技術(shù)總結(jié)
將半導(dǎo)體工具維護(hù)操作集成到移動(dòng)設(shè)備上，使技術(shù)人員能夠更準(zhǔn)確地執(zhí)行半導(dǎo)體工具維護(hù)，并使得能夠更精確地收集和分析數(shù)據(jù)，從而使維護(hù)程序和所得的工具操作可以更具可重復(fù)性、一致性和高效性。

技術(shù)研發(fā)人員：西蒙·戈瑟蘭;文森特·王;羅納德·拉姆納林;尼爾·K·牛頓;穆克什·沙哈;克爾溫·霍弗斯特恩;鮑勃·阿倫斯;馬爾科·莫拉;羅杰·帕特里克
受保護(hù)的技術(shù)使用者：朗姆研究公司
文檔號(hào)碼：201580054993
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.06
技術(shù)公布日：2017.05.31