本實施例的一個方面涉及數(shù)據(jù)傳輸方法、非暫時性存儲介質(zhì)、數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備、光刻裝置和制造產(chǎn)品的方法。

背景技術(shù)：

在制造諸如設(shè)備之類的產(chǎn)品的制造裝置中，用于控制制造裝置的程序收集多條日志信息并且然后將該多條日志信息作為日志數(shù)據(jù)存儲在制造裝置的信息處理設(shè)備中，在該多條日志信息中例如記錄了關(guān)于構(gòu)成制造裝置的各種設(shè)備的操作或控制的歷史。

當(dāng)記錄在該日志數(shù)據(jù)中的日志信息的數(shù)據(jù)被發(fā)送時，監(jiān)視和控制制造裝置的外部設(shè)備(諸如主機計算機)可以執(zhí)行生產(chǎn)控制、裝置中的異常檢測、故障預(yù)測、反饋控制等等。

在日本專利特開no.2015-79817中提出的方法是將多個模塊的多條日志信息的多條數(shù)據(jù)發(fā)送到外部的方法。

這里，在外部設(shè)備中，上述生產(chǎn)控制等是通過使用用于標(biāo)識制造裝置的命令操作的作業(yè)的標(biāo)識符、用于標(biāo)識由該裝置處理的材料的標(biāo)識符等來執(zhí)行的。這些標(biāo)識符是由外部設(shè)備和制造裝置共享的標(biāo)識符(以下稱為外部標(biāo)識符)。因此，在日志信息的數(shù)據(jù)的發(fā)送中，必須添加和發(fā)送外部標(biāo)識符。

然而，在制造裝置的控制單元中，在某些情況下，僅使用在制造裝置中使用的標(biāo)識符(以下稱為內(nèi)部標(biāo)識符)將諸如用于標(biāo)識命令所操作的作業(yè)的標(biāo)識符之類的標(biāo)識符記錄在日志信息中。因此，當(dāng)發(fā)送日志信息的數(shù)據(jù)時，在某些情況下，不包含外部標(biāo)識符的信息的日志信息的數(shù)據(jù)被發(fā)送，使得不可能在外部設(shè)備中使用用于上述生產(chǎn)控制等的數(shù)據(jù)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

根據(jù)實施例的一個方面的數(shù)據(jù)傳輸方法是將記錄在制造裝置的日志數(shù)據(jù)中的日志信息的數(shù)據(jù)發(fā)送到外部設(shè)備的數(shù)據(jù)傳輸方法。該數(shù)據(jù)傳輸方法包括：存儲第一標(biāo)識符的信息和第二標(biāo)識符的信息之間的對應(yīng)信息，該第一標(biāo)識符是用于標(biāo)識關(guān)于由所述制造裝置執(zhí)行的處理的事物的標(biāo)識符并且所述第一標(biāo)識符由所述制造裝置和外部設(shè)備共享，第二標(biāo)識符是用于標(biāo)識關(guān)于由所述制造裝置執(zhí)行的處理的事物的標(biāo)識符并且所述第二標(biāo)識符由所述制造裝置使用；以及基于所述對應(yīng)信息獲得與記錄在日志信息中的所述第二標(biāo)識符的信息相對應(yīng)的第一標(biāo)識符的信息，以及發(fā)送已經(jīng)添加了所獲得的第一標(biāo)識符的信息的日志信息的數(shù)據(jù)。所述存儲和獲得由信息處理設(shè)備執(zhí)行。

從以下參考附圖對示例性實施例的描述，本公開的其它特征將變得清楚。

附圖說明

圖1示出了曝光裝置和主機計算機的配置。

圖2是示出了信息處理設(shè)備的硬件配置的框圖。

圖3是示出了中央處理單元(cpu)的配置的框圖。

圖4是示出了根據(jù)第一實施例的由cpu執(zhí)行的處理的流程圖。

圖5a至圖5j示出了根據(jù)第一實施例的日志數(shù)據(jù)、日志信息、傳輸數(shù)據(jù)等。

圖6是示出了根據(jù)第二實施例的由cpu執(zhí)行的處理的流程圖。

圖7a和圖7b示出了根據(jù)第二實施例的日志數(shù)據(jù)、日志信息、傳輸數(shù)據(jù)等。

具體實施方式

下面將參考附圖詳細(xì)描述本公開的示例性實施例。在以下的實施例中，將描述曝光裝置被用作制造裝置的示例。在整個附圖中，相同的構(gòu)件用相同的附圖標(biāo)記指代，并且省略其重復(fù)的描述。

第一實施例

圖1示出了曝光裝置和主機計算機的配置。如圖1中所示，曝光裝置10可以包括光源單元101、照明系統(tǒng)102、掩模臺104、光學(xué)投影系統(tǒng)105、晶片臺106、晶片卡盤107、預(yù)對準(zhǔn)單元109和控制單元111。

從光源單元101發(fā)射的光經(jīng)由照明系統(tǒng)102照明由掩模臺104保持的掩模103。光源單元101的光源的示例包括高壓汞燈、準(zhǔn)分子激光器等。在光源是準(zhǔn)分子激光器的情況下，光源單元101不一定被設(shè)置在曝光裝置10的室(chamber)中。光源單元101可以設(shè)置在外部。在掩模103上，繪制了待轉(zhuǎn)印的電路圖案。照明掩模103的光通過光學(xué)投影系統(tǒng)105到達(dá)晶片108。晶片108的示例包括硅晶片、玻璃板、薄膜基板等。

掩模103上的圖案經(jīng)由光學(xué)投影系統(tǒng)105轉(zhuǎn)印到感光介質(zhì)(例如，抗蝕劑)，晶片108被用該感光介質(zhì)涂布(coated)。晶片108由晶片卡盤107以通過諸如真空抽吸之類的方法使得該晶片108平坦的方式保持。晶片卡盤107由晶片臺106保持。晶片臺106是可移動的。在晶片臺106沿垂直于光學(xué)投影系統(tǒng)105的光軸的表面二維地逐步移動的同時，在晶片108的多個壓射區(qū)域上重復(fù)執(zhí)行曝光。這是被稱為步進(jìn)和重復(fù)(step-and-repeat)的曝光方法。還有被稱為步進(jìn)和掃描(step-and-scan)方法的曝光方法，其中在掩模臺104和晶片臺106同步的情況下執(zhí)行掃描和曝光。第一實施例也可以應(yīng)用于采用這種方法的曝光裝置。

在曝光裝置10中，把要經(jīng)受曝光處理的晶片108加載到曝光裝置10中，其中晶片108被放置在晶片盒110中。在晶片盒110中，存儲至少一個晶片108，并且通常存儲多個晶片108。一個晶片108通過未示出的機器人手等被從晶片盒110中取出并被放置在預(yù)對準(zhǔn)單元109中。在預(yù)對準(zhǔn)單元109中，對晶片108執(zhí)行定向調(diào)整、對準(zhǔn)等，并且然后通過機器人手將晶片108放置在晶片卡盤107上，并使晶片108經(jīng)受曝光處理。經(jīng)受了曝光處理的晶片108由機器人手從晶片卡盤107中取出并返回到晶片盒110，并且同時，在預(yù)對準(zhǔn)單元109中等待的后續(xù)晶片108被放置在晶片卡盤107上。以這種方式，晶片108順序地經(jīng)受曝光處理。在曝光裝置10以串聯(lián)的方式與另一裝置(諸如涂布/顯影裝置)(未示出)連接的情況下，可以從其它裝置輸送要經(jīng)受曝光處理的晶片108，并且可以將經(jīng)受了曝光處理的晶片108輸送到其它裝置。

控制單元111是諸如計算機之類的信息處理設(shè)備。控制單元111控制曝光裝置10的每個單元或設(shè)備，并執(zhí)行各種算術(shù)運算。在圖1所示的示例中，雖然設(shè)置了一個控制單元111，但是控制單元111的數(shù)量不限于一個。可以為曝光裝置10的各個單元或設(shè)備設(shè)置多個控制單元111。

主機計算機11是經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)等與曝光裝置10連接的信息處理設(shè)備。主機計算機11監(jiān)視和控制曝光裝置10。主機計算機11還連接到除了曝光裝置10之外的設(shè)備，并且類似地監(jiān)視和控制另一制造裝置等。例如，主機計算機11執(zhí)行關(guān)于曝光裝置10進(jìn)行操作的命令的作業(yè)。此時，主機計算機11向作業(yè)添加外部標(biāo)識符(第一標(biāo)識符)的信息，并將該作業(yè)的信息發(fā)送到曝光裝置10。

這里，外部標(biāo)識符是由曝光裝置10和諸如主機計算機11之類的外部設(shè)備共享的標(biāo)識符。外部標(biāo)識符的示例包括作為用于標(biāo)識作業(yè)的標(biāo)識符的“jobid”、作為用于標(biāo)識由曝光裝置10處理的晶片的標(biāo)識符的“waferid”等。指示作業(yè)的屬性的信息(諸如批號、配方名稱或作業(yè)步驟名稱)也可以用作外部標(biāo)識符。指示晶片的屬性的信息(諸如晶片所屬的晶片盒或晶片盒的槽)也可以用作外部標(biāo)識符。指示掩模的屬性的信息(諸如掩模的標(biāo)識符)也可以用作外部標(biāo)識符。也就是說，外部標(biāo)識符是用于標(biāo)識關(guān)于由曝光裝置10執(zhí)行的處理的事物的標(biāo)識符。

該實施例不限于從主機計算機11獲得外部標(biāo)識符的情況。例如，作為用于標(biāo)識晶片的外部標(biāo)識符的“waferid”可以從另一制造裝置獲得，諸如以串聯(lián)的方式連接到曝光裝置10的涂布/顯影裝置(未示出)。此外，作為用于標(biāo)識掩模103的外部標(biāo)識符的“maskid”可以通過利用掩模輸送單元(未示出)讀取掩模103上的條形碼等來獲得。

圖2是示出能夠執(zhí)行數(shù)據(jù)傳輸方法的信息處理設(shè)備的硬件配置的框圖。該方法通過使計算機的處理單元(中央處理單元(cpu)、微處理單元(mpu)等)讀取程序來執(zhí)行。實現(xiàn)信息處理設(shè)備的功能的軟件或程序經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)或各種存儲介質(zhì)中的每一種被提供給包括一個或多個計算機的信息處理設(shè)備。通過使信息處理設(shè)備的處理單元讀取記錄或存儲在記錄介質(zhì)或存儲介質(zhì)中的程序來執(zhí)行該程序?？梢酝ㄟ^使被定位得彼此遠(yuǎn)離的計算機經(jīng)由有線或無線通信來彼此發(fā)送和接收數(shù)據(jù)來執(zhí)行程序的各種處理。信息處理設(shè)備可以是連接到曝光裝置10的服務(wù)器，并且可以被放置在曝光裝置10中。替代地，信息處理設(shè)備可以是用作控制單元111的信息處理設(shè)備。

在圖2所示的示例中，cpu201是對與數(shù)據(jù)傳輸相關(guān)的每種類型的數(shù)據(jù)處理執(zhí)行算術(shù)運算并且控制連接到總線208的部件的處理單元。只讀存儲器(rom)202是僅用于讀取數(shù)據(jù)的存儲器，并存儲基本的控制程序。隨機存取存儲器(ram)203是用于讀取和寫入數(shù)據(jù)的存儲器，并且用于存儲要描述的傳輸數(shù)據(jù)305。ram203也用于臨時存儲由cpu201執(zhí)行的各種算術(shù)運算、數(shù)據(jù)等。存儲設(shè)備204用于存儲要描述的諸如對應(yīng)信息303和日志數(shù)據(jù)304之類的數(shù)據(jù)。存儲設(shè)備204還用作信息處理設(shè)備的操作系統(tǒng)(os)的系統(tǒng)程序的臨時存儲區(qū)域以及在程序或數(shù)據(jù)的處理期間的臨時存儲區(qū)域。盡管在數(shù)據(jù)輸入/輸出方面存儲設(shè)備204比ram203慢，但是存儲設(shè)備204可以存儲大量的數(shù)據(jù)。在一個或多個實施例中，存儲設(shè)備204是可以永久存儲數(shù)據(jù)的非易失性存儲設(shè)備，使得可以長時間地參考所存儲的數(shù)據(jù)。雖然存儲設(shè)備204大多由磁存儲設(shè)備(硬盤驅(qū)動器(hdd))構(gòu)成，但是存儲設(shè)備204也可以是在諸如光盤(cd)、數(shù)字多功能光盤(dvd)或存儲卡之類的外部介質(zhì)加載于其中的情況下讀取或?qū)懭霐?shù)據(jù)的設(shè)備。

輸入設(shè)備205是用于將字符或數(shù)據(jù)輸入到信息處理設(shè)備的設(shè)備并且對應(yīng)于例如各種類型的鍵盤或鼠標(biāo)。顯示設(shè)備206是用于顯示用于信息處理設(shè)備的操作的信息、處理結(jié)果等的設(shè)備，并且對應(yīng)于例如陰極射線管(crt)或液晶顯示器。

通信設(shè)備207連接到網(wǎng)絡(luò)以使用諸如傳輸控制協(xié)議/互聯(lián)網(wǎng)協(xié)議(tcp/ip)之類的通信協(xié)議來執(zhí)行數(shù)據(jù)通信，并且用在與另一信息處理設(shè)備通信中。通信設(shè)備207從另一控制單元接收日志信息，并向被描述的日志處理單元301通知日志信息。通信設(shè)備207還從主機計算機11接收命令，并向通信處理單元(未示出)通知來自主機計算機11的命令。

圖3是示出了cpu201的配置的框圖。cpu201包括日志處理單元301和數(shù)據(jù)傳輸單元302。

當(dāng)日志處理單元301被通知日志信息時，日志處理單元301將日志信息記錄在日志數(shù)據(jù)304中，并將日志數(shù)據(jù)304存儲在存儲設(shè)備204中。這里，日志數(shù)據(jù)304是通過收集多條日志信息獲得的數(shù)據(jù)，在該多條日志信息中，記錄了例如關(guān)于構(gòu)成曝光裝置10的各種設(shè)備的操作或控制的歷史。日志數(shù)據(jù)304例如以數(shù)據(jù)庫或文件格式被存儲在存儲設(shè)備204中。

日志處理單元301將外部標(biāo)識符的信息和內(nèi)部標(biāo)識符(第二標(biāo)識符)的信息之間的對應(yīng)關(guān)系添加到對應(yīng)信息303，并將對應(yīng)信息303存儲在存儲設(shè)備204中。這里，內(nèi)部標(biāo)識符是在曝光裝置10中使用的標(biāo)識符。如在外部標(biāo)識符中那樣，內(nèi)部標(biāo)識符的示例包括作為用于標(biāo)識作業(yè)的標(biāo)識符的“jobno”、作為用于標(biāo)識由曝光裝置10處理的晶片的標(biāo)識符的“waferno”等。其它示例與上述外部標(biāo)識符的示例相同。也就是說，內(nèi)部標(biāo)識符也是用于標(biāo)識關(guān)于由曝光裝置10執(zhí)行的處理的事物的標(biāo)識符。對應(yīng)信息303例如以數(shù)據(jù)庫或文件格式被存儲在存儲設(shè)備204中。為了提高處理速度，日志處理單元301可以將對應(yīng)信息303臨時存儲在ram203中。日志處理單元301還向數(shù)據(jù)傳輸單元302通知該日志信息。

數(shù)據(jù)傳輸單元302將從日志處理單元301接收的日志信息添加到傳輸數(shù)據(jù)305。傳輸數(shù)據(jù)305例如以數(shù)據(jù)庫或文件格式存儲在ram203中。數(shù)據(jù)傳輸單元302還參考對應(yīng)信息303獲得外部標(biāo)識符的信息，并將外部標(biāo)識符的信息添加到傳輸數(shù)據(jù)305。為了提高處理速度，數(shù)據(jù)傳輸單元302可以參考臨時存儲在ram203中的對應(yīng)信息303。數(shù)據(jù)傳輸單元302還從ram203讀取傳輸數(shù)據(jù)305，以經(jīng)由通信設(shè)備207將傳輸數(shù)據(jù)305發(fā)送到外部信息處理設(shè)備。這里，外部信息處理設(shè)備可以指一個信息處理設(shè)備或多個信息處理設(shè)備。

接下來，將參考圖4以及5a至5j來描述根據(jù)本實施例的數(shù)據(jù)傳輸方法。圖4是示出了根據(jù)第一實施例的由cpu201執(zhí)行的處理的流程圖。圖5a至5j示出了根據(jù)第一實施例的日志數(shù)據(jù)、日志信息、傳輸數(shù)據(jù)等。

日志處理單元301從另一控制單元接收日志信息(步驟401)。在步驟401中，日志處理單元301可以從在cpu201中操作的另一處理單元接收日志信息。另一處理單元的示例是從主機計算機11接收命令并處理來自主機計算機11的命令的通信處理單元(未示出)。圖5a示出了由日志處理單元301接收的日志信息的示例。該日志信息是其中從通信處理單元通知日志處理單元301是否從主機計算機11發(fā)送了關(guān)于進(jìn)行操作的命令的作業(yè)的日志信息。該日志信息包括作為是外部標(biāo)識符的“jobid”的信息“test_lot”。還包括作為是內(nèi)部標(biāo)識符的“jobno”的信息“1”。還包括指示日志信息的類型的信息“createjob”。還包括作為指示何時接收到來自主機計算機11的命令的日期和時間的事件時間的信息“2016-01-0100:00:10”。在事件時間信息中，“2016-01-01”表示日期，并且“00:00:10”表示時間。也就是說，事件時間是指由日志信息的類型指示的事件發(fā)生的時間。

日志處理單元301將接收的日志信息記錄在日志數(shù)據(jù)304中，并將日志數(shù)據(jù)304存儲在存儲設(shè)備204中(步驟402)。圖5b示出了由日志處理單元301記錄的日志信息的示例。與圖5a中所示的日志信息相同的信息被記錄在日志數(shù)據(jù)304中。

日志處理單元301確定在所接收的日志信息中是否包括外部標(biāo)識符(步驟403)。如果在日志信息中包含外部標(biāo)識符，則日志處理單元301將多條外部標(biāo)識符和內(nèi)部標(biāo)識符的信息添加到對應(yīng)信息303，并將對應(yīng)信息303存儲在存儲設(shè)備204中(步驟404)。分別指示外部標(biāo)識符和內(nèi)部標(biāo)識符的關(guān)鍵字“jobid”和“jobno”被預(yù)先存儲在存儲設(shè)備204中。日志處理單元301參考關(guān)鍵字來確定外部標(biāo)識符和內(nèi)部標(biāo)識符是否包括在日志信息中。

圖5c示出了由日志處理單元301存儲的對應(yīng)信息303的示例。該對應(yīng)信息303指示關(guān)于包含在日志信息中的分別是外部標(biāo)識符和內(nèi)部標(biāo)識符的“jobid”和“jobno”、“test_lot”對應(yīng)于“1”的信息。也就是說，“test_lot”和“1”分別是各自指示相同作業(yè)的外部標(biāo)識符的信息和內(nèi)部標(biāo)識符的信息。日志處理單元301將這些多條信息彼此相關(guān)聯(lián)，將它們添加到對應(yīng)信息303，并將對應(yīng)信息303存儲在存儲設(shè)備204中。

圖5d示出了由日志處理單元301接收的日志信息的另一示例。該日志信息是其中從控制晶片的輸送的控制單元通知日志處理單元301晶片是否被輸送到了曝光裝置10的日志信息。該日志信息包括作為是外部標(biāo)識符的“waferid”的信息“test_lot_w1”。還包括作為是內(nèi)部標(biāo)識符的“waferno”的信息“1”。還包括指示日志信息的類型的信息“waferin”。還包括作為晶片何時被輸送到曝光裝置10的事件時間的信息“2016-01-0100:00:20”。該事件時間的含義與包括在圖5a中所示的日志信息中的事件時間的含義相同。

圖5e示出了由日志處理單元301記錄的日志信息的另一示例。日志處理單元301將與圖5d中所示的日志信息相同的信息添加到日志數(shù)據(jù)304。

圖5f示出了由日志處理單元301存儲的對應(yīng)信息303的另一示例。該對應(yīng)信息303指示關(guān)于包含在日志信息中的分別是外部標(biāo)識符和內(nèi)部標(biāo)識符的“waferid”和“waferno”、“test_lot_w1”對應(yīng)于“1”的信息。也就是說，“test_lot_w1”和“1”分別是各自指示同一晶片的外部標(biāo)識符的信息和內(nèi)部標(biāo)識符的信息。日志處理單元301將這些多條信息彼此相關(guān)聯(lián)，將它們添加到對應(yīng)信息303，并將對應(yīng)信息303存儲在存儲設(shè)備204中。

這里，對于日志信息，存在不包括外部標(biāo)識符的信息的日志信息和包括外部標(biāo)識符的信息的日志信息。圖5g示出了由日志處理單元301接收的日志信息的另一示例。在圖5g中示出的日志信息是不包括外部標(biāo)識符的信息的日志信息，并且在圖5a和圖5d中所示的多條日志信息各自是包括外部標(biāo)識符的信息的日志信息。此外，對于控制曝光裝置10的各單元或設(shè)備的控制單元，存在不向外部設(shè)備發(fā)送以及從外部設(shè)備接收信息并因此不需要外部標(biāo)識符的控制單元。此外，對于在cpu201中操作并且對曝光裝置10執(zhí)行控制等的處理單元，存在類似地不需要外部標(biāo)識符的處理單元。因此，在從這種控制單元和這種處理單元通知日志處理單元301的多條日志信息中不包括外部標(biāo)識符。為了在從這種控制單元或這種處理單元通知日志處理單元301的日志信息中包括外部標(biāo)識符，必須對控制單元和處理單元程序進(jìn)行改變。此外，隨著這種控制單元和這種處理單元的數(shù)量增加，必須以不斷增大的規(guī)模對程序進(jìn)行改變。

在s403中，如果確定在日志信息中不包括外部標(biāo)識符，則日志處理單元301不存儲對應(yīng)信息303并且進(jìn)行到步驟405。

日志處理單元301確定接收到的日志信息是否包括要發(fā)送到外部的數(shù)據(jù)(步驟405)。這里，關(guān)于日志信息，存在包括要發(fā)送到外部的數(shù)據(jù)的日志信息和不包括要發(fā)送到外部的數(shù)據(jù)的日志信息。用于判別兩種類型的日志信息的判別信息被存儲在存儲設(shè)備204中，并且日志處理單元301參考判別信息來確定日志信息是否包括要發(fā)送到外部的數(shù)據(jù)。如果日志信息包括要發(fā)送到外部的數(shù)據(jù)，則日志處理單元301向數(shù)據(jù)傳輸單元302通知所接收的日志信息(步驟406)。指示日志信息是否包括要發(fā)送到外部的數(shù)據(jù)的信息被預(yù)先存儲在存儲設(shè)備204中。作為信息，例如，日志信息的類型被存儲。日志處理單元301參考該信息來確定日志信息是否包括要發(fā)送到外部的數(shù)據(jù)。如果日志信息不包括要發(fā)送到外部的數(shù)據(jù)，則處理返回到步驟401。

當(dāng)數(shù)據(jù)傳輸單元302從日志處理單元301接收到日志信息時，數(shù)據(jù)傳輸單元302將日志信息添加到傳輸數(shù)據(jù)305，并將傳輸數(shù)據(jù)305存儲在ram203中(步驟407)。

這里，圖5h示出了數(shù)據(jù)傳輸單元302已經(jīng)將日志信息存儲在其中的傳輸數(shù)據(jù)305的示例。對于傳輸數(shù)據(jù)305，存在僅包括一條日志信息的數(shù)據(jù)和包括多條日志信息的數(shù)據(jù)。圖5h示出了包括多條日志信息的傳輸數(shù)據(jù)305。

數(shù)據(jù)傳輸單元302參考對應(yīng)信息303獲得對應(yīng)于包括在日志信息中的內(nèi)部標(biāo)識符的信息的外部標(biāo)識符的信息，將獲得的外部標(biāo)識符的信息添加到傳輸數(shù)據(jù)305，并且將傳輸數(shù)據(jù)305存儲在ram203中(步驟408)。圖5i示出了獲得的多條外部標(biāo)識符的信息的示例。圖5i示出了所獲得的分別作為是外部標(biāo)識符的“jobid”和“waferid”的信息“test_lot”和信息“test_lot_w1”。

這里，在要發(fā)送的數(shù)據(jù)包括多條日志信息的情況下，在步驟408中，數(shù)據(jù)傳輸單元302可以基于該多條日志信息中的一條日志信息來獲得外部標(biāo)識符的信息，并將獲得的信息添加到傳輸數(shù)據(jù)305。為此，把要獲得外部標(biāo)識符的信息的日志信息存儲在存儲設(shè)備204中，因此數(shù)據(jù)傳輸單元302參考該信息來確定是否要獲得和添加外部標(biāo)識符的信息。此外，在步驟408中，數(shù)據(jù)傳輸單元302可以參考傳輸數(shù)據(jù)305來確定是否添加了外部標(biāo)識符的信息，并且如果已經(jīng)添加了外部標(biāo)識符的信息，則數(shù)據(jù)傳輸單元302不必獲得和添加外部標(biāo)識符的信息。

這里，圖5j示出了已經(jīng)添加了多條外部標(biāo)識符的信息的傳輸數(shù)據(jù)305的示例。在該示例中，從對應(yīng)信息303獲得的外部標(biāo)識符“jobid”和“waferid”以及它們相應(yīng)的多條信息“test_lot”和“test_lot_w1”被添加到傳輸數(shù)據(jù)305。此外，圖5j示出了在傳輸數(shù)據(jù)305的傳輸之前，基于預(yù)先存儲在存儲設(shè)備204中的格式來編輯傳輸數(shù)據(jù)305并且然后發(fā)送該傳輸數(shù)據(jù)305的示例。在傳輸數(shù)據(jù)305的傳輸中，可以在不進(jìn)行編輯的情況下發(fā)送傳輸數(shù)據(jù)305。

數(shù)據(jù)傳輸單元302確定要發(fā)送的所有的多條日志信息是否已被添加到傳輸數(shù)據(jù)305(步驟409)。指示哪個日志信息被包括在要發(fā)送的數(shù)據(jù)中的信息被預(yù)先存儲在存儲設(shè)備204中。數(shù)據(jù)傳輸單元302參考該信息確定是否要發(fā)送的所有的多條日志信息已被添加到傳輸數(shù)據(jù)305。

如果已經(jīng)添加了所有的多條日志信息，則數(shù)據(jù)傳輸單元302將傳輸數(shù)據(jù)305發(fā)送到外部信息處理設(shè)備(步驟410)。如果所有的多條日志信息還未被添加，則處理返回到步驟401。

在圖4中，雖然描述了發(fā)送一條數(shù)據(jù)的處理，但是可以重復(fù)執(zhí)行步驟401至410以發(fā)送多條數(shù)據(jù)。

因此，根據(jù)本實施例中的數(shù)據(jù)傳輸方法，可以發(fā)送已經(jīng)添加了外部標(biāo)識符的信息的數(shù)據(jù)。當(dāng)發(fā)送已經(jīng)添加了外部標(biāo)識符的信息的數(shù)據(jù)時，可以通過使用外部設(shè)備中發(fā)送的數(shù)據(jù)來執(zhí)行生產(chǎn)控制、設(shè)備中的異常檢測、故障預(yù)測、反饋控制等。此外，可以在不改變控制曝光裝置的程序的情況下發(fā)送已經(jīng)添加了外部標(biāo)識符的信息的數(shù)據(jù)。

第二實施例

下面將描述本公開的第二實施例，并且在本實施例中未描述的事項可以遵循第一實施例的描述。在第一實施例中，描述了從控制單元等接收日志信息以傳輸數(shù)據(jù)的方法。在第二實施例中，將參考圖6、圖7a和圖7b來描述其中日志處理單元301讀取存儲的日志數(shù)據(jù)304以傳輸數(shù)據(jù)的方法。

圖6是示出了根據(jù)第二實施例的由cpu執(zhí)行的處理的流程圖。圖7a和圖7b示出了根據(jù)第二實施例的日志數(shù)據(jù)、日志信息、傳輸數(shù)據(jù)等。

日志處理單元301從日志數(shù)據(jù)304讀取日志信息(步驟601)。要讀取的日志信息是例如在圖5b或圖5e中所示的日志數(shù)據(jù)304的信息。

日志處理單元301確定從日志數(shù)據(jù)304讀取的日志信息中是否包括外部標(biāo)識符(步驟602)。如果在日志信息中包含外部標(biāo)識符，則日志處理單元301將所讀取的日志信息的多條外部標(biāo)識符和內(nèi)部標(biāo)識符的信息添加到對應(yīng)信息303，并將對應(yīng)信息303存儲在存儲設(shè)備204中(步驟603)。

圖7a示出了由日志處理單元301存儲的對應(yīng)信息303的示例。除了在第一實施例中描述的多條內(nèi)部標(biāo)識符和外部標(biāo)識符的信息之外，日志處理單元301還將事件時間添加到對應(yīng)信息303并存儲對應(yīng)信息303。例如，信息“2016-01-0100:00:10”被存儲為作為事件時間的“eventtime”。這里，作為內(nèi)部標(biāo)識符的多條信息“jonno”和“waferno”各自是序列數(shù)，該序列數(shù)如果超過一定的數(shù)，則返回初始數(shù)。通常將該一定的數(shù)設(shè)置為足夠大的數(shù)，以避免內(nèi)部標(biāo)識符的信息的復(fù)制。然而，在某些情況下，如果曝光裝置10已經(jīng)運行長的時間段，則內(nèi)部標(biāo)識符的數(shù)達(dá)到該一定的數(shù)并返回到初始數(shù)。在這種情況下，在日志數(shù)據(jù)304中，相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息被添加到與不同的多條外部標(biāo)識符的信息對應(yīng)的多條日志信息。因此，還在對應(yīng)信息303中，存在與各自不同的多條外部標(biāo)識符的信息對應(yīng)的相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息。例如，圖7a示出了在裝置長時間運行的情況下從日志數(shù)據(jù)304讀取的日志信息中存儲的對應(yīng)信息303的示例。例如，對應(yīng)于作為外部標(biāo)識符的“waferid”的信息“l(fā)ot_0001_w1”和“l(fā)ot_1000_w1”的作為內(nèi)部標(biāo)識符的“waferno”的兩條信息都是“1”，即，復(fù)制已經(jīng)發(fā)生了。如果如剛剛在上面所描述的，在對應(yīng)信息303中存在相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息，則發(fā)生日志處理單元301不能獲得外部標(biāo)識符的正確信息的情況。因此，為了日志處理單元301獲得外部標(biāo)識符的正確信息，日志處理單元301將事件時間與多條外部標(biāo)識符和內(nèi)部標(biāo)識符的信息一起添加到對應(yīng)信息303，并將對應(yīng)信息303存儲在存儲設(shè)備204中。

這里，如上所述，如果內(nèi)部標(biāo)識符的數(shù)超過足夠大的數(shù)，則內(nèi)部標(biāo)識符的數(shù)將返回到初始數(shù)。結(jié)果，在使用內(nèi)部標(biāo)識符的復(fù)制信息之前經(jīng)過的時間段也足夠長。因此，如果在對應(yīng)信息303中存在相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息，則當(dāng)日志信息的事件時間與對應(yīng)信息303中的事件時間進(jìn)行比較時，可以獲得外部標(biāo)識符的正確信息。

圖6中的步驟604至步驟606與圖4中的步驟405至步驟407相同，因此，省略其描述。

數(shù)據(jù)傳輸單元302參考存儲的對應(yīng)信息303獲得與包含在日志信息中的內(nèi)部標(biāo)識符的信息相對應(yīng)的外部標(biāo)識符的信息，并將外部標(biāo)識符的信息添加到傳輸數(shù)據(jù)305(步驟607)。此時，如果在對應(yīng)信息303中存在與內(nèi)部標(biāo)識符的信息對應(yīng)的多個多條外部標(biāo)識符的信息，則獲得與日志信息的事件時間接近的事件時間對應(yīng)的一條外部標(biāo)識符的信息。因此，可以獲得正確的外部標(biāo)識符的信息。

圖7b示出了從日志數(shù)據(jù)304讀取的多條日志信息的示例。在所有的多條日志信息中，作為內(nèi)部標(biāo)識符的“waferno”的信息是“1”。在圖7a中所示的對應(yīng)信息303中，存在對應(yīng)于作為信息為“1”的“waferno”的內(nèi)部標(biāo)識符的作為外部標(biāo)識符的“waferid”的多條信息“l(fā)ot_0001_w1”和“l(fā)ot_1000_w1”。然而，對應(yīng)于相應(yīng)的多條外部標(biāo)識符的信息的“eventtime”的事件時間是“2016-01-0100:00:20”和“2016-02-0100:00:20”，因此彼此不同。因此，在對應(yīng)于相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息的事件時間中，獲得與最接近日志信息的事件時間的事件時間相對應(yīng)的一條外部標(biāo)識符的信息。在圖7b中，例如假設(shè)日志信息的事件時間為“2016-02-0100:00:30”。與相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息相對應(yīng)的各個事件時間是“2016-01-0100:00:20”和“2016-02-0100:00:20”。將日志信息的事件時間與對應(yīng)于相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息的相應(yīng)事件時間進(jìn)行比較，并且選擇作為接近“2016-02-0100：00:30”的事件時間的“2016-02-0100:00:20”。結(jié)果，數(shù)據(jù)傳輸單元302可以獲得“l(fā)ot_1000_w1”作為對應(yīng)于所選擇的事件時間的作為外部標(biāo)識符的“waferid”的信息。因此，在對應(yīng)信息303中，如果存在與不同的多條外部標(biāo)識符的信息對應(yīng)的相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息，則在多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息的事件時間中，可以獲得與日志信息的事件時間最接近的事件時間對應(yīng)的一條外部標(biāo)識符的信息。

圖6中的步驟608和609與圖4中的步驟409和410相同，因此，省略其描述。

日志處理單元301確定是否已經(jīng)從日志數(shù)據(jù)304中讀取了所有的多條日志信息(步驟610)。如果已經(jīng)讀取了所有的多條日志信息，則數(shù)據(jù)傳輸處理結(jié)束。如果所有的多條日志信息還未被讀取，則處理返回到步驟601。

在根據(jù)第一實施例的數(shù)據(jù)傳輸方法中，事件時間可以如在根據(jù)第二實施例的數(shù)據(jù)傳輸方法中那樣被添加到對應(yīng)信息303并被存儲在對應(yīng)信息303中。即使在執(zhí)行根據(jù)第一實施例的數(shù)據(jù)傳輸?shù)那闆r下，如果在對應(yīng)信息303中存在相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息，則日志處理單元301可以獲得外部標(biāo)識符的正確信息。

在執(zhí)行根據(jù)第一實施例的數(shù)據(jù)傳輸之后執(zhí)行根據(jù)第二實施例的數(shù)據(jù)傳輸?shù)那闆r下，不存儲對應(yīng)信息303，并且可以使用執(zhí)行根據(jù)第一實施例的數(shù)據(jù)傳輸時存儲的對應(yīng)信息303。這可以減少執(zhí)行根據(jù)第二實施例的數(shù)據(jù)傳輸所需的處理時間。

因此，根據(jù)本實施例中的數(shù)據(jù)傳輸方法，可以發(fā)送已經(jīng)添加了外部標(biāo)識符的信息的數(shù)據(jù)。當(dāng)發(fā)送已經(jīng)添加了外部標(biāo)識符的信息的數(shù)據(jù)時，可以通過使用外部設(shè)備中發(fā)送的數(shù)據(jù)來執(zhí)行生產(chǎn)控制、設(shè)備中的異常檢測、故障預(yù)測、反饋控制等?？梢栽诓桓淖兛刂破毓庋b置的程序的情況下發(fā)送已經(jīng)添加了外部標(biāo)識符的信息的數(shù)據(jù)。此外，在日志數(shù)據(jù)中，即使在對應(yīng)于不同的多條外部標(biāo)識符的信息的多條日志信息中存在相同的多條內(nèi)部標(biāo)識符的信息的情況下，也可以發(fā)送已經(jīng)添加了正確的一條外部標(biāo)識符的信息的數(shù)據(jù)。

(制造產(chǎn)品的方法)

將描述制造諸如設(shè)備(例如半導(dǎo)體器件、磁存儲介質(zhì)或液晶顯示設(shè)備)、濾色器或硬盤之類的產(chǎn)品的方法。這種制造方法包括通過使用光刻裝置(例如，曝光裝置、壓印裝置或繪制裝置)在基板(例如，晶片、玻璃板或薄膜基板)上形成圖案的步驟。該制造方法還包括處理其上已經(jīng)形成圖案的基板的步驟。處理步驟可以包括去除圖案的殘留層的步驟。處理步驟還可以包括另一已知步驟，諸如通過使圖案用作掩模來蝕刻基板的步驟。在該實施例中，制造產(chǎn)品的方法可以在產(chǎn)品的性能、質(zhì)量、生產(chǎn)率和生產(chǎn)成本中的至少一個方面優(yōu)于現(xiàn)有方法。

雖然上面描述了本公開的示例性實施例，但是本公開不限于這些實施例，并且可以在本公開的要點的范圍內(nèi)進(jìn)行各種修改和改變。作為制造裝置的示例，雖然描述了通過使基板曝光于光而形成圖案的曝光裝置，但是制造裝置不限于曝光裝置。制造裝置的示例可以是諸如通過帶電粒子光學(xué)系統(tǒng)以帶電粒子束(電子束、離子束等)在基板上執(zhí)行繪圖以在基板上形成圖案的繪制裝置之類的裝置。制造裝置的示例可以是使用模具在基板上形成壓印材料(樹脂等)以在基板上形成圖案的壓印裝置。包括在這些制造裝置中的也可以是在制造諸如設(shè)備之類的產(chǎn)品中執(zhí)行除了如上所述的由光刻裝置執(zhí)行的步驟之外的步驟的制造裝置。制造裝置的示例包括用感光介質(zhì)涂布基板的表面的涂布裝置和使得其上已經(jīng)轉(zhuǎn)印了圖案的基板顯影的顯影裝置。

第一和第二實施例不僅可以單獨實施，而且可以組合實現(xiàn)。

本公開可以提供數(shù)據(jù)傳輸方法、非暫時性存儲介質(zhì)、數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備、光刻裝置和制造產(chǎn)品的方法，其中每個都使得能夠發(fā)送已經(jīng)添加了外部標(biāo)識符的信息的數(shù)據(jù)。

其它實施例

本發(fā)明的一個或多個實施例也可以由讀出并執(zhí)行在存儲介質(zhì)(其也可被更完整地稱作‘非瞬時計算機可讀存儲介質(zhì)’)上記錄的計算機可執(zhí)行指令(例如，一個或多個程序)以執(zhí)行上述實施例中的一個或多個實施例的功能和/或包括用于執(zhí)行上述實施例中的一個或多個實施例的功能的一個或多個電路(例如，專用集成電路(asic))的系統(tǒng)或裝置的計算機來實現(xiàn)，以及通過由系統(tǒng)或裝置的計算機例如通過讀出并執(zhí)行來自存儲介質(zhì)的計算機可執(zhí)行指令以執(zhí)行上述實施例中的一個或多個實施例的功能并且/或者控制一個或多個電路以執(zhí)行上述實施例中的一個或多個實施例的功能來執(zhí)行的方法來實現(xiàn)。計算機可以包括一個或多個處理器(例如，中央處理單元(cpu)、微處理單元(mpu))并且可以包括用來讀出并執(zhí)行計算機可執(zhí)行指令的單獨計算機或單獨處理器的網(wǎng)絡(luò)。計算機可執(zhí)行指令可以例如從網(wǎng)絡(luò)或者存儲介質(zhì)被提供給計算機。存儲介質(zhì)可以包括例如硬盤、隨機存取存儲器(ram)、只讀存儲器(rom)、分布式計算系統(tǒng)的存儲裝置、光盤(諸如緊湊盤(cd)、數(shù)字多用途盤(dvd)或者藍(lán)光盤(bd)^tm)、閃存裝置、存儲卡等中的一個或多個。

其它實施例

本發(fā)明的實施例還可以通過如下的方法來實現(xiàn)，即，通過網(wǎng)絡(luò)或者各種存儲介質(zhì)將執(zhí)行上述實施例的功能的軟件(程序)提供給系統(tǒng)或裝置，該系統(tǒng)或裝置的計算機或是中央處理單元(cpu)、微處理單元(mpu)讀出并執(zhí)行程序的方法。

雖然已經(jīng)參考實施例描述了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明不限于所公開的實施例。所附權(quán)利要求的范圍應(yīng)被賦予最寬泛的解釋，以便包括所有這樣的修改以及等同結(jié)構(gòu)和功能。