頭堆疊組件制造裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供頭堆疊組件制造裝置，并提出通過粘貼相對于組裝于E塊后的副懸架安裝滑塊的工序。然而，在相對于已經(jīng)組裝于E塊的副懸架安裝滑塊的工序中，由于在HGA單體上搭載滑塊時經(jīng)由粘接物施加于HGA單體的搭載方向的力，難以配置使HGA撓曲緩和的固定的座。本發(fā)明所涉及的頭堆疊組件制造裝置，是在由具有載荷彎曲部而由頭堆疊組件的E塊支撐的板狀的承載梁進行姿勢控制的撓性件的搭載面上搭載滑塊的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于：具有通過滑塊搭載時的搭載方向的力緩和HGA撓曲的承載梁支撐部。通過該特征，能夠促進粘接物的破壞，縮短搭載時間。
【專利說明】
頭堆疊組件制造裝置
技術(shù)領域
[0001]本發(fā)明涉及頭堆疊組件的制造裝置。更詳細地說，涉及具備多個對硬盤等記錄介質(zhì)進行磁記錄的寫入以及讀出的被稱為頭的裝置的頭堆疊組件(Head Stack Assembly)的制造裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)今的高記錄密度化發(fā)展的所謂硬盤裝置中，在硬盤的記錄密度的提高和伴隨硬盤搭載塊數(shù)的增加的薄層化發(fā)展的同時，用于對該硬盤進行記錄的寫入等的頭的小型化也正在發(fā)展。另外，如專利文獻I所例示，通過在單一硬盤裝置內(nèi)配置多塊硬盤而實現(xiàn)存儲容量的增大化的結(jié)構(gòu)也得到了普及。在該情況下，采用多個頭一體化了的頭堆疊組件(以下稱為HSA)，其能夠相對于該多塊硬盤的記錄面分別配置頭。
[0003]頭本身包括被稱作滑塊的部件，該滑塊中組裝入有電磁變換元件。連接有布線等的該滑塊由被稱為撓性件的具有彈性的薄板狀的部件的前端部支撐。該撓性件還由金屬制的被稱為承載梁(load beam)的部件支撐，這些撓性件、承載梁等，合起來稱為副懸架，包括滑塊等在內(nèi)構(gòu)成頭折片組合(以后稱為HGA，Head Gimbal Assembly)。在這里，如專利文獻2所例示，在該副懸架配置有被稱為載荷彎曲部的被彎折為預定角度的部分。為了相對于高速旋轉(zhuǎn)的硬盤的表面維持預定的高度而保持滑塊，該載荷彎曲部的存在是必須的。但是，以往在形成有該載荷彎曲部的副懸架上的預定位置固定滑塊，所以如專利文獻3所示，需要將彎曲部暫時強制地回歸水平等的工序。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開2007 —164968號公報
[0007]專利文獻2:日本特開2004 — 082161號公報
[0008]專利文獻3:日本特開2002 — 015534號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009 ]上述的HGA，在與滑塊固定的一側(cè)相反的端部連接于被稱為E塊的剛體，該剛體圍繞與HGA大致延伸的方向垂直的軸而旋轉(zhuǎn)。以往，通過制造該HGA單體然后將它們相對于E塊安裝，由此將用于磁記錄讀取等的上述HAS組裝為一體部件。但是，在該工序的情況下，在向撓性件安裝滑塊之后HGA要經(jīng)歷各種工序，由此在該過程中滑塊在電或者物理方面破損的可能性升高。另外，對于在HSA完成后發(fā)現(xiàn)了缺陷的HGA，需要在從E塊將其取下后在該HGA的位置組裝正常的HGA，但是，當然該操作也有可能使新HGA或者組裝完畢的HGA受到損傷等。
[0010]因此，提出了通過粘接將滑塊相對于組裝于E塊后的副懸架安裝的工序。然而，在將滑塊相對于已經(jīng)組裝于E塊的副懸架安裝的工序中，由于在HGA單體上搭載滑塊時經(jīng)由粘接物施加于HGA單體的搭載方向的力，難以配置使HGA撓曲緩和的固定的座。
[0011]本發(fā)明是鑒于以上的狀況而完成的，其目的在于提供頭堆疊組件的制造裝置，在相對于被固定于E塊的副懸架安裝滑塊的工序中，在滑塊搭載時能夠一邊縮短將粘接物壓壞而將該粘接物壓壞到預定厚度的時間一邊避免與在與搭載方向的力相同方向上對向的副懸架接觸一邊搭載。
[0012]為了解決上述課題，本發(fā)明所涉及的頭堆疊組件制造裝置，是將滑塊搭載于撓性件的搭載面的頭堆疊組件制造裝置，該撓性件由具有載荷彎曲部并被支撐于頭堆疊組件的E塊的板狀的承載梁進行姿勢控制，該頭堆疊組件制造裝置的特征在于:具有使HGA由于在滑塊搭載時施加的搭載方向的力而撓曲的情況緩和的承載梁支撐部。通過該特征，能夠促進粘接物的破壞并縮短搭載時間。
[0013]另外，在上述的頭堆疊組件制造裝置中，優(yōu)選:具有載荷彎曲校正部，該載荷彎曲校正部對由承載梁的載荷彎曲部構(gòu)成的撓性件的滑塊載置面進行校正使得其配置于能夠合適地載置滑塊的搭載預定面內(nèi)。
[0014]另外，在上述的頭堆疊組件制造裝置中，優(yōu)選:具有撓性件姿勢檢測單元，該撓性件姿勢檢測單元檢測被支撐于由載荷彎曲校正部按壓的承載梁支撐的撓性件的姿勢?；蛘?，在該頭堆疊組件制造裝置中，優(yōu)選，具有:檢測由載荷彎曲校正部按壓的承載梁的姿勢的撓性件姿勢檢測單元;和能夠使按壓承載梁而使撓性件的位置變化的載荷彎曲校正部與承載梁支撐部的相對位置變化的相對位置變更單元，以承載梁支撐部與承載梁的相對位置始終保持為一定量的狀態(tài)搭載。
[0015]優(yōu)選，載荷彎曲校正部由相對位置變更單元執(zhí)行按壓。另外，優(yōu)選:撓性件姿勢檢測單元具有:具有與搭載預定面平行的拍攝光軸的橫向拍攝單元;和對由橫向拍攝單元得到的圖像進行分析的圖像分析單元，在檢測撓性件的姿勢時，相對位置變更單元使撓性件移動到橫向拍攝單元的拍攝區(qū)域。
[0016]或者，在上述的頭堆疊組件制造裝置中，優(yōu)選:具有對為了求出搭載面的位置而設置于撓性件的基準標記進行拍攝的基準標記拍攝單元，基準標記拍攝單元，在撓性件姿勢檢測單元檢測到了撓性件配置于搭載預定面內(nèi)的情況下，執(zhí)行基準標記的拍攝?；蛘?，在上述的頭堆疊組件制造裝置中，優(yōu)選:具有保持滑塊而將滑塊安裝到撓性件的滑塊安裝頭，滑塊安裝頭，在撓性件姿勢檢測單元檢測到了撓性件配置于搭載預定面內(nèi)的情況下，執(zhí)行滑塊的載置。
[0017]或者，在上述的頭堆疊組件制造裝置中，更優(yōu)選:具有能夠保持滑塊而將滑塊載置到撓性件的滑塊搭載預定面上的滑塊安裝頭，滑塊安裝頭，在撓性件姿勢檢測單元檢測到了撓性件配置于搭載預定面內(nèi)的情況下，執(zhí)行滑塊向基于基準標記算出的搭載位置的載置。
[0018]另外，在上述的頭堆疊組件制造裝置中，更優(yōu)選，具有:承載梁支撐部，通過載荷彎曲校正部而與承載梁的一部分接合并向與載荷彎曲部的彎曲方向相反方向按壓承載梁而將撓性件保持于搭載預定面內(nèi)；和
[0019]相對位置變更單元，能夠使按壓承載梁以及撓性件而使位置變化的載荷彎曲校正部與所述承載梁支撐部的相對位置變化；
[0020]載荷彎曲校正部通過相對位置變更單元執(zhí)行所述按壓。
[0021 ]或者，在上述的頭堆疊組件制造裝置中，更優(yōu)選:承載梁支撐部具有與搭載預定面平行地配置并與承載梁直接抵接的支撐部件，支撐部件支撐承載梁面內(nèi)的比載荷彎曲部靠前端方向。
[0022]或者，為了解決上述問題，本發(fā)明所涉及的頭堆疊組件制造裝置，其將滑塊搭載于柔性板的搭載面，該柔性板由具有載荷彎曲部并被支撐于頭堆疊組件的E塊的板狀的承載梁進行姿勢控制，該頭堆疊組件制造裝置的特征在于，具有能夠使承載梁支撐部與載荷彎曲校正部的相對位置變化的相對位置變更單元，該承載梁支撐部在滑塊搭載時承受經(jīng)由粘接物施加的力，該載荷彎曲校正部與承載梁的一部分接合并按壓載荷彎曲部而能夠?qū)闲约３钟诖钶d預定面內(nèi)，以承載梁支撐部與承載梁抵接的部位的相對位置始終保持為一定量的狀態(tài)執(zhí)行滑塊的載置。
[0023]另外，在上述的頭堆疊組件制造裝置中，優(yōu)選:承載梁支撐部具有與搭載預定面平行地配置并與承載梁直接抵接的支撐部件，支撐部件配置于下述部位，該部位與載荷彎曲部相比處于靠前端方向，并且在該支撐部件配置于于該部位時，凹陷在滑塊的載置執(zhí)行期間不會因滑塊與承載梁支撐部的夾入而損傷。
[0024]根據(jù)本發(fā)明，能夠相對于被固定于E塊的副懸架分別縮短搭載時間地搭載滑塊。
【附圖說明】
[0025]圖1A以及IB是示意性地表示本發(fā)明的HSA制造裝置成為對象的組件以及HSA制造裝置的主要動作的側(cè)面圖。
[0026]圖2是分別示意性地表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的HSA制造方法的各工序的圖。
[0027]圖3是示意性地表示本發(fā)明的一個實施方式所涉及的HSA制造裝置的概略構(gòu)成的圖。
[0028]附圖標記說明
[0029]11:撓性件，12:承載梁，12a:凹陷，12b:翼片(tab)，13:滑塊，14:校正部件，15:反射鏡，16:副懸架，17:相機，19:下面相機，21:卡盤，22:粘接物，23:拍攝光，25:拍攝區(qū)域，26:搭載預定面所成的線，28:延伸線，31:第一基準標記，33:第二基準標記，35:E塊，41:側(cè)面相機，42:載荷彎曲校正部，45:滑塊托盤，47:托盤供給部，49:托盤排出部，51:滑塊安裝頭，53、55:托盤輸送部，57:滑塊供給部，59:樹脂涂敷部，61:托盤臺，63:反射鏡部，65:支撐部件，67:承載梁支撐部
【具體實施方式】
[0030]以下，基于附圖所示的實施方式對本發(fā)明進行說明。另外，上下左右等位置關系是相對的沒有特別限定，在以下的說明中，基于附圖的上下左右進行說明。進一步，附圖的尺寸比率并不限定于圖示的比率。另外，以下的實施方式是用于說明本發(fā)明的例示，本發(fā)明并不僅限定于該實施方式。
[0031]在進行本發(fā)明的說明時，先對實際搭載有滑塊的狀態(tài)下的設為本發(fā)明的對象的承載梁與撓性件的位置關系進行敘述。另外，本發(fā)明以下述部件為對象:形成有載荷彎曲部且由E塊支撐的承載梁;和由配置于該承載梁的凹陷進行姿勢控制的撓性件。本發(fā)明所涉及的HSA制造裝置的目的在于在該撓性件的搭載面上搭載滑塊。
[0032]圖1A以及IB示意性地表示在HAS中相向配置的一組HGA的制造工序中、從側(cè)方觀察滑塊搭載前的承載梁以及撓性件的狀態(tài)。承載梁12由具有彈性的薄板狀的金屬制成。另外，具有由向一個平面?zhèn)韧怀龅那蛎鏄?gòu)成的凹陷12a。撓性件11部分地固定于承載梁12，在凹陷12a附近分離，通過該凹陷12a以預定的角度從承載梁12分離。如后述那樣將滑塊通過該撓性件11以及承載梁12構(gòu)成副懸架16。
[0033]在設為本發(fā)明的對象的HAS中，以使得安裝于撓性件11的滑塊相向的方式，HGASP副懸架16成對地配置。如圖1A所示，一對撓性件11配置成互相的距離隨著靠近前端部而接近。另外，如上所述，在承載梁12組裝入有未圖示的載荷彎曲部，使得由未圖示的E塊支撐的該副懸架16相對于抵接的面所成的延伸線向撓性件11的安裝側(cè)彎曲。因此，圖示的一對承載梁12各自的承載梁的延伸線28，其距離隨著接近翼片12b而接近。
[0034]以下參照附圖對能夠一邊維持以上的位置關系一邊在撓性件11上安裝滑塊13(參照圖2)的本發(fā)明的一個實施方式進行說明。通常為了在撓性件11上搭載并固定滑塊13，要通過粘接來進行。因此，在撓性件11的上的滑塊13搭載位置配置粘接物22。副懸架16由于滑塊13經(jīng)由粘接物22施加的力而撓曲。在本發(fā)明中，其目的在于針對處于該狀態(tài)的撓性件11搭載滑塊13，如作為課題所述那樣，不但由于經(jīng)由該粘接物22進行粘貼而使搭載時間由于粘接物22到破壞為止的時間而延長，而且由于滑塊13的搭載動作，經(jīng)由粘接物22—方的副懸架16很有可能向與搭載方向的力相同方向撓曲并同在與搭載方向的力相同方向上相向的另一方的副懸架16接觸而損壞。在本發(fā)明中，使用抵接于承載梁12的支撐部件65來抑制該撓曲。
[0035]在本實施方式中，作為支撐部件65使用厚度0.3mm的板材。如圖1A所示，將該支撐部件65沿承載梁12的撓曲方向配置。從該狀態(tài)起進一步如圖1B所示，沿抑制撓曲的圖中箭頭方向，支撐部件65與承載梁12接近至相距預定量。由此，副懸架16由于卡盤21所保持的滑塊13經(jīng)由粘接物22而施加的搭載方向的力而撓曲并抵接于支撐部件65，從而該副懸架16的撓曲被緩和由此促進了粘接物22的破壞，能夠縮短搭載時間，通過支撐部件65消除了一方的副懸架16撓曲并同沿所施加的力的方向相向的另一方的副懸架16直接接觸的情況，能夠抑制損壞。另外，該支撐部件65是直接抵接于承載梁12的部件，構(gòu)成后述的承載梁支撐部67的一部分。
[0036]另外，在本實施方式中，其目的在于制造例如在使承載梁的延伸線28與E塊的副懸架16抵接的面所成的延伸線平行的情況下相向的滑塊的間隔為0.6mm前后的HAS，所以作為能夠進入該間隔的支撐部件65使用厚度薄的板狀，但其形狀并不限定于此。只要滿足進入相向的承載梁12之間且支撐承載梁12這一條件，就可以設為各種形狀。另外，支撐部件65沿與紙面即包含相向的承載梁的延伸線28的平面垂直的方向延伸，由此使支撐部件65的配置空間緊湊。即，在本實施方式中，支撐部件65配置成與滑塊的向固定夾具搭載的搭載預定面平行。但是，只要能夠?qū)Τ休d梁12的撓曲進行支撐，延伸方向等就可以設為各種角度。進一步，也可以設為從前端部起沿著承載梁的延伸線28配置支撐部件65并使支撐部件65沿著承載梁的延伸線28進退的方式。
[0037]另外，在本實施方式中，作為支撐部件65支撐的承載梁12的部位，支撐比載荷彎曲部靠前端方向的位置。但是，只要能夠抑制承載梁12由于按壓而撓曲、并抑制與在載置執(zhí)行期間施加的力的方向相向的副懸架16的損壞，支撐部件65的支撐位置就不限定于此。也可以用支撐部件65支撐例如比載荷彎曲部靠后端方向的位置。高效地優(yōu)選，在凹陷12a的附近且在與向承載梁12施加的力的方向相反一側(cè)的區(qū)域由支撐部件65進行支撐，使得不向凹陷12a付與負荷。
[0038]接下來，參照圖2對由具有以上所述的支撐部件65的HSA制造裝置進行的滑塊13向撓性件11的安裝工序進行說明。另外，圖2以與圖1A以及IB同樣的樣式示意性地表示安裝工序的各階段中的諸多構(gòu)成的位置關系等。首先在步驟I中，調(diào)整側(cè)面相機41(參照圖3)與承載梁12等的相對位置使得成為滑塊13的搭載對象的撓性件11以及承載梁12配置于拍攝區(qū)域25內(nèi)。調(diào)整后，側(cè)面相機41對拍攝區(qū)域25內(nèi)的構(gòu)成進行拍攝。拍攝結(jié)果被進行圖像分析，檢測搭載預定面所成的線26與承載梁12的延伸線28的角度Θ即載荷彎曲角度或者撓性件11的延伸方向與搭載預定面所成的線26所成的角。同時，求出互相相對的一對撓性件11之間的間隔、以及滑塊安裝對象側(cè)的承載梁12的翼片12b的配置，算出校正部件14的插入位置。
[0039]在步驟2中，使保持滑塊安裝前的HAS的臺部61(參照圖3)與校正部件14的相對位置變化，使得校正部件14位于在步驟I中算出的插入位置。通過該操作，校正部件14如圖中步驟2所示那樣配置于接近翼片12b上方的位置。然后，臺部61與校正部件14進一步使相對位置變化，使校正部件14在抵接于翼片12后按壓該翼片12b，使得未圖示的載荷彎曲部與由E塊支撐的副懸架16抵接的面所成的延伸線平行(圖中箭頭所示的下方向)。該按壓操作，如步驟3所示持續(xù)到撓性件11上的滑塊搭載面與延伸線26平行或者一致為止。作為具體的操作，例如通過圖像求出包括滑塊搭載面的撓性件11的前端部及其附近的從承載梁12分離的部分的延伸方向，檢測該方向是否與延伸線26平行等。但是，只要能夠檢測撓性件11上的滑塊13搭載面是否處于與延伸線26平行姿勢，則檢測樣式并不限定于此。另外，該是否一致等的檢測，通過由側(cè)面相機41連續(xù)地進行針對拍攝區(qū)域25的圖像處理而執(zhí)行。在本發(fā)明中，側(cè)面相機41作為具有與搭載預定面平行的拍攝光軸的側(cè)面拍攝單元而起作用。另外，上述的檢測等，通過采用利用對由側(cè)面拍攝單元得到的圖像進行分析的未圖示的圖像分析單元的公知的圖像分析法而執(zhí)行，由此成為步驟3的狀態(tài)。
[0040]在步驟4中，采用針對通過與步驟2同樣的方式拍攝到的拍攝區(qū)域25的圖像處理或針對步驟2中拍攝到的拍攝區(qū)域25的圖像處理而算出撐部件65與承載梁12的相對位置，將相對距離設為0.3mm，臺部61(參照圖3)與支撐部件65使相對位置進一步變化。
[0041]在步驟5中，在撓性件11上存在用于得到用于算出滑塊13的搭載位置的至少二個基準點的基準標記。在本實施方式中，作為用于這二個基準點算出的第一基準標記31以及第二基準標記33，設有二個孔?；鶞庶c是為了算出滑塊13的搭載位置而使用的。即，只要能夠確定在將撓性件11的搭載面設為平面坐標系的情況下的、平面坐標上的XY值和作為相對于坐標系的傾斜角的Θ值即可，不用管形成基準點的基準標記的形狀和/或數(shù)量。通過步驟3所示的撓性件11前端部附近與延伸線26平行，由此基準標記也與搭載位置一起在平行面上排成列。由此，在對基準標記進行拍攝時，不需要考慮由撓性件11的傾斜等引起的各個基準標記的應變和/或焦點錯位。由下方相機19(參照圖3)對滑塊搭載面上的該第一基準標記31以及該第二基準標記33進行拍攝。基于拍攝到的圖像中的這些基準標記，算出滑塊13在撓性件11上的搭載位置。另外，在本發(fā)明中，下方相機19構(gòu)成為了求出搭載面的位置而對設置于副懸架16的基準標記進行拍攝的基準標記拍攝單元?；鶞蕵擞浥臄z單元，在經(jīng)由側(cè)面相機41等檢測到了撓性件11配置于搭載預定面內(nèi)的情況下，執(zhí)行該基準標記的拍攝。以使得由此求出的撓性件11上的搭載面與滑塊13能夠粘接的方式，由樹脂涂敷部59(參照圖3)供給有樹脂等粘接物22。
[0042]在步驟6中，向搭載位置輸送由卡盤21保持的滑塊13。
[0043]在步驟7中，由樹脂涂敷部59供給到該搭載位置的粘接物22抵接于由卡盤21保持的滑塊13，使副懸架16要向與搭載方向的力相同方向的撓曲。此時，支撐部65抵接于構(gòu)成副懸架16的承載梁12，從而阻礙副懸架16撓曲。由此，能夠促進粘接物22破壞并縮短搭載時間，即使一方的副懸架16要隔著支撐部件65同在該力的方向上相向的另一方的副懸架16接觸，由于支撐部件65也不能直接接觸，所以能夠抑制在與搭載方向的力相同方向上對應的一方的副懸架16損壞。然后，滑塊13相對于撓性件11上的搭載位置抵接，然后卡盤21將滑塊13釋放。通過以上的操作，滑塊13的安裝工序結(jié)束。
[0044]通過使用以上所述的作為本發(fā)明的一個實施方式的HSA制造裝置，能夠在針對E塊的承載梁和/或撓性件等的安裝結(jié)束后高效地搭載滑塊。由此，能夠在E塊安裝后進行滑塊13的安裝工序，也能夠減少在滑塊實際安裝后對撓性件進行處理的工序。其結(jié)果，消除了在撓性件的處理時可能產(chǎn)生的對滑塊的損傷負荷，有望提升HSA的制造效率。另外，在最終檢查階段被認定為不良的滑塊單體的拆除以及新滑塊的實際安裝也可以由本裝置來對應，有望提升HSA狀態(tài)下的再生率。另外，在圖2中相向的副懸架16等省略表不，但在實際的工序中它們是存在的，當然不用說卡盤21等也是能夠進入相向的副懸架16間而進行該安裝工序的構(gòu)造。
[0045]對以上所述的本發(fā)明的主要構(gòu)成進行總結(jié)。另外，承載梁12具有向作為載荷彎曲方向而定義的特定方向的彎曲(載荷彎曲部)。載荷彎曲校正部42由校正部件14與未圖示的驅(qū)動部等構(gòu)成，并與作為承載梁12的一部分的翼片12b卡合而按壓承載梁12。由此，撓性件11被保持于搭載預定面。相對于搭載預定面，沿滑塊13搭載時的副懸架16的撓曲方向配置有支撐部件65。由此，副懸架16的撓曲得到抑制。承載梁支撐部67，由支撐部件65與未圖示的驅(qū)動部構(gòu)成，設為對副懸架16的撓曲進行抑制的構(gòu)成而定義。另外，撓性件姿勢檢測單元構(gòu)成為包括側(cè)面相機41和進行圖像分析的未圖示的控制裝置，并檢測由承載梁支撐的撓性件的姿勢。
[0046]接下來，對包括這些構(gòu)成的HSA制造裝置的具體構(gòu)成進行說明。圖3是示意性地表示包括在前面的實施方式中敘述了的支撐部65的HSA制造裝置的平面圖。另外，在本實施例中，設為通過能夠插入相向的撓性件11間的反射鏡和具有沿著圖2等所示的延伸線的光軸的相機對上述的二個基準標記進行拍攝。在該情況下，在圖2的步驟5中，在撓性件11之間插入有該反射鏡15，相機17經(jīng)由該反射鏡15拍攝第一基準標記31以及第二基準標記33。通過設為該方式，即使在例如圖1A以及IB所示的副懸架16的對具有多個的情況下，也能夠容易地算出各自的搭載位置。
[0047]本發(fā)明的一個實施方式所涉及的HSA制造裝置100具有相機17、下方相機19、側(cè)面相機41、載荷彎曲校正部42、承載梁支撐部67、托盤供給部47、托盤排出部49、滑塊安裝頭51、滑塊供給部57、樹脂涂敷部59、托盤臺61、反射鏡部63以及托盤輸送部53、55。承載梁支撐部67能夠與托盤臺61等聯(lián)動而進行XYZ方向的相對變更，支撐上述支撐部件65。另外，承載梁支撐部67也能夠獨立進行XYZ方向的位置變更。支撐部件65通過與該托盤臺61等的聯(lián)動而執(zhí)行上述圖2中的各步驟中的動作。即，驅(qū)動承載梁支撐部67的構(gòu)成與驅(qū)動托盤臺61的構(gòu)成一起構(gòu)成能夠使按壓承載梁12以及撓性件11而使位置變化的該校正部件14與支撐部件65的相對位置變化的相對位置變更單元。另外，該相對位置變更單元可以由公知的XYZ的驅(qū)動機構(gòu)構(gòu)筑。另外，也可以不由驅(qū)動承載梁支撐部67的構(gòu)成與驅(qū)動托盤臺61等的構(gòu)成這兩者構(gòu)成相對位置變更單元，而僅由它們中的一方構(gòu)筑相對位置變更單元。
[0048]反射鏡部63具備上述的相機17與反射鏡15，形成為規(guī)定了拍攝光軸與反射鏡的位置關系以及相機17的拍攝光軸方向的反射鏡15與相機17的距離的一體構(gòu)造。在側(cè)面相機41拍攝上述拍攝區(qū)域25的本實施方式中，下方相機19檢測滑塊13的由卡盤21把持的把持姿勢。向托盤供給部47供給載置有多個在E塊35上固定有副懸架16的滑塊安裝前HAS的托架。該托架經(jīng)托盤輸送部55而載置于托盤臺61。此時，由樹脂涂敷部59在撓性件11上的滑塊13的大致固定位置進行樹脂的涂敷。
[0049]滑塊供給部57供給被載置于滑塊托盤45上的安裝預定的滑塊13?；瑝K安裝頭51具有上述卡盤21。該滑塊13在被從滑塊供給部57上拆下后，暫時放置于暫時放置臺上并由卡盤21把持。托盤臺61上的滑塊13安裝前HAS由托盤臺61移動，進行由側(cè)面相機41進行的搭載預定位置檢測、以及由反射鏡部63進行的基于基準標記31、33的基準點的檢測。同時由下方相機19檢測由卡盤21把持的滑塊13的把持姿勢等。然后，滑塊13相對于撓性件11的安裝由卡盤21來執(zhí)行。在滑塊13安裝到了所有撓性件11上后，HAS被經(jīng)由托盤輸送部53向托盤排出部49輸送。由托盤排出部49帶著托架輸送的各HAS被向之后的檢查工序等輸送。
[0050]通過使用以上的HSA制造裝置，相對于隔著微小的間隔而配置的多個副懸架16的各個，能夠一邊縮短實際安裝時間且抑制副懸架16的損壞，一邊高效地搭載滑塊13。另外，這里例示的HSA制造裝置中的支撐部件65與滑塊安裝前的撓性件11的相對位置的變化以及包含與其檢測有關的側(cè)面相機的機構(gòu)移動，只要可得到驅(qū)動范圍與必要停止精度，就能夠使用公知的滑塊驅(qū)動裝置、電動機等各種驅(qū)動裝置。
[0051]通過配置以上的構(gòu)成，也可以得到能夠一邊避免同在與搭載方向的力相同方向上相向的副懸架接觸一邊搭載滑塊的繼發(fā)效應。或者，能夠消除在撓性件的處理時有可能產(chǎn)生的向滑塊的損傷負荷。
[0052]如上所述，本發(fā)明作為所謂頭的制造裝置是高效的。但是，只要是由粘接物相對保持Imm左右的窄間隔而配置的板狀的部件進行粘接的工序，便可以適用本裝置等。
【主權(quán)項】
1.一種頭堆疊組件制造裝置，其將滑塊搭載于撓性件的搭載面，該撓性件被支撐于具有載荷彎曲部并被支撐于頭堆疊組件的E塊的板狀的承載梁，該頭堆疊組件制造裝置的特征在于: 具有使滑塊搭載時的搭載方向的力緩和的承載梁支撐部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 具有載荷彎曲校正部， 該載荷彎曲校正部能夠以使得所述承載梁支撐部與所述承載梁的相對位置始終為一定量的方式按壓所述承載梁而將所述撓性件保持于搭載預定面內(nèi)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 具有撓性件姿勢檢測單元， 該撓性件姿勢檢測單元檢測被支撐于由所述載荷彎曲校正部按壓的所述承載梁的所述撓性件的姿勢。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 具有相對位置變更單元， 該相對位置變更單元能夠使按壓所述承載梁以及所述撓性件而使位置變化的所述載荷彎曲校正部與所述承載梁支撐部的相對位置變化； 所述載荷彎曲校正部通過所述相對位置變更單元執(zhí)行所述按壓，使得所述承載梁支撐部與所述承載梁的相對位置始終為一定量。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 所述撓性件姿勢檢測單元具有:具有與所述搭載預定面平行的拍攝光軸的橫向拍攝單元;和對由所述橫向拍攝單元得到的圖像進行分析的圖像分析單元， 在檢測所述撓性件的姿勢時，所述相對位置變更單元使得所述撓性件移動到所述橫向拍攝單元的拍攝區(qū)域。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 具有對為了求出所述搭載面的位置而設置于所述撓性件的基準標記進行拍攝的基準標記拍攝單元， 所述基準標記拍攝單元，在所述撓性件姿勢檢測單元檢測到了所述撓性件配置于所述搭載預定面內(nèi)的情況下，執(zhí)行所述基準標記的拍攝。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 具有能夠保持所述滑塊而將所述滑塊載置到所述撓性件的滑塊搭載面上的滑塊安裝頭， 所述滑塊安裝頭，在所述撓性件姿勢檢測單元檢測到了所述撓性件配置于所述搭載預定面內(nèi)的情況下，執(zhí)行所述滑塊的載置。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 具有能夠保持所述滑塊而將所述滑塊載置到所述撓性件的滑塊搭載預定面上的滑塊安裝頭， 所述滑塊安裝頭，在所述撓性件姿勢檢測單元檢測到了所述撓性件配置于所述搭載預定面內(nèi)的情況下，執(zhí)行所述滑塊向基于所述基準標記算出的搭載位置的載置。9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 具有能夠使所述載荷彎曲校正部與所述承載梁支撐部的相對位置變化的相對位置變更單元， 所述載荷彎曲校正部通過所述相對位置變更單元執(zhí)行按壓。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 所述承載梁支撐部具有與配置于所述搭載預定面的所述承載梁直接抵接的支撐部件； 所述支撐部件支撐所述承載梁面內(nèi)的比所述載荷彎曲部靠前端方向的部位。11.一種頭堆疊組件制造裝置，其將滑塊搭載于撓性件的搭載面，該撓性件由具有載荷彎曲部并被支撐于頭堆疊組件的E塊的板狀的承載梁進行姿勢控制，該頭堆疊組件制造裝置的特征在于，具有: 承載梁支撐部，與所述承載梁的一部分接合并向與所述載荷彎曲部的彎曲方向相反的方向被所述承載梁按壓，并在搭載預定面內(nèi)支撐所述撓性件;和 相對位置變更單元，能夠使按壓所述承載梁而使所述撓性件的位置變化的所述載荷彎曲校正部與所述承載梁支撐部的相對位置變化， 所述承載梁支撐部通過所述相對位置變更單元，使得所述承載梁支撐部與所述承載梁的相對位置始終為一定量。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的頭堆疊組件制造裝置，其特征在于: 所述承載梁支撐部具有與所述搭載預定面平行地配置并與所述承載梁直接抵接的支撐部件，所述支撐部件配置于下述部位，該部位與所述載荷彎曲部相比處于靠前端方向，并且在所述支撐部件配置于該部位時，凹陷在所述滑塊的載置執(zhí)行期間不會因所述滑塊與所述承載梁支撐部的夾入而損傷。
【文檔編號】G11B5/48GK105913858SQ201610091516
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年2月18日
【發(fā)明人】川島崇, 水野亨, 鈴木英利, 早見健, 早見健一
【申請人】Tdk株式會社