1.一種用于進(jìn)行半導(dǎo)體工具維護(hù)和操作的方法，所述方法包括：
(a)經(jīng)由便攜式電子設(shè)備確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具上的維護(hù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作，其中所述維護(hù)包括至少第一任務(wù)和第二任務(wù)；
(b)利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費(fèi)在所述維護(hù)上的時(shí)間，其中花費(fèi)在所述維護(hù)上的所述時(shí)間包括至少花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的時(shí)間和花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的時(shí)間；
(c)利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(d)響應(yīng)于(c)經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(e)響應(yīng)于(c)并利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間；
(f)利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(g)響應(yīng)于(f)經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(h)響應(yīng)于(f)并利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間；以及
(i)將花費(fèi)在所述半導(dǎo)體工具的所述維護(hù)上的所述時(shí)間、花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間以及花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間從所述便攜式電子設(shè)備輸出到相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其還包括在(a)之后且在(e)之前從所述用戶接收第一問(wèn)題報(bào)告，所述第一問(wèn)題報(bào)告與所述用戶在執(zhí)行所述半導(dǎo)體工具上的所述維護(hù)時(shí)經(jīng)歷的第一問(wèn)題相關(guān)聯(lián)，其中所述第一問(wèn)題報(bào)告也被輸出到(e)中的相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其還包括：
(j)響應(yīng)于(e)分析花費(fèi)在所述維護(hù)上的所述時(shí)間、花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間以及花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其還包括：
(k)響應(yīng)于(j)確定對(duì)所述維護(hù)的改進(jìn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中花費(fèi)在所述維護(hù)上的所述時(shí)間還包括在所述第一任務(wù)和所述第二任務(wù)中的至少一個(gè)期間的延遲時(shí)間段，并且所述方法還包括：
(j)利用所述便攜式電子設(shè)備確定在完成所述第一任務(wù)和所述第二任務(wù)中的至少一個(gè)中存在延遲；以及
(k)響應(yīng)于(j)并利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤所述延遲的時(shí)間，其中(i)還包括從所述便攜式電子設(shè)備向所述相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備輸出所述延遲的所述時(shí)間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中(j)還包括確定所述延遲的原因，并且(k)還包括跟蹤所述延遲的所述時(shí)間以及所述延遲的所述原因。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其還包括：
(j)從所述用戶經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備接收問(wèn)題陳述，其中所述問(wèn)題陳述與所述用戶在執(zhí)行與所述半導(dǎo)體工具上的所述維護(hù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作時(shí)遇到的問(wèn)題相關(guān)聯(lián)，并且(i)還包括將所述問(wèn)題陳述從所述便攜式電子設(shè)備輸出到所述相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述便攜式電子設(shè)備是平板電腦。
9.一種用于半導(dǎo)體工具維護(hù)的裝置，所述裝置包括：
顯示器；
用戶輸入界面；
半導(dǎo)體維護(hù)時(shí)間跟蹤器；
第一任務(wù)時(shí)間跟蹤器；
第二任務(wù)時(shí)間跟蹤器；以及
處理器，其通信地耦合到所述顯示器、所述用戶輸入界面、所述半導(dǎo)體維護(hù)時(shí)間跟蹤器、所述第一任務(wù)時(shí)間跟蹤器和所述第二任務(wù)時(shí)間跟蹤器，所述處理器被配置為操作所述裝置，以用于：
(a)經(jīng)由所述裝置確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具上的維護(hù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作，其中所述維護(hù)包括至少第一任務(wù)和第二任務(wù)；
(b)利用所述裝置跟蹤花費(fèi)在所述維護(hù)上的時(shí)間，其中花費(fèi)在所述維護(hù)上的所述時(shí)間包括至少花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的時(shí)間和花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的時(shí)間；
(c)利用所述裝置確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(d)響應(yīng)于(c)經(jīng)由所述裝置向所述用戶提供與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(e)響應(yīng)于(c)并利用所述裝置跟蹤花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間；
(f)利用所述裝置確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(g)響應(yīng)于(f)經(jīng)由所述裝置向所述用戶提供與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(h)響應(yīng)于(f)并利用所述裝置跟蹤花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間；以及
(i)將花費(fèi)在所述半導(dǎo)體工具的所述維護(hù)上的所述時(shí)間、花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間以及花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間從所述裝置輸出到相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述裝置是便攜式電子設(shè)備。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中，所述處理器還被配置為操作所述裝置，以用于在(a)之后且在(e)之前從所述用戶接收第一問(wèn)題報(bào)告，所述第一問(wèn)題報(bào)告與所述用戶在執(zhí)行所述半導(dǎo)體工具上的所述維護(hù)時(shí)經(jīng)歷的第一問(wèn)題相關(guān)聯(lián)，其中所述第一問(wèn)題報(bào)告也被輸出到(e)中的相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述處理器還被配置為操作所述裝置，以用于：
(j)響應(yīng)于(e)分析花費(fèi)在所述維護(hù)上的所述時(shí)間、花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間以及花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述處理器還被配置為操作所述裝置，以用于：
(k)響應(yīng)于(j)確定對(duì)所述維護(hù)的改進(jìn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述處理器還被配置為操作所述裝置，以用于：
(j)從所述用戶經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備接收問(wèn)題陳述，其中所述問(wèn)題陳述與所述用戶在執(zhí)行與所述半導(dǎo)體工具上的所述維護(hù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作時(shí)遇到的問(wèn)題相關(guān)聯(lián)，并且(i)還包括將所述問(wèn)題陳述從所述便攜式電子設(shè)備輸出到所述相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。
15.一種用于半導(dǎo)體工具維護(hù)的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：
半導(dǎo)體工具；
服務(wù)器設(shè)備；以及
用于與所述半導(dǎo)體工具和所述服務(wù)器設(shè)備通信地耦合的相關(guān)聯(lián)的便攜式電子設(shè)備，所述便攜式電子設(shè)備包括顯示器、用戶輸入界面、半導(dǎo)體維護(hù)時(shí)間跟蹤器、第一任務(wù)時(shí)間跟蹤器、第二任務(wù)時(shí)間跟蹤器和處理器，所述處理器通信地耦合到所述顯示器、所述用戶輸入界面、所述半導(dǎo)體維護(hù)時(shí)間跟蹤器、所述第一任務(wù)時(shí)間跟蹤器和所述第二任務(wù)時(shí)間跟蹤器，所述處理器被配置為操作所述裝置，以用于：
(a)經(jīng)由所述裝置確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具上的維護(hù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作，其中所述維護(hù)包括至少第一任務(wù)和第二任務(wù)；
(b)利用所述裝置跟蹤花費(fèi)在所述維護(hù)上的時(shí)間，其中花費(fèi)在所述維護(hù)上的所述時(shí)間包括至少花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的時(shí)間和花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的時(shí)間；
(c)利用所述裝置確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(d)響應(yīng)于(c)經(jīng)由所述裝置向所述用戶提供與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(e)響應(yīng)于(c)并利用所述裝置跟蹤花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間；
(f)利用所述裝置確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(g)響應(yīng)于(f)經(jīng)由所述裝置向所述用戶提供與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(h)響應(yīng)于(f)并利用所述裝置跟蹤花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間；以及
(i)將花費(fèi)在所述半導(dǎo)體工具的所述維護(hù)上的所述時(shí)間、花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間以及花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間從所述裝置輸出到相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述便攜式電子設(shè)備是平板電腦。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述處理器還被配置為操作所述裝置，以用于在(a)之后且在(e)之前從所述用戶接收第一問(wèn)題報(bào)告，所述第一問(wèn)題報(bào)告與所述用戶在執(zhí)行所述半導(dǎo)體工具上的所述維護(hù)時(shí)經(jīng)歷的第一問(wèn)題相關(guān)聯(lián)，其中所述第一問(wèn)題報(bào)告也被輸出到(e)中的相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述處理器還被配置為操作所述裝置，以用于：
(j)響應(yīng)于(e)分析花費(fèi)在所述維護(hù)上的所述時(shí)間、花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間以及花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中所述處理器還被配置為操作所述裝置，以用于：
(k)響應(yīng)于(j)確定對(duì)所述維護(hù)的改進(jìn)。
20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述處理器還被配置為操作所述裝置，以用于：
(j)從所述用戶經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備接收問(wèn)題陳述，其中所述問(wèn)題陳述與所述用戶在執(zhí)行與所述半導(dǎo)體工具上的所述維護(hù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作時(shí)遇到的問(wèn)題相關(guān)聯(lián)，并且(i)還包括將所述問(wèn)題陳述從所述便攜式電子設(shè)備輸出到所述相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。