本申請要求2014年10月10日提交的名稱為MOBILE DEVICE USER INTERFACE FOR SUPPORTING SERVICE MAINTENANCE AND TRACKING ACTIVITIES IN SEMICONDUCTOR TOOL的美國臨時專利申請No.62/062,756的優(yōu)先權(quán)，該申請的公開內(nèi)容通過引用整體并入本文。

背景技術(shù)：

目前，半導(dǎo)體工具維護操作通過手動表格進行跟蹤。雖然可以使用來自表格的數(shù)據(jù)來改善半導(dǎo)體工具維護，但表格可能會丟失，并且由于體積和時序的限制，分析手寫反饋可能不準(zhǔn)確、費力或不可能。當(dāng)紙張表格轉(zhuǎn)錄成電子數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)時，也會損失生產(chǎn)力。所使用的數(shù)據(jù)輸入格式也可能會從操作者到操作者(operator to operator)發(fā)生變化，從而難以應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)化的分析方法。分析由技術(shù)人員填寫的表格是耗時的，并且當(dāng)表單丟失時，可能無法提供有關(guān)如何改進半導(dǎo)體工具維護的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

可以通過使用便攜式電子設(shè)備來改善半導(dǎo)體工具維護，便攜式電子設(shè)備是專門為此目的而配置的。將半導(dǎo)體工具維護操作集成到移動設(shè)備上使技術(shù)人員能夠更準(zhǔn)確地執(zhí)行半導(dǎo)體工具維護，并使得能夠更準(zhǔn)確地收集和分析數(shù)據(jù)，以便維護程序以及所導(dǎo)致的工具操作可以更具可重復(fù)性、一致性和高效性。

根據(jù)一個實現(xiàn)方式，一種用于提高半導(dǎo)體工具維護和操作的一致性的方法包括經(jīng)由便攜式電子設(shè)備確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具上的維護相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，其中所述維護包括至少第一任務(wù)和第二任務(wù)。利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花在所述維護上的時間，其中花費在所述維護上的所述時間包括至少花費在所述第一任務(wù)上的時間和花費在所述第二任務(wù)上的時間。利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，并且響應(yīng)于該確定，經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。此外，響應(yīng)于該確定，利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費在所述第一任務(wù)上的所述時間。利用所述便攜式電子設(shè)備進一步確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，并且響應(yīng)于該確定，經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。此外，響應(yīng)于該確定，利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費在所述第二任務(wù)上的時間。然后，將包括花費在所述第一任務(wù)上的所述時間以及花費在所述第二任務(wù)上的所述時間的花費在所述半導(dǎo)體工具的所述維護上的所述時間從所述便攜式電子設(shè)備輸出到相關(guān)聯(lián)的計算設(shè)備。

根據(jù)另一實現(xiàn)方式，一種用于半導(dǎo)體工具維護的裝置包括顯示器、用戶輸入界面、半導(dǎo)體維護時間跟蹤器、第一任務(wù)時間跟蹤器、第二任務(wù)時間跟蹤器、和處理器，所述處理器通信地耦合到所述顯示器、所述用戶輸入界面、所述半導(dǎo)體維護時間跟蹤器、所述第一任務(wù)時間跟蹤器和所述第二任務(wù)時間跟蹤器。所述處理器被配置為操作所述裝置以通過以下方式來提高所述半導(dǎo)體工具的維護和操作的一致性：經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具上的維護相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，其中所述維護包括至少第一任務(wù)和第二任務(wù)。利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花在所述維護上的時間，其中花費在所述維護上的所述時間包括至少花費在所述第一任務(wù)上的時間和花費在所述第二任務(wù)上的時間。利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，并且響應(yīng)于該確定，經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。此外，響應(yīng)于該確定，利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費在所述第一任務(wù)上的所述時間。利用所述便攜式電子設(shè)備進一步確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，并且響應(yīng)于該確定，經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。此外，響應(yīng)于該確定，利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費在所述第二任務(wù)上的所述時間。然后，將包括花費在所述第一任務(wù)上的所述時間以及花費在所述第二任務(wù)上的所述時間的花費在所述半導(dǎo)體工具的所述維護上的所述時間從所述便攜式電子設(shè)備輸出到相關(guān)聯(lián)的計算設(shè)備。

根據(jù)另一實現(xiàn)方式，一種用于半導(dǎo)體工具維護的系統(tǒng)包括半導(dǎo)體工具、服務(wù)器設(shè)備和用于與所述半導(dǎo)體工具和所述服務(wù)器設(shè)備通信地耦合的相關(guān)聯(lián)的便攜式電子設(shè)備。所述便攜式電子設(shè)備包括顯示器、用戶輸入界面、半導(dǎo)體維護時間跟蹤器、第一任務(wù)時間跟蹤器、第二任務(wù)時間跟蹤器和處理器，所述處理器通信地耦合到所述顯示器、所述用戶輸入界面、所述半導(dǎo)體維護時間跟蹤器、所述第一任務(wù)時間跟蹤器和所述第二任務(wù)時間跟蹤器。所述處理器被配置為操作所述便攜式電子設(shè)備以通過以下方式來提高所述半導(dǎo)體工具的維護和操作的一致性：經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具上的維護相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，其中所述維護包括至少第一任務(wù)和第二任務(wù)。利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花在所述維護上的時間，其中花費在所述維護上的所述時間包括至少花費在所述第一任務(wù)上的時間和花費在所述第二任務(wù)上的時間。利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，并且響應(yīng)于該確定，經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。此外，響應(yīng)于該確定，利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費在所述第一任務(wù)上的所述時間。利用所述便攜式電子設(shè)備進一步確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，并且響應(yīng)于該確定，經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。此外，響應(yīng)于該確定，利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費在所述第二任務(wù)上的所述時間。然后，將包括花費在所述第一任務(wù)上的所述時間以及花費在所述第二任務(wù)上的所述時間的花費在所述半導(dǎo)體工具的所述維護上的所述時間從所述便攜式電子設(shè)備輸出到相關(guān)聯(lián)的計算設(shè)備。

這些和其他實現(xiàn)方式和細(xì)節(jié)在附圖和下面的描述中闡述。

附圖說明

圖1示出了具有用于支持檢修、維護以及跟蹤活動的移動設(shè)備的示例性半導(dǎo)體系統(tǒng)。

圖2示出了詳細(xì)說明利用移動設(shè)備支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動的示例的流程圖。

圖3示出了詳細(xì)說明利用移動設(shè)備支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動的另一示例的流程圖。

圖4示出了詳細(xì)說明利用移動設(shè)備支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動的另一示例的流程圖。

圖5示出了用于支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動的示例性移動設(shè)備界面。

圖6示出了具有延遲彈出屏幕的另一示例性移動設(shè)備界面，以用于支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動。

圖7示出了具有問題彈出屏幕的圖6的另一示例性移動設(shè)備界面。

具體實施方式

在附圖和下面的描述中闡述了本說明書中描述的主題的一個或多個實現(xiàn)方式的細(xì)節(jié)。其他特征、方面和優(yōu)點將從描述、附圖和權(quán)利要求中變得顯而易見。注意，除非特別指出為比例圖，否則下列附圖的相對尺寸可以不按比例繪制。

應(yīng)當(dāng)理解，如本文所使用的，術(shù)語“半導(dǎo)體晶片”可以指的是由半導(dǎo)體材料(例如硅)制成的晶片以及由通常不被認(rèn)定為半導(dǎo)體的材料(例如環(huán)氧樹脂)制成但在半導(dǎo)體處理期間通常其上沉積有半導(dǎo)體材料的晶片兩者。本公開中描述的裝置和方法可以用于處理包括200mm、300mm和450mm直徑的半導(dǎo)體晶片的多種尺寸的半導(dǎo)體晶片。

晶片均勻性是處理高質(zhì)量半導(dǎo)體晶片或襯底的重要因素。晶片均勻性的一個因素是半導(dǎo)體工具的狀況。定期的半導(dǎo)體工具維護是確保半導(dǎo)體工具處于使經(jīng)處理的半導(dǎo)體晶片之間的變化最小化的狀況的一個因素。另外，沒有缺陷也是經(jīng)處理的半導(dǎo)體晶片的重要特征。定期的半導(dǎo)體維護也有助于減少半導(dǎo)體晶片上的缺陷。

晶片生產(chǎn)量是半導(dǎo)體晶片處理的另外一個因素。最小化半導(dǎo)體工具維護時間可以通過減少半導(dǎo)體工具無法處理半導(dǎo)體晶片的停機時間來增加晶片生產(chǎn)量。此外，一致的維護技術(shù)使得半導(dǎo)體制造設(shè)備能夠更準(zhǔn)確地預(yù)測由于維護而導(dǎo)致的停機時間，從而能夠更準(zhǔn)確地計劃半導(dǎo)體工具的操作。因此，可重復(fù)的、一致的且有效的半導(dǎo)體維護可以提高半導(dǎo)體晶片處理的質(zhì)量和生產(chǎn)量。

目前，半導(dǎo)體工具維護操作通常通過手寫表格進行跟蹤。維護技術(shù)人員執(zhí)行維護操作，并在表格上記錄維護操作的詳細(xì)信息?？梢酝ㄟ^多個表格跟蹤維護。雖然可以使用來自表格的數(shù)據(jù)來改善半導(dǎo)體工具維護，但表格可能會丟失，并由于體積和時序的限制，分析手寫反饋可能不準(zhǔn)確、費力或不可能。分析由技術(shù)人員填寫的表格是耗時的，并且當(dāng)表單丟失時，可能無法提供有關(guān)如何改進半導(dǎo)體工具維護的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。本發(fā)明人已經(jīng)意識到將半導(dǎo)體工具維護操作集成在移動設(shè)備上將使得技術(shù)人員能夠更精確地執(zhí)行半導(dǎo)體工具維護并且使得能夠更精確地分析數(shù)據(jù)以使得維護和半導(dǎo)體制備更具可重復(fù)性、一致性和高效性。

圖1示出了具有用于支持檢修、維護以及跟蹤活動的移動設(shè)備的示例性半導(dǎo)體系統(tǒng)。系統(tǒng)100包括便攜式電子設(shè)備(例如平板電腦102)、半導(dǎo)體工具104、服務(wù)器106和客戶端計算機108?？蛻舳擞嬎銠C108可以輸出報告110。

在系統(tǒng)100中，半導(dǎo)體工具104可以連接到設(shè)備網(wǎng)絡(luò)101中的平板電腦102，服務(wù)器106和/或客戶端計算機108。半導(dǎo)體工具104可以經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)連接(例如，硬線連接)或無線連接(例如，WiFi、藍牙、4G等)來連接?？梢越?jīng)由連接在半導(dǎo)體工具104與平板電腦102、服務(wù)器106和/或客戶端計算機108之間傳輸數(shù)據(jù)。所傳送的數(shù)據(jù)可以包括：關(guān)于如何執(zhí)行半導(dǎo)體工具維護的指令、關(guān)于花費在半導(dǎo)體工具維護和維護任務(wù)上的時間的數(shù)據(jù)、關(guān)于延遲和問題的信息、以及與半導(dǎo)體工具維護相關(guān)聯(lián)的其他信息。

設(shè)備網(wǎng)絡(luò)101可以包括各種各樣的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境的任何子集或組合，所述各種各樣的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境包括例如基于TCP/IP的網(wǎng)絡(luò)、電信網(wǎng)絡(luò)、無線網(wǎng)絡(luò)、有線網(wǎng)絡(luò)、公共網(wǎng)絡(luò)、專用網(wǎng)絡(luò)、廣域網(wǎng)、局域網(wǎng)、因特網(wǎng)、萬維網(wǎng)、內(nèi)聯(lián)網(wǎng)、外聯(lián)網(wǎng)等。設(shè)備102、104、106和108可以能夠連接到網(wǎng)絡(luò)101，與多種多樣的通過網(wǎng)絡(luò)101互聯(lián)或與網(wǎng)絡(luò)101集成的站點、網(wǎng)絡(luò)和系統(tǒng)進行交互，并且以導(dǎo)致在客戶端設(shè)備102和108上呈現(xiàn)用戶界面的方式下載和執(zhí)行應(yīng)用和應(yīng)用程序。這樣的設(shè)備包括但不限于移動設(shè)備(例如，手機、智能電話、智能手表、平板電腦等)和個人計算機(例如筆記本電腦和臺式機)。

根據(jù)本文所描述的技術(shù)，用戶界面可以以各種方式呈現(xiàn)在客戶端設(shè)備102和108上。例如，用戶界面(UI)布局可以以布局描述語言存儲在客戶端設(shè)備上，以當(dāng)在執(zhí)行相應(yīng)的應(yīng)用程序期間被調(diào)用時呈現(xiàn)。替代地，UI布局可以以布局描述語言傳送到客戶端設(shè)備，以響應(yīng)于從應(yīng)用程序到遠(yuǎn)程平臺的調(diào)用而呈現(xiàn)。并且一旦已經(jīng)創(chuàng)建了特定UI布局的本機視圖，則可以將其本地保存在客戶端設(shè)備上，以便呈現(xiàn)具有綁定到該視圖的相同或不同的數(shù)據(jù)。給定應(yīng)用程序的UI布局和/或綁定到UI布局的數(shù)據(jù)可能源自各種來源。例如，UI布局和綁定數(shù)據(jù)可以駐留在客戶端設(shè)備上的存儲器中，作為應(yīng)用程序的一部分或與應(yīng)用程序相關(guān)聯(lián)。替代地，UI布局可以駐留在客戶端設(shè)備上，而綁定數(shù)據(jù)可以從遠(yuǎn)程平臺(例如，服務(wù)器106)發(fā)送，以響應(yīng)于來自應(yīng)用程序或布局引擎的調(diào)用而與UI布局一起呈現(xiàn)。

在圖1所示的實現(xiàn)方式中，半導(dǎo)體工具104、服務(wù)器106和計算機108經(jīng)由硬連接連接，而平板電腦102經(jīng)由無線連接連接到計算機108。在其他實現(xiàn)方式中，平板電腦還可以經(jīng)由硬連線連接連接到半導(dǎo)體工具和/或服務(wù)器。各種其它實現(xiàn)方式可以包括系統(tǒng)的各部分之間的連通性的不同配置。各種其他實現(xiàn)方式的網(wǎng)絡(luò)連接可以通過硬線或通過無線連接實現(xiàn)。

還應(yīng)當(dāng)注意，盡管本文中引用了特定的計算范例和軟件工具，但是各種實現(xiàn)方式所基于的邏輯和/或計算機程序指令可以對應(yīng)于各種各樣的編程語言、軟件工具和數(shù)據(jù)格式中的任一種，可以存儲在任何類型的非暫時性計算機可讀存儲介質(zhì)或存儲設(shè)備中，并且可以根據(jù)包括例如客戶/服務(wù)器模型、對等模型的各種計算模型在獨立計算設(shè)備上執(zhí)行或根據(jù)其中可以在不同位置實現(xiàn)或使用各種功能的分布式計算模型來執(zhí)行。此外，本文中對于特定協(xié)議的任何引用僅作為示例?？梢圆捎帽绢I(lǐng)域技術(shù)人員已知的針對所有這些變化的合適的替代方案。

根據(jù)本公開的便攜式電子設(shè)備/平板電腦102與半導(dǎo)體工具104和服務(wù)器設(shè)備106通信地耦合。便攜式電子設(shè)備將具有顯示器、用戶輸入界面、半導(dǎo)體維護時間跟蹤器、第一任務(wù)時間跟蹤器、第二任務(wù)時間跟蹤器和處理器，所述處理器通信地耦合到所述顯示器、所述用戶輸入界面、所述半導(dǎo)體維護時間跟蹤器、所述第一任務(wù)時間跟蹤器和所述第二任務(wù)時間跟蹤器。如下面進一步描述的，所述處理器被配置為操作所述裝置以通過以下方式來提高半導(dǎo)體工具的維護和操作的一致性：經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具上的維護相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，其中所述維護包括至少第一任務(wù)和第二任務(wù)。利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花在所述維護上的時間，其中花費在所述維護上的所述時間包括至少花費在所述第一任務(wù)上的時間和花費在所述第二任務(wù)上的時間。利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，并且響應(yīng)于該確定，經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。此外，響應(yīng)于該確定，利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費在所述第一任務(wù)上的所述時間。利用所述便攜式電子設(shè)備進一步確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個動作，并且響應(yīng)于該確定，經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。此外，響應(yīng)于該確定，利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費在所述第二任務(wù)上的所述時間。然后，將包括花費在所述第一任務(wù)上的所述時間以及花費在所述第二任務(wù)上的所述時間的花費在所述半導(dǎo)體工具的所述維護上的所述時間從所述便攜式電子設(shè)備輸出到相關(guān)聯(lián)的計算設(shè)備。

圖2示出了詳細(xì)說明利用移動設(shè)備支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動的示例的流程圖。圖2被分離成由便攜式電子設(shè)備執(zhí)行的動作和與便攜式電子設(shè)備相關(guān)聯(lián)的其他設(shè)備執(zhí)行的動作。圖2中的便攜式電子設(shè)備可以是平板電腦，例如圖1中的平板電腦102，或者它可以是諸如平板電腦或膝上型計算機之類的另一種類型的便攜式電子設(shè)備。圖2中的相關(guān)聯(lián)的設(shè)備可以是半導(dǎo)體工具、服務(wù)器、計算機、其他自動設(shè)備等。

在框202中，用戶以指示用戶正在執(zhí)行或即將執(zhí)行半導(dǎo)體工具上的維護的方式與便攜式電子設(shè)備進行交互。與便攜式電子設(shè)備的可以指示用戶正在執(zhí)行或即將執(zhí)行半導(dǎo)體工具上的維護的示例性用戶交互可以包括：啟動與半導(dǎo)體維護相關(guān)聯(lián)的程序(諸如應(yīng)用程序)、將便攜式電子設(shè)備連接到半導(dǎo)體工具、訪問半導(dǎo)體工具維護指令、或下載與半導(dǎo)體工具維護相關(guān)的指令。

半導(dǎo)體工具維護可以分為任務(wù)和子任務(wù)。每個任務(wù)可以是諸如“打開半導(dǎo)體室門”之類的特定項目，或者可以是諸如“清除半導(dǎo)體處理室”之類的任務(wù)，其包括諸如“打開半導(dǎo)體室門”和“移除室內(nèi)的積聚物”之類的子任務(wù)的集合。

在框204中，在確定用戶正在執(zhí)行半導(dǎo)體工具維護之后，跟蹤用戶花費在半導(dǎo)體工具維護上的時間。在框204中，花費在半導(dǎo)體工具維護上的時間可以是包括花費在解決問題上的時間和花費在停機上的時間的總時間，或者可以是僅包括花費在執(zhí)行實際的半導(dǎo)體工具維護上的時間的總時間。

框204還可以將半導(dǎo)體維護所花費的時間輸出到框218中的諸如半導(dǎo)體工具、服務(wù)器或計算機之類的相關(guān)聯(lián)的設(shè)備。在某些實現(xiàn)方式中，在半導(dǎo)體工具維護上花費的時間可以是總的花費時間，并且可以僅僅在整個半導(dǎo)體工具維護完成后才能被輸出。在其他實現(xiàn)方式中，在半導(dǎo)體工具維護上花費的時間可以在周期性間隔期間被發(fā)送到相關(guān)聯(lián)的一個或多個設(shè)備，或者可以被連續(xù)地發(fā)送到相關(guān)聯(lián)的一個或多個設(shè)備。

在框206中，確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具維護相關(guān)聯(lián)的第一任務(wù)。可以通過例如用戶通過與便攜式設(shè)備的指示他希望查看用于第一任務(wù)的指令的交互或者通過檢測用戶正在執(zhí)行第一任務(wù)的其他方式來在便攜式設(shè)備上選擇與半導(dǎo)體工具維護相關(guān)聯(lián)的應(yīng)用或程序上的第一任務(wù)來進行該確定。

在框208中，一旦確定用戶正在執(zhí)行第一任務(wù)，相關(guān)聯(lián)的設(shè)備就可以向用于第一任務(wù)的便攜式設(shè)備提供與第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。存儲指令的相關(guān)聯(lián)的設(shè)備可以是半導(dǎo)體工具、服務(wù)器或計算機。在某些其他實現(xiàn)方式中，指令可以存儲在便攜式設(shè)備本身上?？梢酝ㄟ^網(wǎng)絡(luò)連接將指令提供給便攜式設(shè)備。一旦便攜式設(shè)備接收到指令，就可由便攜式設(shè)備顯示該指令。該指令可以是書寫指令、可聽指令、視頻指令、說明性圖示、其他視覺指令或在介質(zhì)的組合中的指令。

在框210中，在確定用戶正在執(zhí)行第一任務(wù)之后跟蹤用戶花費在第一任務(wù)上的時間。在框210中，花費在第一任務(wù)上的時間也可以包括在與第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的所有子任務(wù)上花費的時間。花費的時間可以是總時間，其包括解決問題所花費的時間和停機時間，或者可以是僅包括花費在執(zhí)行第一任務(wù)上的時間的總時間。在某些實現(xiàn)方式中，可以單獨跟蹤在第一任務(wù)的子任務(wù)上花費的時間。

框210還可以將花費在第一任務(wù)上的時間輸出到框218中相關(guān)聯(lián)的設(shè)備。在某些實現(xiàn)方式中，在第一任務(wù)完成之后，可以僅將花費在第一任務(wù)上的時間輸出。在其他實現(xiàn)方式中，花費在第一任務(wù)上的時間可以在周期性間隔期間被發(fā)送到相關(guān)聯(lián)的一個或多個設(shè)備，或者可以被連續(xù)地發(fā)送到相關(guān)聯(lián)的一個或多個設(shè)備。

在框212中，確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具維護相關(guān)聯(lián)的第二任務(wù)。該確定可以以與在框206中確定用戶執(zhí)行第一任務(wù)定相同的方式來進行。在某些實現(xiàn)方式中，可以在第一任務(wù)完成之后執(zhí)行第二任務(wù)。其他實現(xiàn)方式可以允許與第一任務(wù)同時執(zhí)行第二任務(wù)。如果例如第一任務(wù)的執(zhí)行不是啟動第二任務(wù)的先決條件，則這種情況會是可能的。因此，技術(shù)人員可以在第一任務(wù)和第二任務(wù)之間切換。實際上，在這種實現(xiàn)方式中，可以在第一任務(wù)之前執(zhí)行第二任務(wù)。

在框214中，類似于框208，相關(guān)聯(lián)的設(shè)備可以在確定用戶正在執(zhí)行第二任務(wù)之后向用于第二任務(wù)的便攜式設(shè)備提供與第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令。

在框216中，類似于框210，在確定用戶正在執(zhí)行第二任務(wù)之后跟蹤用戶花費在第二任務(wù)上的時間。也可以輸出花費在第二任務(wù)上的時間，如框218所示?？梢砸耘c輸出花費在第一任務(wù)上的時間的方式相似的方式來輸出花費在第二任務(wù)上的時間，并且第二任務(wù)也可以包括子任務(wù)。

可以分析輸出的時間數(shù)據(jù)，以改進半導(dǎo)體工具維護指令和技術(shù)。自動時間跟蹤確?；ㄙM在維護上的時間的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確無誤。自動輸出被跟蹤的時間確保所有或基本上所有的時間數(shù)據(jù)到達服務(wù)器以進行分析，從而確保通過分析時間數(shù)據(jù)得出的結(jié)論是準(zhǔn)確的。

圖3示出了詳細(xì)說明利用移動設(shè)備支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動的另一示例的流程圖。圖3的框302-18分別類似于圖2的框202-18。針對框202-18給出的描述也適用于框302-18。

圖3包括框320和322?？?20和322表示半導(dǎo)體維護期間的示例性延遲。在框320中，確定在第一任務(wù)的執(zhí)行中存在延遲?？梢酝ㄟ^例如使用戶按暫停按鈕、通過檢測用戶沒有執(zhí)行與半導(dǎo)體工具維護相關(guān)聯(lián)的某些動作、可能通過閾值時間范圍、通過暫停指令、通過偏離半導(dǎo)體工具維護程序、或通過確定存在延遲的其他方式來由便攜式設(shè)備或相關(guān)聯(lián)的設(shè)備進行延遲的確定。

在框320中確定延遲之后，在框322中跟蹤延遲的時間。延遲的時間可以是從框320中概述的首次檢測到延遲的時間到確定延遲結(jié)束的時間?？梢酝ㄟ^例如用戶與便攜式設(shè)備或相關(guān)聯(lián)的設(shè)備交互，以通過用戶敲擊不暫停按鈕，通過用戶再次與輔助設(shè)備、相關(guān)聯(lián)的設(shè)備或半導(dǎo)體工具進行交互，或通過檢測用戶已經(jīng)解決了延遲來指示延遲已經(jīng)結(jié)束的方式來確定延遲已經(jīng)結(jié)束。

在半導(dǎo)體維護期間，用戶可能經(jīng)歷多個延遲。各種實現(xiàn)方式可以單獨地跟蹤花費在單個延遲上的時間，可以跟蹤花在單個延遲上的總時間，或者可以跟蹤在各種單個延遲上花費的單個時間以及在延遲上花費的總時間兩者。然后將花費在延遲上的一個或多個時間輸出到框318中的相關(guān)聯(lián)的設(shè)備。

可以在輸出信息之后分析有關(guān)延遲的信息。例如，可以確定延遲中的趨勢或模式以確定發(fā)生延遲的公共區(qū)域。這種模式可以指示對半導(dǎo)體工具維護程序進行某些改變，以便例如改進程序以提高效率或可重復(fù)性。另外，指示許多沒有模式的延遲的數(shù)據(jù)可以指示維護指令如何呈現(xiàn)中可能存在根本的缺陷。從分析時間數(shù)據(jù)和所提供的延遲數(shù)據(jù)可以得出其他結(jié)論。

圖4示出了詳細(xì)說明利用移動設(shè)備支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動的另一示例的流程圖。圖4的框402-18分別類似于圖2的框202-18。針對框202-18給出的說明也適用于框402-18。

圖4包括框420和422?？?20和422表示在半導(dǎo)體維護期間經(jīng)歷的示例性問題。在框420中，確定在執(zhí)行第一任務(wù)期間存在問題?？梢酝ㄟ^例如使用戶按問題按鈕、通過檢測用戶沒有執(zhí)行與半導(dǎo)體工具維護相關(guān)聯(lián)的某些動作、可能通過閾值時間范圍、通過暫停指令、通過偏離半導(dǎo)體工具維護程序、通過確定用戶已經(jīng)不正確地執(zhí)行了第一任務(wù)的至少一部分、或通過確定存在問題的其他方式來由便攜式設(shè)備或相關(guān)聯(lián)的設(shè)備進行問題的確定。

在框420中確定問題之后，在框422中跟蹤解決問題的時間。解決問題的時間可以是從框420中所述的首次檢測出問題的時間到確定該問題已經(jīng)解決的時間。該問題可以被確定為已經(jīng)通過例如用戶與便攜式設(shè)備或相關(guān)聯(lián)的設(shè)備交互，以通過用戶點擊問題已結(jié)束的按鈕、通過檢測用戶現(xiàn)在正在正確地執(zhí)行半導(dǎo)體維護的步驟、或者通過檢測用戶已經(jīng)以各種其他方式解決了該問題來指示該問題已被解決的方式來解決。

此外，在框420中可以通過例如讓用戶提供關(guān)于問題的理由和/或如何解決問題的解釋來跟蹤問題的原因。用戶可以通過向移動設(shè)備和/或相關(guān)聯(lián)的設(shè)備上的用戶界面中提供信息來提供理由和/或解釋。用戶可以通過打字、口頭或通過其他方式提供信息。

在半導(dǎo)體維護期間，用戶可能會遇到多個問題。各種實現(xiàn)方式可以單獨跟蹤在單個問題上花費的時間，可以追蹤在單個問題上花費的總時間，或者可以跟蹤花在各個問題上的單個時間以及在問題上花費的總時間。然后將花費在該問題上的一個或多個時間輸出到框318中的相關(guān)聯(lián)的設(shè)備。

可以分析關(guān)于用戶遇到的問題以及用戶反饋的數(shù)據(jù)，以進一步改進半導(dǎo)體工具維護程序。例如，可以識別遇到的問題的模式，并且可以確定該模式的根本原因。然后可以修改半導(dǎo)體工具維護程序，以消除問題的根本原因。當(dāng)確定如何改進半導(dǎo)體工具維護程序時，還可以考慮用戶的反饋。還可以使用通過分析用戶遇到的問題來改進半導(dǎo)體工具維護程序的其他方式。

圖5示出了用于支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動的示例性移動設(shè)備界面。圖5中的界面500是用于跟蹤用于半導(dǎo)體工具維護的時間的示例性界面。界面500可以呈現(xiàn)在諸如智能電話和平板電腦之類的便攜式電子設(shè)備上。

界面500示出任務(wù)列502、目標(biāo)時間列504、時間跟蹤列506、狀態(tài)列508和步驟完成列510。

界面500顯示具有多個任務(wù)的半導(dǎo)體工具維護程序。每個任務(wù)可以包括多個子任務(wù)。任務(wù)列502顯示了11個任務(wù)。任務(wù)列中的每個任務(wù)都包含“+”符號。在所示的實現(xiàn)方式中，點擊任務(wù)的“+”符號可以擴展任務(wù)以顯示相應(yīng)的子任務(wù)。

目標(biāo)時間列504顯示各種任務(wù)的目標(biāo)時間。目標(biāo)時間可以是使普通技術(shù)人員可以完成任務(wù)的估計時間。目標(biāo)時間可以使得執(zhí)行半導(dǎo)體工具維護的技術(shù)人員能夠在執(zhí)行其任務(wù)時判斷其表現(xiàn)。也可以針對整個半導(dǎo)體工具維護或針對子任務(wù)顯示目標(biāo)時間。

時間跟蹤列506可以顯示在任務(wù)或子任務(wù)上花費的時間。如果當(dāng)前正在執(zhí)行任務(wù)，則花費的時間可能會增加。所花費的時間可以僅針對正在執(zhí)行的任務(wù)來顯示，可以針對正在執(zhí)行或已經(jīng)處理的任務(wù)來顯示，可以針對在界面500上顯示的所有任務(wù)和子任務(wù)來顯示。

狀態(tài)列508顯示任務(wù)或子任務(wù)的狀態(tài)?？梢燥@示的狀態(tài)包括例如“未開始”、“進行中”、“暫?！?、“問題”、“完成”等狀態(tài)。

步驟完成列510顯示在每個任務(wù)下面有多少個子任務(wù)以及多少個子任務(wù)已經(jīng)完成。右側(cè)的數(shù)字顯示子任務(wù)的數(shù)量，而左側(cè)的數(shù)字顯示完成的子任務(wù)的數(shù)量。

圖6示出了用于支持半導(dǎo)體工具維護以及跟蹤活動的具有延遲彈出屏幕的另一示例性移動設(shè)備界面。界面600是用于跟蹤用于半導(dǎo)體工具維護的時間的另一示例性界面。

界面600示出了任務(wù)列602、目標(biāo)時間列604、時間跟蹤列606、狀態(tài)列608、步驟完成列610、彈出屏幕612和視頻指令窗口614。任務(wù)列602、目標(biāo)時間列604、時間跟蹤列606、狀態(tài)列608和步驟完成列610與圖5中相應(yīng)的列502-10類似。因此，適用于列502-10的公開內(nèi)容也適用于列602-10。

彈出屏幕612允許用戶選擇延遲的原因。在所示的實現(xiàn)方式中，彈出屏幕612提供“用戶中斷-問題”、“部件損壞”、“部件丟失”、“室損壞”、“設(shè)備未準(zhǔn)備好”、“晶圓廠(Fab)抽空”和“其他”的選項作為延遲的原因。其他實現(xiàn)方式可能包括延遲原因的其他選項。一旦選擇延遲原因，另外的窗口可以允許用戶提供關(guān)于延遲原因的進一步細(xì)節(jié)。

由圖6中的彈出屏幕612部分地遮蔽的視頻指令窗口614可以顯示用于半導(dǎo)體工具維護的各種任務(wù)和子任務(wù)的視頻指令。視頻指令可以存儲在便攜式電子設(shè)備的存儲器中，或者可以在檢測到用戶執(zhí)行半導(dǎo)體工具維護或執(zhí)行特定任務(wù)時從相關(guān)聯(lián)的設(shè)備下載視頻指令。

圖7示出了具有問題彈出屏幕的圖6的另一示例性移動設(shè)備界面。界面700顯示彈出窗口712。彈出窗口712可以在用戶在諸如圖6中的彈出屏幕612之類的彈出屏幕中選擇延遲原因之后顯示。用戶然后可以在彈出窗口712中輸入延遲的具體原因。然后可以將該原因發(fā)送到服務(wù)器或計算機，以便分析如何改進半導(dǎo)體工具維護過程。

上述裝置/方法可以與光刻圖案化工具或工藝結(jié)合使用，例如以用于制備或制造半導(dǎo)體器件、顯示器、LED、光伏面板等。通常，雖然不是必須地，但這樣的工具/工藝將在共同的制造設(shè)備中一起使用或一起進行。膜的平版印刷圖案化通常包括以下步驟中的一些或全部，其中每個步驟都能夠使用許多可能的工具：(1)使用旋涂或噴涂工具在工件上即襯底上施加光致抗蝕劑；(2)使用熱板或爐或UV固化工具固化光致抗蝕劑；(3)用諸如晶片步進器之類的工具將光致抗蝕劑暴露于可見光或UV光或X射線光；(4)顯影抗蝕劑以選擇性地除去抗蝕劑，從而使用諸如濕式臺之類的工具將其圖案化；(5)通過使用干蝕刻工具或等離子體輔助的蝕刻工具將抗蝕劑圖案轉(zhuǎn)移到下面的膜或工件中；和(6)使用諸如RF或微波等離子體抗蝕劑剝離劑之類的工具去除抗蝕劑。

還應(yīng)理解，除非具體描述的任何實現(xiàn)方式中的特征被明確地識別為彼此不相容或者周圍環(huán)境意味著它們是相互排斥的并且在互補和/或支持意義上不容易組合，否則本公開的全部內(nèi)容考慮并設(shè)想可以選擇性地組合那些互補實現(xiàn)方式的具體特征以提供一個或多個綜合但略有不同的技術(shù)解決方案。因此，將進一步理解，以上描述僅通過示例的方式給出，并且可以在本公開的范圍內(nèi)進行詳細(xì)的修改。