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一種力學(xué)感應(yīng)裝置及其制造方法與流程

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技術(shù)特征:

1.一種力學(xué)感應(yīng)裝置,包括透明基板以及至少設(shè)置在透明基板第一面的第一應(yīng)變電阻層,應(yīng)變電阻層包括應(yīng)變電阻部和引線部,其特征是:所述應(yīng)變電阻部由透明的高阻導(dǎo)電膜圖形化而成,應(yīng)變電阻部包括多個(gè)應(yīng)變電阻;所述引線部由至少一層透明的低阻導(dǎo)電膜圖形化而成,引線部包括多條第一引線,第一引線與相應(yīng)的應(yīng)變電阻的端部相互重疊而實(shí)現(xiàn)連接;低阻導(dǎo)電膜的方塊電阻值小于高阻導(dǎo)電膜的方塊電阻值。

2.如權(quán)利要求1所述的力學(xué)感應(yīng)裝置,其特征是:所述低阻導(dǎo)電膜的方塊電阻值小于50歐姆/方,所述高阻導(dǎo)電膜的方塊電阻值大于300歐姆/方。

3.如權(quán)利要求1所述的力學(xué)感應(yīng)裝置,其特征是:所述低阻導(dǎo)電膜設(shè)置在所述透明基板上,低阻導(dǎo)電膜上設(shè)有多個(gè)用于設(shè)置所述應(yīng)變電阻的空洞區(qū),所述高阻導(dǎo)電膜覆蓋在低阻導(dǎo)電膜上并覆蓋空洞區(qū),低阻導(dǎo)電膜和高阻導(dǎo)電膜均為氧化物透明導(dǎo)電薄膜。

4.如權(quán)利要求1所述的力學(xué)感應(yīng)裝置,其特征是:所述低阻導(dǎo)電膜設(shè)置在所述透明基板上,低阻導(dǎo)電膜上設(shè)有多個(gè)用于設(shè)置所述應(yīng)變電阻的空洞區(qū),所述高阻導(dǎo)電膜覆蓋在低阻導(dǎo)電膜上并覆蓋空洞區(qū),低阻導(dǎo)電膜為氧化物透明導(dǎo)電薄膜,高阻導(dǎo)電膜為碳納米管分散層、納米銀線分散層、透明導(dǎo)電聚合物涂層、分散物涂層的其中之一,分散物涂層為碳納米管或納米銀線分散在透明導(dǎo)電聚合物中經(jīng)過(guò)涂布等方法制作而成。

5.如權(quán)利要求1所述的力學(xué)感應(yīng)裝置,其特征是:還包括觸摸感應(yīng)層,所述觸摸感應(yīng)層包括觸摸感應(yīng)電極及第二引線,所述觸摸感應(yīng)電極通過(guò)第二引線引出,觸摸感應(yīng)電極和第二引線至少由所述低阻導(dǎo)電膜圖形化而成。

6.如權(quán)利要求5所述的力學(xué)感應(yīng)裝置,其特征是:還包括絕緣層,所述高阻導(dǎo)電膜、絕緣層、低阻導(dǎo)電膜依次設(shè)置在所述透明基板上,所述第一引線、第二引線至少由低阻導(dǎo)電膜圖形化而成,并且第一引線、第二引線均與所述應(yīng)變電阻之間相隔著絕緣層。

7.如權(quán)利要求1~7任一項(xiàng)所述的力學(xué)感應(yīng)裝置,其特征是:還包括第二應(yīng)變電阻層,第二應(yīng)變電阻層設(shè)置在所述透明基板的第二面上,第二應(yīng)變電阻層與所述第一應(yīng)變電阻層具有一致的圖形。

8.一種透明力學(xué)感應(yīng)裝置的制造方法,其特征是,至少在透明基板的第一面實(shí)施以下步驟:

(1)、設(shè)置一層透明的低阻導(dǎo)電膜,并在低阻導(dǎo)電膜上設(shè)置多個(gè)空洞區(qū);

(2)、進(jìn)一步在低阻導(dǎo)電膜上設(shè)置一層連續(xù)透明的高阻導(dǎo)電膜,使得在空洞區(qū)之外,高阻導(dǎo)電膜和低阻導(dǎo)電膜相互重疊,而空洞區(qū)之內(nèi)僅有高阻導(dǎo)電膜,高阻導(dǎo)電膜的方塊電阻值高于低阻導(dǎo)電膜的方塊電阻值;

(3)、對(duì)所述高阻導(dǎo)電膜和低阻導(dǎo)電膜同時(shí)進(jìn)行圖形化,以在空洞區(qū)之內(nèi)形成構(gòu)成應(yīng)變電阻部的多個(gè)應(yīng)變電阻,而在空洞區(qū)之外形成構(gòu)成引線部的多條第一引線,使得應(yīng)變電阻僅由高阻導(dǎo)電膜構(gòu)成,而第一引線由低阻導(dǎo)電膜、高阻導(dǎo)電膜重疊而成。

9.一種透明力學(xué)感應(yīng)裝置的制造方法,其特征是,至少在透明基板的第一面實(shí)施以下步驟:

(1)、設(shè)置一層透明的高阻導(dǎo)電膜,并將高阻導(dǎo)電膜圖形化為構(gòu)成應(yīng)變電阻部的多個(gè)應(yīng)變電阻;

(2)、在高阻導(dǎo)電膜上設(shè)置一層透明的絕緣層,絕緣層至少覆蓋在應(yīng)變電阻之上且需要露出應(yīng)變電阻的端部;

(3)、在絕緣層上再設(shè)置一層透明的低阻導(dǎo)電膜,并將低阻導(dǎo)電膜圖形化為構(gòu)成引線部的多條第一引線,第一引線的端部與露出在絕緣層外面的應(yīng)變電阻端部相重疊而構(gòu)成連接。

10.如權(quán)利要求9所述的力學(xué)感應(yīng)裝置的制造方法,其特征是:在所述步驟(3)中,還將低阻導(dǎo)電膜圖形化為構(gòu)成觸摸感應(yīng)層的觸摸感應(yīng)電極和第二引線。

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