專利名稱：：電子部件對(duì)準(zhǔn)方法及其所使用的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其用于通過使用形成在這些電子部件中的標(biāo)記工具將兩個(gè)電子部件彼此對(duì)準(zhǔn)；以及其所使用的裝置。
背景技術(shù)：
：如圖14和15所示，用于將芯片部件與板狀或片狀板對(duì)準(zhǔn)，然后將其組裝在一起的已知結(jié)合裝置，由以下部件構(gòu)成頭移動(dòng)裝置5，其用于驅(qū)動(dòng)壓力頭4，壓力頭4被設(shè)置成可沿導(dǎo)軌3垂直移動(dòng)，導(dǎo)軌3被設(shè)置在支撐部件2一側(cè)表面上，而支撐部件2被以豎直的方式設(shè)置在臺(tái)座1上；固定于頭移動(dòng)裝置5的加壓裝置6，其用于將預(yù)定的負(fù)載施加在壓力頭4上；臺(tái)架7，其設(shè)置于臺(tái)座1上，以便與壓力頭4面對(duì)；以及標(biāo)記識(shí)別裝置8，其以可插入的方式設(shè)置于壓力頭4與臺(tái)架7之間。臺(tái)架7可通過X-軸驅(qū)動(dòng)源12、Y軸驅(qū)動(dòng)源13和θ-旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(未示出)分別沿X和Y方向移動(dòng)，以及沿θ方向旋轉(zhuǎn)，而頭移動(dòng)裝置5可通過Z-軸驅(qū)動(dòng)源14沿Z方向移動(dòng)。并且，如圖16中所示，標(biāo)記識(shí)別裝置8具有這樣一種結(jié)構(gòu)，其中照相機(jī)單元8a具有兩個(gè)水平并排設(shè)置在其中的照相機(jī)8b和8c，這兩個(gè)照相機(jī)處于它們的拾取透鏡的光軸彼此一致的狀態(tài)；和兩個(gè)表面彼此平行且反射性的雙面反射鏡8d，其以45度角設(shè)置并且設(shè)置在照相機(jī)8b與8c之間(參見例如日本文獻(xiàn)1(日本未審專利申請(qǐng)公開No.2000-94232(第4頁(yè)，圖2)))。當(dāng)通過具有上述結(jié)構(gòu)的已知結(jié)合裝置將芯片部件10與板狀或片狀板9對(duì)準(zhǔn)并組裝時(shí)，在頭移動(dòng)裝置5和壓力頭4處于最上部位置的狀態(tài)下，首先將板9放置在臺(tái)架7的放置部分11上，并將芯片部件10裝到壓力頭4的下表面上上。然后，標(biāo)記識(shí)別裝置8沿圖15中所示的箭頭A-方向移動(dòng)，并被插在板9與芯片部件10之間。通過這種結(jié)構(gòu)，標(biāo)記識(shí)別裝置8準(zhǔn)備同時(shí)識(shí)別下面的板9和上面芯片部件10的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。此后，在上述狀態(tài)下通過驅(qū)動(dòng)Z-軸驅(qū)動(dòng)源14使頭移動(dòng)裝置5下降，并且停止在芯片部件10的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記可被標(biāo)記識(shí)別裝置8清楚識(shí)別的位置。當(dāng)標(biāo)記識(shí)別裝置8識(shí)別出板9和芯片部件10的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)，圖14和15中所示的控制裝置15通過驅(qū)動(dòng)X-軸驅(qū)動(dòng)源12、Y-軸驅(qū)動(dòng)源13和θ-旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(未示出)而移動(dòng)臺(tái)架7，以便使板9和芯片部件10的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記彼此一致。當(dāng)如上所述使板9和芯片部件10的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記彼此一致時(shí)，板9與芯片部件10就實(shí)現(xiàn)了彼此對(duì)準(zhǔn)，標(biāo)記識(shí)別裝置8沿圖15中所示的箭頭B方向縮回，啟動(dòng)加壓裝置6，伸長(zhǎng)加壓桿6a，以便將壓力頭4向下壓，并且芯片部件10緊密地附著在板9上，與板9組裝并結(jié)合在一起。不過，在這種已知結(jié)合裝置中，由于板9與芯片部件10彼此的對(duì)準(zhǔn)是通過插入其間的標(biāo)記識(shí)別裝置8來執(zhí)行的，標(biāo)記識(shí)別裝置8要求板9與芯片部件10之間具有足夠大的距離，以便插入其間。結(jié)果，如圖17A和17B所示，即使如圖17A中所示板9的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記9a與芯片部件10的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記10a彼此精確對(duì)準(zhǔn)，在對(duì)準(zhǔn)之后，芯片部件10必須沿箭頭C方向下降較長(zhǎng)距離，直至與板9緊密接觸為止，如圖17B中所示。由于用于降低芯片部件10的機(jī)構(gòu)的不令人滿意的精度，這引起移動(dòng)誤差，并且，如圖17B中所示，有些時(shí)候會(huì)引起板9與芯片部件10的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記9a與10a的彼此失準(zhǔn)δ。從而，有時(shí)板9與芯片部件10沒有精確地彼此對(duì)準(zhǔn)。而且，如圖16中所示，由于兩個(gè)照相機(jī)8b和8c光軸的傾斜度差異等等和雙面反射鏡8d的非均勻的厚度，在兩個(gè)圖像之間存在識(shí)別誤差Δ等。因此，有些時(shí)候板9與芯片部件10沒有精確地彼此對(duì)準(zhǔn)。為了通過校正所有這些誤差而實(shí)現(xiàn)例如1μm或以下的精確對(duì)準(zhǔn)，需要精確的校正機(jī)構(gòu)和復(fù)雜的機(jī)械控制，從而存在裝置較為昂貴的風(fēng)險(xiǎn)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種電子部件對(duì)準(zhǔn)方法及其所使用的裝置，借助于該方法和該裝置，可以解決上述問題，并且可以使兩個(gè)電子部件彼此精確對(duì)準(zhǔn)，使得一標(biāo)記識(shí)別裝置在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲兩個(gè)部件的互相對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記工具(markingmeans)，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法包括以下步驟用容納工作臺(tái)(receivingtable)保持第一電子部件，該第一電子部件在其預(yù)定位置處鉆有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔，以便使其彼此隔開預(yù)定的間隔；用位置調(diào)節(jié)裝置保持第二電子部件，該第二電子部件具有在其上預(yù)定位置處形成的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，這兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間的間隔與兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔相一致；在第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記被插入第一電子部件的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔中這樣一種狀態(tài)下，在標(biāo)記識(shí)別裝置的同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置；以及用位置調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)第二電子部件的位置，使得第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記處于第一電子部件相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔內(nèi)預(yù)定位置處，從而通過執(zhí)行上述步驟使兩個(gè)部件彼此對(duì)準(zhǔn)。通過這種結(jié)構(gòu)，具有在預(yù)定位置處鉆有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔以便相互隔開預(yù)定間隔的第一電子部件，被容納工作臺(tái)保持；并且具有在預(yù)定位置處形成兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記使其間的間隔與兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致的第二電子部件，被位置調(diào)制裝置保持。因此，在第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記被插入第一電子部件的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔中這種狀態(tài)下，標(biāo)記識(shí)別裝置在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和對(duì)準(zhǔn)孔，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置，并且位置調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)第二電子部件的位置，使得第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記處于第一電子部件對(duì)準(zhǔn)孔內(nèi)的預(yù)定位置處。由于采用了這種結(jié)構(gòu)，標(biāo)記識(shí)別裝置并未處于兩個(gè)將要彼此對(duì)準(zhǔn)的電子部件之間，調(diào)節(jié)第二電子裝置的位置所循的它的移動(dòng)距離較小，并且由于標(biāo)記識(shí)別裝置在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲兩個(gè)電子部件的圖像并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置，所以沒有圖像識(shí)別誤差等發(fā)生，從而兩個(gè)部件彼此精確對(duì)準(zhǔn)。而且，這樣地保持第一和第二電子部件，使得第一和第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)孔和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記分別處于標(biāo)記識(shí)別裝置的透鏡的聚束深度(focusdepth)內(nèi)，從而標(biāo)記識(shí)別裝置聚焦在第一電子部件的對(duì)準(zhǔn)孔和第二電子部件的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上，以便同時(shí)測(cè)出它們。此外，位置調(diào)節(jié)裝置使第二電子部件能在水平平面上分別沿X和Y方向移動(dòng)以及沿θ方向旋轉(zhuǎn)，并且整個(gè)位置調(diào)節(jié)裝置可在垂直平面上沿Z方向移動(dòng)，從而使第一與第二電子部件彼此對(duì)準(zhǔn)，并且也彼此結(jié)合。另外，標(biāo)記識(shí)別裝置裝有兩個(gè)照相機(jī)，這兩個(gè)照相機(jī)之間的間隔與第一電子部件兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔相一致，從而兩個(gè)電子部件相對(duì)兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔的位置可以立即被測(cè)量出來，并因此快速地相互對(duì)準(zhǔn)。并且，標(biāo)記識(shí)別裝置裝有一可橫向沿著與第一電子部件兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔相同的距離移動(dòng)的照相機(jī)，從而獲得簡(jiǎn)單、緊湊的標(biāo)記識(shí)別裝置。另外，標(biāo)記識(shí)別裝置裝有兩個(gè)相同的透鏡和一個(gè)照相機(jī)，這兩個(gè)透鏡被設(shè)置成其間的間隔與第一電子部件兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致；該照相機(jī)被設(shè)置在兩透鏡光路上共同位置處，從而無需用于橫向移動(dòng)照相機(jī)的裝置，使得標(biāo)記識(shí)別裝置更加簡(jiǎn)單和更加緊湊。另外，根據(jù)本發(fā)明的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置裝有一容納工作臺(tái)，其保持在預(yù)定位置處鉆有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔使其彼此隔開預(yù)定間隔的第一電子部件；一用于支撐第二電子部件的位置調(diào)節(jié)裝置，該第二電子部件設(shè)置成面對(duì)容納工作臺(tái)，并且具有在其上的預(yù)定位置處形成的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，使其間的間隔與兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致；一標(biāo)記識(shí)別裝置，其設(shè)置在容納工作臺(tái)后面，并且在第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記插入第一電子部件的對(duì)準(zhǔn)孔中這樣一種狀態(tài)下，在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置，從而通過使用其位置通過標(biāo)記識(shí)別裝置測(cè)得的圖像，用位置調(diào)節(jié)裝置，通過調(diào)節(jié)第二電子部件的位置，使第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記處于第一電子部件兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔內(nèi)的預(yù)定位置處，而使兩個(gè)部件彼此對(duì)準(zhǔn)。由于采用了這種結(jié)構(gòu)，標(biāo)記識(shí)別裝置并未處于兩個(gè)將要彼此對(duì)準(zhǔn)的電子部件之間，調(diào)節(jié)第二電子部件的位置所循的它的移動(dòng)距離較小，并且由于在標(biāo)記識(shí)別裝置的同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲兩個(gè)電子部件的圖像，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置，所以不產(chǎn)生圖像識(shí)別誤差等誤差，從而兩個(gè)部件彼此精確對(duì)準(zhǔn)。而且，這樣地保持第一和第二電子部件，使得第一和第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)孔和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記分別處于標(biāo)記識(shí)別裝置的透鏡的聚束深度內(nèi)，從而標(biāo)記識(shí)別裝置同時(shí)聚焦在第一電子部件的對(duì)準(zhǔn)孔和第二電子部件的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上，以便同時(shí)測(cè)出它們的圖像。此外，位置調(diào)節(jié)裝置使第二電子部件可以在水平平面上分別沿X和Y方向移動(dòng)以及沿θ方向旋轉(zhuǎn)，并且整個(gè)位置調(diào)節(jié)裝置可以在垂直平面上沿Z方向移動(dòng)，從而使第一與第二電子部件彼此對(duì)準(zhǔn)，且還彼此結(jié)合。另外，標(biāo)記識(shí)別裝置裝有兩個(gè)照相機(jī)，這兩個(gè)照相機(jī)間具有的間隔與第一電子部件兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致，從而兩個(gè)電子部件相對(duì)兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔的位置可以立即被測(cè)量出來，并因此快速地相互對(duì)準(zhǔn)。另外，標(biāo)記識(shí)別裝置裝有可以沿著與第一電子部件兩對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔相等的距離橫向移動(dòng)的照相機(jī)，從而獲得簡(jiǎn)單和緊湊的標(biāo)記識(shí)別裝置。另外，標(biāo)記識(shí)別裝置裝有兩個(gè)相同的透鏡和一個(gè)照相機(jī)，這兩個(gè)透鏡被設(shè)置成其間的間隔與第一電子部件兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔相一致；該照相機(jī)被設(shè)置在兩透鏡光路上共同位置處，從而無需用于橫向移動(dòng)照相機(jī)的裝置，使得標(biāo)記識(shí)別裝置更加簡(jiǎn)單和更加緊湊。另外，為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，根據(jù)本發(fā)明的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法包括以下步驟設(shè)置第一電子部件和第二電子部件使其彼此相對(duì)，第一部件在其預(yù)定位置處形成一對(duì)對(duì)準(zhǔn)孔，使得彼此隔開預(yù)定的間隔，第二部件具有圓形或多邊形對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記都是由多個(gè)具有不同的尺寸且同心設(shè)置、形成得其間的間隔與對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)形成；通過在相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔中獲取每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的一個(gè)小對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的完整圖像，粗調(diào)第一和第二電子部件，以便通過使用小的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)在相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔中捕獲對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的大的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的總的圖像；通過使用大的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)或者大的和小的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)，測(cè)量用于使對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔的中心對(duì)準(zhǔn)的位置校正量；以及通過將第二電子部件相對(duì)移動(dòng)該位置校正量，微調(diào)第一和第二電子部件，使其彼此對(duì)準(zhǔn)。由于采用了這種方法，因?yàn)槎鄠€(gè)對(duì)準(zhǔn)記號(hào)同心設(shè)置以便構(gòu)成與第一電子部件面對(duì)設(shè)置的第二電子部件的每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，所以在第一電子部件的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔中捕獲小對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的完整圖像，并通過使用小對(duì)準(zhǔn)記號(hào)使第一和第二電子部件粗略地彼此對(duì)準(zhǔn)。然后，當(dāng)在相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔中捕獲對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的大對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的完整圖像時(shí)，通過使用大對(duì)準(zhǔn)記號(hào)或大和小對(duì)準(zhǔn)記號(hào)測(cè)量使對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔的中心對(duì)準(zhǔn)的位置校正量，并且通過將第二電子部件相對(duì)移動(dòng)位置校正量大小，微調(diào)第一與第二電子部件，使其彼此對(duì)準(zhǔn)。因此，允許寬大的初步對(duì)準(zhǔn)精度，并且第一與第二電子部件彼此精確對(duì)準(zhǔn)。另外，由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記為同心形成的圓形，標(biāo)記識(shí)別裝置拾取出的數(shù)字圖像的邊緣噪聲均勻，與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的取向無關(guān)，從而提高圖像識(shí)別精度。另外，當(dāng)?shù)谝浑娮硬考閳D像形成裝置的打印頭的噴嘴構(gòu)件，第二電子部件為打印頭的芯片時(shí)，通過將形成在芯片上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與形成在噴嘴部件中的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔對(duì)準(zhǔn)，可以使打印頭精確對(duì)準(zhǔn)。另外，當(dāng)通過在基片上形成電路來制造芯片時(shí)，在形成電路的芯片區(qū)域外部形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。因此，通過使用半導(dǎo)體加工可精確地形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。圖1是說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例用于使電子部件對(duì)準(zhǔn)的方法的示意圖。圖2A和2B是說明形成第一電子部件的對(duì)準(zhǔn)孔和第二電子部件對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的狀態(tài)的平面圖。圖3是表示出這樣一種狀態(tài)的剖面圖，在該狀態(tài)下，在第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記被插入第一電子部件的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔中情況下，標(biāo)記識(shí)別裝置在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲對(duì)準(zhǔn)孔和相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置。圖4說明標(biāo)記識(shí)別裝置的照相機(jī)在其同一視場(chǎng)內(nèi)所捕獲的標(biāo)記工具的位置測(cè)量圖像。圖5A和5B說明一些狀態(tài)，在這些狀態(tài)下，通過使用由標(biāo)記識(shí)別裝置的照相機(jī)所捕獲的位置測(cè)量圖像來調(diào)節(jié)第二電子部件的位置。圖6為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置的側(cè)視圖。圖7是說明位置調(diào)節(jié)裝置的具體結(jié)構(gòu)的透視圖。圖8為用于容納第一電子部件、標(biāo)記識(shí)別裝置等的的容納工作臺(tái)的主要部件的放大圖。圖9為根據(jù)另一實(shí)施例的標(biāo)記識(shí)別裝置的主要部件的放大剖面圖。圖10是說明根據(jù)另一實(shí)施例第二電子部件每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的形狀的平面圖。圖11為芯片的示意剖面圖，說明每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的形成位置。圖12是說明將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔對(duì)準(zhǔn)的過程的流程圖。圖13A到13C說明在圖11中所示過程中由標(biāo)記識(shí)別裝置識(shí)別出的各對(duì)準(zhǔn)孔與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的圖像。圖14為已知結(jié)合裝置的側(cè)視圖。圖15為圖14的正視圖。圖16說明已知結(jié)合裝置的標(biāo)記識(shí)別裝置。圖17A和17B說明已知結(jié)合裝置中板與芯片部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間不對(duì)準(zhǔn)的例子。具體實(shí)施例方式下面將參照本發(fā)明的實(shí)施例。圖1是說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例用于使電子部件對(duì)準(zhǔn)的方法的示意圖。通過這種電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，兩個(gè)電子部件可以彼此精確對(duì)準(zhǔn)，使得標(biāo)記識(shí)別裝置在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲兩個(gè)部件的相互對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記工具(aligmentmarking-means)，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置。如圖1中所示，通過使用一個(gè)電子部件的容納工作臺(tái)21，另一電子部件的位置調(diào)節(jié)裝置22以及標(biāo)記識(shí)別裝置23的設(shè)備執(zhí)行該方法。同時(shí)，附圖標(biāo)記24表示用于將兩個(gè)電子部件彼此結(jié)合的結(jié)合設(shè)備。在圖1中，在第一步驟中，用容納工作臺(tái)21保持第一電子部件25，并且用位置調(diào)節(jié)裝置22保持第二電子部件26。第一電子部件25例如是諸如印刷電路板或玻璃板的板，或者是用于諸如噴墨打印機(jī)的圖像形成裝置的打印頭的噴嘴構(gòu)件，并且如圖2A中所示，由在其預(yù)定位置處鉆有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b、以便彼此隔開預(yù)定間隔p的片狀元件構(gòu)成。并且，第二電子部件26例如是從半導(dǎo)體晶片切下的單獨(dú)的裸芯片(individualbarechip)，用于諸如噴墨打印機(jī)等圖像形成裝置的打印頭的IC(下面簡(jiǎn)稱為芯片)，并且如圖2B中所示，該芯片在其預(yù)定位置處形成有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b、以便使其間的間隔q與兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a與27b之間的間隔p一致。在圖2A中，各對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b由直徑為大約50至60μm的圓形孔形成。附圖標(biāo)記29表示一些噴嘴，在用作第一電子部件25的噴嘴構(gòu)件中鉆出，每一個(gè)直徑為大約17μm，并且形成這些噴嘴29使得它們之間具有例如大約42μm的間距。而且，在圖2B中，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b中的每一個(gè)由直徑大約20μm的圓形標(biāo)記構(gòu)成。此外，附圖標(biāo)記30表示一些加熱器，每一個(gè)為邊長(zhǎng)20μm的正方形，形成在例如作為第二電子部件26的打印頭芯片中，并且形成這些加熱器30使得它們之間的間距為大約42μm，與那些噴嘴29的間距相同。由上述芯片部件形成的第一電子部件25被粘接到例如一框架上，并且利用通過形成于容納工作臺(tái)21中的抽氣孔(未示出)抽取空氣而被保持。在此情形中，如圖3中所示，容納工作臺(tái)21的用于在其上放置第一電子部件25并將第一電子部件25保持于其上的的一些部分具有形成于其上的兩個(gè)可透過觀看的孔31a和31b，以便與第一電子部件25的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b相對(duì)應(yīng)?？赏高^觀看的孔31a和31b為直徑例如大約400μm的圓形孔，以便可以通過對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b清楚地觀察。而且，容納工作臺(tái)21具有加熱裝置(未示出)，如設(shè)置在其中的加熱器，以便對(duì)與容納工作臺(tái)21接觸的第一電子部件25的一部分進(jìn)行加熱。用位置調(diào)節(jié)裝置22保持第二電子部件26，該位置調(diào)節(jié)裝置具有設(shè)置于這兩者之間結(jié)合工具24。在此情形中，如圖3中所示，第二電子部件26是通過在結(jié)合工具24中形成的抽氣孔(未示出)進(jìn)行抽氣而被保持。因此，結(jié)合工具24與位置調(diào)節(jié)裝置22一起沿Z方向上下運(yùn)動(dòng)，以便在結(jié)合工具24的下表面下面形成一芯片傳遞間隙r。結(jié)合工具24具有加熱裝置(未示出)，如設(shè)置在其中的加熱器，以便對(duì)與結(jié)合工具24相接觸的第二電子部件26進(jìn)行加熱。此外，用結(jié)合工具24保持的第二電子部件26具有形成在其下表面的下面的干膜抗蝕劑32，干膜抗蝕劑32用做粘接劑。因此，干膜抗蝕劑32與第二電子部件26的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b相對(duì)應(yīng)的部分中，具有兩個(gè)形成在其中的可透過觀看的孔33a和33b。如圖1中所示，設(shè)計(jì)用于保持第二電子部件26、具有設(shè)置于其間的結(jié)合工具24的位置調(diào)節(jié)裝置22，以便在水平平面上分別沿X和Y方向移動(dòng)以及沿θ方向旋轉(zhuǎn)第二電子部件26，此外，做為一個(gè)整體可在垂直平面上沿Z方向移動(dòng)，以便使第一電子部件25與第二電子部件26彼此結(jié)合。在此情形中，如圖3中所示，在容納工作臺(tái)21的上表面與第二電子部件26的下表面之間設(shè)置用于將兩個(gè)電子部件對(duì)準(zhǔn)的對(duì)準(zhǔn)間隙s(例如大約70至130μm厚)。在這種狀態(tài)下和在后續(xù)步驟中，在第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b被插入第一電子部件25的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中的狀態(tài)下，標(biāo)記識(shí)別裝置23在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置。如圖3中所示，標(biāo)記識(shí)別裝置23具有兩個(gè)照相機(jī)23a和23b，這兩個(gè)照相機(jī)23a與23b之間的間隔與第一電子部件25的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b之間的間隔相同。換句話說，照相機(jī)23a和23b被分別設(shè)置以便于與在容納工作臺(tái)21中形成的兩可透過觀看的孔31a和31b的位置相應(yīng)。這些照相機(jī)23a和23b中的每一個(gè)由用于同軸入射光照射且具有預(yù)定放大率(例如大約9)的透鏡和具有預(yù)定像素密度(例如每四分之一英寸大約400,000個(gè)像素)的攝像機(jī)或CCD照相機(jī)構(gòu)成。照相機(jī)23a和23b的透鏡具有預(yù)定焦深，且第一和第二電子部件25和26被保持，使得對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b處于上述焦深之內(nèi)。通過這種設(shè)置，在通過調(diào)節(jié)如箭頭D和E所示高度而將照相機(jī)23a和23b放置得更靠近第一電子部件25的狀態(tài)下，可以同時(shí)獲得第一電子部件25的對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的圖像。如圖4中所示，在此狀態(tài)下，例如在左照相機(jī)23a的視場(chǎng)內(nèi)獲得第二電子部件26的一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a插入第一電子部件25的一個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a中這樣一種狀態(tài)下的圖像，以便用做由左照相機(jī)23a拾取的圖像，并在右照相機(jī)23b的視場(chǎng)內(nèi)獲得第二電子部件26的另一對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28b插入第一電子部件25的另一對(duì)準(zhǔn)孔27b中這樣一種狀態(tài)下的圖像，以便用做由右照相機(jī)23b拾取的圖像。當(dāng)獲得這種拾取圖像時(shí)，由圖像處理裝置(未示出)等對(duì)這些圖像進(jìn)行圖像處理，在兩個(gè)圖像34a和34b中分別識(shí)別對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的中心位置，并計(jì)算出一個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a之間的中心距離Ra，和另一對(duì)準(zhǔn)孔27b與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28b之間的中心距離Rb。圖4示出對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b的中心位置沒有與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的相應(yīng)中心位置對(duì)準(zhǔn)時(shí)的位置測(cè)量狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，在隨后的步驟中，如圖4中所示，位置調(diào)節(jié)裝置22調(diào)節(jié)第二電子部件26的位置，使第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b處于第一電子部件兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中的預(yù)定位置處。換句話說，激勵(lì)圖6和7中所示的位置調(diào)節(jié)裝置22，以便如果必須的話根據(jù)中心距離Ra和Rb，通過將由位置調(diào)節(jié)裝置22保持的第二電子部件26分別沿X和Y方向移動(dòng)以及沿θ方向旋轉(zhuǎn)，并且理想地是通過使一個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a的中心彼此一致，并使另一對(duì)準(zhǔn)孔27b與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28b的中心也彼此一致，使兩個(gè)部件彼此對(duì)準(zhǔn)，其中結(jié)合工具24設(shè)置在位置調(diào)節(jié)裝置22與第二電子部件26之間。雖然在圖2A和2B中第一電子部件25的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b之間的預(yù)定間隔p與第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a與28b之間的預(yù)定間隔q被制作得彼此相等，不過由于加工誤差、溫度條件等原因，實(shí)際上在這些部件中會(huì)產(chǎn)生尺寸誤差，從而互相相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的中心有時(shí)候沒有彼此一致。在這種情形中，如圖4中所示，可以調(diào)節(jié)第二電子部件26的位置，使得兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b被設(shè)置在連接兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a與27b之間的中心的中心線35上，以便彼此對(duì)稱。例如，圖5A說明由于上述尺寸誤差，存在關(guān)系p＞q的情形。在此情形中，通過沿Y方向移動(dòng)，沿θ方向旋轉(zhuǎn)并且還沿X方向移動(dòng)第二電子部件26，使得分別在由左照相機(jī)23a所拾取的圖像34a中對(duì)準(zhǔn)孔27a與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a中心之間和在由右照相機(jī)23b所拾取的圖像34b中對(duì)準(zhǔn)孔27b與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28b中心之間處于中心線35上的不對(duì)準(zhǔn)量c和d彼此相等，并因此通過調(diào)節(jié)第二電子部件26的位置，使得兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b被放置得彼此對(duì)稱，可以對(duì)這兩個(gè)部件彼此加以調(diào)節(jié)。同時(shí)，圖5B說明由于上述尺寸誤差而存在關(guān)系p＜q的狀態(tài)。在此情形中，通過沿Y方向移動(dòng)，沿θ方向旋轉(zhuǎn)并且還沿X方向移動(dòng)第二電子部件26，使得分別在左照相機(jī)23a所拾取的圖像34a中對(duì)準(zhǔn)孔27a與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a中心之間和在右照相機(jī)23b所拾取的圖像34b中對(duì)準(zhǔn)孔27b與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28b中心之間處于中心線35上的不對(duì)準(zhǔn)量e和f彼此相等，并因此通過調(diào)節(jié)第二電子部件26的位置，使得兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b被放置得彼此對(duì)稱，可以使兩個(gè)部件彼此對(duì)準(zhǔn)。如上所述，可以使兩個(gè)電子部件25和26彼此對(duì)準(zhǔn)，使得在第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b被插入第一電子部件25的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中時(shí)，標(biāo)記識(shí)別裝置23在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置，并且使得位置調(diào)節(jié)裝置22調(diào)節(jié)第二電子部件26的位置，以便將第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b放置在第一電子部件25的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中預(yù)定位置處。由于采用了這種結(jié)構(gòu)，標(biāo)記識(shí)別裝置23并未處于彼此待對(duì)準(zhǔn)的兩個(gè)電子部件25和26之間，調(diào)節(jié)其位置所循的第二電子部件26的移動(dòng)距離較小，并且由于標(biāo)記識(shí)別裝置23在其同一視場(chǎng)內(nèi)獲取兩個(gè)電子部件25和26的圖像，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置，因此不會(huì)發(fā)生圖像識(shí)別誤差等問題，從而兩個(gè)部件可以在例如1μm精度內(nèi)彼此精確對(duì)準(zhǔn)。同時(shí)，本發(fā)明不限于這樣一種結(jié)構(gòu)，即如圖5A和5B中所示，在其中，調(diào)節(jié)第二電子部件的位置，使得兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b被設(shè)置成在連接兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a與27b的中心線35上彼此對(duì)稱，也可以采用另一種結(jié)構(gòu)，在其中，通過調(diào)節(jié)第二部件使其設(shè)置在另一預(yù)定位置處而使兩個(gè)部件對(duì)準(zhǔn)。下面，將參照?qǐng)D6至8描述涉及上述電子部件對(duì)準(zhǔn)方法的本發(fā)明的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置。通過這種電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置，兩個(gè)電子部件可以彼此精確對(duì)準(zhǔn)，使得標(biāo)記識(shí)別裝置在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲兩個(gè)部件的相互對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記工具，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置。如圖6中所示，對(duì)準(zhǔn)裝置由容納工作臺(tái)21，位置調(diào)節(jié)裝置22，標(biāo)記識(shí)別裝置23和臺(tái)架40構(gòu)成。附圖標(biāo)記25和26分別表示第一和第二電子部件。臺(tái)架40用作固定和支撐本發(fā)明電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置的主要部分的底座，從而由水平臺(tái)架部分40a和垂直支撐部分40b構(gòu)成。垂直支撐部分40b具有在其一個(gè)側(cè)面上形成且沿垂直方向延伸的引導(dǎo)部件41，并且引導(dǎo)部件41具有設(shè)置于其上的兩個(gè)移動(dòng)塊42a和42b，以便可垂直移動(dòng)。上移動(dòng)塊42a具有固定于其上的懸臂43，并且沿水平方向伸出。而且，下移動(dòng)塊42b具有固定于其上的夾緊壓合裝置(clamppress-bondingmechanism)44，用于將兩個(gè)電子部件彼此結(jié)合。如圖8中所示，水平臺(tái)架部分40a具有兩個(gè)以直立方式設(shè)置在標(biāo)記識(shí)別裝置23橫向兩側(cè)的縱向支撐柱45；在兩縱向支撐拄45的頂部伸展的一橫向支撐梁46；以及容納工作臺(tái)21，其支撐在橫向支撐梁46上表面上，絕緣材料47設(shè)置在容納工作臺(tái)21與支撐梁46之間。容納工作臺(tái)21用于保持第一電子部件25，具有與圖3中所示相同的結(jié)構(gòu)。因此，橫向支撐梁46和絕緣材料47中的每一個(gè)具有在與容納工作臺(tái)21中形成的兩個(gè)可透過觀看的孔31a和31b一致的位置處鉆的通孔48a和48b。用容納工作臺(tái)21保持的第一電子部件25是一種板，例如印刷電路板或玻璃板，或者用于圖像形成裝置如噴墨打印機(jī)的打印頭的噴嘴部件，如圖2A中所示，由在預(yù)定位置處鉆有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b使其隔開預(yù)定間隔p的片狀部件形成。如圖6中所示，懸臂43設(shè)置在垂直支撐部分40b的一側(cè)，以便可垂直移動(dòng)，并且具有設(shè)置在懸臂43與垂直支撐部分40b之間的移動(dòng)塊42a，該懸臂43具有支撐在懸臂43的下表面之下的位置調(diào)節(jié)裝置22。位置調(diào)節(jié)裝置22用于保持第二電子部件26，并被設(shè)置成與容納工作臺(tái)21相對(duì)。第二電子部件26為，例如，一個(gè)從半導(dǎo)體晶片上切下的單獨(dú)的裸芯片，或者一個(gè)用于圖像形成裝置如噴墨打印機(jī)的打印頭的IC，并且如圖2B中所示，該芯片具有形成在其預(yù)定位置處的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b，其間具有預(yù)定的間隔q，該間隔q與第一部件25的兩對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b之間的間隔p一致。位置調(diào)節(jié)裝置22被設(shè)計(jì)成在水平平面內(nèi)分別沿X和Y方向移動(dòng)以及沿θ方向旋轉(zhuǎn)第二電子部件26，并且如圖7中所示，具有以下結(jié)構(gòu)，其中第一板491，第二板492和第三板493每隔一個(gè)板地固定，從而它們之間插入有可沿X方向移動(dòng)的第一滑塊501，可沿Y方向移動(dòng)的第二滑塊502，以及可沿θ方向旋轉(zhuǎn)的第三滑塊503，從而使得該裝置整體可沿X和Y方向移動(dòng)，且可沿θ方向旋轉(zhuǎn)。并且，由于位置調(diào)節(jié)裝置22被支撐于懸臂43的下表面之下，以便可在垂直支撐部分40b的一個(gè)側(cè)面上垂直移動(dòng)，其中移動(dòng)塊42a設(shè)置在位置調(diào)節(jié)裝置22與垂直支撐部分40b之間，它們作為一個(gè)整體可在垂直平面上沿Z方向運(yùn)動(dòng)，從而將第一與第二電子部件25與26相互結(jié)合。在這種情況下，如圖6中所示，位置調(diào)節(jié)裝置22具有工具平行度調(diào)節(jié)裝置51和設(shè)置在其下表面之下的結(jié)合工具24，并且利用通過形成在結(jié)合工具24中的抽氣孔(未示出)的抽氣作用保持第二電子部件26。容納工作臺(tái)21具有設(shè)置在其后面的標(biāo)記識(shí)別裝置23。在第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b被插入第一電子部件25的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中這樣一種狀態(tài)下，該標(biāo)記識(shí)別裝置23在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔。如圖8中所示，兩個(gè)照相機(jī)23a和23b被設(shè)置在容納工作臺(tái)21下面，并且處于水平臺(tái)架部分40a上，以便其間的間隔與第一電子部件25的兩對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b之間的間隔一致。換句話說，照相機(jī)23a和23b分別被設(shè)置成與容納工作臺(tái)21中所形成的兩個(gè)通孔31a和31b的位置相對(duì)應(yīng)。這些照相機(jī)23a和23b中的每一個(gè)由一個(gè)用于同軸入射光照明且具有預(yù)定放大率(例如大約9)的透鏡和一個(gè)具有預(yù)定像素密度(例如大約400,000像素)的攝像機(jī)或CCD照相機(jī)構(gòu)成。照相機(jī)23a和23b的透鏡具有預(yù)定的焦深，第一和第二電子部件25和26被保持，使得對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b及相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b處于上述焦深之內(nèi)。由于采用了這種結(jié)構(gòu)，在如箭頭D和E所示通過調(diào)節(jié)其高度而將照相機(jī)23a和23b放置得更靠近第一電子部件25的狀態(tài)下，可以同時(shí)拾取第一電子部件25的對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b。同時(shí)，如圖8中所示，水平臺(tái)架40a具有設(shè)置于其上的位置調(diào)解臺(tái)，在位置調(diào)節(jié)臺(tái)上安裝兩個(gè)照相機(jī)23a和23，每一個(gè)位置調(diào)節(jié)臺(tái)由X-方向滑塊521，Y-方向滑塊522和Z-方向滑塊523構(gòu)成。因此，位置調(diào)節(jié)臺(tái)通過沿X、Y和Z方向移動(dòng)各照相機(jī)23a和23b而設(shè)置其初始位置，以便在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲第一電子部件25的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b。一旦設(shè)置好照相機(jī)23a和23b的初始位置，而后可將該位置固定。并且，如圖8中所示，兩個(gè)照相機(jī)23a和23b的前表面與橫向支撐梁46具有形成于其間的一個(gè)預(yù)定間隙，并且具有固定在該間隙中并且沿水平方向延伸的一個(gè)空氣導(dǎo)管53。空氣導(dǎo)管53用于吸取照相機(jī)23a和23b周圍的空氣，以防止照相機(jī)23a和23b周圍的熱量引起的空氣對(duì)流所引起的拾取圖像的波動(dòng)。輸氣管53的吸氣作用還同時(shí)冷卻照相機(jī)23a和23b。同時(shí)，在某些環(huán)境下在照相機(jī)23a和23b周圍，可以從輸氣管53吹入冷卻氣體。下面將描述具有上述結(jié)構(gòu)的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置的使用和操作方法。該電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置與參照?qǐng)D1至5B所描述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法的操作基本相同。首先，在圖1和6中，用容納工作臺(tái)21保持第一電子部件25，并且用位置調(diào)節(jié)裝置22保持第二電子部件26。在此狀態(tài)下，如圖3中所示，合乎需要的是，第一電子部件25的兩對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b的軸線與第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的軸線大體上在同一條直線上延伸，并且將第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b插入第一電子部件25的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中，從而是貫通的。然后，在第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b插入第一電子部件25的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中這樣一種狀態(tài)下，標(biāo)記識(shí)別裝置23在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以及相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔，并測(cè)量?jī)蓚€(gè)部件的位置。在此狀態(tài)下，照相機(jī)23a和23b的透鏡具有預(yù)定焦深，并且第一和第二電子部件25和26被保持，使得對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b與相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b處于上述焦深之內(nèi)。如圖4中所示，在此狀態(tài)下，例如，在左照相機(jī)23a的視場(chǎng)內(nèi)獲得在第二電子部件26的一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a插入第一電子部件25的一個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a中這樣一種狀態(tài)下的圖像，以便用做由左照相機(jī)23a拾取的圖像34a，并且在右照相機(jī)23b的視場(chǎng)內(nèi)獲得在第二電子部件26的另一對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28b插入第一電子部件25的另一對(duì)準(zhǔn)孔27b中這樣一種狀態(tài)下的圖像，以便用做由右照相機(jī)23b拾取的圖像34b。當(dāng)獲得這種拾取圖像時(shí)，通過圖像處理裝置(未示出)等對(duì)這些圖像進(jìn)行圖像處理，在兩個(gè)圖像34a和34b中分別識(shí)別出對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b的中心位置以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的中心位置，并且計(jì)算出一個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a之間的中心距離Ra，以及另一對(duì)準(zhǔn)孔27b與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28b之間的中心距離Rb。圖4表示當(dāng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b的中心位置沒有與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的相應(yīng)中心位置對(duì)準(zhǔn)時(shí)的位置測(cè)量狀態(tài)。而后，如圖4中所示，位置調(diào)節(jié)裝置22調(diào)節(jié)第二電子部件26的位置，使得第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b處于第一電子部件25兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中預(yù)定位置處。換句話說，激勵(lì)圖6和7中所示的位置調(diào)節(jié)裝置22，以便根據(jù)中心距離Ra，并且如果需要的話還根據(jù)中心距離Rb，分別沿X和Y方向移動(dòng)以及沿θ方向旋轉(zhuǎn)第二電子部件26，并且理想情況下通過使一個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a的中心彼此一致，并使另一對(duì)準(zhǔn)孔27b和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28b的中心彼此一致，而將兩個(gè)部件對(duì)準(zhǔn)，其中用具有設(shè)置于其間的結(jié)合工具24的位置調(diào)節(jié)裝置22保持第二電子部件26。該過程的其余部分與上述調(diào)節(jié)方法相同，從而將省略其描述。在上面的描述中，雖然如圖1，3和8所示標(biāo)記識(shí)別裝置23具有兩個(gè)照相機(jī)23a和23b，不過本發(fā)明不限于這種結(jié)構(gòu)，也可以裝配有一可橫向移動(dòng)的照相機(jī)，該照相機(jī)可橫向移動(dòng)的距離與第一電子部件25的兩對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b之間的間隔p相等。并且，如圖9中所示，標(biāo)記識(shí)別裝置23可以具有兩個(gè)相同的透鏡54a和54b，這兩個(gè)透鏡被設(shè)置成其間的間隔與第一電子部件25的兩對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b之間的間隔一致；以及一設(shè)置在兩透鏡54a和54b的光路上共同位置處的照相機(jī)55。兩個(gè)透鏡54a和54b用作物鏡，用于分別捕獲兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及貫穿其中的兩對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b(未示出)，并且具有彼此相同的聚焦深度。照相機(jī)55還具有設(shè)置在其正前面用作成像透鏡的另一透鏡56，并且兩個(gè)透鏡54a和54b以及另一透鏡56被固定在具有用于兩個(gè)透鏡的共同的根部(commonroot)的分叉的透鏡鏡筒57內(nèi)。第一透鏡54a和照相機(jī)55具有在它們之間延伸的光路上設(shè)置的第一半反射鏡58a，全反射鏡59和第二半反射鏡58b，第二透鏡54b和照相機(jī)55具有在它們之間延伸的光路上設(shè)置的第三半反射鏡58c和第二半反射鏡58b(同時(shí)用于兩個(gè)透鏡54a和54b)，并且第一透鏡54a和照相機(jī)55之間的光路與第二透鏡54b和照相機(jī)55之間的光路具有相同長(zhǎng)度。同時(shí)，在分叉的透鏡鏡筒57中，靠近第一透鏡54a的透鏡鏡筒57a具有一個(gè)設(shè)置在其底部上的第一照明燈60a，靠近第二透鏡54b的透鏡鏡筒57b具有一個(gè)設(shè)置在其底部上的第二照明燈60b。因此，通過分別開啟照明燈60a和60b，可以照射兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b(未示出)。由于采用了這種結(jié)構(gòu)，可以使用具有上述結(jié)構(gòu)的標(biāo)記識(shí)別裝置23，使得當(dāng)通過切換而開啟第一和第二照明燈60a和60b其中任何一個(gè)時(shí)，僅有第一透鏡54a在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲一個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a，以便測(cè)量這些孔和標(biāo)記的位置，或者僅有第二透鏡54b在其同一視場(chǎng)內(nèi)獲取另一對(duì)準(zhǔn)孔27b和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28b，以便測(cè)量這些孔和標(biāo)記的位置。交替地，可以使用標(biāo)記識(shí)別裝置，使得第一和第二照明燈60a和60b同時(shí)被開啟，并使得通過使用在其中分別通過第一和第二透鏡54a和54b拾取的左和右畫面彼此重疊的圖像，右和左畫面彼此被分離，并在而后經(jīng)過圖像處理，以便測(cè)量?jī)蓪?duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及兩對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的位置。進(jìn)一步交替地，可以使用標(biāo)記識(shí)別裝置，使得第一和第二照明燈60a和60b同時(shí)被開啟，并且在拾取左和右圖像的同時(shí)遮蔽第一和第二透鏡54a和54b的半個(gè)視場(chǎng)，并使得通過使用在其中左和右拾取畫面彼此重疊的圖像，右和左畫面彼此被分離，然后經(jīng)過圖像處理，以便測(cè)量?jī)蓪?duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及兩對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的位置。雖然如圖2B和4中所示在上面的描述中，第一電子部件25的兩對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b中的每一個(gè)都是二維圓形的，不過可以為其他形狀，只要其位置易于測(cè)量，且其中心易于檢測(cè)即可。此外，第一電子部件25和第二電子部件26不限于板和芯片，它們可以為其他適當(dāng)?shù)碾娮硬考?。圖10是說明根據(jù)另一實(shí)施例的每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的形狀的平面圖。用相同附圖標(biāo)記表示與上述實(shí)施例相同的部件，并將省略其描述。如圖3中所示，每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b如此地形成，使得兩個(gè)大和小圓同心設(shè)置，以便形成大約30μm的外徑和大約15μm的內(nèi)徑。例如，這是通過蝕刻掉由鋁薄膜形成的大圓L的中心部分來形成小圓S的方式實(shí)現(xiàn)的。同時(shí)，在具有不同尺寸且同心設(shè)置以便形成一個(gè)多邊形對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的多個(gè)對(duì)準(zhǔn)記號(hào)中，大圓L代表一個(gè)大對(duì)準(zhǔn)記號(hào)，小圓S代表一個(gè)小對(duì)準(zhǔn)記號(hào)。為了更加具體，如圖11中所示，當(dāng)在通過在硅基片71上順序?qū)盈BMOS(金屬氧化物半導(dǎo)體)晶體管72和73，第一層布線圖案74和加熱器30、絕緣膜75被夾置在它們之間，而構(gòu)成的一個(gè)芯片的表面層上，形成電源布線圖案76，接地布線圖案77以及將MOS驅(qū)動(dòng)晶體管73與相應(yīng)加熱器30連接的布線圖案78的第二層布線圖案時(shí)，通過在形成晶體管等電路的芯片區(qū)域外部蝕刻鋁薄膜，可以同時(shí)形成每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b。如上所述，由于下述原因，形成每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b，使得具有含有大圓L和小圓S的雙圓。圖像處理的分辨率通常與所識(shí)別圖像的周長(zhǎng)正相關(guān)。因此，具有大軸長(zhǎng)的大圓L平均具有高對(duì)準(zhǔn)精度。不過，大圓L越大，則在第一和第二電子部件25和26設(shè)置在各自預(yù)定位置的初始對(duì)準(zhǔn)階段，則越不可能在相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中捕獲對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的大圓L的完整圖像，從而導(dǎo)致對(duì)初始對(duì)準(zhǔn)精度要求更高的缺點(diǎn)。另一方面，雖然由于圖像處理的低分辨率，具有小周長(zhǎng)的小圓S導(dǎo)致低對(duì)準(zhǔn)精度，不過其較小尺寸帶來以下優(yōu)點(diǎn)，即在初始對(duì)準(zhǔn)階段在相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中更易于捕獲小圓S的完整圖像。因此，考慮大圓L和小圓S的優(yōu)點(diǎn)，采用雙圓。為了更加具體，例如，當(dāng)每個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b的直徑為60μm，并且將每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記被形成為具有直徑為20μm的單圓時(shí)，對(duì)于對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間的中心距離，初始對(duì)準(zhǔn)所要求的精度處于±20μm范圍內(nèi)。并且，希望此情形下的圖像處理精度正比于每個(gè)標(biāo)記工具周長(zhǎng)的平方根，從而估計(jì)出上例中圖像處理精度的比值為13.7到7.9。另一方面，當(dāng)根據(jù)本發(fā)明，每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b被形成為具有直徑分別為30μm和15μm的大圓L和小圓S的同心雙圓時(shí)，相應(yīng)于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的小圓S和相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b之間的每個(gè)中心距離，初始對(duì)準(zhǔn)精度均處于±22.5μm范圍內(nèi)，從而與上述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記形成為具有單圓的每種情形相比，對(duì)精度的要求更加寬松。并且，因?yàn)閳D像處理精度由每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b大圓L的周長(zhǎng)平方根與每個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b周長(zhǎng)平方根的比值決定，圖像處理精度的比值變?yōu)?3.7到11.9，從而明顯提高了對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b之間的對(duì)準(zhǔn)精度。因此，通過形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b，使其具有雙圓，很容易在相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中捕獲對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的小圓S的完整圖像。并且，當(dāng)通過使用小圓S粗調(diào)電子部件25和26，使得在對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中捕獲大圓L的完整圖像，并且最后捕獲大圓L的完整圖像時(shí)，通過使用大圓L或者同時(shí)使用大圓L和小圓S微調(diào)上述電子部件，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b與對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b精確對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)如上所述標(biāo)記識(shí)別裝置23識(shí)別出第一電子部件25的對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b其中之一和第二電子部件26的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b其中之一的兩個(gè)圖像時(shí)，根據(jù)圖12中所示處理過程對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b與相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b彼此對(duì)準(zhǔn)。首先，在步驟S1中，對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的圖像被標(biāo)記識(shí)別裝置23捕獲。然后，在步驟S2中，在相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的小圓S。當(dāng)由于第二電子部件26相對(duì)結(jié)合工具24的固定精度不夠大、對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b破裂等原因?qū)е略趯?duì)準(zhǔn)孔27a和27b中沒有找到小圓S的完整圖像時(shí)，流程結(jié)束錯(cuò)誤處理(步驟S3)，并且對(duì)準(zhǔn)階段結(jié)束。此后，圖1中所示的位置調(diào)節(jié)裝置22向上移動(dòng)，如圖3中所示，在結(jié)合工具24的下表面下面形成芯片傳遞間隙r，從而用新的電子部件取代第二電子部件26。同時(shí)，在步驟S2中，并非如上所述進(jìn)行自動(dòng)搜索，可以手工搜索小圓S，同時(shí)在相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中視覺觀察其圖像。同時(shí)，當(dāng)如圖13A中所示在步驟S2中識(shí)別出小圓S的完整圖像時(shí)，流程前進(jìn)到步驟S4，并通過使用小圓S的圖像測(cè)量小圓S相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中心位置的位置校正量。然后，通過圖1中所示的位置調(diào)節(jié)裝置22驅(qū)動(dòng)第二電子部件26沿X或Y方向移動(dòng)或沿θ方向旋轉(zhuǎn)，使得在朝向?qū)?zhǔn)孔27a和27b中心O的箭頭A方向(參見圖13A)畫出對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的小圓S。利用這種結(jié)構(gòu)，粗調(diào)第一和第二電子部件25和26(參見圖13B)。之后，在步驟S5中搜索對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的大圓L。當(dāng)在該步驟中沒有識(shí)別出大圓L的完整圖像時(shí)，例如當(dāng)基于雜質(zhì)粒子的錯(cuò)誤識(shí)別而在步驟S2中識(shí)別出相應(yīng)小圓S的圖像時(shí)，在由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的制造誤差引起的大圓L與小圓S中心位置之間的不對(duì)準(zhǔn)量使得大圓L的一些部分處于對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b后面，且無論步驟S4中小圓S的繪制操作如何都不可見，并且結(jié)果所產(chǎn)生的大圓L不能被識(shí)別出為圓形，或著當(dāng)系統(tǒng)噪聲等導(dǎo)致大圓L不能被識(shí)別為圓形時(shí)，程序結(jié)束錯(cuò)誤處理(步驟S6)，并且對(duì)準(zhǔn)階段結(jié)束。然后，如圖3中所示，圖1中所示的位置調(diào)節(jié)裝置22向上移動(dòng)，在結(jié)合工具24的下表面之下形成芯片傳遞間隙r，以便用新電子部件取代第二電子部件26。而且，如圖13B中所示，當(dāng)在步驟S5中識(shí)別出對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b大圓L的完整圖像時(shí)，流程前進(jìn)到步驟S7，并判斷所識(shí)別出的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b中的每一個(gè)是否構(gòu)成雙圓。雙圓的判據(jù)是基于大圓和小圓L和S的中心是否大體上彼此一致，并且這些圓基本上構(gòu)成同心圓。當(dāng)步驟S7中確定所識(shí)別出的每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記沒有形成雙圓，換言之，當(dāng)由于如上所述的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的制造誤差導(dǎo)致大圓和小圓L和S的中心位置彼此沒有對(duì)準(zhǔn)時(shí)，流程結(jié)束錯(cuò)誤處理(步驟S8)，對(duì)準(zhǔn)階段結(jié)束，且通過與前面所述相同的方式用新電子部件代替第二電子部件26。另一方面，當(dāng)步驟S7中確定每個(gè)所識(shí)別出的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b形成雙圓時(shí)，則流程前進(jìn)到步驟S9，并且測(cè)量對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b之間的中心距離，以便計(jì)算位置校正量。例如，位置校正量是根據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的大圓L測(cè)量的，或者做為根據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記大圓和小圓L和S所測(cè)得的各校正量的平均值，或者做為通過計(jì)算大圓L與小圓S的尺寸比值并且通過根據(jù)所計(jì)算出的比值將各校正量加權(quán)而獲得的校正量提供的。在測(cè)量位置校正量時(shí)，位置調(diào)節(jié)裝置22驅(qū)動(dòng)第二電子部件26沿X或Y方向移動(dòng)，或者沿θ方向旋轉(zhuǎn)，使得對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b分別在朝向?qū)?zhǔn)孔27a和27b中心O的的箭頭B方向被繪出。利用這種結(jié)構(gòu)，微調(diào)第一和第二電子部件25和26，使得對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b的中心位置與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b彼此對(duì)準(zhǔn)(參見圖13C)。同時(shí)，當(dāng)由于各標(biāo)記工具的制造誤差、兩電子部件熱膨脹的差異等原因使圖2A和2B中所示的對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b之間以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b之間的間隔p和q彼此不相等時(shí)，將對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b彼此對(duì)準(zhǔn)，以便在連接對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b的中心線上彼此對(duì)稱。當(dāng)如上所述完成用于使第一和第二電子部件25與26彼此對(duì)準(zhǔn)的微調(diào)時(shí)，流程前進(jìn)到步驟S10，并確定對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b與相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b之間中心位置的不對(duì)準(zhǔn)量是否處于特定數(shù)值之內(nèi)。當(dāng)對(duì)準(zhǔn)孔與相應(yīng)標(biāo)記之間的不對(duì)準(zhǔn)量處于特定數(shù)值之內(nèi)時(shí)，對(duì)準(zhǔn)完成(步驟S11)。當(dāng)對(duì)準(zhǔn)孔與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間的不對(duì)準(zhǔn)量超出特定數(shù)值時(shí)，重復(fù)步驟S1到S10執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)根據(jù)上述處理流程完成對(duì)準(zhǔn)時(shí)，圖1中所示的位置調(diào)節(jié)裝置22緩慢地向下移動(dòng)，將第一與第二電子部件25和26彼此被組裝在一起。然后，在容納工作臺(tái)21和結(jié)合工具24中形成的加熱裝置進(jìn)行加熱，以便將第一和第二電子部件25與26彼此粘接，設(shè)置在第二電子部件26粘接表面上的干膜抗蝕劑32處于其間。根據(jù)上述電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，由于各對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b被制作得具有含有大圓和小圓的雙圓，在第一和第二電子部件25和26的初始對(duì)準(zhǔn)階段，在對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中分別易于捕獲對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b小圓S的完整圖像，從而放寬了初始對(duì)準(zhǔn)精度。因此，當(dāng)使用在對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中所捕獲的小圓S測(cè)量位置校正量，且相對(duì)于相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b粗調(diào)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b時(shí)，在對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b中分別易于繪制出對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b大圓L的完整圖像。通過這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)使用大圓L或者同時(shí)使用大圓和小圓L和S測(cè)量用于將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b與對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b的中心對(duì)準(zhǔn)的位置校正量，且相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b微調(diào)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b時(shí)，第一和第二電子部件25和26可以彼此精確對(duì)準(zhǔn)。并且，由于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b的每一個(gè)被制作得具有雙圓，即使將異物錯(cuò)誤地識(shí)別為小圓S，只要在相應(yīng)小圓S的外部沒有發(fā)現(xiàn)相應(yīng)大圓L，也能矯正這種錯(cuò)誤識(shí)別，從而提高各對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的識(shí)別精度。同時(shí)，各對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b不限于雙圓，可以由三個(gè)或更多同心設(shè)置的圓構(gòu)成。此外，各對(duì)準(zhǔn)孔27a和27b以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記28a和28b不限于圓形，可以具有矩形、三角形等形狀。毋庸置疑，最好各標(biāo)記手段具有圓形形狀，因?yàn)闃?biāo)記識(shí)別裝置23所拾取的數(shù)字圖像的邊緣噪聲均勻，與其取向無關(guān)。工業(yè)應(yīng)用本發(fā)明應(yīng)用于例如用于將具有板形或片形板的芯片部件對(duì)準(zhǔn)和組裝的結(jié)合裝置。權(quán)利要求1.一種電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，包括以下步驟用一容納工作臺(tái)保持一第一電子部件，所述第一電子部件在其預(yù)定位置處鉆有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔以便使其彼此分隔一預(yù)定的間隔，并且用一位置調(diào)節(jié)裝置保持一第二電子部件，所述第二電子部件在其預(yù)定位置處形成有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記使其間的一間隔與所述兩對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致；在將所述第二電子部件的所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記插入所述第一電子部件相應(yīng)的所述對(duì)準(zhǔn)孔中這樣一狀態(tài)下，在一標(biāo)記識(shí)別裝置的同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和所述相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔，并測(cè)量所述兩個(gè)部件的位置；以及用所述位置調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)所述第二電子部件的位置，使得所述第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記處于所述第一電子部件的相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔內(nèi)預(yù)定位置處，其中通過執(zhí)行以上步驟將所述兩個(gè)部件彼此對(duì)準(zhǔn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中保持所述第一和第二電子部件，使得所述第一和第二電子部件的所述對(duì)準(zhǔn)孔和所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記分別處于所述標(biāo)記識(shí)別裝置的透鏡的焦深之內(nèi)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中所述位置調(diào)節(jié)裝置在水平平面上分別沿X和Y方向移動(dòng)以及沿θ方向旋轉(zhuǎn)所述第二電子部件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中所述整個(gè)位置調(diào)節(jié)裝置可在一垂直平面上沿Z方向移動(dòng)，并將所述第一與第二電子部件彼此結(jié)合。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中所述標(biāo)記識(shí)別裝置包括兩個(gè)照相機(jī)，所述兩個(gè)照相機(jī)之間的一間隔與所述第一電子部件的所述兩對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中所述標(biāo)記識(shí)別裝置包括一可橫向移動(dòng)的照相機(jī)，所述照相機(jī)可移動(dòng)的距離與所述第一電子部件的所述兩對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔相等。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中所述標(biāo)記識(shí)別裝置包括兩個(gè)相同的透鏡，所述兩個(gè)透鏡被設(shè)置成其間具有一間隔，所述間隔與所述第一電子部件的所述兩對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致；以及一照相機(jī)，其設(shè)置在所述兩透鏡的光路上的共同位置處。8.一種電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置，包括一容納工作臺(tái)，其保持一第一電子部件，所述第一電子部件在其預(yù)定位置處鉆有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔，以便使它們彼此隔開一預(yù)定間隔；一位置調(diào)節(jié)裝置，其保持一第二電子部件，所述被第二電子部件被設(shè)置成與所述容納工作臺(tái)面對(duì)，且所述第二電子部件在其預(yù)定位置處形成有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，以便其間具有一間隔，所述間隔與所述兩對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致；一標(biāo)記識(shí)別裝置，其設(shè)置在所述容納工作臺(tái)的后面，在所述第二電子部件的所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記被插入所述第一電子部件的所述對(duì)準(zhǔn)孔中的這樣一種狀態(tài)下，在其同一視場(chǎng)內(nèi)捕獲所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔，并測(cè)量所述兩個(gè)部件的位置，其中，通過使用其位置由所述標(biāo)記識(shí)別裝置測(cè)得的圖像，通過用所述位置調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)所述第二電子部件的位置，使所述第二電子部件的所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記處于所述第一電子部件的所述兩對(duì)準(zhǔn)孔中預(yù)定位置處，使所述兩個(gè)部件彼此對(duì)準(zhǔn)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置，其中保持所述第一和第二電子部件，使得所述第一和第二電子部件的所述對(duì)準(zhǔn)孔和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記分別處于所述標(biāo)記識(shí)別裝置的透鏡的焦深之內(nèi)。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置，其中所述位置調(diào)節(jié)裝置在水平平面上分別沿X和Y方向移動(dòng)以及沿θ方向旋轉(zhuǎn)所述第二電子部件。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置，其中所述整個(gè)位置調(diào)節(jié)裝置可在垂直平面上沿Z方向移動(dòng)，并將所述第一與第二電子部件彼此結(jié)合。12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置，其中還包括兩個(gè)照相機(jī)，所述兩個(gè)照相機(jī)其間具有一間隔，所述間隔與所述第一電子部件的所述兩對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致。13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置，其中所述標(biāo)記識(shí)別裝置包括一可橫向移動(dòng)的照相機(jī)，所述照相機(jī)可移動(dòng)的距離與所述第一電子部件的所述兩對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔相等。14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)裝置，其中所述標(biāo)記識(shí)別裝置包括兩個(gè)相同的透鏡，所述兩個(gè)透鏡被設(shè)置成其間具有一間隔，所述間隔與所述第一電子部件的所述兩對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致；以及一照相機(jī)，其設(shè)置在所述兩透鏡的光路上的共同位置處。15.一種電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，包括以下步驟將第一與第二電子部件設(shè)置成彼此相對(duì)，所述第一部件在其預(yù)定位置處形成有一對(duì)對(duì)準(zhǔn)孔，使其彼此分隔預(yù)定的間隔，所述第二部件具有圓形或多邊形的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記由多個(gè)具有不同尺寸且同心設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)構(gòu)成，形成得其間具有一間隔，所述間隔與所述對(duì)準(zhǔn)孔之間的間隔一致；通過在相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔中捕獲每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的一小對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的完整圖像，粗調(diào)所述第一和第二電子部件，以便通過使用所述小對(duì)準(zhǔn)記號(hào)在所述相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔中捕獲所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的一大對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的完整圖像；通過使用所述大對(duì)準(zhǔn)記號(hào)或者同時(shí)使用所述大和小對(duì)準(zhǔn)記號(hào)，測(cè)量用于使所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與所述相應(yīng)對(duì)準(zhǔn)孔的中心對(duì)準(zhǔn)的一位置校正量；并且通過將所述第二電子部件相對(duì)移動(dòng)所述位置校正量，微調(diào)所述第一和第二電子部件，使它們彼此對(duì)準(zhǔn)。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記由同心設(shè)置的具有不同尺寸的多個(gè)圓構(gòu)成。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記為一雙圓。18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中所述第一電子部件為一圖像形成裝置的一打印頭的一噴嘴部件，所述第二電子部件為所述打印頭的一芯片。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電子部件對(duì)準(zhǔn)方法，其中當(dāng)通過在一基底上形成一電路而制造所述芯片時(shí)，在形成電路的芯片區(qū)域外形成所述芯片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。全文摘要精確定位兩個(gè)電子部件的方法，通過在標(biāo)記識(shí)別裝置的同一圖中捕獲用于定位這兩個(gè)電子部件的標(biāo)記工具來測(cè)量其位置，包括如下步驟將第一電子部件保持在支撐工作臺(tái)上，第一電子部件具有兩個(gè)被設(shè)置在特定位置上、彼此隔開一特定距離的定位孔；將第二電子部件保持在位置調(diào)節(jié)裝置上，第二電子部件具有兩個(gè)形成在特定位置上、以便與兩個(gè)定位孔之間的間隔相匹配的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；在對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記被插入第一電子部件的定位孔的狀態(tài)下，在標(biāo)記識(shí)別裝置的同一圖中捕獲第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；測(cè)量?jī)蓪?duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置；以及利用位置調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)第二電子部件的位置，使得第二電子部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與第一電子部件的定位孔呈特定的位置關(guān)系。文檔編號(hào)H01L21/68GK1610614SQ03801840公開日2005年4月27日申請(qǐng)日期2003年9月30日優(yōu)先權(quán)日2002年9月30日發(fā)明者中村厚志,川谷典夫,細(xì)井正久,獺庭和正,德永洋申請(qǐng)人:索尼株式會(huì)社