技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了工藝控制方法及系統(tǒng)，工藝包括父過程和子過程，父過程和子過程對(duì)應(yīng)的父配方和子配方均存儲(chǔ)于下位機(jī)中；工藝控制方法包括以下步驟：S1，下位機(jī)根據(jù)上位機(jī)發(fā)送的指令解析父配方，以獲取父執(zhí)行步驟順序以及每個(gè)父執(zhí)行步驟所對(duì)應(yīng)的子過程的標(biāo)識(shí)和循環(huán)次數(shù)；S2，下位機(jī)按照父執(zhí)行步驟順序一一執(zhí)行如下步驟：根據(jù)獲取到的標(biāo)識(shí)讀取相應(yīng)的子配方，并根據(jù)獲取到的循環(huán)次數(shù)執(zhí)行該子配方。本發(fā)明提供的工藝控制方法及系統(tǒng)，不僅可更方便、更有效維護(hù)子配方和父配方，因而可降低信息丟失的可能性，而且執(zhí)行循環(huán)工藝更有效，因而可提高執(zhí)行和維護(hù)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：李娟娟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201510924155
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.14
技術(shù)公布日：2017.06.20