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一種陣列基板及其制作方法、顯示面板的制作方法_3

文檔序號(hào):8380617閱讀:來源:國(guó)知局
號(hào)線區(qū)形成第一導(dǎo)電層11 ;
[0088]S13:形成第一絕緣層13覆蓋所述第一導(dǎo)電層11 ;
[0089]S14:在所述第一絕緣層13上形成第一過孔14,暴露部分第一導(dǎo)電層11 ;
[0090]S15:在所述第一絕緣層13形成第二導(dǎo)電層12,所述第二導(dǎo)電層12通過所述第一過孔14與所述第一導(dǎo)電層11電連接。
[0091]具體的,在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中,該方法包括:提供第一基板;在所述第一基板第一側(cè)形成一導(dǎo)電層,對(duì)該導(dǎo)電層進(jìn)行刻蝕,在所述第一基板第一側(cè)走線區(qū)中的第一信號(hào)線區(qū)形成第一導(dǎo)電層11 ;在所述第一導(dǎo)電層11背離所述第一基板一側(cè)形成第一絕緣層13,所述第一絕緣層13完全覆蓋所述第一導(dǎo)電層11 ;對(duì)所述第一絕緣層13進(jìn)行刻蝕,在所述第一絕緣層13中形成第一過孔14,所述第一過孔14暴露出部分所述第一導(dǎo)電層11表面;在所述第一絕緣層13背離所述第一導(dǎo)電層11 一側(cè)形成一導(dǎo)電層,對(duì)該導(dǎo)電層進(jìn)行刻蝕,在所述第一絕緣層13背離所述第一導(dǎo)電層11 一側(cè)的第一信號(hào)線區(qū)形成第二導(dǎo)電層12,所述第二導(dǎo)電層12通過所述第一過孔14與所述第一導(dǎo)電層11電連接。
[0092]在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,該方法還包括:在所述第一基板第一側(cè)的走線區(qū)形成多個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)單元以及與所述柵極驅(qū)動(dòng)單元電連接的連接信號(hào)線3,其中,所述連接信號(hào)線3通過第二過孔4與所述第一信號(hào)線I電連接,將所述第一信號(hào)線I中的驅(qū)動(dòng)信號(hào)傳輸給所述柵極驅(qū)動(dòng)單元。
[0093]需要說明的是,在本發(fā)明實(shí)施例中,所述連接信號(hào)線3可以形成于所述第一導(dǎo)電層11背離所述第二導(dǎo)電層12的一側(cè),通過與所述第一信號(hào)線I中的第一導(dǎo)電層11電連接,實(shí)現(xiàn)所述連接信號(hào)線3與所述第一信號(hào)線I的電連接;也可以形成于所述第二導(dǎo)電層12背離所述第一導(dǎo)電層11的一側(cè),通過與所述第一信號(hào)線I中的第二導(dǎo)電層12的電連接,實(shí)現(xiàn)所述連接信號(hào)線3與所述第一信號(hào)線I的電連接,在本發(fā)明的其他實(shí)施例中,所述連接信號(hào)線3還可以形成于所述第一導(dǎo)電層11和所述第二導(dǎo)電層12之間,通過同時(shí)與所述第一導(dǎo)電層11和第二導(dǎo)電層12電連接,實(shí)現(xiàn)所述連接信號(hào)線3與所述第一信號(hào)線I的電連接,本發(fā)明對(duì)此并不做限定,具體視情況而定。
[0094]需要說明的是,在本發(fā)明的其他實(shí)施例中,所述連接信號(hào)線3還可以用于為其他驅(qū)動(dòng)單元提供驅(qū)動(dòng)信號(hào),發(fā)明對(duì)此并不做限定,具體視情況而定。
[0095]在上述任一實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本發(fā)明實(shí)施例中,該方法還包括:在所述第一基板第一側(cè)的顯示區(qū)形成柵極層5、源漏極層6、像素電極層7、公共電極層8和信號(hào)傳輸走線層9 ;所述公共電極層8包括多個(gè)觸控單元,所述觸控單元在顯示階段用作公共電極,在觸控階段用作觸控電極;所述信號(hào)傳輸走線層9包括多條信號(hào)傳輸走線,所述信號(hào)傳輸走線與所述觸控單元電連接,在顯示階段為所述觸控單元提供公共電壓信號(hào),在觸控階段為所述觸控單元提供觸控信號(hào)。
[0096]在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述第一導(dǎo)電層11與所述柵極層5同時(shí)形成,所述連接信號(hào)線3與所述源漏極層6同時(shí)形成,以減少所述陣列基板的制程,提高所述陣列基板的生產(chǎn)效率,降低所述陣列基板的成本;在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中,所述第一導(dǎo)電層11與所述源漏極層6同時(shí)形成,所述連接信號(hào)線3與所述柵極層5同時(shí)形成,以減少所述陣列基板的制程,提高所述陣列基板的生產(chǎn)效率,降低所述陣列基板的成本;在本發(fā)明的其他實(shí)施例中,所述第一導(dǎo)電層11和/或所述連接信號(hào)線3還可以單獨(dú)形成,本發(fā)明對(duì)此并不足限定,具體視情況而定。
[0097]在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,述第二導(dǎo)電層12可以單獨(dú)形成,也可以與所述像素電極層7同時(shí)形成,或與所述公共電極層8同時(shí)形成,或與所述信號(hào)傳輸走線層9同時(shí)形成,以進(jìn)一步減少所述陣列基板的制程,提高所述陣列基板的生產(chǎn)效率,降低所述陣列基板的成本,本發(fā)明對(duì)此并不做限定,具體視情況而定。
[0098]在上述任一實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,如圖22所示,該方法還包括:
[0099]S21:在所述第一基板第一側(cè)走線區(qū)中第二信號(hào)線區(qū)形成第三導(dǎo)電層21 ;S22:形成第二絕緣層24覆蓋所述第三導(dǎo)電層21 ;S23:在所述第二絕緣層24上形成第三過孔26,暴露部分第三導(dǎo)電層21 ;S24:在所述第二絕緣層24上形成第四導(dǎo)電層22,所述第四導(dǎo)電層22通過所述第三過孔26與所述第三導(dǎo)電層21電連接;S25:形成第三絕緣層25覆蓋所述第四導(dǎo)電層22 ;S26:在所述第三絕緣層25上形成第四過孔27,暴露部分第四導(dǎo)電層22 ;S27:在所述第三絕緣層25上形成第五導(dǎo)電層23,所述第五導(dǎo)電層23通過所述第四過孔27與所述第四導(dǎo)電層22電連接。
[0100]具體的,在本發(fā)明的一個(gè)可選實(shí)施例中,該方法包括:
[0101]在所述第一基板第一側(cè)形成一導(dǎo)電層,對(duì)該導(dǎo)電層進(jìn)行刻蝕,在所述第一基板第一側(cè)的第一信號(hào)線區(qū)形成第一導(dǎo)電層11,同時(shí)在第二信號(hào)線區(qū)形成第三導(dǎo)電層21 ;
[0102]在所述第一導(dǎo)電層11背離所述第一基板一側(cè)形成第一絕緣層13,所述第一絕緣層13完全覆蓋所述第一導(dǎo)電層11和所述第三導(dǎo)電層21 ;
[0103]對(duì)所述第一絕緣層13進(jìn)行刻蝕,在所述第一絕緣層13中形成第一過孔14和第三過孔26,其中,所述第一過孔14暴露出部分所述第一導(dǎo)電層11表面,所述第三過孔26暴露出部分所述第三導(dǎo)電層21表面;
[0104]在所述第一絕緣層13背離所述第一導(dǎo)電層11 一側(cè)形成一導(dǎo)電層,并對(duì)該導(dǎo)電層進(jìn)行刻蝕,在所述第一絕緣層13背離所述第一導(dǎo)電層11 一側(cè)的第一信號(hào)線區(qū)形成第二導(dǎo)電層12,同時(shí)在所述第一絕緣層13背離所述第一導(dǎo)電層11 一側(cè)的第二信號(hào)線區(qū)形成第四導(dǎo)電層22,其中,所述第二導(dǎo)電層12通過所述第一過孔14與所述第一導(dǎo)電層11電連接,所述第四導(dǎo)電層22通過所述第三過孔26與所述第三導(dǎo)電層21電連接;
[0105]在所述第二導(dǎo)電層12背離所述第一導(dǎo)電層11 一側(cè)形成第三絕緣層25,所述第三絕緣層25完全覆蓋所述第二導(dǎo)電層12和所述第四導(dǎo)電層22 ;
[0106]對(duì)所述第三絕緣層25進(jìn)行刻蝕,在所述第三絕緣層25中形成第二過孔4和第四過孔27,其中,所述第二過孔4暴露出部分所述第二導(dǎo)電層12表面,所述第四過孔27暴露出部分所述第四導(dǎo)電層22表面;
[0107]在所述第三絕緣層25背離所述第二導(dǎo)電層12 —側(cè)形成一導(dǎo)電層,并對(duì)該導(dǎo)電層進(jìn)行刻蝕,在所述第三絕緣層25背離所述第二導(dǎo)電層12 —側(cè)的第一信號(hào)線區(qū)形成連接信號(hào)線3,在所述第二信號(hào)線區(qū)形成第五導(dǎo)電層23,其中,所述連接信號(hào)線3通過所述第二過孔4與所述第二導(dǎo)電層12電連接,所述第五導(dǎo)電層23通過所述第四過孔27與所述第四導(dǎo)電層22電連接。
[0108]需要說明的是,在本發(fā)明的其他實(shí)施例中,還可以所述第一導(dǎo)電層11與所述第三導(dǎo)電層21同時(shí)形成,所述第二導(dǎo)電層12與所述第五導(dǎo)電層23同時(shí)形成,所述連接信號(hào)線3與所述第四導(dǎo)電層22同時(shí)形成,或所述第一導(dǎo)電層11、第二導(dǎo)電層12、第三導(dǎo)電層21、第四導(dǎo)電層22、第五導(dǎo)電層23和連接信號(hào)線3均單獨(dú)形成,本發(fā)明對(duì)此并不做限定,具體視情況而定。
[0109]在上述任一實(shí)施例的基礎(chǔ)上,在本發(fā)明實(shí)施例中,所述第三導(dǎo)電層21可以單獨(dú)形成,也可以與所述柵極層5同時(shí)形成,或與所述源漏極層6同時(shí)形成,或與所述像素電極層7同時(shí)形成,或與所述公共電極層8同時(shí)形成,或與所述信號(hào)傳輸走線層9同時(shí)形成;所述第四導(dǎo)電層22可以單獨(dú)形成,或與所述柵極層5同時(shí)形成,或與所述源漏極層6同時(shí)形成,或與所述像素電極層7同時(shí)形成,或與所述公共電極層8同時(shí)形成,或與所述信號(hào)傳輸走線層9同時(shí)形成;所述第五導(dǎo)電層23可以單獨(dú)形成,也可以與所述柵極層5同時(shí)形成,或與所述源漏極層6同時(shí)形成,或與所述像素電極層7同時(shí)形成,或與所述公共電極層8同時(shí)形成,或與所述信號(hào)傳輸走線層9同時(shí)形成,本發(fā)明對(duì)此并不做限定,只要保證所述第三導(dǎo)電層21、所述第四導(dǎo)電層22與所述第五導(dǎo)電層23均位于不同層,且相互電連接,從而可以在相同阻值的情況下,降低所述第一信號(hào)線I和第二信號(hào)線2的寬度,進(jìn)而縮小所述陣列基板的邊框面積即可。
[0110]綜上所述,本發(fā)明實(shí)施例所提供的陣列基板及其制作方法中,所述走線區(qū)包括多條第一信號(hào)線1,所述第一信號(hào)線I包括電連接的第一導(dǎo)電層11和第二導(dǎo)電層12,以降低所述第一信號(hào)線I的電阻,使得本發(fā)明實(shí)施例所提供的第一信號(hào)線,相較于現(xiàn)有技術(shù)中的第一信號(hào)線,在相同阻值的情況下,本發(fā)明實(shí)施例所提供的第一信號(hào)線I寬度較小,從而在相同走線的數(shù)量下,減小了所述陣列基板中走線區(qū)202的面積,進(jìn)而縮小了包括該陣列基板的顯示面板的邊框
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