技術編號：9564177
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。例如，在像半導體制造工序那樣使用多種氣體的情況下，需要控制各氣體的流量，在每個氣體管路上設置有流體控制裝置等流體設備。用戶用的信息處理裝置與所述的流體設備連接，在所述的流體設備與該用戶用信息處理裝置之間收發(fā)預先由用戶設定的種類的數(shù)據(jù)。但是，例如維修時等，在診斷各流體設備的動作狀態(tài)的情況下，如上所述，雖然向用戶用信息處理裝置發(fā)送由用戶選擇的數(shù)據(jù)，但是所述動作狀態(tài)的診斷所需要的數(shù)據(jù)并不一定齊全。因此，在以往的流體設備上設置有用于診斷所述動作狀態(tài)的服務端口，通過...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。