中繼器以及流體控制和測量系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種用于對例如在半導體制造工序中使用的材料氣體、藥液或清洗液等流體進行控制或測量的流體控制和測量系統(tǒng)的中繼器。
【背景技術】
[0002]例如，在像半導體制造工序那樣使用多種氣體的情況下，需要控制各氣體的流量，在每個氣體管路上設置有流體控制裝置等流體設備。用戶用的信息處理裝置與所述的流體設備連接，在所述的流體設備與該用戶用信息處理裝置之間收發(fā)預先由用戶設定的種類的數(shù)據(jù)。
[0003]但是，例如維修時等，在診斷各流體設備的動作狀態(tài)的情況下，如上所述，雖然向用戶用信息處理裝置發(fā)送由用戶選擇的數(shù)據(jù)，但是所述動作狀態(tài)的診斷所需要的數(shù)據(jù)并不一定齊全。
[0004]因此，在以往的流體設備上設置有用于診斷所述動作狀態(tài)的服務端口，通過所述服務端口，并且通過與維修人員等使用的診斷用裝置進行電纜連接，與該診斷用裝置之間收發(fā)進行診斷所需要的數(shù)據(jù)。
[0005]但是，近年來，對系統(tǒng)的小型化的要求不斷提高，如果為了響應所述要求而實現(xiàn)流體設備的小型化，則另一方面會產生如下問題:不能在流體設備上設置用于將所述診斷用裝置與流體設備進行電纜連接的端口，從而不能將來自流體設備的數(shù)據(jù)向診斷用裝置發(fā)送。
[0006]現(xiàn)有技術文獻
[0007]專利文獻1:日本專利公開公報特開平7-210254號

【發(fā)明內容】

[0008]為了解決所述的問題，著眼于設置在流體設備和用戶用信息處理裝置之間的中繼器，本發(fā)明的主要目的在于能夠使流體設備小型化并且能夠診斷流體設備的動作狀態(tài)。
[0009]即，本發(fā)明提供一種中繼器，其具備:第一端口，與控制或測量流體的流體設備連接；以及第二端口，與用戶用信息處理裝置連接，通過所述第一端口從所述流體設備接收流體關聯(lián)數(shù)據(jù)，并且通過所述第二端口向所述用戶用信息處理裝置發(fā)送所述流體關聯(lián)數(shù)據(jù)，或者通過所述第二端口從所述用戶用信息處理裝置接收所述流體關聯(lián)數(shù)據(jù)，并且通過所述第一端口向所述流體設備發(fā)送所述流體關聯(lián)數(shù)據(jù)，所述流體關聯(lián)數(shù)據(jù)是用于控制或測量所述流體的數(shù)據(jù)，所述中繼器還具備第三端口，所述第三端口與診斷用裝置連接，所述診斷用裝置診斷所述流體設備的動作狀態(tài)，通過所述第一端口從所述流體設備接收診斷所述動作狀態(tài)的診斷用數(shù)據(jù)，并且通過所述第三端口向所述診斷用裝置發(fā)送所述診斷用數(shù)據(jù)。
[0010]按照這種中繼器，由于具備第三端口，該第三端口與診斷用裝置連接，用于向所述診斷用裝置發(fā)送從流體設備輸出的診斷用數(shù)據(jù)，所以無需對診斷用裝置和流體設備進行電纜連接，就能夠向診斷用裝置發(fā)送診斷用數(shù)據(jù)。
[0011]由此，能夠不需要以往那樣的設置于各流體設備上的電纜連接用的端口，從而能夠實現(xiàn)各流體設備的小型化，并且能夠診斷各流體設備的動作狀態(tài)。
[0012]在以規(guī)定的標準對流體關聯(lián)數(shù)據(jù)進行通信的情況下，為了以不會妨礙所述通信的方式將診斷用數(shù)據(jù)向診斷用裝置發(fā)送，優(yōu)選的是，第一通信線和第二通信線與所述第一端口連接，所述第一通信線對所述流體關聯(lián)數(shù)據(jù)進行通信，所述第二通信線對所述診斷用數(shù)據(jù)進行通信。
[0013]按照該方式，由于與對由用戶設定的流體關聯(lián)數(shù)據(jù)進行通信的第一通信線不同，由第二通信線對診斷用數(shù)據(jù)進行通信，所以能夠與用戶的設定無關地取得流體設備的診斷所需要的診斷用數(shù)據(jù)，從而能夠靈活地診斷流體設備。即，不需要改變用戶的設定，就能夠設定診斷用數(shù)據(jù)，并能夠使用附加設置的診斷用裝置對流體設備進行診斷。
[0014]為了實現(xiàn)各流體設備的進一步的小型化，優(yōu)選的是，所述中繼器還具備:標識符賦予部，賦予各個所述流體設備用于識別多個所述流體設備的標識符；以及顯示部，顯示由所述標識符賦予部賦予了的各個所述流體設備的標識符。
[0015]按照該方式，無需像以往那樣在流體設備上設置標識符賦予部和顯示部，能夠進一步使各流體設備小型化。
[0016]此外，即使將流體設備配置在例如用戶的手接觸不到的場所、或眼睛看不到的場所，只要將中繼器配置在能夠操作的場所，就能夠通過該中繼器的標識符賦予部和顯示部，確認各流體設備的連接狀態(tài)等，從而能夠提尚作業(yè)性。
[0017]作為使本發(fā)明的效果更顯著的實施方式，可以例舉下述的方式:所述各流體設備具有呈扁平形狀的箱體，通過使所述箱體的面板部之間彼此相對，能夠無間隙地配置彼此相鄰的所述流體設備。
[0018]此外，本發(fā)明還提供一種流體控制和測量系統(tǒng)，其包括:流體設備，控制或測量流體；用戶用信息處理裝置；以及中繼器，所述中繼器具備:第一端口，與所述流體設備連接；以及第二端口，與所述用戶用信息處理裝置連接，通過所述第一端口從所述流體設備接收流體關聯(lián)數(shù)據(jù)，并且通過所述第二端口向所述用戶用信息處理裝置發(fā)送所述流體關聯(lián)數(shù)據(jù)，或者通過所述第二端口從所述用戶用信息處理裝置接收所述流體關聯(lián)數(shù)據(jù)，并且通過所述第一端口向所述流體設備發(fā)送所述流體關聯(lián)數(shù)據(jù)，所述流體關聯(lián)數(shù)據(jù)是用于控制或測量所述流體的數(shù)據(jù)，所述中繼器還具備第三端口，所述第三端口與診斷用裝置連接，所述診斷用裝置診斷所述流體設備的動作狀態(tài)，所述中繼器通過所述第一端口從所述流體設備接收診斷所述動作狀態(tài)的診斷用數(shù)據(jù)，并且通過所述第三端口向所述診斷用裝置發(fā)送所述診斷用數(shù)據(jù)。
[0019]按照這種流體控制和測量系統(tǒng)，能夠得到與所述的中繼器相同的作用效果。
[0020]按照以上方式構成的本發(fā)明，能夠使流體設備小型化，并且能夠診斷流體設備的動作狀態(tài)。
【附圖說明】
[0021]圖1是示意性地表示本實施方式的流體控制和測量系統(tǒng)的圖。
[0022]圖2是表示與圖1為同一實施方式的流量控制裝置的立體參考圖。
[0023]圖3是表示與圖1為同一實施方式的流量控制裝置的構成的立體參考圖。
[0024]圖4是表示與圖1為同一實施方式的流量控制裝置的構成的參考圖。
[0025]圖5是表示與圖1為同一實施方式的中繼器的示意圖。
[0026]圖6是表示與圖1為同一實施方式的中繼器的示意圖。
[0027]附圖標記說明
[0028]100...流體控制和測量系統(tǒng)
[0029]101...流量控制裝置
[0030]102...用戶用信息處理裝置
[0031]103...中繼器
[0032]104...診斷用裝置
[0033]P1..?第一端口
[0034]P2...第二端口
[0035]P3...第三端口
[0036]L1...第一通信線
[0037]L2...第二通信線
[0038]11...標識符賦予部
[0039]12...顯示部
【具體實施方式】
[0040]下面，參照附圖對本發(fā)明的流體控制和測量系統(tǒng)進行說明。
[0041]如圖1所示，所述流體控制和測量系統(tǒng)100例如用于從氣體供給源分別導入半導體制造系統(tǒng)成膜用的各種氣體，將它們混合并向半導體的成膜室(未圖示)供給，所述流體控制和測量系統(tǒng)100包括:流道形成構件，形成各氣體的流道L(以下也稱為氣體流道)；作為流體