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EPROM單元及其制造方法、包括其的EPROM單元陣列與流程

文檔序號(hào):12128474閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,包括:

具有第一導(dǎo)電性的半導(dǎo)體層;

具有第二導(dǎo)電性的第一結(jié)區(qū)和具有第二導(dǎo)電性的第二結(jié)區(qū),其中,第一結(jié)區(qū)和第二結(jié)區(qū)設(shè)置在半導(dǎo)體層的上部區(qū)域內(nèi),并且彼此間隔開(kāi);

柵絕緣圖案和浮柵圖案,柵絕緣圖案和浮柵圖案順序地層疊在半導(dǎo)體層之上、在第一結(jié)區(qū)與第二結(jié)區(qū)之間;

第一金屬接觸插塞,與第一結(jié)區(qū)耦接,其中,在第一金屬接觸插塞與第一結(jié)區(qū)之間形成歐姆接觸;以及

第二金屬接觸插塞,與第二結(jié)區(qū)耦接,其中,在第二金屬接觸插塞與第二結(jié)區(qū)之間形成肖特基接觸。

2.如權(quán)利要求1所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,其中,第一導(dǎo)電性為N型導(dǎo)電性,而第二導(dǎo)電性為P型導(dǎo)電性。

3.如權(quán)利要求1所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,其中,第一結(jié)區(qū)包括:

第一輕摻雜結(jié)區(qū),設(shè)置在半導(dǎo)體層內(nèi),并且具有第一雜質(zhì)濃度;以及

第一重?fù)诫s結(jié)區(qū),設(shè)置在第一輕摻雜結(jié)區(qū)的上部區(qū)域內(nèi),并且具有第二雜質(zhì)濃度。

4.如權(quán)利要求3所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,其中,第二雜質(zhì)濃度高于第一雜質(zhì)濃度。

5.如權(quán)利要求4所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,其中,將第一輕摻雜結(jié)區(qū)和第一重?fù)诫s結(jié)區(qū)組合而構(gòu)成雙擴(kuò)散漏極結(jié)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求5所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,其中,第一輕摻雜結(jié)區(qū)和第二結(jié)區(qū)分別與浮柵圖案的兩個(gè)側(cè)壁對(duì)齊。

7.如權(quán)利要求4所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,其中,第二結(jié)區(qū)具有與第一結(jié)區(qū)大體上相同的結(jié)深度。

8.如權(quán)利要求4所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,其中,第二結(jié)區(qū)具有第一雜質(zhì)濃度。

9.如權(quán)利要求4所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,還包括:

第一柵間隔件和第二柵間隔件,第一柵間隔件和第二柵間隔件設(shè)置在浮柵圖案的第一側(cè)壁和第二側(cè)壁之上,并且還分別在柵絕緣圖案的第一側(cè)壁和第二側(cè)壁之上延伸,

其中,第一重?fù)诫s結(jié)區(qū)與第一柵間隔件的外側(cè)壁對(duì)齊。

10.如權(quán)利要求1所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,還包括:

金屬硅化物層,設(shè)置在第二結(jié)區(qū)與第二金屬接觸插塞之間。

11.如權(quán)利要求1所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元,還包括:

第一金屬硅化物層,設(shè)置在第一結(jié)區(qū)與第一金屬接觸插塞之間;以及

第二金屬硅化物層,設(shè)置在第二結(jié)區(qū)與第二金屬接觸插塞之間。

12.一種電可編程只讀存儲(chǔ)器單元陣列,包括:

第一選擇線,

第二選擇線,與第一選擇線相交,以及

單位單元,分別設(shè)置在第一選擇線與第二選擇線的交叉點(diǎn)處,

其中,單位單元中的每個(gè)包括:

具有第一導(dǎo)電性的半導(dǎo)體層;

具有第二導(dǎo)電性的第一結(jié)區(qū)和具有第二導(dǎo)電性的第二結(jié)區(qū),其中,第一結(jié)區(qū)和第二結(jié)區(qū)設(shè)置在半導(dǎo)體層的上部區(qū)域內(nèi),并且彼此間隔開(kāi);

柵絕緣圖案和浮柵圖案,順序地層疊在半導(dǎo)體層之上、在第一結(jié)區(qū)和第二結(jié)區(qū)之間;

第一金屬接觸插塞,與第一結(jié)區(qū)耦接,其中,在第一金屬接觸插塞與第一結(jié)區(qū)之間形成歐姆接觸;以及

第二金屬接觸插塞,與第二結(jié)區(qū)耦接,其中,在第二金屬接觸插塞與第二結(jié)區(qū)之間形成肖特基接觸。

13.如權(quán)利要求12所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元陣列,

其中,第一金屬接觸插塞用作漏極端子,

其中,第二金屬接觸插塞用作源極端子,以及

其中,漏極端子和源極端子分別與第一選擇線中的一個(gè)和第二選擇線中的一個(gè)連接。

14.如權(quán)利要求13所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元陣列,

其中,排列在同一列內(nèi)的單位單元的漏極端子共同地連接至第一選擇線中的一個(gè);以及

其中,排列在同一行內(nèi)的單位單元的源極端子共同地連接至第二選擇線中的一個(gè)。

15.一種電可編程只讀存儲(chǔ)器單元陣列,包括:

多個(gè)第一選擇線;

多個(gè)第二選擇線,與多個(gè)第一選擇線相交;以及

多個(gè)單位單元,分別設(shè)置在多個(gè)第一選擇線與多個(gè)第二選擇線的交叉點(diǎn)處,

其中,多個(gè)單位單元中的每個(gè)包括MOSFET和肖特基勢(shì)壘二極管,

其中,MOSFET和肖特基勢(shì)壘二極管彼此串聯(lián)耦接在多個(gè)第一選擇線中的任意一個(gè)與多個(gè)第二選擇線中的任意一個(gè)之間。

16.如權(quán)利要求15所述的電可編程只讀存儲(chǔ)器單元陣列,其中,肖特基勢(shì)壘二極管的陽(yáng)極和陰極分別與MOSFET的源極端子和多個(gè)第二選擇線中的一個(gè)連接。

17.一種制造電可編程只讀存儲(chǔ)器單元的方法,所述方法包括:

在半導(dǎo)體層之上形成柵絕緣圖案,其中,半導(dǎo)體層具有第一導(dǎo)電性;

在柵絕緣圖案之上形成浮柵圖案;利用浮柵圖案作為離子注入掩模而將具有第二導(dǎo)電性的雜質(zhì)離子注入至半導(dǎo)體層內(nèi),以形成第一結(jié)區(qū)和第二結(jié)區(qū),其中,第一結(jié)區(qū)和第二結(jié)區(qū)二者都具有第一雜質(zhì)濃度;

在浮柵圖案的第一側(cè)壁之上和柵絕緣圖案的第一側(cè)壁之上形成第一柵間隔件;

在浮柵圖案的第二側(cè)壁之上和柵絕緣圖案的第二側(cè)壁之上形成第二柵間隔件;

形成暴露出第一結(jié)區(qū)并且覆蓋第二結(jié)區(qū)的掩模圖案;

利用掩模圖案和第一柵間隔件作為離子注入掩模而將具有第二導(dǎo)電性的雜質(zhì)離子注入至第一結(jié)區(qū),以在第一結(jié)區(qū)的上部區(qū)域內(nèi)形成第一重?fù)诫s結(jié)區(qū),其中,第一重?fù)诫s結(jié)區(qū)具有第二雜質(zhì)濃度;

去除掩模圖案;以及

形成分別與第一重?fù)诫s結(jié)區(qū)和第二結(jié)區(qū)耦接的第一金屬接觸插塞和第二金屬接觸插塞,

其中,第一重?fù)诫s結(jié)區(qū)與第一金屬接觸插塞彼此接觸,以提供歐姆接觸,以及

其中,第二結(jié)區(qū)與第二金屬接觸插塞彼此接觸,以提供肖特基接觸。

18.如權(quán)利要求17所述的方法,其中,第一導(dǎo)電性為N型導(dǎo)電性,而第二導(dǎo)電性為P型導(dǎo)電性。

19.如權(quán)利要求18所述的方法,其中,第二雜質(zhì)濃度高于第一雜質(zhì)濃度。

20.如權(quán)利要求17所述的方法,還包括在第一重?fù)诫s結(jié)區(qū)與第一金屬接觸插塞之間形成第一金屬硅化物層。

21.如權(quán)利要求17所述的方法,還包括:

在第一重?fù)诫s結(jié)區(qū)與第一金屬接觸插塞之間形成第一金屬硅化物層;以及

在第二結(jié)區(qū)與第二金屬接觸插塞之間形成第二金屬硅化物層。

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