技術(shù)編號(hào)：12305179
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)施例的一個(gè)方面涉及數(shù)據(jù)傳輸方法、非暫時(shí)性存儲(chǔ)介質(zhì)、數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備、光刻裝置和制造產(chǎn)品的方法。背景技術(shù)在制造諸如設(shè)備之類的產(chǎn)品的制造裝置中，用于控制制造裝置的程序收集多條日志信息并且然后將該多條日志信息作為日志數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在制造裝置的信息處理設(shè)備中，在該多條日志信息中例如記錄了關(guān)于構(gòu)成制造裝置的各種設(shè)備的操作或控制的歷史。當(dāng)記錄在該日志數(shù)據(jù)中的日志信息的數(shù)據(jù)被發(fā)送時(shí)，監(jiān)視和控制制造裝置的外部設(shè)備(諸如主機(jī)計(jì)算機(jī))可以執(zhí)行生產(chǎn)控制、裝置中的異常檢測(cè)、故障預(yù)測(cè)、反饋控制等等。在日本專利特開No.2015...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
請(qǐng)注意，此類技術(shù)沒有源代碼，用于學(xué)習(xí)研究技術(shù)思路。