設(shè)備的流量控制裝置101，分別設(shè)置在各氣體流道L上，獨(dú)立控制流過該氣體流道L的氣體的流量；用戶用信息處理裝置102，能夠與各流量控制裝置101通信；中繼器103，設(shè)置在流量控制裝置101和用戶用信息處理裝置102之間；以及診斷用裝置104，診斷各流量控制裝置101的動(dòng)作狀態(tài)，即診斷各流量控制裝置101是否正常動(dòng)作。
[0042]另外，作為流體設(shè)備，可以例舉控制流體的壓力、流量和溫度粘性等物性的流體控制裝置、以及測(cè)量所述物性的流體測(cè)量裝置等。
[0043]接著，更具體地說明所述流體控制和測(cè)量系統(tǒng)100的各部分。
[0044]雖然未圖示，但是所述流道形成構(gòu)件例如通過以平面的方式連接設(shè)置多個(gè)塊體而構(gòu)成在面板上。在各塊體內(nèi)設(shè)置有內(nèi)部流道，通過適當(dāng)?shù)剡B接設(shè)置各塊體來連接各塊體的內(nèi)部流道，由此如上所述地形成多個(gè)并列的氣體流道L。準(zhǔn)備有能夠安裝壓力傳感器、閥或后述的流量控制裝置101等流體關(guān)聯(lián)設(shè)備的塊體、形成有分支流道的塊體等各種類型的塊體。由于能夠以無間隙的方式緊密地進(jìn)行配置并且能夠在其上部一體地安裝所述流體關(guān)聯(lián)設(shè)備，所以通過塊體構(gòu)成流道形成構(gòu)件能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，其結(jié)果，能夠使流道變短從而能夠使無效空間變小并能提高響應(yīng)性。另外，流道形成構(gòu)件也可以使用通常的配管構(gòu)件。
[0045]如圖2?圖4所示，所述流量控制裝置101具備安裝在流量控制裝置安裝用塊體1(以下也僅稱為塊體)上的第一壓力傳感器2A、第二壓力傳感器2B、流體阻力元件3、流量調(diào)節(jié)閥4、電路板5以及收容它們的箱體6。
[0046]另外，在本實(shí)施方式中，特別是如圖2所示，所述箱體6呈扁平形狀，通過使該箱體6的面板部之間彼此相對(duì)，能夠無間隙地配置彼此相鄰的流量控制裝置101。由此，能夠使流體控制和測(cè)量系統(tǒng)100整體緊湊化。
[0047]塊體1呈細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)方體狀，在以與其長(zhǎng)邊方向垂直的方式形成的前后各端面lb上分別設(shè)置有氣體的導(dǎo)入口和導(dǎo)出口，以連接所述的各口的方式，并且以在俯視觀察中沿著長(zhǎng)邊方向的方式設(shè)置有氣體流動(dòng)的內(nèi)部流道la。
[0048]此外，在該內(nèi)部流道la上從上游側(cè)依次設(shè)置有:流量調(diào)節(jié)閥4、第一壓力傳感器2A、流體阻力元件3和第二壓力傳感器2B。此外，所述塊體1的上表面lc (即以與所述塊體1的長(zhǎng)邊方向平行的方式與所述端面lb垂直的面)被設(shè)定為部件安裝面，在所述部件安裝面上設(shè)置有后述的流量調(diào)節(jié)閥4、第一壓力傳感器2A和第二壓力傳感器2B的殼體。
[0049]流量調(diào)節(jié)閥4具備設(shè)置在內(nèi)部流道la上的閥主體(未圖示)和開關(guān)所述閥主體的驅(qū)動(dòng)部件(未圖示)。所述驅(qū)動(dòng)部件利用了例如沿厚度方向伸縮的層疊壓電元件，收容在安裝于所述部件安裝面上的筒狀殼體中。此外，可以通過該驅(qū)動(dòng)部件的伸縮動(dòng)作來調(diào)節(jié)閥主體的閥開度。
[0050]第一壓力傳感器2A和第二壓力傳感器2B具備呈扁平形狀的殼體和內(nèi)置于所述殼體內(nèi)的壓力檢測(cè)元件。此外，將所述殼體以其面板部(扁平面)與所述部件安裝面垂直且與塊體1的長(zhǎng)邊方向平行亦即俯視觀察時(shí)與流體的流動(dòng)方向大體平行的方式，安裝在該部件安裝面上。
[0051]流體阻力元件3形成設(shè)置在內(nèi)部流道la上的狹窄的通路部分，在此流體阻力元件3埋入塊體1的內(nèi)部。
[0052]在電路板5上形成有CPU、存儲(chǔ)器、通信電路等數(shù)字電路和放大器、緩沖器等模擬電路，通過各電路協(xié)同工作，在功能方面能夠發(fā)揮作為流量測(cè)量部和流量控制部的功能，所述流量測(cè)量部測(cè)量流過氣體流道L(作為塊體1的內(nèi)部流道la的氣體流道)的氣體的流量，所述流量控制部進(jìn)行控制，使得由所述流量測(cè)量部檢測(cè)到的氣體流量成為規(guī)定的目標(biāo)流量。
[0053]在此，流量測(cè)量部基于由分別設(shè)置在流體阻力元件3的上游和下游的第一壓力傳感器2A和第二壓力傳感器2B測(cè)量到的氣體流道L的壓力，計(jì)算流過該氣體流道L的氣體流量。以該方式計(jì)算出的氣體流量(以下也稱為測(cè)量流量)作為測(cè)量流量信號(hào)向流量控制部輸出。
[0054]流量控制部接收目標(biāo)流量信號(hào)和所述測(cè)量信號(hào)，并對(duì)它們分別表示的目標(biāo)流量和所述測(cè)量流量進(jìn)行比較，以使它們的偏差變小的方式輸出用于驅(qū)動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥4的動(dòng)作信號(hào)。另外，所述流量控制部還接收閥開關(guān)信號(hào)，當(dāng)接收到閥開關(guān)信號(hào)時(shí)，與目標(biāo)流量信號(hào)的值無關(guān)地強(qiáng)制性地使流量調(diào)節(jié)閥4完全打開或完全關(guān)閉。
[0055]以所述方式構(gòu)成的流量控制裝置101通過設(shè)置在箱體6的上板部上的連接器7，與用戶用信息處理裝置102電纜連接。
[0056]用戶用信息處理裝置102與多個(gè)流量控制裝置101電纜連接，能夠與各流量控制裝置101通信，具體地說，用戶用信息處理裝置102是具備CPU、存儲(chǔ)器、輸入輸出接口和AD轉(zhuǎn)換器等的通用或?qū)Ｓ玫挠?jì)算機(jī)。
[0057]更具體地說，在本實(shí)施方式中，所述用戶用信息處理裝置102與各流量控制裝置101之間收發(fā)作為流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的、用于控制流體的流量的數(shù)據(jù)。具體地說，所述流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)是指在半導(dǎo)體制造裝置的菜單中使用的數(shù)據(jù)，并且是由用戶用信息處理裝置102進(jìn)行的數(shù)據(jù)處理所需要的數(shù)據(jù)。即，所述流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)是用戶用信息處理裝置102認(rèn)為必要的(定義的)數(shù)據(jù)。
[0058]作為從用戶用信息處理裝置102向流量控制裝置101發(fā)送的流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，有表示目標(biāo)流量的所述目標(biāo)流量信號(hào)和強(qiáng)制性地使流量調(diào)節(jié)閥4開關(guān)的所述閥開關(guān)信號(hào)等。另一方面，作為從各流量控制裝置101向用戶用信息處理裝置102發(fā)送的流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)，有表示測(cè)量流量的所述測(cè)量流量信號(hào)、表示第一壓力傳感器2A和第二壓力傳感器2B測(cè)量到的壓力的測(cè)量壓力信號(hào)、表示流量調(diào)節(jié)閥4的開度(向閥4施加的電壓)的閥開度信號(hào)、以及表示流體的溫度的流體溫度信號(hào)等。
[0059]另外，所述用戶用信息處理裝置102與各流量控制裝置101之間收發(fā)從所述流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)中由用戶預(yù)先設(shè)定的一種或多種數(shù)據(jù)。
[0060]在此，如圖5和圖6所示，本實(shí)施方式的流體控制和測(cè)量系統(tǒng)100具備中繼器103，該中繼器103設(shè)置在所述的多個(gè)流量控制裝置101和用戶用信息處理裝置102之間，并且在它們之間對(duì)所述流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)進(jìn)行中繼。
[0061]另外，為了便于說明，在圖5中省略了設(shè)置于中繼器103的外周面的各構(gòu)成的記載，在圖6中省略了中繼器103內(nèi)部的各構(gòu)成的記載。
[0062]以下，對(duì)所述中繼器103進(jìn)行說明。
[0063]如圖5和圖6所示，中繼器103具備:第一端口 P1，與所述流量控制裝置101連接，用于與該流量控制裝置101之間收發(fā)所述流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)；以及第二端口 P2，與所述用戶用信息處理裝置102連接，用于與該用戶用信息處理裝置102之間收發(fā)所述流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。
[0064]更具體地說，所述中繼器103將通過第一端口 P1從流量控制裝置101接收到的流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)通過第二端口 P2向用戶用信息處理裝置102發(fā)送，并將通過第二端口 P2從用戶用信息處理裝置102接收到的流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)通過第一端口 P1向流量控制裝置101發(fā)送。
[0065]在本實(shí)施方式中，多個(gè)第一端口 P1以與各流量控制裝置101對(duì)應(yīng)的方式設(shè)置，第一通信線L1與各第一端口 P1和第二端口 P2連接，所述第一通信線L1在各流量控制裝置101和用戶用信息處理裝置102之間對(duì)所述流體關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)進(jìn)行通信