專利名稱：教學(xué)方法及處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于在半導(dǎo)體晶片等被處理體上實施預(yù)定處理的處理系統(tǒng)以及用于該系統(tǒng)的搬運機構(gòu)的教學(xué)(teaching)方法。
背景技術(shù)：
為了制造半導(dǎo)體集成電路，通常對晶片進行成膜、蝕刻、氧化、擴散等各項處理。此外已知一種，通過半導(dǎo)體集成電路的微細化及高集成化，為了提高生產(chǎn)量以及成品率，經(jīng)過共通的搬運室，相互結(jié)合進行相同處理的多個處理裝置、或進行不同處理的多個處理裝置，從而使晶片能夠不暴露于大氣地進行各種工序的連續(xù)處理，即所謂的集成(cluster)化處理。
在這種處理系統(tǒng)中，例如從在處理系統(tǒng)前段的被處理體的導(dǎo)入端口上設(shè)置的盒式容器，使用搬運機構(gòu)將半導(dǎo)體晶片取出，進而將其放入處理系統(tǒng)的導(dǎo)入側(cè)搬運室內(nèi)，此外，該晶片被進行位置重合的導(dǎo)向器進行位置重合之后，搬入可以抽成真空的負載鎖定室內(nèi)，進而使用其它的搬運機構(gòu)，將該晶片搬運至與多個被抽成真空的處理室周圍相連接的真空氛圍的共通搬運室，并且以該共通搬運室為中心，將上述晶片依次導(dǎo)入個處理室，從而進行連續(xù)處理。此外，處理后的晶片，例如可以經(jīng)過原來的路徑而收存于原來的盒式容器。
然而，如上上述，在這種處理系統(tǒng)中，內(nèi)部具有單個或多個搬運機構(gòu)，通過這些搬運機構(gòu)，自動地進行晶片的傳遞及搬運。
該搬運結(jié)構(gòu)，例如由能夠水平移動、伸縮、旋轉(zhuǎn)、及升降自如的多關(guān)節(jié)臂所構(gòu)成，并且以設(shè)置于該臂前端的拾取器直接保持晶片，并水平移動至搬運位置，從而將晶片搬運到預(yù)定的位置。
在這種情況下，在搬運機構(gòu)中，不但不得不避免上述臂、拾取器或者保持著的晶片與其它部件發(fā)生干涉乃至沖突，還需要適當?shù)乇３址胖迷谀彻潭ㄎ恢玫木?，并將該晶片搬運到目標位置，進而在適當?shù)奈恢?，高精度地、例如以?.20mm的高位置精度交接。
因此，在進行裝置的組裝或進行大的改造時，將在搬運機構(gòu)的拾取器的移動路徑中進行晶片W交接的位置等重要位置，作為位置坐標存儲于控制該搬運機構(gòu)的動作的計算機等的控制部件，即進行所謂的教學(xué)操作。
上述教學(xué)差不多在用于交接晶片的全部的情況，并存儲如下的位置坐標，例如搬運機構(gòu)和盒式機構(gòu)的位置關(guān)系，用于取得晶片的拾取器和盒式容器的各裝載頂高度方向的位置關(guān)系，負載鎖定室的裝載臺和拾取器的位置關(guān)系，拾取器和導(dǎo)向器的位置關(guān)系，拾取器和各處理室內(nèi)的基座的位置關(guān)系等。另外，在全部的驅(qū)動系統(tǒng)中，當然組裝有用于特定該驅(qū)動位置的編碼器。
在具體地進行教學(xué)操作中，首先，以搬運機構(gòu)的移動路徑的某一點作為絕對基準，進而從裝置的設(shè)計值求出裝置全體的全部教學(xué)位置的位置坐標，并且將其作為臨時位置坐標，預(yù)先輸入控制部并進行存儲。在這種情況下，以拾取器與其它的部件不發(fā)生干涉的方式預(yù)設(shè)預(yù)定量的間隙，并輸入各臨時坐標。
其次，如果根據(jù)各臨時位置坐標驅(qū)動搬運機構(gòu)，使該拾取器移動至教學(xué)基準位置附近，就將搬運機構(gòu)的動作切換為手動，從而以拾取器與其它部件不發(fā)生干涉的方式，邊目測地確認邊每次少許地進行手動操作。此外，邊目測邊操作，使得拾取器和預(yù)先在盒式容器內(nèi)的預(yù)定位置上設(shè)置的上述位置重合用基板在適當?shù)奈恢卯a(chǎn)生接觸，并通過將該坐標作為位置坐標存儲于控制部而進行教學(xué)。
此外，在對負載鎖定室、各處理室的裝載臺或基座等進行教學(xué)操作的情況下，對它們的中心也分別設(shè)置有上述位置重合用基板，首先，將對應(yīng)的拾取器自動地移動到不發(fā)生干涉的附近的安全位置，然后，對其進行手動操作，與上述同樣地使二者正確地一致，并將此時的位置坐標存儲于控制部。另外，例如該位置重合用基板由透明板構(gòu)成，并且在其上預(yù)先畫出位置整個重合的拾取器或其它裝載臺的輪廓等。
此外，上述所謂手動操作的具體意思在于，通過鍵盤或控制桿，將移動方向(+/-)和移動量輸入控制部，進而操作包含拾取器的臂等。
此外，在目前技術(shù)的日本特開2000-127069號公報中，雖然通過使用導(dǎo)向器，謀求教學(xué)操作的省力化及高精度化，但存所謂在教學(xué)操作的一部分需要上述手動操作的問題。

發(fā)明內(nèi)容
然而，在如上上述教學(xué)方法中，將搬運機構(gòu)自身自動地移動到全部教學(xué)目標位置附近的十分安全的位置，然后，邊目測確認安全，邊以手動操作將拾取器逐步地每次很小距離地在水平方向及上下方向移動，進而將拾取器移動到目標位置。
因此，雖說最初將拾取器自動地移動到目標位置附近的充分安全的位置，但然后以手動逐漸地移動拾取器的區(qū)間很長，因此，存在所謂教學(xué)操作中需要很長的時間的問題。特別是，由于不得不如上上述地、差不多在交接半導(dǎo)體晶片全部位置進行如上的教學(xué)操作，所以，產(chǎn)生整個教學(xué)操作的時間變得非常長的問題。
本發(fā)明著眼于上述問題，并提出有效地解決這些問題的方案。本發(fā)明的目標在于，提供一種能夠大幅度地削減教學(xué)時間，并且可以使其縮短的教學(xué)方法及處理系統(tǒng)。
本發(fā)明者對縮短教學(xué)的操作時間進行了深刻的研究，結(jié)果表明，即使在將搬運機構(gòu)自動地移動到目標位置之后，如果注意特定位置的部分而調(diào)整移動搬運機構(gòu)的拾取器，則在到達目標位置之前，會某種程度地存在可自動移動的部分，從而由上述觀點提出本發(fā)明。
本發(fā)明的教學(xué)方法通過拾取器保持被處理體，并將在具備用于搬運的搬運機構(gòu)的處理系統(tǒng)中上述搬運機構(gòu)的移動目標位置存儲于控制裝置，該教學(xué)方法具有如下工序在移動至臨時移動目標位置的移動路徑途中，在上述搬運機構(gòu)與其它部件有發(fā)生干涉危險的干涉注意位置上，為了確認與其它部件不發(fā)生干涉，將上述搬運機構(gòu)臨時停止的臨時停止工序；通過移動指令的輸入，使臨時停止的上述搬運機構(gòu)重新開始移動的移動再開工序；重復(fù)進行上述臨時停止工序和移動再開工序的重復(fù)工序；在上述拾取器到達上述臨時移動目標位置時調(diào)整上述拾取器的位置，或者不進行調(diào)整移動，進而作為移動目標位置而存儲于上述存儲裝置的存儲工序。
這樣，由于在具有搬運機構(gòu)與其他部件發(fā)生干涉的危險的地方，臨時停止搬運機構(gòu)，并根據(jù)需要進行位置調(diào)整，使得在搬運機構(gòu)與其他不見不發(fā)生干涉的地方，自動且積極地移動搬運機構(gòu)，所以，可以作為整體地將上述教學(xué)操作中需要的時間大幅地削減。
在這種情況下，在上述臨時停止的機構(gòu)有與其它部件發(fā)生干涉的危險時，將上述搬運機構(gòu)調(diào)整移動到與其它部件沒有干涉危險的位置。
此外，上述干涉注意位置可以基于上述處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸，由上述控制裝置預(yù)先計算得到。
此外，在每次上述搬運機構(gòu)臨時停止時，上述控制裝置可以在顯示部顯示用于對于操作員提醒注意干涉的信息。
這樣，由于在顯示部顯示有用于提醒操作人員注意干涉的信息，所以，通過操作人員讀取該信息，可以更可靠地防止與搬運機構(gòu)有關(guān)的同其他部件發(fā)生的干涉。
此外，優(yōu)選上述搬運機構(gòu)具有能夠彎曲及旋轉(zhuǎn)的多關(guān)節(jié)臂。
此外，優(yōu)選上述目標位置是將上述被處理體裝入處理系統(tǒng)內(nèi)的導(dǎo)入板內(nèi)的預(yù)定位置。
本發(fā)明的處理系統(tǒng)具有對被處理體實施預(yù)定處理的處理室；用于將被處理體導(dǎo)入的導(dǎo)入板；進行被處理體定位的導(dǎo)向器；具有保持被處理體的拾取器并搬運被處理體的搬運機構(gòu)；控制上述搬運機構(gòu)的動作的控制裝置；上述控制裝置被構(gòu)成為實施如下工序在移動到臨時移動目標位置的移動路徑途中，上述搬運機構(gòu)有與其它部件發(fā)生干涉危險的干涉注意位置處，為了確認其與其它部件不發(fā)生干涉，將上述搬運機構(gòu)臨時停止的臨時停止工序；通過移動指令的輸入，將臨時停止的上述搬運機構(gòu)再次開始移動的移動再開工序；重復(fù)進行上述臨時停止工序和移動再開工序的重復(fù)工序；在上述拾取器到達上述臨時移動目標位置時，調(diào)整移動上述拾取器的位置，或者不進行調(diào)整移動，并且作為移動目標位置而存儲于上述控制裝置的存儲工序。
在這種情況下，上述控制裝置基于上述處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸，預(yù)先計算得出上述干涉注意位置。
此外，上述控制裝置與上述顯示部連接，并且上述控制裝置在每次上述搬運機構(gòu)臨時停止時，在顯示部顯示用于喚起操作人員注意干涉的信息。


圖1是表示用于實施本發(fā)明的教學(xué)方法的處理系統(tǒng)的一例的結(jié)構(gòu)圖。
圖2是圖1所示處理系統(tǒng)的模式圖。
圖3是表示導(dǎo)入板的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖4是表示導(dǎo)向器的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖5是表示負載鎖定室的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖6是表示操作單元的平面圖。
圖7A是對第一實施方式的導(dǎo)入板進行教學(xué)操作時的一例，是表示第一干涉注意位置的圖。
圖7B是對第一實施方式的導(dǎo)入板進行教學(xué)操作時的一例，是表示第二干涉注意位置的圖。
圖7C是對第一實施方式的導(dǎo)入板進行教學(xué)操作時的一例，是表示第三干涉注意位置的圖。
圖7D是對第一實施方式的導(dǎo)入板進行教學(xué)操作時的一例，是表示臨時移動目標位置的圖。
圖7E是對第一實施方式的導(dǎo)入板進行教學(xué)操作時的一例，是表示移動目標位置的圖。
圖8是表示本發(fā)明的教學(xué)方法的流程的流程圖。
圖9是表示對第二實施方式的導(dǎo)入板進行教學(xué)操作時的一例的圖。
圖9A是對第二實施方式的導(dǎo)向器進行教學(xué)操作時的一例，是表示第一干涉注意位置的圖。
圖9B是對第二實施方式的導(dǎo)向器進行教學(xué)操作時的一例，是表示第二干涉注意位置的圖。
圖9C是對第二實施方式的導(dǎo)向器進行教學(xué)操作時的一例，是表示臨時移動目標位置的圖。
圖9D是對第二實施方式的導(dǎo)向器進行教學(xué)操作時的一例，是表示移動目標位置的圖。
圖10A是對第三實施方式的載荷鎖定室進行教學(xué)操作時的一例，是表示第一干涉注意位置的圖。
圖10B是對第三實施方式的載荷鎖定室進行教學(xué)操作時的一例，是表示第二干涉注意位置的圖。
圖10C是對第三實施方式的載荷鎖定室進行教學(xué)操作時的一例，是表示第三干涉注意位置的圖。
圖10D是對第三實施方式的載荷鎖定室進行教學(xué)操作時的一例，是表示第四干涉注意位置的圖。
圖10E是對第三實施方式的載荷鎖定室進行教學(xué)操作時的一例，是顯示臨時移動目標位置的圖。
具體實施例方式
以下，根據(jù)附圖詳細說明本發(fā)明的教學(xué)方法及處理系統(tǒng)的實施方式。
圖1是表示用于實施本發(fā)明的教學(xué)方法的處理系統(tǒng)的一例的結(jié)構(gòu)圖，圖2是圖1所示處理系統(tǒng)的模式圖，圖3是表示導(dǎo)入板的概略結(jié)構(gòu)圖，圖4是表示導(dǎo)向器的概略結(jié)構(gòu)圖，圖5是表示負載鎖定室的概略結(jié)構(gòu)圖，圖6是表示操作單元的平面圖。
首先，對上述處理系統(tǒng)進行說明。
如圖1所示，該處理系統(tǒng)2主要具有多個，例如4個處理室4A、4B、4C、4D；大致呈六邊形的共通搬運室6；具有載荷鎖定功能的第一及第二載荷鎖定室8A、8B；以及細長的導(dǎo)入側(cè)搬運室10。
具體地講，在大致呈六邊形的共通搬運室6的四個邊上接合有上述各處理室4A～4D，在另外的兩個邊上分別接合有上述第一及第二載荷鎖定室8A、8B。而且，在該第一及第二載荷鎖定室8A、8B上共通地連接有導(dǎo)入側(cè)搬運室10。
在上述共通搬運室6和上述四個各處理裝置4A～4D之間，以及在上述共通搬運室6和上述第一及第二載荷鎖定室8A、8B之間，各自經(jīng)過可開閉的氣密閘門閥G連接，從而得到集成化，并且根據(jù)需要，可以與共通搬運室6內(nèi)相連通。而且，在上述第一及第二載荷鎖定室8A、8B和上述導(dǎo)入側(cè)搬運室10之間，也分別經(jīng)過可開閉的氣密閘門閥G連接著。
在上述4個處理室4A～4D內(nèi)，分別設(shè)置有裝載作為被處理體的半導(dǎo)體晶片的基座12A～12D，并且能夠?qū)ψ鳛楸惶幚眢w的半導(dǎo)體晶片實施同種或異種處理。而且，在上述共通搬運室6內(nèi)，在能夠與上述兩個載荷鎖定室8A、8B以及四個處理室4A～4D分別接近的位置上，設(shè)置有由可以彎曲、升降及旋轉(zhuǎn)的多關(guān)節(jié)臂所構(gòu)成的第二搬運機構(gòu)14，并且該搬運裝置14具有兩個能夠向相互相反方向獨立彎曲的兩個拾取器B1、B2，從而可以一次拾取兩個晶片。另外，還可以使用僅具有一個拾取器的裝置作為第二搬運機構(gòu)14。
上述導(dǎo)入側(cè)搬運室10由長條箱體所形成，在該長方的一側(cè)面，設(shè)置有用于導(dǎo)入作為被處理體的半導(dǎo)體晶片的一個乃至多個搬入口16，在圖示中舉例有3個搬入口16，并且在各搬入口16上設(shè)置有可開閉的開閉門21。此外，對應(yīng)于各搬入口16分別設(shè)置有導(dǎo)入端口18A、18B、18C，并且分別可以在其中裝載一個盒式容器20。各盒式容器20內(nèi)，能夠等間距且多段地裝載收容多個，例如25個半導(dǎo)體晶片W。在上述盒式容器20上還安裝有開閉蓋20A(參照圖3)。圖3表示的是上述三個導(dǎo)入端口18A～18C中的中央導(dǎo)入端口18B，在各導(dǎo)入端口18A～18C，為了開閉盒式容器20的開閉蓋20A，設(shè)置有可升降及進退的開閉門21的驅(qū)動機構(gòu)21A。
在該導(dǎo)入側(cè)搬運室10內(nèi)，設(shè)置有用于將晶片W沿其長度方向搬運的、作為導(dǎo)入側(cè)搬運機構(gòu)的第一搬運機構(gòu)22。在導(dǎo)入側(cè)搬運室10內(nèi)的中心部，該第一搬運機構(gòu)22可滑行移動地支撐于以沿著長度方向延伸的方式設(shè)置的導(dǎo)向軌24上。在該導(dǎo)向軌24中，內(nèi)藏有作為移動機構(gòu)的例如具有編碼器的線性電動機，并通過驅(qū)動該線性電動機，使第一搬運機構(gòu)22沿導(dǎo)向軌24移動。
此外，上述第一搬運機構(gòu)22具有分上下兩段配置的兩個多關(guān)節(jié)臂32、34。在上述各多關(guān)節(jié)臂32、34的前端上分別安裝有呈兩股狀的拾取器A1、A2，并分別在該拾取器A1、A2上直接保持晶片W。所以，各多關(guān)節(jié)臂32、34能夠從中心沿半徑方向自由地伸縮及升降，而且，各多關(guān)節(jié)臂32、34的伸縮動作能夠單獨控制。上述多關(guān)節(jié)臂32、34的各轉(zhuǎn)軸，分別與基臺36呈同軸狀可旋轉(zhuǎn)地連接，例如能夠相對基臺36沿旋轉(zhuǎn)方向整體旋轉(zhuǎn)。另外，在這里不僅可以設(shè)置有兩個拾取器A1、A2，也有僅設(shè)置有一個的情況。
此外，在導(dǎo)入側(cè)搬運室10的另一端，設(shè)置有進行晶片位置重合的導(dǎo)向器26，而且，在導(dǎo)入側(cè)搬運室10的長度方向的中途，通過可開閉的上述門閥G分別設(shè)置有兩個載荷鎖定室8A、8B。
上述導(dǎo)向器26，如圖4所示，具有由驅(qū)動馬達27驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺28，并且可在其上以裝載晶片W的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)。在該旋轉(zhuǎn)臺28的外周設(shè)置有用于檢測晶片W的周邊部的光學(xué)傳感器30，由此可以檢測出晶片W的定位缺口，例如槽口、導(dǎo)向器平面的位置方向或晶片W的中心位置偏差量等。
此外，在上述第一及第二載荷鎖定室8A、8B內(nèi)，為了臨時裝載晶片W，分別設(shè)置有直徑比晶片小的裝載臺38A、38B(參照圖5)。而且，上述處理系統(tǒng)2的動作的整體控制，例如各搬運機構(gòu)14、22或?qū)蚱?6等的動作控制，例如可以通過微機等所構(gòu)成的控制部40進行。在該控制部40上連接有用于由顯示操作員所使用預(yù)定的信息的液晶顯示單元等構(gòu)成的顯示部42、或設(shè)置進行預(yù)定的輸入的數(shù)字鍵等鍵群44的操作單元41。另外，在顯示部42可以使用觸摸面板方式，也可以在顯示部42兼有鍵群44的功能。在進行教學(xué)操作的情況下具有該操作單元41，從而邊注視拾取器等邊進行教學(xué)操作。
接下來，對在如上所述地形成的系統(tǒng)中所實施的教學(xué)方法加以說明。
首先，僅在如上所述地組裝而成的上述處理系統(tǒng)2中，為了半導(dǎo)體晶片W的交接或裝載，需要不決定各搬運機構(gòu)14、22的移動目標位置，而將該移動目標位置作為坐標存儲于控制系統(tǒng)，該操作被稱為教學(xué)。在這種情況下，因處理系統(tǒng)2的組裝誤差或在各搬運機構(gòu)14、22的初期設(shè)定中誤差等，使得從處理系統(tǒng)2的各部分的設(shè)計尺寸通過計算確定出的臨時移動目標位置，往往與實際組裝后的處理系統(tǒng)2中移動目標位置之間存在有僅僅某種程度的距離的位置偏差。
所以，如果將包含拾取器的搬運裝置自動地移動到為了進行教學(xué)操作而從處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸中通過計算而確定的其它移動目標位置，就會有在該移動路徑中與其它的部件發(fā)生干涉、碰撞的危險。因此，在目前的教學(xué)操作中，將搬運機構(gòu)自動地移動到通過計算所得的移動目標位置附近的靠前的位置，即搬運機構(gòu)與其它部件絕對沒有干涉危險的位置，還是距離臨時移動目標位置最近的位置，然后，邊如上所述地通過目測來確定與其它部件不發(fā)生干涉，邊通過手動操作每次很少距離地移動搬運機構(gòu)，最后，使拾取器位于預(yù)定的合適位置，并將此時的坐標作為移動目標位置進行存儲?？墒?，在目前的教學(xué)方法中，由于邊目測邊通過手動移動搬運機構(gòu)所花費的時間很長，故存在教學(xué)操作中需要很長時間的問題。
因此，在本發(fā)明的教學(xué)方法中，以如下的工序進行在移動到臨時目標位置的移動路徑途中，在上述搬運機構(gòu)與其它部件有干涉危險的干涉注意位置處，為了確認與其它部件不會發(fā)生干涉，將上述搬運機構(gòu)臨時停止的臨時停止工序；在上述拾取器到達上述臨時移動目標位置時，或調(diào)整移動上述拾取器的位置，或不進行調(diào)整移動，并作為移動目標位置存儲于上述控制裝置的存儲工序。換言之，在到達從處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸所求出的臨時移動目標位置的移動路徑的途中，將搬運機構(gòu)與其它部件發(fā)生干涉乃至碰撞的危險的位置作為干涉注意位置，并將其求出。在求得該干涉注意位置時，順便求出搬運機構(gòu)的多關(guān)節(jié)臂、拾取器的尺寸或旋轉(zhuǎn)半徑等。該干涉注意位置雖然也與處理系統(tǒng)的組裝誤差或搬運機構(gòu)的驅(qū)動系統(tǒng)的初期設(shè)定等誤差等有關(guān)，但是，是包含拾取器的搬運機構(gòu)相對其它部件例如距離約1cm的位置。而且，在進行上述調(diào)整移動的情況下，僅以調(diào)整移動量增減下一次臨時停止干涉注意位置的坐標。
如上所述，雖然，如果通過計算求出干涉注意位置，實際上就自動地驅(qū)動搬運機構(gòu)，但是，此時一次次臨時停止到達干涉注意位置的搬運機構(gòu)，并在此停止時，向下一步移動搬運機構(gòu)還要目測確認與其它部件不發(fā)生干涉。此時，如果搬運機構(gòu)有與其它部件發(fā)生干涉的危險，則操作者通過手動操作將搬運機構(gòu)移動到?jīng)]有與其它部件發(fā)生干涉危險性的位置。
其次，操作者通過輸入移動指令，將搬運機構(gòu)自動地移動到下一個干涉注意位置。而且，按順序反復(fù)進行由如上所述的目測上述進行不存在干涉的確認、必要情況的調(diào)整移動和輸入移動指令。
此外，如果拾取器到達了從處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸所求得的臨時移動目標位置，如果需要，操作者就邊目測邊通過手動操作將拾取器的位置調(diào)整移動到最合適的位置，并將該位置作為移動目標位置存儲于控制裝置。由此，與當初的移動目標位置相對應(yīng)的教學(xué)操作結(jié)束。
第一實施方式接下來，參照圖7A～7E及圖8，說明對導(dǎo)入端口進行教學(xué)操作的一例。
圖7A～7E是表示對第一實施方式的導(dǎo)入板進行教學(xué)操作時的一例。圖8是表示本發(fā)明的教學(xué)方法的流程的流程圖。在圖7A～7E中，表示對3個導(dǎo)入口18A～18C內(nèi)的中央導(dǎo)入口18B進行第一搬運機構(gòu)22的一個拾取器A1的教學(xué)操作的情況。在這種情況下，在盒式容器20的最下段的支撐頂(未圖示)上裝載有與半導(dǎo)體晶片同樣尺寸及形狀地成形的位置重合用基板W，將拾取器A1插入(接近)到上述位置重合用基板W位置正下方的位置(圖7D)假定為臨時移動目標位置。另外，由于如果確定了與裝載于該最下段的支撐頂?shù)奈恢弥睾嫌没逑鄬?yīng)的拾取器位置，就特別指定各支撐頂?shù)氖叭∑?，所以基于此能夠?qū)Ω髦雾斶M行拾取器的接近。
首先，在從上述第一搬運機構(gòu)22的基準位置至圖7D所示的臨時移動目標位置的移動路徑的中途，根據(jù)如上所述的處理系統(tǒng)2的設(shè)計尺寸、搬運機構(gòu)22的多關(guān)節(jié)臂的尺寸或旋轉(zhuǎn)半徑，預(yù)先求出上述搬運機構(gòu)22于其他部件存在干涉危險的干涉注意位置。這種情況下，將該搬運機構(gòu)22在設(shè)計尺寸上與其他部件例如接近至1cm距離的位置作為干涉注意位置而決定，并對這些信息存儲于控制裝置40。在圖7A～7E中，圖7A～圖7C所示的臂的三個位置是分別作為干涉注意位置所決定的位置。此外，這里的圖2所示的導(dǎo)向軌24的右端位置，假定為第一搬運機構(gòu)22的基準位置(原來位置)50。
首先，在將第一搬運機構(gòu)22位于基準位置50(參照圖2)的狀態(tài)，操作者通過按下與圖1的控制部40相連接的鍵群44的進行按鈕44A(參照圖6)(S1)，輸入移動指令。如此，由于第一搬運機構(gòu)22的現(xiàn)在位置不在臨時移動目標位置(S2的NO)，所以控制部40控制第一搬運機構(gòu)22的驅(qū)動，例如使其在水平方向移動，進而移動到對應(yīng)于導(dǎo)入口18B的位置，并且使多關(guān)節(jié)臂在上下方向及旋轉(zhuǎn)方向移動，同時，伸縮多關(guān)節(jié)臂，例如在水平方向上伸長，從而，如圖7A所示，使其拾取器A1自動地臨時停止于第一干涉注意位置(S3)。
該第一干涉注意位置和與其拾取器A1的前端位置重合用基板W的前端間的距離X1為，處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸上約1cm的位置。這樣，在第一搬運機構(gòu)22臨時停止時，如圖6所示，在顯示部42上顯示出用于對操作者喚起注意拾取器的干涉的信息，例如顯示有“拾取器等是否與其它部件發(fā)生干涉？”等文字。另外，與此同時，也可以單獨地由揚聲器發(fā)出同樣的信息。
這里，操作者通過目測，確認與拾取器A1的上下方向的距離相關(guān)的、拾取器A1是否僅位于其它部件、即位置重合用基板W的下端的下方約2～3mm，確認例如即使原封不動地前進拾取器A1，是否也有與位置重合用基板W發(fā)生干涉的危險(S4)。這里，在位置重合用基板W和拾取器A1有發(fā)生干涉的危險情況下(S4的YES)，操作者通過手動操作將拾取器A1僅移動微笑距離，使其位于不會與位置重合用基板W發(fā)生干涉的位置、即位于其下端僅約2～3mm的下方(S5)。該調(diào)整移動是通過操作鍵群44的移動按鈕44C來進行的。
這樣，若拾取器A1的移動調(diào)整結(jié)束，或者，如果在S4中操作者判斷了拾取器A1沒有與其它部件發(fā)生干涉的危險(S4的NO)之后，操作者就再次通過按下進行按鈕44A(S1)，輸入移動指令。由此，第一搬運機構(gòu)22的拾取器A1自動前進少許，如圖7B所示，自動地移動到設(shè)計尺寸上拾取器A1的前端和位置重合用基板W的周邊部重合的距離X2約為5mm的位置、即第二干涉注意位置(S2的NO，S3)，進而臨時停止。在上述臨時停止時，在顯示部42也顯示用于喚起注意拾取器干涉的信息。此時，操作者確認拾取器A1的前端確實進入了位置重合用基板W的下方。另外，在拾取器A1和位置重合用基板W的重合約為5mm的位置，臨時停止拾取器A1的理由在于，在一旦二者發(fā)生干涉的情況下，可以將破損等損害減到最小。
此外，接下來，如果操作者通過按下進行按鈕(S1)，輸入移動指令，則第一搬運機構(gòu)22的拾取器A1再次自動地前進少許，如圖7C所示，自動移動到設(shè)計尺寸中拾取器A1的基部和蓋開閉機構(gòu)21(參照圖3)的上端之間的水平距離X3約為1cm左右的位置、即第三干涉注意位置，進而臨時停止。在該臨時停止時，在顯示部42也顯示喚起注意拾取器的干涉的信息。此時，操作者確認，即使拾取器A1的基部照樣前進也不會與蓋開閉機構(gòu)21發(fā)生干涉。此時，在操作者判斷該拾取器A1的基部有干涉的可能性時，如上述相同地通過手動操作，將拾取器A1向上方少許調(diào)整移動。
此外，接下來，如果操作者通過再次按下進行按鈕，輸入移動指令，則第一搬運機構(gòu)22的拾取器A1再次自動前進，如圖7D所示，移動到設(shè)計尺寸上臨時移動目標位置，進而臨時停止。另外，該臨時移動目標位置，在至此的移動路徑途中通過手動操作進行移動調(diào)整的情況下，僅調(diào)整該移動調(diào)整量。
這樣，如果拾取器A1前進到臨時的移動目標位置(S2的YES)，則操作者確認該位置是否是位置重合用基板W的適當位置，如果必要的話、即如果位置發(fā)生了偏差，則通過手動操作，將該拾取器A1僅微距地調(diào)整移動至移動目標位置，如圖7E所示，使其適當?shù)匚挥谖恢弥睾嫌没錡正下方(S6)。在圖7E所示的情況下，表示有將拾取器A1僅向上方移動了少許距離的狀態(tài)。另外，如果在如圖7D所示的移動目標位置的拾取器A1的位置是如圖7E所示的適當?shù)奈恢?，理所當然不需要如上述S6中所示的調(diào)整移動操作。
這樣，如果拾取器A1到達適當?shù)奈恢?、即移動目標位置，則通過按下鍵群44的存儲按狃44B(參照圖6)，將此時的拾取器A1的位置坐標數(shù)據(jù)存儲于控制裝置40(S8)。由此，教學(xué)操作結(jié)束。
這樣，通過將移動目標位置的位置坐標存儲于控制裝置40，拾取器A1能夠自動地、不與其它部件發(fā)生干涉地移動到該移動目標位置。在從盒式容器20內(nèi)取出晶片時，能夠從上述移動目標位置僅上升預(yù)定的高度，進而接收晶片。而且，在取得其它支撐頂?shù)木瑫r，如上所述，由于預(yù)先判斷有設(shè)置為多段的支撐頂?shù)拈g距，所以能夠容易地求出與該支撐頂?shù)亩螖?shù)相對應(yīng)的高度。
這樣的教學(xué)操作，對于拾取器A2也同樣進行，而且，對于其它的導(dǎo)入端口18A、18C，對于兩個拾取器A1、A2也同樣進行。另外，順便提一下，在目前的教學(xué)方法中，在將拾取器A1自動前進到圖7A所示的第一干涉注意位置之后，通過手動操作到圖7E所示的拾取器A1之前，每次對拾取器A1僅移動少許。
所以，在本發(fā)明方法中，由于僅在拾取器等與其它部件存在發(fā)生干涉可能性的干涉注意位置將拾取器臨時停止，且每一次臨時停止時，根據(jù)需要通過手動操作調(diào)整移動拾取器，進而在到下一個干涉注意位置之前，又自動地移動拾取器，所以，縮短了拾取器沿整個搬運路徑移動的時間，并可以短時間且迅速地進行該處的教學(xué)操作。
第二實施方式在上述第一實施方式中，雖然以例子對導(dǎo)入端口進行教學(xué)操作的情況為例進行有說明，但在第二實施方式中，以例子對導(dǎo)向器進行教學(xué)操作的情況進行說明。
圖9A～9D是表示對本發(fā)明的第二實施方式的導(dǎo)向器器進行教學(xué)操作時的一例的圖。另外，在該圖9A～9D中，一并記錄有部分平面圖。這里，也對第一搬運機構(gòu)22的拾取器A1進行教學(xué)操作的情況進行說明。此外，雖然在每次拾取器A1停止于干涉注意位置時，都在顯示部顯示用于對操作者喚起注意干涉的信息，但對于這一點的記述予以省略。
首先，與第一實施方式同樣，基于處理系統(tǒng)2的設(shè)計尺寸等求出對于導(dǎo)向器26的干涉注意位置及臨時移動目標位置，進而將其存儲于控制裝置40。在圖示例中，圖9A及9B表示干涉注意位置，圖9C表示臨時移動目標位置。
首先，如果在第一搬運機構(gòu)22位于基準位置50(參照圖2)的狀態(tài)下，按下進行按鈕44A(參照圖6)，進而輸入移動指令，則第一搬運機構(gòu)22自動地驅(qū)動，如圖9A所示，上述拾取器A1臨時停止于第一干涉注意位置。該第一干涉注意位置是，在安裝有導(dǎo)向器26的導(dǎo)入側(cè)搬運室10的壁面10A和拾取器A1的前端之間的水平距離Y1在處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸上例如約為1cm的位置。這是為了導(dǎo)向器26的開口部的高度小至3.6cm，以及為了防止拾取器A1的前端與壁面10A發(fā)生沖突。在該第一干涉注意位置，操作者在必要的情況下通過手動操作進行拾取器A1高度方向的調(diào)整移動，從而能夠使拾取器A1無干涉地進入導(dǎo)向器26。
其次，如果操作者按下進行按鈕，輸入移動指令，則拾取器A1自動地向水平方向行進，如圖9B所示，自動停止在第二干涉注意位置。該第二干涉注意位置是，旋轉(zhuǎn)臺28的周邊部和拾取器A1之間的水平距離Y2在處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸中約為例如1cm的位置。在該第二干涉注意位置，通過操作者在必要的情況下以手動操作進行拾取器A1水平方向的位置調(diào)整，從平面來看，在進一步行進拾取器A1的情況下，以在該拾取器A1之間充分地納入旋轉(zhuǎn)臺28的方式設(shè)定。換言之，以手動操作進行位置調(diào)整，使得在進一步行進拾取器A1時，其不與旋轉(zhuǎn)臺28發(fā)生干涉。
在此，如果操作者按下進行按鈕，輸入移動指令，則拾取器A1自動地向水平方向行進，如圖9C所示，到達臨時移動目標位置。
而且，操作者在必要的情況下，通過手動操作將拾取器A1調(diào)整移動到適當?shù)奈恢?，如圖9D所示，使其位于移動目標位置，進而通過按下存儲按鈕44B(參照圖6)，將此時的位置坐標數(shù)據(jù)存儲于控制裝置40。在這種情況下，在按下存儲按鈕44B之前，例如圖9D的平面圖所示，在拾取器A1上裝載透明的位置重合用基板W，并確認上述旋轉(zhuǎn)臺28位于其大致中心部。
在圖9D所示的情況下，由于在臨時移動目標位置(圖9C)，拾取器A1已位于旋轉(zhuǎn)臺28的下方，所以通過手動將該拾取器A1向上方調(diào)整移動，然后，使用位置重合用基板W，從而表示有如上所述的適當?shù)奈恢弥睾系臓顟B(tài)。
在該第二實施方式的情況下，由于也僅在拾取器等有與其它部件發(fā)生干涉可能性的干涉注意位置，將拾取器臨時停止，并且每一次臨時停止時，根據(jù)需要以手動操作調(diào)整移動拾取器，從而，在到下一個干涉注意位置之前，在次自動地移動拾取器，所以，縮短拾取器沿整個搬運路徑移動的時間，并且可以短時間且迅速地僅進行該部分的教學(xué)操作。
第三實施方式接下來，作為第三實施方式，說明有對負載鎖定室進行教學(xué)操作的情況。
行教學(xué)操作時的一例的圖。
這里，作為一例，說明有對兩個負載鎖定室8A、8B內(nèi)一個負載鎖定室8A教學(xué)操作拾取器A1的情況。這里，在負載鎖定室8A的裝載臺38A上預(yù)先裝載位置重合用基板W。而且，從處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸等，預(yù)先求出如圖10A～10D的四個干涉注意位置，圖10E表示臨時移動目標位置。另外，由于與顯示部有關(guān)的顯示內(nèi)容與前面所述的情況相同，所以在這里對其說明予以省略。
首先，如果在第一搬運機構(gòu)22位于基準位置50(參照圖2)的狀態(tài)下，按下進行按鈕44A(參照圖6)，輸入移動指令，則第一搬運機構(gòu)22自動地驅(qū)動，如圖10A所示，進而該拾取器A1臨時停止于第一干涉注意位置。該第一干涉注意位置是，安裝有負載鎖定室8A的導(dǎo)入側(cè)搬運室10的壁面10B和拾取器A1的前端之間的水平距離Z1在處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸上約為例如1cm的位置。這是為了負載鎖定室8A的開口部的高度小至約4.9cm，還為了防止拾取器A1的前端與壁面10B發(fā)生沖突。在該第一干涉注意位置，操作者在必要的情況下通過手動操作，進行拾取器A1高度方向的調(diào)整移動等，使得拾取器A1無干涉地進入負載鎖定室8A。
其次，如果操作者按下進行按鈕，輸入移動指令，則拾取器A1自動地向水平方向行進，如圖10B所示，臨時停止在第二干涉注意位置。該第二干涉注意位置是，裝載臺38A上的位置重合用基板W的周邊部和拾取器A1之間的水平距離Z2在處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸中例如約為1cm的位置。在該第二干涉注意位置，通過操作者在必要的情況下，以手動操作進行拾取器A1的高度方向和水平方向的位置調(diào)整，在再次行進拾取器A1的情況下，在該拾取器A1之間裝載臺38A已充分地納入的方式設(shè)定。換言之，在再次行進拾取器A1時，通過手動操作，以其不與載置臺38A及位置重合用基板W發(fā)生干涉的方式進行位置調(diào)整。
再次，如果操作者按下進行按鈕，輸入移動指令，則拾取器A1自動地向水平方向少許行進，如圖10C所示，自動停止在第三干涉注意位置。該第三干涉注意位置是，位置重合用基板W的周邊部和拾取器A1前端的上下方向上重合部分的水平距離Z3在處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸中約為5cm的位置。這里，將拾取器A1臨時停止的理由在于，在一但二者發(fā)生干涉的情況下，能夠?qū)⑵茡p等損害減到最小。這里，根據(jù)需要，通過手動操作進行位置調(diào)整，使得在拾取器A1在下次行進中不與其它部件發(fā)生干涉。
再次，如果操作者按下進行按鈕，輸入移動指令，則拾取器A1自動地向水平方向行進少許，如圖10D所示，自動停止在第四干涉注意位置。該第四干涉注意位置是，開放的閘門閥G的上端和拾取器A1的基端之間的水平距離Z4在處理系統(tǒng)設(shè)計尺寸上約為1mm的位置。這里，臨時停止拾取器A1的理由在于，為了使拾取器避免與開放的閘門閥G發(fā)生沖突。這里，根據(jù)需要，通過手動操作進行位置調(diào)整，使得拾取器在下次行進中不與其它部件發(fā)生干涉。
其次，如果操作者按下進行按鈕，輸入移動指令，則拾取器A1又向水平方向自動行進，如圖10E所示，到達臨時移動目標位置。
此外，操作者在必要的情況下，通過手動操作將拾取器A1調(diào)整移動到適當?shù)奈恢?，將其位于移動目標位置，從而通過按下存儲按鈕44B(參照圖6)，將此時的位置坐標數(shù)據(jù)存儲于控制裝置40。在這種情況下，在按下存儲按鈕44B之前，對裝載于裝載臺38A上的例如透明的位置重合用基板W進行確認，使得拾取器A1在適當?shù)奈恢谩?br> 在該第三實施方式的情況下，由于也是僅在拾取器等有與其它部件發(fā)生干涉的可能性的干涉注意位置，臨時停止拾取器，并且在每一次臨時停止時，如果需要，就通過手動操作調(diào)整移動拾取器，從而到在下一個干涉注意位置之前，又自動地移動拾取器，所以，縮短拾取器沿整個搬運路徑移動的時間，并且里縮短公然地，短時間且迅速地進行該部分的教學(xué)操作。
另外，有關(guān)各拾取器A1、A2，當然也分別對各載荷鎖定室8A、8B分別進行上述教學(xué)操作。
在上述各實施方式中，雖然對第一搬運機構(gòu)22的教學(xué)方法進行的說明，但是，即使與共通搬運室6內(nèi)的第二搬運機構(gòu)14的兩個拾取器B1、B2有關(guān)，也對各處理室4A～4D及各載荷鎖定室8A、8B，以與上述方法相同的方法來進行。
此外，實際上在進行了上述教學(xué)方法之后，將設(shè)置于確定的各移動目標位置上的位置重合用基板W完全自動地搬運至導(dǎo)向器26，并基于此時的位置重合用基板W的位置微小偏差量，還對上述移動目標位置的坐標數(shù)據(jù)進行補正。
另外，這里所說明的處理系統(tǒng)2的結(jié)構(gòu)機或各搬運機構(gòu)14、22的構(gòu)成只不過僅在此表示有一例，而對于在大氣氛圍以及真空氛圍中所設(shè)置的全部搬運機構(gòu)，本發(fā)明的教學(xué)方法當然也可以適用。
此外，這里作為被處理體是以半導(dǎo)體晶片為例進行說明，但并不限于此，在玻璃基板、LCD基板等情況下，當然都可以使用本發(fā)明的方法。
如以上的說明所述，根據(jù)本發(fā)明的教學(xué)方法及處理系統(tǒng)，可以發(fā)揮如下的優(yōu)異作用效果。
根據(jù)本發(fā)明，由于僅在搬運機構(gòu)有與其它部件發(fā)生干涉可能的位置，臨時停止搬運機構(gòu)，進而如果需要，就近行位置調(diào)整，并且在搬運機構(gòu)與其它部件不會發(fā)生干涉的位置，使搬運機構(gòu)自動且積極地移動，所以，可以作為整體地，大幅地削減在教學(xué)操作所需要的時間。
此外，根據(jù)本發(fā)明，由于在顯示部顯示用于喚起注意干涉的信息，所以，操作者通過讀取該信息，可以跟可靠地防止與搬運機構(gòu)有關(guān)的同其他部件的干涉。
權(quán)利要求
1.一種教學(xué)方法，將具有搬運機構(gòu)的處理系統(tǒng)中所述搬運機構(gòu)的移動目標位置存儲于控制裝置，所述搬運機構(gòu)通過拾取器保持并搬運被處理體，其特征在于，其具備在移動至臨時目標位置的移動路徑的途中，在所述搬運機構(gòu)與其它部件有干涉危險的干涉注意位置，為了確認與其它部件不發(fā)生干涉，將所述搬運機構(gòu)臨時停止的臨時停止工序；通過移動指令的輸入，將臨時停止的所述搬運機構(gòu)再次開始移動的移動再開工序；重復(fù)進行所述臨時停止工序和移動再開工序的重復(fù)工序；在所述拾取器到達所述臨時移動目標位置時，調(diào)整移動所述拾取器的位置，或者不進行調(diào)整移動，并將該位置作為移動目標位置存儲于所述存儲裝置的存儲工序。
2.如權(quán)利要求1所述的教學(xué)方法，其特征在于，在所述臨時停止的搬運機構(gòu)有與其它的部件發(fā)生干涉的危險時，將所述搬運機構(gòu)調(diào)整移動到?jīng)]有與其它部件發(fā)生干涉危險的位置。
3.如權(quán)利要求1或2所述的教學(xué)方法，其特征在于，所述干涉注意位置是基于所述處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸，所述控制裝置預(yù)先計算求得的。
4.如權(quán)利要求1～3的任意一項所述的教學(xué)方法，其特征在于，在每次所述搬運機構(gòu)的臨時停止時，所述控制裝置在顯示部顯示用于對操作員提醒注意干涉的信息。
5.如權(quán)利要求1～4的任意一項所述的教學(xué)方法，其特征在于，所述搬運機構(gòu)具有能夠彎曲及旋轉(zhuǎn)的多關(guān)節(jié)臂。
6.如權(quán)利要求1～5的任意一項所述的教學(xué)方法，其特征在于，所述目標位置是將所述被處理體裝入處理系統(tǒng)內(nèi)的導(dǎo)入板內(nèi)的預(yù)定位置。
7.一種處理系統(tǒng)，其特征在于，處理該系統(tǒng)具有對被處理體實施預(yù)定處理的處理室；用于導(dǎo)入被處理體的導(dǎo)入板；進行被處理體定位的導(dǎo)向器；具有保持被處理體的拾取器，并且搬運被處理體的搬運機構(gòu)；控制所述搬運機構(gòu)的動作的控制裝置，所述控制裝置被構(gòu)成為可以實施如下工序，在移動至臨時目標位置的移動路徑途中，在所述搬運機構(gòu)與其它部件有干涉危險的干涉注意位置，為了確認與其它部件不發(fā)生干涉，將所述搬運機構(gòu)臨時停止的臨時停止工序；通過移動指令的輸入，使臨時停止的所述搬運機構(gòu)再次開始移動的移動再開工序；重復(fù)進行所述臨時停止工序和移動再開工序的重復(fù)工序；在所述拾取器到達所述臨時移動目標位置時，調(diào)整所述拾取器的位置，或者不進行調(diào)整移動，而將該位置作為移動目標位置存儲于所述存儲裝置的存儲工序。
8.如權(quán)利要求7所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述控制裝置基于所述處理系統(tǒng)的設(shè)計尺寸，預(yù)先計算求得所述干涉注意位置。
9.如權(quán)利要求7或8所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述控制裝置與所述顯示部連接，并且所述控制裝置在每次所述搬運機構(gòu)的臨時停止時，在顯示部顯示用于對操作員提醒注意干涉的信息。
全文摘要
本發(fā)明提供一種大幅削減并縮短教學(xué)操作時間的教學(xué)方法，該方法將具有搬運機構(gòu)的處理系統(tǒng)中所述搬運機構(gòu)的移動目標位置存儲于控制裝置，所述搬運機構(gòu)以拾取器保持并搬運被處理體，其工序如下在移動至臨時目標位置的移動路徑的途中，在所述搬運機構(gòu)與其它部件有干涉危險的干涉注意位置，為了確認與其它部件不發(fā)生干涉，將所述搬運機構(gòu)臨時停止的臨時停止工序；通過移動指令的輸入，將臨時停止的所述搬運機構(gòu)再次開始移動的移動再開工序；重復(fù)進行所述臨時停止工序和移動再開工序的重復(fù)工序；在所述拾取器到達所述臨時移動目標位置時，調(diào)整移動所述拾取器的位置，或者不進行調(diào)整移動，并將該位置作為移動目標位置存儲于所述存儲裝置的存儲工序。
文檔編號H01L21/677GK1671519SQ0381794
公開日2005年9月21日 申請日期2003年9月12日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月13日
發(fā)明者熊谷元宏, 石澤繁, 佐伯弘明 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社