專利名稱：觸控感應(yīng)層的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型系關(guān)于一種觸控面板。
背景技術(shù)：
觸控面板的感應(yīng)層至少包含電極和周邊引線，其制造方法涉及多個步驟，請參考圖1，是傳統(tǒng)制作電極和周邊引線的方法流程圖，其步驟包含步驟Si，形成一透明導(dǎo)電層于一基板上；步驟S2，形成一光阻層于該透明導(dǎo)電層上；步驟S3，通過前烘干、曝光、顯影、后烘干、蝕刻、剝膜得到圖案化的透明導(dǎo)電層，即電極；步驟S4，形成一金屬層于該電極上；步驟S5，形成一光阻層于該金屬層上；步驟S6，通過前烘干、曝光、顯影、后烘干、蝕刻、剝膜得到圖案化的金屬層，即周邊引線。傳統(tǒng)制程中，電極和周邊引線需分開進(jìn)行圖案化，而圖案化這一制程動作本身又包含了復(fù)雜的工序步驟，如烘干、曝光、顯影、蝕刻、剝膜，如此使得制程工藝復(fù)雜，導(dǎo)致制程效率無法提升。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于上述，本實(shí)用新型提供一種觸控感應(yīng)層，包含至少一電極圖案，是由一第一導(dǎo)電層制成；以及至少一周邊引線，分別電性連接于該些電極圖案，其中該些周邊引線為由該第一導(dǎo)電層與一第二導(dǎo)電層制成的雙層導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。

圖I為傳統(tǒng)觸控感應(yīng)層的制作方法流程圖。圖2A為本實(shí)用新型一實(shí)施例中一種觸控感應(yīng)層的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2B為圖2A沿A-A’方向的剖面圖。圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例的觸控感應(yīng)層的制作方法流程圖。圖4A為本實(shí)用新型一實(shí)施例的制作方法過程中的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4B為圖4A沿水平方向的剖面圖。圖5A為本實(shí)用新型一實(shí)施例的制作方法過程中的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5B為圖5A沿水平方向的剖面圖。圖6A為本實(shí)用新型一實(shí)施例的制作方法過程中的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6B為圖6A沿B-B’方向的剖面圖。圖7A為本實(shí)用新型一實(shí)施例的制作方法過程中的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7B為圖7A沿C-C’方向的剖面圖。圖8為本實(shí)用新型一實(shí)施例的制作方法流程圖。圖9A為本實(shí)用新型一實(shí)施例的制作方法過程中的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9B為圖9A沿D-D’方向的剖面圖。主要元件符號說明[0021]10觸控感應(yīng)層I電極2周邊引線20基板21第一導(dǎo)電層22第二導(dǎo)電層23圖案化復(fù)合導(dǎo)電層24保護(hù)層 VA可視區(qū)域SA周邊區(qū)域SI形成一透明導(dǎo)電層于一基板上S2形成一光阻層于該透明導(dǎo)電層上S3通過前烘干、曝光、顯影、后烘干、蝕刻、剝膜得到圖案化的透明導(dǎo)電層，即電極S4形成一金屬層于該電極上S5形成一光阻層于該金屬層上S6通過前烘干、曝光、顯影、后烘干、蝕刻、剝膜得到圖案化的金屬層，即周邊引線a形成一第一導(dǎo)電層于一基板上b形成一第二導(dǎo)電層于該第一導(dǎo)電層上c同步圖案化該第一導(dǎo)電層和該第二導(dǎo)電層，以分別形成一圖案化復(fù)合導(dǎo)電層以及至少一周邊引線d移除該圖案化復(fù)合導(dǎo)電層中的該第二導(dǎo)電層以形成至少一電極，其中該些周邊弓I線電性連接至對應(yīng)的該些電極e形成保護(hù)層在周邊引線上，并使圖案化復(fù)合層裸露f移除上述保護(hù)層
具體實(shí)施方式
以下將詳述本案的各實(shí)施例，并配合圖示作為例示。除了這些詳細(xì)描述之外，本實(shí)用新型還可以廣泛地施行在其他的實(shí)施例中，任何所述實(shí)施例的輕易替代、修改、等效變化都包含在本案的范圍內(nèi)，并以之后的專利范圍為準(zhǔn)。在說明書的描述中，為了使讀者對本實(shí)用新型有較完整的了解，提供了許多特定細(xì)節(jié)；然而，本實(shí)用新型可能在省略部分或全部這些特定細(xì)節(jié)的前提下，仍可實(shí)施。此外，眾所周知的步驟或元件并未描述于細(xì)節(jié)中，以避免造成本實(shí)用新型不必要之限制。圖示中相同或類似之組件將以相同或類似符號來表示。特別注意的是，圖示僅為示意之用，并非代表元件實(shí)際的尺寸或數(shù)量，除非有特別說明。圖2A與圖2B為本實(shí)用新型一實(shí)施例中的觸控感應(yīng)層結(jié)構(gòu)示意圖，其中圖2B為圖2A沿A-A’方向的剖面圖。本實(shí)施例中，觸控感應(yīng)層10包含位于可視區(qū)VA的電極I與位于非可視區(qū)VS的周邊引線2，其中周邊引線2電性連接電極I。電極I由第一導(dǎo)電層21制成。周邊引線2由第一導(dǎo)電層21與第二導(dǎo)電層22制成，故周邊引線2為一種雙層導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型一實(shí)施例中，電極I與周邊引線2均由第一導(dǎo)電層21制成，故電極I與周邊引線2的電性連接是通過第一導(dǎo)電層21本身，故電極I與周邊引線2之間無需通過其他重疊的搭接方式進(jìn)行導(dǎo)通，換言之，電極I與周邊引線的連接處無重疊，從而避免了因重置處存在聞度差而引起的斷路等問題。圖3為制作上述觸控感應(yīng)層的方法流程圖。請參照圖3，觸控感應(yīng)層的制作方法·包括以下步驟(a)形成一第一導(dǎo)電層于一基板上；(b)形成一第二導(dǎo)電層于該第一導(dǎo)電層上；(C)同步圖案化該第一導(dǎo)電層和該第二導(dǎo)電層，以分別形成一圖案化復(fù)合導(dǎo)電層以及至少一周邊引線；以及(d)移除該圖案化復(fù)合導(dǎo)電層中的該第二導(dǎo)電層以形成至少一電極，其中該些周邊引線電性連接至對應(yīng)的該些電極。請合并參考圖4A與圖4B,其中圖4A是繪示上述步驟(a)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4B為圖4A沿水平方向的剖面圖。步驟(a)，形成第一導(dǎo)電層21于基板20上，如圖4A至圖4B所示，其中形成的方式可為沉積、蒸鍍、印刷、涂布、濺鍍等。請合并參考圖5A與圖5B，其中圖5A是繪示上述步驟(b)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖5B為圖5A沿水平方向的剖面圖。步驟(b)，形成第二導(dǎo)電層22于第一導(dǎo)電層21上，如圖5A及圖5B所示，其中形成的方式可為沉積、蒸鍍、印刷、涂布、濺鍍等。請合并參考圖6A與圖6B,其中圖6A是繪示上述步驟(C)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖6B為圖6A沿B-B’方向的剖面圖。步驟(C)，同步圖案化第一導(dǎo)電層21和第二導(dǎo)電層22，以分別形成圖案化復(fù)合導(dǎo)電層23以及周邊引線2，如圖6A及圖6B所示。其中，周邊引線2分別電性連接于圖案化復(fù)合導(dǎo)電層23，且圖案化復(fù)合導(dǎo)電層23大致上位于基板20的可視區(qū)域VA，周邊引線2大致上位于基板20的周邊區(qū)域SA。于本實(shí)施例，較佳地，是采用一雷射蝕刻方式同時圖案化第一導(dǎo)電層21和第二導(dǎo)電層22。依照所要形成的圖案，利用雷射劃線蝕刻機(jī)，控制合適的雷射蝕刻參數(shù)，同時將第二導(dǎo)電層22與其下方的第一導(dǎo)電層21所需蝕刻的部份蝕刻完全，且避免蝕刻到第一導(dǎo)電層21下的基板20,例如塑膠基板。在一實(shí)施例中，雷射蝕刻選用波長1064nm的雷射光束，并搭配下列參數(shù)功率3W，雷射頻率70K，劃線速度1000mm/S，按照上述參數(shù)，可蝕刻出線寬和線距為30±5 μ m的周邊引線2。在另一實(shí)施例中，雷射蝕刻選用波長355nm的雷射光束，并搭配下列參數(shù)功率O. 7W，雷射頻率100K，劃線速度1000mm/s，按照上述參數(shù)，可蝕刻出線寬和線距為15±5μπι的周邊引線2。故通過調(diào)整鐳射蝕刻時所使用的波長和其他相關(guān)參數(shù)，可得到線寬為10 μ m至35 μ m的周邊引線。由于雷射蝕刻精度上較容易控制，使用本實(shí)施例的制作方法，周邊引線2的線距可達(dá)到大約ΙΟμπι至35μπι。在本實(shí)用新型另一實(shí)施例中，是采用微影蝕刻的方式同步圖案化第一導(dǎo)電層21和第二導(dǎo)電層22。在本實(shí)施例中，在上述步驟(b)完成后，先形成一光阻層于第二導(dǎo)電層22上，再經(jīng)過前烘干、曝光、顯影、后烘干、蝕刻、剝膜等工序形成圖案化復(fù)合導(dǎo)電層23以及周邊引線2。請合并參考圖7A與圖7B，其中圖7A是繪示上述步驟(d)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖7B為圖7A沿C-C’方向的剖面圖。步驟(d)移除圖案化復(fù)合導(dǎo)電層23中的第二導(dǎo)電層22以形成電極1，其中該些周邊引線2電性連接至對應(yīng)的該些電極1，如圖7A及圖7B所示。例如，利用干蝕刻或濕蝕刻移除第二導(dǎo)電層22。于本實(shí)施例，可視區(qū)域VA中圖案化復(fù)合導(dǎo)電層23中的第二導(dǎo)電層22，可通過一蝕刻液蝕刻移除，其中由于第一導(dǎo)電層21與第二導(dǎo)電層22具有相異的蝕刻屬性，因此可選用適當(dāng)?shù)奈g刻液，使該蝕刻液僅會對第二導(dǎo)電層22有蝕刻作用，卻不會對第一導(dǎo)電層21有蝕刻作用。因此，蝕刻液的選用需根據(jù)第二導(dǎo)電層22的材料來確定，例如，如果第二導(dǎo)電層22的材質(zhì)為鑰-鋁-鑰(Mo-AI-Mo)合金，則使用醋酸-硝酸-磷酸溶液作為蝕刻液；如果第二導(dǎo)電層22的材質(zhì)為銅，則使用氯化鐵溶液作為蝕刻液。圖8為制作上述觸控感應(yīng)層的另一方法流程圖。本實(shí)施例與上述方法實(shí)施例的區(qū)別之處在于于步驟(C)與步驟(d)之間更包含一步驟(e)，即形成一保護(hù)層24在周邊引線2上，并使圖案化復(fù)合導(dǎo)電層23裸露。請合并參 考圖9A與圖9B，其中圖9A是繪示上述步驟(e)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖9B為圖9A沿D-D’方向的剖面圖。在一實(shí)施例中，保護(hù)層24系采用絲網(wǎng)印刷方式形成的一防蝕刻油墨層，以遮蔽并保護(hù)周邊區(qū)域SA的周邊引線2，同時暴露出位于可視區(qū)域VA的圖案化復(fù)合導(dǎo)電層23 ;接著，以加熱或紫外光照射方式固化處理防蝕刻油墨層。于另一實(shí)施例中，以絲網(wǎng)印刷方法，在周邊區(qū)域SA印刷可剝離膠層24以保護(hù)周邊引線2，同時暴露出位于可視區(qū)域VA的圖案化復(fù)合導(dǎo)電層23;接著，通過紫外光或加熱方式使可剝離膠層固化。形成保護(hù)層24后，再進(jìn)行步驟(d)的移除第二導(dǎo)電層22動作，以防止周邊引線2在步驟(d)的過程中被腐蝕。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，于步驟(d)之后更包含一步驟(f)，即移除上述保護(hù)層24。于本實(shí)施例，使用一剝膜液移除保護(hù)層24，例如氫氧化鉀(KOH)溶液，將防蝕刻油墨24或可剝離膠24剝離。在本實(shí)施例中，其余步驟及使用材料皆與上述方法實(shí)施例類似，在此不再贅述。藉由上述方法，即可在基板20上形成觸控感應(yīng)層10。此外，較佳地，所述觸控感應(yīng)層10是一種用于電容式觸控面板的觸控感應(yīng)結(jié)構(gòu)，其形態(tài)不拘于圖2A所示的單層單軸結(jié)構(gòu)，也可以是一單層雙軸結(jié)構(gòu)、一雙層雙軸結(jié)構(gòu)等。需要說明的是，在前述各實(shí)施例中，基板20可以是一透明無機(jī)基板，例如一玻璃基板；或一透明有機(jī)基板，例如一塑膠基板，其材質(zhì)例如聚乙烯對苯二甲酸酯(Po I ye thy I en eterephthalate, PET)、聚碳酸酉旨(Poly Carbonate, PC)、聚乙烯(Polyethylene, PE)或聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethylmethacrylate, PMMA)等。第一導(dǎo)電層21為透明導(dǎo)電材料，其材料可以選自下列群組的其中之一或其組合氧化銦錫(ΙΤ0)、氧化銻錫(ΑΤ0)、氧化鋅(ZnO)、二氧化鋅(ZnO2)、二氧化錫(SnO2)、三氧化二銦(In2O3)。第二導(dǎo)電材料22為金屬材料，其材料包含任何可以導(dǎo)電的金屬或合金，例如銅、銅合金、鑰-鋁-鑰合金、銀、銀合金等
坐寸ο本實(shí)用新型實(shí)施例提供的觸控感應(yīng)層及其制作方法，乃利用同步圖案化的制程步驟形成電極與周邊引線，從而可簡化生產(chǎn)流程以提升制程效率，此外若在圖案化步驟中使用鐳射蝕刻的方式，所制作出的周邊引線更加精細(xì)。以上所述僅為本實(shí)用新型之較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本實(shí)用新型之申請專利范圍；凡其他未脫離發(fā)明所揭示之精神下所完成之等效改變或修飾，均應(yīng)包含在下述之申請專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種觸控感應(yīng)層，包含 至少一電極，是由一第一導(dǎo)電層制成；以及 至少一周邊引線，分別電性連接于該些電極，其中該些周邊引線為由該第一導(dǎo)電層與一第二導(dǎo)電層制成的雙層導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求I所述的觸控感應(yīng)層，其特征在于，該第一導(dǎo)電層的材料為透明導(dǎo)電材料，該第二導(dǎo)電層的材料為金屬材料。
3.如權(quán)利要求I所述的觸控感應(yīng)層，其特征在于，該些電極與該些周邊引線的連接處無重疊。
4.如權(quán)利要求I所述的觸控感應(yīng)層，其特征在于，該些周邊引線彼此間的線距為ΙΟμπι至 35 μ m。
5.如權(quán)利要求I所述的觸控感應(yīng)層，其特征在于，該些周邊引線的線寬為10μ m至,35 μ m0
專利摘要本實(shí)用新型提供一種觸控感應(yīng)層包含，至少一電極，是由一第一導(dǎo)電層制成；以及至少一周邊引線，分別電性連接于該些電極，其中該些周邊引線為由該第一導(dǎo)電層與一第二導(dǎo)電層制成的雙層導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型提供的觸控感應(yīng)層中的周邊引線具更好的導(dǎo)通性。
文檔編號G06F3/044GK202795324SQ20122044471
公開日2013年3月13日 申請日期2012年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月26日
發(fā)明者張振炘, 畬燈永, 伍哲毅, 陳文春, 陳麗嫻 申請人:寶宸(廈門)光學(xué)科技有限公司