一種壓力感應(yīng)觸控面板及其制備方法、觸控顯示屏的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種壓力感應(yīng)觸控面板及其制備方法、觸控顯示屏，涉及觸控顯示技術(shù)領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有的壓力感應(yīng)觸控面板的制備工藝比較復(fù)雜的技術(shù)問題。該壓力感應(yīng)觸控面板包括：襯底基板以及設(shè)置于所述襯底基板上的觸控感應(yīng)器，所述觸控感應(yīng)器包括第一電極和第二電極，所述壓力感應(yīng)觸控面板還包括：設(shè)置于所述襯底基板上的至少一個壓力感應(yīng)器，所述壓力感應(yīng)器包括上電極、下電極以及位于所述上電極和所述下電極之間的電介質(zhì)層，所述上電極與所述第一電極同層設(shè)置且材料相同，所述下電極與所述第二電極同層設(shè)置且材料相同，所述電介質(zhì)層的材料為絕緣彈性材料。本發(fā)明中的壓力感應(yīng)觸控面板和觸控顯示屏用于觸控顯示。
【專利說明】
一種壓力感應(yīng)觸控面板及其制備方法、觸控顯示屏
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及觸控技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種壓力感應(yīng)觸控面板及其制備方法、觸控顯示屏。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，壓力感應(yīng)觸控面板越來越廣泛的應(yīng)用于各種電子產(chǎn)品的顯示設(shè)備上。
[0003]目前，現(xiàn)有的壓力感應(yīng)觸控面板一般采用電容式觸控感應(yīng)器作為觸控感應(yīng)模塊，并在壓力感應(yīng)觸控面板中額外加入壓力感應(yīng)器作為壓力感應(yīng)模塊，而現(xiàn)有的壓力感應(yīng)器的制備工藝與現(xiàn)有的觸控感應(yīng)器的制備工藝完全不同，因此，在現(xiàn)有的壓力感應(yīng)觸控面板的制作過程中，需要在觸控感應(yīng)器制備完成之后，再加入制備好的壓力感應(yīng)器，從而導(dǎo)致壓力感應(yīng)觸控面板的制備工藝比較復(fù)雜，增加了制備成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種壓力感應(yīng)觸控面板及其制備方法、觸控顯示屏，用于簡化壓力感應(yīng)觸控面板的制備工藝，降低壓力感應(yīng)觸控面板的制備成本。
[0005]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種壓力感應(yīng)觸控面板，采用如下技術(shù)方案:
[0006]該壓力感應(yīng)觸控面板包括:襯底基板以及設(shè)置于所述襯底基板上的觸控感應(yīng)器，所述觸控感應(yīng)器包括第一電極和第二電極，所述壓力感應(yīng)觸控面板還包括:設(shè)置于所述襯底基板上的至少一個壓力感應(yīng)器，所述壓力感應(yīng)器包括上電極、下電極以及位于所述上電極和所述下電極之間的電介質(zhì)層，所述上電極與所述第一電極同層設(shè)置且材料相同，所述下電極與所述第二電極同層設(shè)置且材料相同，所述電介質(zhì)層的材料為絕緣彈性材料。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的壓力感應(yīng)觸控面板具有以下有益效果:
[0008]由于本發(fā)明中的壓力感應(yīng)觸控面板中，壓力感應(yīng)器包括上電極、下電極以及位于上電極和下電極之間的具有彈性的電介質(zhì)層，當(dāng)壓力感應(yīng)觸控面板受到壓力時，壓力感應(yīng)器的電介質(zhì)層則會發(fā)生形變，壓力感應(yīng)器的自電容就會隨之變化，從而可以通過壓力感應(yīng)器的自電容的變化來識別作用于壓力感應(yīng)觸控面板上的壓力大小，從而實現(xiàn)了壓力觸控。并且，壓力感應(yīng)器的上電極與觸控感應(yīng)器的第一電極同層設(shè)置且材料相同，壓力感應(yīng)器的下電極與觸控感應(yīng)器的第二電極同層設(shè)置且材料相同，因此，在壓力感應(yīng)觸控面板的制備過程中，只需通過一次構(gòu)圖工藝即可形成壓力感應(yīng)器的上電極和觸控感應(yīng)器的第一電極，再通過一次構(gòu)圖工藝即可形成壓力感應(yīng)器的下電極和觸控感應(yīng)器的第二電極，從而使得觸控感應(yīng)器和壓力感應(yīng)器的制備工藝可以完全兼容，無需在制備好觸控感應(yīng)器之后再在壓力感應(yīng)觸控面板中額外設(shè)置壓力感應(yīng)器，簡化了壓力感應(yīng)觸控面板的制備工藝，大大降低了壓力感應(yīng)觸控面板的制備成本。
[0009]本發(fā)明還提供了一種壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法，該壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法包括:
[0010]通過一次構(gòu)圖工藝，形成觸控感應(yīng)器的第二電極和壓力感應(yīng)器的下電極；
[0011]通過構(gòu)圖工藝，在所述第二電極上形成所述觸控感應(yīng)器的絕緣層，并在所述下電極上形成所述壓力感應(yīng)器的電介質(zhì)層；
[0012]通過一次構(gòu)圖工藝，在所述絕緣層上形成所述觸控感應(yīng)器的第一電極，并在所述電介質(zhì)層上分別形成所述壓力感應(yīng)器的上電極。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法的有益效果與上述壓力感應(yīng)觸控面板的有益效果相同，故此處不再贅述。
[0014]本發(fā)明還提供了一種觸控顯示屏，該觸控顯示屏包括上述壓力感應(yīng)觸控面板。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的觸控顯示屏的有益效果與上述壓力感應(yīng)觸控面板的有益效果相同，故此處不再贅述。
【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本發(fā)明實施例中壓力感應(yīng)觸控面板的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本發(fā)明實施例中壓力感應(yīng)觸控面板的局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本發(fā)明實施例中壓力感應(yīng)器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為本發(fā)明實施例中壓力感應(yīng)觸控面板的層疊結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖5為本發(fā)明實施例中壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法流程圖。
[0022]附圖標(biāo)記說明:
[0023]! 一襯底基板，2—觸控感應(yīng)器，3—壓力感應(yīng)器，
[0024]31—上電極，32—下電極，33—電介質(zhì)層，
[0025]21—第一電極，22—第二電極，23—絕緣層，
[0026]4 一金屬層，5 一保護(hù)層。
【具體實施方式】
[0027]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0028]實施例一
[0029]本發(fā)明實施例提供一種壓力感應(yīng)觸控面板，如圖1、圖2所示，該壓力感應(yīng)觸控面板包括:襯底基板I，以及位于襯底基板I上的觸控感應(yīng)器2，觸控感應(yīng)器2包括第一電極21和第二電極22，該壓力感應(yīng)觸控面板還包括位于襯底基板I上的至少一個壓力感應(yīng)器3，壓力感應(yīng)器3包括上電極31、下電極32以及位于上電極31和下電極32之間的電介質(zhì)層33，上電極31與觸控感應(yīng)器2的第一電極21同層設(shè)置且材料相同，下電極32與觸控感應(yīng)器2的第二電極22同層設(shè)置且材料相同，電介質(zhì)層33的材料為絕緣彈性材料。
[0030]如圖3所示，當(dāng)壓力作用于上述壓力感應(yīng)觸控面板的表面時，壓力從壓力感應(yīng)觸控面板的表面?zhèn)鬟f到壓力感應(yīng)器3上，使得壓力感應(yīng)器3的上電極31與下電極32之間的電介質(zhì)層33受到壓力，產(chǎn)生形變，即壓力感應(yīng)器3的上電極31與下電極32之間的距離d發(fā)生變化，使得壓力感應(yīng)器3的自電容發(fā)生變化，當(dāng)壓力越大時，電介質(zhì)層33的形變越大，壓力感應(yīng)器3的自電容變化也越大，從而可以利用壓力感應(yīng)器3的自電容變化大小，來識別作用于壓力感應(yīng)觸控面板上的壓力的大小，實現(xiàn)了壓力感應(yīng)。
[0031 ] 而對于觸控點的位置的信息，則可通過觸控感應(yīng)器得到，至于觸控感應(yīng)器的工作原理與現(xiàn)有的觸控感應(yīng)器的工作原理相同，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)實際情況進(jìn)行設(shè)置，本發(fā)明實施例不再進(jìn)行贅述。
[0032]在本發(fā)明實施例的技術(shù)方案中，上電極31與觸控感應(yīng)器2的第一電極21同層設(shè)置且材料相同，下電極32與觸控感應(yīng)器2的第二電極22同層設(shè)置且材料相同，因此，在壓力感應(yīng)觸控面板的制備過程中，只需通過一次構(gòu)圖工藝即可形成壓力感應(yīng)器3的上電極31和觸控感應(yīng)器2的第一電極21，再通過一次構(gòu)圖工藝即可形成壓力感應(yīng)器3的下電極32和觸控感應(yīng)器2的第二電極22，從而使得觸控感應(yīng)器2和壓力感應(yīng)器3的制備工藝可以完全兼容，無需在制備好觸控感應(yīng)器之后再在壓力感應(yīng)觸控面板中額外設(shè)置壓力感應(yīng)器，簡化了壓力感應(yīng)觸控面板的制備工藝，大大降低了壓力感應(yīng)觸控面板的制備成本。
[0033]需要說明的是，上述第一電極21可以為觸控感應(yīng)器2的驅(qū)動電極、第二電極22可以為觸控感應(yīng)器2的感應(yīng)電極;或，第一電極21為觸控感應(yīng)器2的感應(yīng)電極，第二電極22為觸控感應(yīng)器2的驅(qū)動電極。本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)實際情況進(jìn)行選擇，本發(fā)明實施例不進(jìn)行限定。
[0034]優(yōu)選地，如圖1、圖2所示，觸控感應(yīng)器2還包括設(shè)置于第一電極21和第二電極22之間的絕緣層23，絕緣層23的材料與電介質(zhì)層33的材料相同，從而使得在壓力感應(yīng)觸控面板的制備過程中，可以通過一次構(gòu)圖工藝形成絕緣層23和電介質(zhì)層33，進(jìn)而更進(jìn)一步的簡化了上述壓力感應(yīng)觸控面板的制備工藝，可選地，絕緣層23和電介質(zhì)層33同層設(shè)置或者二者為同一膜層。
[0035]具體地，電介質(zhì)層33優(yōu)選為材料較軟的光刻膠，例如感光樹脂，感光樹脂可以為有機(jī)感光樹脂、無機(jī)感光樹脂或有機(jī)-無機(jī)復(fù)合感光樹脂等，由于電介質(zhì)層33較軟，從而使得電介質(zhì)層33能夠在外力作用下發(fā)生較大形變，使壓力感應(yīng)器3的敏感度更高。
[0036]另外，本發(fā)明實施例中，優(yōu)選電介質(zhì)層33的厚度大于或等于1.5微米，優(yōu)選的，電介質(zhì)層33的厚度在1.5微米至3微米之間；經(jīng)試驗證明，當(dāng)電介質(zhì)層33的厚度大于或等于1.5微米時，壓力感應(yīng)觸控面板在受到壓力時，電介質(zhì)層33的形變大小更容易被采集到，從而更容易得到自電容的變化大小，實現(xiàn)壓力觸控。
[0037]此外，為了避免觸控感應(yīng)器2受到壓力感應(yīng)器3的干擾，本發(fā)明實施例中，優(yōu)選壓力感應(yīng)器3位于襯底基板I的周邊，優(yōu)選地，如圖1所示，可使襯底基板I的每一角處均設(shè)置有至少一個壓力感應(yīng)器3，使得在觸控感應(yīng)器2不受干擾的情況下，壓力感應(yīng)觸控面板有較好的壓力感應(yīng)觸控效果。至于壓力感應(yīng)器3的具體個數(shù)，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)實際情況進(jìn)行選擇，本發(fā)明實施例不進(jìn)行限定。
[0038]需要補(bǔ)充的是，如圖4所示，壓力感應(yīng)器3和觸控感應(yīng)器2上還可設(shè)置有金屬層4，金屬層4包括第一外圍引線、第二外圍引線、第三外圍引線和第四外圍引線，第一外圍引線與壓力感應(yīng)器3的上電極相連，第二外圍引線與壓力感應(yīng)器3的下電極相連，以實現(xiàn)壓力信號的傳輸;第三外圍引線與觸控感應(yīng)器2的第一電極相連，第四外圍引線與觸控感應(yīng)器2的第二電極相連，以實現(xiàn)觸控信號的傳輸。示例性地，電介質(zhì)層上還可設(shè)置有過孔，第二外圍引線通過該過孔與下電極32相連。
[0039]可選地，如圖4所示，還可在金屬層4上設(shè)置一層保護(hù)層5以防止金屬層4、觸控感應(yīng)器2和壓力感應(yīng)器3受到破壞。保護(hù)層5的材料可以為光刻膠等。
[0040]本發(fā)明實施例還提供了一種觸控顯示屏，該觸控顯示屏包括顯示面板和上述壓力感應(yīng)觸控面板。其中，觸控顯示屏包括的其他結(jié)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)相同，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以基于現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行設(shè)置，此處不再進(jìn)行贅述。
[0041]可選地，上述觸控顯示屏可以為:液晶面板、電子紙、液晶電視、液晶顯示器、數(shù)碼相框、手機(jī)、平板電腦等任何具有顯示功能的產(chǎn)品或部件。由于該觸控顯示屏包括上述壓力感應(yīng)觸控面板，因此，上述觸控顯示屏的有益效果與上述壓力感應(yīng)觸控面板的有益效果相同，故此處不再進(jìn)行贅述。
[0042]實施例二
[0043]本發(fā)明實施例提供一種壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法，用于制備本發(fā)明實施例一中的壓力感應(yīng)觸控面板，具體地，如圖5所示，該壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法包括:
[0044]步驟S1、通過一次構(gòu)圖工藝，形成觸控感應(yīng)器的第二電極和壓力感應(yīng)器的下電極。
[0045]示例性地，可在已形成了黑矩陣邊框的襯底基板上，通過濺射、蒸鍍等方法，形成一層透明導(dǎo)電膜，例如氧化銦錫薄膜或金屬薄膜，然后通過一次構(gòu)圖工藝，形成觸控感應(yīng)器的第二電極和壓力感應(yīng)器的下電極。
[0046]需要說明的是，如無特殊說明，本發(fā)明實施例中的構(gòu)圖工藝，均包括涂覆光刻膠、掩膜、曝光、顯影和剝離光刻膠等步驟。
[0047]步驟S2、通過構(gòu)圖工藝，在第二電極上形成觸控感應(yīng)器的絕緣層，并在下電極上形成壓力感應(yīng)器的電介質(zhì)層。
[0048]步驟S3、通過一次構(gòu)圖工藝，在絕緣層上形成觸控感應(yīng)器的第一電極，并在電介質(zhì)層上形成壓力感應(yīng)器的上電極。
[0049]類似地，可在已形成了絕緣層和電介質(zhì)層的襯底基板上，通過濺射、蒸鍍等方法，形成一層透明導(dǎo)電膜，例如氧化銦錫薄膜或金屬薄膜，然后通過一次構(gòu)圖工藝，形成觸控感應(yīng)器的第一電極和壓力感應(yīng)器的上電極。
[0050]在本實施例的技術(shù)方案中，只需通過一次構(gòu)圖工藝即可形成壓力感應(yīng)器的上電極和觸控感應(yīng)器的第一電極，再通過一次構(gòu)圖工藝即可形成壓力感應(yīng)器的下電極和觸控感應(yīng)器的第二電極，從而使得觸控感應(yīng)器和壓力感應(yīng)器的制備工藝可以完全兼容，無需在制備好觸控感應(yīng)器之后再在壓力感應(yīng)觸控面板中額外設(shè)置壓力感應(yīng)器，簡化了壓力感應(yīng)觸控面板的制備工藝，大大降低了壓力感應(yīng)觸控面板的制備成本。
[0051 ] 可選的，上述壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法還可包括:
[0052]步驟S4、在壓力感應(yīng)器上形成金屬層，通過構(gòu)圖工藝去除金屬層的部分材料，形成與上電極相連的第一外圍引線，以及與下電極相連的第二外圍引線。
[0053]示例性地，可在已形成了第一電極和上電極的襯底基板上，通過濺射、蒸鍍等方法，形成一層金屬膜層，例如導(dǎo)電率較好的鉬、鋁等金屬膜層，然后通過構(gòu)圖工藝形成與壓力感應(yīng)器的上電極相連的第一外圍引線，以及與壓力感應(yīng)器的下電極相連的第二外圍引線。需要補(bǔ)充的是，在通過構(gòu)圖工藝形成第一外圍引線和第二外圍引線的同時，還可形成與觸控感應(yīng)器的第一電極相連的第三外圍引線以及與觸控感應(yīng)器的第二電極相連的第四外圍引線。
[0054]步驟S5、在金屬層上形成保護(hù)層。
[0055]示例性地，可在已形成了金屬層的襯底基板上，通過涂覆、沉積等方法，形成一層保護(hù)層，保護(hù)層的材料可以為感光樹脂，例如有機(jī)感光樹脂、無機(jī)感光樹脂或有機(jī)-無機(jī)復(fù)合感光樹脂等。
[0056]需要補(bǔ)充的是，上述步驟S2中，可在第二電極和下電極上涂覆光刻膠，例如感光樹月旨，感光樹脂可以為有機(jī)感光樹脂、無機(jī)感光樹脂或有機(jī)-無機(jī)復(fù)合感光樹脂等，通過一次構(gòu)圖工藝形成絕緣層和電介質(zhì)層，以進(jìn)一步簡化上述壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法。且優(yōu)選電介質(zhì)層的厚度大于或等于1.5微米，以使得壓力感應(yīng)觸控面板受到壓力時，更容易采集到電介質(zhì)層的形變大小，從而更容易得到自電容的變化大小，實現(xiàn)壓力觸控。
[0057]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.一種壓力感應(yīng)觸控面板，包括:襯底基板以及設(shè)置于所述襯底基板上的觸控感應(yīng)器，所述觸控感應(yīng)器包括第一電極和第二電極，其特征在于，所述壓力感應(yīng)觸控面板還包括:設(shè)置于所述襯底基板上的至少一個壓力感應(yīng)器，所述壓力感應(yīng)器包括上電極、下電極以及位于所述上電極和所述下電極之間的電介質(zhì)層，所述上電極與所述第一電極同層設(shè)置且材料相同，所述下電極與所述第二電極同層設(shè)置且材料相同，所述電介質(zhì)層的材料為絕緣彈性材料。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力感應(yīng)觸控面板，其特征在于，所述觸控感應(yīng)器還包括設(shè)置于所述第一電極和所述第二電極之間的絕緣層，所述絕緣層的材料與所述電介質(zhì)層的材料相同，所述絕緣層和所述電介質(zhì)層同層設(shè)置或者二者為同一膜層。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力感應(yīng)觸控面板，其特征在于，所述電介質(zhì)層為光刻膠。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓力感應(yīng)觸控面板，其特征在于，所述電介質(zhì)層為感光樹脂。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力感應(yīng)觸控面板，其特征在于，所述電介質(zhì)層的厚度大于或等于1.5微米。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力感應(yīng)觸控面板，其特征在于，所述壓力感應(yīng)器位于所述襯底基板的周邊。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力感應(yīng)觸控面板，其特征在于，所述襯底基板的每一角處均設(shè)置有至少一個所述壓力感應(yīng)器。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力感應(yīng)觸控面板，其特征在于，所述壓力感應(yīng)器上設(shè)置有金屬層，所述金屬層包括第一外圍引線和第二外圍引線，所述第一外圍引線與所述上電極相連，所述第二外圍引線與所述下電極相連。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓力感應(yīng)觸控面板，其特征在于，所述電介質(zhì)層上設(shè)置有過孔，所述第二外圍引線通過所述過孔與所述下電極相連。10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力感應(yīng)觸控面板，其特征在于，所述第一電極為驅(qū)動電極、第二電極為感應(yīng)電極;或，所述第一電極為感應(yīng)電極，所述第二電極為驅(qū)動電極。11.一種壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法，其特征在于，包括: 通過一次構(gòu)圖工藝，形成觸控感應(yīng)器的第二電極和壓力感應(yīng)器的下電極； 通過構(gòu)圖工藝，在所述第二電極上形成所述觸控感應(yīng)器的絕緣層，并在所述下電極上形成所述壓力感應(yīng)器的電介質(zhì)層； 通過一次構(gòu)圖工藝，在所述絕緣層上形成所述觸控感應(yīng)器的第一電極，并在所述電介質(zhì)層上形成所述壓力感應(yīng)器的上電極。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法，其特征在于，所述壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法還包括:在所述壓力感應(yīng)器上形成金屬層，通過構(gòu)圖工藝去除所述金屬層的部分材料，形成與所述上電極相連的第一外圍引線，以及與所述下電極相連的第二外圍引線。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法，其特征在于，所述壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法還包括:在所述金屬層上形成保護(hù)層。14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的壓力感應(yīng)觸控面板的制備方法，其特征在于，通過構(gòu)圖工藝，在所述第二電極上形成所述觸控感應(yīng)器的絕緣層，并在所述下電極上形成所述壓力感應(yīng)器的電介質(zhì)層的具體步驟包括: 在所述第二電極和所述下電極上涂覆光刻膠，通過一次構(gòu)圖工藝形成所述絕緣層和所述電介質(zhì)層。15.一種觸控顯示屏，包括顯示面板，其特征在于，所述觸控顯示屏還包括如權(quán)利要求1?10任一項所述的壓力感應(yīng)觸控面板。
【文檔編號】G06F3/041GK105955550SQ201610562458
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年7月15日
【發(fā)明人】徐佳偉, 王慶浦, 李佑路
【申請人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥鑫晟光電科技有限公司