射膜62中形成開口71，例如使反射膜62的膜厚變薄也可實現(xiàn)透過型顯示。
第1基材61a具有超過第2基材61b向外側(cè)伸出的伸出部70。第1基板57a側(cè)的第1電極64a橫切密封材料58，在該伸出部70上延伸，形成布線65。另外，在伸出部70的邊緣形成外部連接端子49。布線基板54導(dǎo)電連接于該外部連接端子49上。第2基板57b側(cè)的第2電極64b借助在密封材料58內(nèi)部分散的導(dǎo)通材59，連接于第1基板57a側(cè)的布線65上。另外，導(dǎo)通材料59在圖10中以與密封材料58的寬度尺寸大致相同的尺寸描繪，但實際上導(dǎo)通材料59比密封材料58的寬度小。因此，通常在密封材料58的寬度方向上存在多個導(dǎo)通材料59。
在伸出部70的表面上，在布線65與外部連接端子49之間能通過ACF(Anisotropic Conductive Film各向異性導(dǎo)電膜)48粘接驅(qū)動用IC53。另外，通過該ACF48，驅(qū)動用IC53的焊盤導(dǎo)電連接于布線65和外部連接端子49上。通過該安裝結(jié)構(gòu)，從布線基板54向驅(qū)動用IC53提供信號和電壓。另一方面，將來自驅(qū)動用IC53的掃描信號傳送到第1電極64a或第2電極64b。
圖10中，照明裝置56從觀察側(cè)看夾持緩沖材料78而配置在液晶面板52的背面，用作背光燈。該照明裝置56具有支撐在基板77上的作為光源的LED(Light Emitting Diode)76和導(dǎo)光體72。在導(dǎo)光體72的觀察側(cè)的表面上設(shè)置擴散片73，在其相反面中設(shè)置反射片74。將LED76作為點狀光源的光從導(dǎo)光體72的受光面72a射入導(dǎo)光體72內(nèi)部，在其內(nèi)部傳播期間，從光射出面72b射出，變?yōu)槊鏍罟狻?br> 在上述結(jié)構(gòu)的液晶裝置51中進行反射型顯示的情況下，太陽光、室內(nèi)光等外部光通過第2基板57b射入液晶層55的內(nèi)部，在由反射膜62反射后，再次提供給液晶層55。另一方面，在進行透過型顯示的情況下，照明裝置56的LED76發(fā)光，從導(dǎo)光體72的光射出面72b射出面狀光，將通過設(shè)置在反射膜62的多個開口71的光提供給液晶層55。
當(dāng)向液晶層55提供光時，向第1電極64a和第2電極64b之一施加掃描信號，向另一方施加數(shù)據(jù)信號，則向施加該數(shù)據(jù)信號的部分的顯示用點施加規(guī)定電壓，驅(qū)動液晶，調(diào)制提供給該顯示用點的光。這種調(diào)制對有效顯示區(qū)域V內(nèi)的每個顯示用點、換言之每個象素進行，在該有效顯示區(qū)域V內(nèi)形成字符、數(shù)字、圖形等希望的圖像，由觀察者從箭頭A方向觀察。
若考慮本實施方式的液晶裝置51的制造方法，則特征在于其中包含的濾色鏡68使用圖1-圖5所示的濾色鏡基板的制造裝置、通過圖6-圖9所示的制造方法制造。在使用圖1所示制造裝置201進行的濾色鏡基板的制造工序中，因為在將基材2保持在垂直狀態(tài)的狀態(tài)下進行作業(yè)，所以可防止塵埃等異物附著在基材2上。因此，根據(jù)使用該濾色鏡基板的制造工序進行的液晶裝置51的制造方法，可極低地抑制濾色鏡基板中產(chǎn)生缺陷。
(變形例)在圖10的實施方式中，將本發(fā)明應(yīng)用于半透過反射型單純矩陣方式的液晶裝置。但是，本發(fā)明除此之外還可適用于不具有反射型顯示功能的半透過型單純矩陣方式的液晶裝置、或不具有透過型顯示功能的反射型單純矩陣方式的液晶裝置、或使用TFD(Thin Film Diode)等2端子型開關(guān)元件的有源矩陣方式的液晶裝置、或使用TFT(Thin Film Transistor)等3端子型開關(guān)元件的有源矩陣方式的液晶裝置等的各種液晶裝置中。
(光電裝置的制造方法的實施方式2)下面，以作為光電裝置一例的電致發(fā)光裝置為例來說明本發(fā)明的光電裝置的制造方法的一實施方式。另外，本發(fā)明當(dāng)然不限于此。圖17示出電致發(fā)光裝置的電結(jié)構(gòu)的一實施方式。另外，圖16示出對應(yīng)于該電結(jié)構(gòu)的機械結(jié)構(gòu)的部分截面結(jié)構(gòu)。另外，在本說明書中，所謂電致發(fā)光基板是在基板上形成EL發(fā)光要素后形成的結(jié)構(gòu)體。另外，所謂電致發(fā)光裝置是在電致發(fā)光基板上附設(shè)反射電極或其它光學(xué)要素后構(gòu)成的光電裝置。
圖17中，電致發(fā)光裝置101具有輸出數(shù)據(jù)信號的驅(qū)動用IC107和輸出掃描信號的驅(qū)動用IC108。驅(qū)動用IC107向多個信號線104輸出數(shù)據(jù)信號。另外，驅(qū)動用IC108向多個掃描線103輸出掃描信號。掃描線103與信號線104在多個部分處交叉，并且，在這些交叉部分中形成構(gòu)成象素的顯示用點區(qū)域。圖16中，示出G色顯示用點區(qū)域6g、R色顯示用點區(qū)域6r、B色顯示用點區(qū)域6b。各個顯示用點區(qū)域是包含R、G、B的3色EL發(fā)光要素中的一個的區(qū)域，對應(yīng)于R、G、B的3色的顯示用點區(qū)域集合構(gòu)成1個象素。
圖17中，在一個顯示用點區(qū)域中，包含開關(guān)薄膜晶體管109、電流薄膜晶體管110、象素電極111、反射電極112以及EL發(fā)光要素113。另外，就發(fā)光要素113而言，以規(guī)定排列、例如條排列來排列發(fā)出G色的發(fā)光要素113g、發(fā)出R色的發(fā)光要素113r和發(fā)出B色的發(fā)光要素113b。圖16中，各發(fā)光要素113通過在下層部分的空穴注入層113A上重疊上層部分的有機半導(dǎo)體膜113B來形成。另外，圖16中，示出電流薄膜晶體管110，但未圖示存在于與其不同截面中的開關(guān)薄膜晶體管109。
圖16中，從多個顯示用點區(qū)域6中選擇適當(dāng)?shù)膮^(qū)域，向該區(qū)域內(nèi)的象素電極111與反射電極112之間施加規(guī)定電壓，則該顯示點區(qū)域6內(nèi)的發(fā)光要素113發(fā)光，在基材102的外側(cè)(即圖16的下方側(cè))彩色顯示字符、數(shù)字、圖形等圖像。
若考慮本實施方式的電致發(fā)光裝置101的制造方法，則特征在于其中包含的電致發(fā)光基板100(參照圖15(r))使用圖1-圖5所示的電致發(fā)光基板的制造裝置、通過圖11-圖15所示的制造方法制造。在使用圖1所示制造裝置201進行的電致發(fā)光基板的制造工序中，因為在將基材2(相當(dāng)于圖16的符號102)保持在垂直狀態(tài)的狀態(tài)下進行作業(yè)，所以可防止塵埃等異物附著在基材2上。因此，根據(jù)使用該濾色鏡基板的制造工序進行的電致發(fā)光裝置101的制造方法，可極低地抑制電致發(fā)光基板100中產(chǎn)生缺陷。
(電子機器的制造方法的實施方式)下面，舉例說明電子機器的制造方法的實施方式。首先，在說明制造方法之前，用圖18來說明電子機器的一例。這里所示的電子機器由顯示信息輸出源141、顯示信息處理電路142、電源電路143、定時發(fā)生器144和液晶裝置145構(gòu)成。另外，液晶裝置145具有液晶面板147和驅(qū)動電路146。液晶裝置145由使用圖1-圖5所示的濾色鏡基板的制造裝置、通過圖6-圖9所示的制造方法制造的圖10所示的液晶裝置51構(gòu)成。
顯示信息輸出源141具備RAM(Random Access Memory)等存儲器、各種盤等存儲單元、或同步輸出數(shù)字圖像信號的同步電路等，根據(jù)由定時發(fā)生器144產(chǎn)生的各種時鐘信號，將規(guī)定格式的圖像信號等顯示信息提供給顯示信息處理電路142。
下面，顯示信息處理電路142具備多個放大、反轉(zhuǎn)電路、旋轉(zhuǎn)電路、灰度系數(shù)(伽瑪)補償電路或鉗位電路等公知的電路，執(zhí)行輸入的顯示信息的處理，將圖像信號與時鐘信號CLK一起提供給驅(qū)動電路146。這里，驅(qū)動電路146與掃描線驅(qū)動電路(未圖示)或數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路(未圖示)一起統(tǒng)稱為檢查電路等。另外，電源電路143向上述各構(gòu)成要素提供規(guī)定的電源電壓。
圖19是作為本發(fā)明的電子機器的再一例的數(shù)碼相機，示出將液晶裝置用作取景器。在該數(shù)碼相機150中的殼體151的背面設(shè)置液晶顯示單元152。
該液晶顯示單元152用作顯示被攝體的取景器。
該液晶顯示單元152可由使用圖1-圖5所示濾色鏡基板的制造裝置、通過圖6-圖9所示的制造方法制造的圖10所示的液晶裝置51構(gòu)成。
在殼體151的前面?zhèn)?圖中的里面?zhèn)?設(shè)置包含光學(xué)透鏡或CCD等的受光單元153。攝影者確認顯示在液晶顯示單元152中的被攝體像，一旦按下快門按鈕154，則將此時的CCD的攝像信號傳送到電路基板155的存儲器中并存儲在其中。
在殼體151的側(cè)面設(shè)置視頻信號輸出端子156和數(shù)據(jù)通信用輸入輸出端子157。必要時在視頻信號輸出端子156上連接電視監(jiān)視器158，另外，必要時在數(shù)據(jù)通信用輸入輸出端子157上連接個人計算機159。存儲在電路基板155的存儲器中的攝像信號通過規(guī)定操作輸出到電視監(jiān)視器158或個人計算機159。
(其它實施方式)上面列舉最佳實施方式來說明本發(fā)明，但本發(fā)明不限于該實施方式，在本發(fā)明要求保護的范圍內(nèi)可進行各種改變。
權(quán)利要求
1.一種濾色鏡基板的制造方法，用于制造具有基材和形成于該基材上的濾色鏡的濾色鏡基板，其特征在于具有從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的液態(tài)過濾器材料的工序，在該工序中，在垂直或大致垂直地配置所述基材的狀態(tài)下噴出所述液滴。
2.一種濾色鏡基板的制造方法，用于制造具有基材和形成于該基材上的濾色鏡的濾色鏡基板，其特征在于具有從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的液態(tài)過濾器材料的工序，在該工序中，在相對垂直角度約為±5度的范圍內(nèi)傾斜所述基材。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色鏡基板的制造方法，其特征在于在將從所述液滴噴出部的液滴的噴出方向設(shè)定為所述基材的法線方向或大致法線方向的狀態(tài)下，噴出所述液滴。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的濾色鏡基板的制造方法，其特征在于向該基材提供電位與所述基材的帶電電位相反的離子。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾色鏡基板的制造方法，其特征在于從所述基材的不與所述液滴噴出部對置的一側(cè)提供所述離子。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的濾色鏡基板的制造方法，其特征在于將所述基材置于存在上下方向氣流的房間中。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濾色鏡基板的制造方法，其特征在于在所述氣流的比所述基材還高的上流側(cè)配置防塵過濾器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項所述的濾色鏡基板的制造方法，其特征在于所述液滴噴出部是使用壓電元件的噴墨頭。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的濾色鏡基板的制造方法，其特征在于所述液滴噴出部是通過由熱能產(chǎn)生的氣泡噴出液態(tài)過濾器材料的噴墨頭。
10.一種濾色鏡基板的制造裝置，用于制造具有基材和形成于該基材上的濾色鏡的濾色鏡基板，其特征在于具有垂直或大致垂直地支撐所述基材的基材支撐機構(gòu)；從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的液態(tài)過濾器材料的液滴噴出機構(gòu)；和使所述基材相對所述液滴噴出部相對平行移動的掃描移動機構(gòu)。
11.一種濾色鏡基板的制造裝置，用于制造具有基材和形成于該基材上的濾色鏡的濾色鏡基板，其特征在于具有在相對垂直角度約為±5度的范圍內(nèi)傾斜支撐所述基材的基材支撐機構(gòu)；從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的液態(tài)過濾器材料的液滴噴出機構(gòu)；和使所述基材相對所述液滴噴出部相對平行移動的掃描移動機構(gòu)。
12.一種電致發(fā)光基板的制造方法，用于制造具有基材和形成于該基材上的發(fā)光要素的電致發(fā)光基板，其特征在于具有從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的所述發(fā)光要素的材料的工序，在該工序中，在垂直或大致垂直地配置所述基材的狀態(tài)下噴出所述液滴。
13.一種電致發(fā)光基板的制造方法，用于制造具有基材和形成于該基材上的發(fā)光要素的電致發(fā)光基板，其特征在于具有從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的所述發(fā)光要素的材料的工序，在該工序中，在相對垂直角度約為±5度的范圍內(nèi)傾斜所述基材。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于在將從所述液滴噴出部的液滴的噴出方向設(shè)定為所述基材的法線方向或大致法線方向的狀態(tài)下，噴出所述液滴。
15.根據(jù)權(quán)利要求12～14中任一項所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于向該基材提供電位與所述基材的帶電電位相反的離子。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于從所述基材的不與所述液滴噴出部對置的一側(cè)提供所述離子。
17.根據(jù)權(quán)利要求12～16中任一項所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于將所述基材置于存在上下方向氣流的房間中。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于在所述氣流的比所述基材還高的上流側(cè)配置防塵過濾器。
19.根據(jù)權(quán)利要求12～18中任一項所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于所述液滴噴出部是使用壓電元件的噴墨頭。
20.根據(jù)權(quán)利要求12～18中任一項所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于所述液滴噴出部是通過由熱能產(chǎn)生的氣泡噴出材料的噴墨頭。
21.一種電致發(fā)光基板的制造裝置，用于制造具有基材和形成于該基材上的發(fā)光要素的電致發(fā)光基板，其特征在于具有垂直或大致垂直地支撐所述基材的基材支撐機構(gòu)；從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的所述發(fā)光要素的材料的液滴噴出機構(gòu)；和使所述基材相對所述液滴噴出部相對平行移動的掃描移動機構(gòu)。
22.一種電致發(fā)光基板的制造裝置，用于制造具有基材和形成于該基材上的發(fā)光要素的電致發(fā)光基板，其特征在于具有在相對垂直角度約為±5度的范圍內(nèi)傾斜支撐所述基材的基材支撐機構(gòu)；從液滴噴出部向所述基材噴出作為液滴的所述發(fā)光要素的材料的液滴噴出機構(gòu)；和使所述基材相對所述液滴噴出部相對平行移動的掃描移動機構(gòu)。
23.一種光電裝置的制造方法，用于制造在濾色鏡基板上形成有光電物質(zhì)層的光電裝置，其特征在于具有實施權(quán)利要求1或2所述的濾色鏡基板的制造方法的工序。
24.一種光電裝置的制造方法，用于制造在電致發(fā)光基板上形成有電極的光電裝置，其特征在于具有實施權(quán)利要求11或12所述的電致發(fā)光基板的制造方法的工序。
25.一種電子機器的制造方法，用于制造具有光電裝置和控制該光電裝置的動作的控制部件的電子機器，其特征在于具有實施權(quán)利要求23或24所述的光電裝置的制造方法的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可防止異物附著在基板上的濾色鏡基板的制造方法，用于制造具有基材(2)、和形成于基材(2)上的濾色鏡的濾色鏡基板，其具有從包含在記錄頭(213)中的噴出頭噴嘴向基材(2)噴出作為液滴的液態(tài)過濾器材料的工序。在該工序中，在垂直或大致垂直地配置基材(2)的狀態(tài)下噴出液滴。該制造裝置(201)最好設(shè)置在由從上到下的箭頭E那樣流動的氣流將房間內(nèi)保持成清潔環(huán)境的無塵室內(nèi)。
文檔編號H01L51/00GK1573367SQ20041003862
公開日2005年2月2日 申請日期2004年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月2日
發(fā)明者川瀨智己, 清水政春 申請人:精工愛普生株式會社