技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
公開了數(shù)據(jù)傳輸方法、非暫時性存儲介質(zhì)、數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備、光刻裝置和制造產(chǎn)品的方法。將記錄在制造裝置的日志數(shù)據(jù)中的日志信息的數(shù)據(jù)發(fā)送到外部設(shè)備的數(shù)據(jù)傳輸方法包括存儲第一標識符的信息和第二標識符的信息之間的對應(yīng)信息，該第一標識符是用于標識關(guān)于由所述制造裝置執(zhí)行的處理的事物的標識符并且所述第一標識符由所述制造裝置和外部設(shè)備共享，第二標識符是用于標識關(guān)于由所述制造裝置執(zhí)行的處理的事物的標識符并且所述第二標識符由所述制造裝置使用；以及基于該對應(yīng)信息獲得與記錄在日志信息中的所述第二標識符的信息相對應(yīng)的第一標識符的信息，和發(fā)送已經(jīng)添加了所獲得的第一標識符的信息的日志信息的數(shù)據(jù)。該存儲和獲得由信息處理設(shè)備執(zhí)行。

技術(shù)研發(fā)人員：增田充宏
受保護的技術(shù)使用者：佳能株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.14
技術(shù)公布日：2017.10.27