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中繼器以及流體控制和測量系統(tǒng)的制作方法技術資料下載

技術編號:9564177

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例如,在像半導體制造工序那樣使用多種氣體的情況下,需要控制各氣體的流量,在每個氣體管路上設置有流體控制裝置等流體設備。用戶用的信息處理裝置與所述的流體設備連接,在所述的流體設備與該用戶用信息處理裝置之間收發(fā)預先由用戶設定的種類的數(shù)據(jù)。但是,例如維修時等,在診斷各流體設備的動作狀態(tài)的情況下,如上所述,雖然向用戶用信息處理裝置發(fā)送由用戶選擇的數(shù)據(jù),但是所述動作狀態(tài)的診斷所需要的數(shù)據(jù)并不一定齊全。因此,在以往的流體設備上設置有用于診斷所述動作狀態(tài)的服務端口,通過...
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