本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域，更具體地，涉及一種熱處理設(shè)備的熱偶安裝固定裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體熱處理設(shè)備是集成電路制造的重要工藝設(shè)備，適用于集成電路制造過(guò)程中各種氧化、退火和薄膜生長(zhǎng)等工藝。在熱處理工藝過(guò)程中，需要將熱偶插入至爐絲之間，對(duì)爐絲進(jìn)行測(cè)溫，以保證工藝溫度。由于熱偶是一種脆性材料，這就給熱偶的安裝固定帶來(lái)很大困難。如果無(wú)法有效地固定熱偶，致使熱偶在安裝和后續(xù)的工作過(guò)程中發(fā)生松動(dòng)、搖擺的現(xiàn)象，就容易導(dǎo)致熱偶損壞，并給溫度的測(cè)量帶來(lái)不利的影響，最后影響到整個(gè)熱處理工藝的結(jié)果。

請(qǐng)參閱圖1，圖1是一種傳統(tǒng)的熱偶固定裝置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，該熱偶固定裝置包括熱偶支撐板1、熱偶固定塊3、熱偶固定片4、陶瓷定位塊6。熱偶支撐板1為陶瓷件，通過(guò)螺釘10固定在熱處理熱備上，并可以調(diào)整上下位置(如圖示上下方向箭頭所指)。不銹鋼的熱偶固定塊3插在熱偶支撐板1上，并與不銹鋼的熱偶固定片4一起通過(guò)螺釘5固定在熱偶支撐板1上(圖示順、逆時(shí)針?lè)较蚣^代表螺釘5的轉(zhuǎn)動(dòng)方向)；熱偶固定塊3與熱偶固定片4同樣可以調(diào)整上下位置。熱偶支撐板1具有的套筒結(jié)構(gòu)2用于保護(hù)插入其中的熱偶7，以免熱偶7被熱處理設(shè)備壓碎。陶瓷定位塊6套在熱偶7冷端的接線盒8之前的保護(hù)管上，并與熱偶7粘結(jié)后安裝到熱偶支撐板1上；陶瓷定位塊6與熱偶7配合使用，以確定熱偶的插入深度(如圖示左右方向箭頭所指)。

當(dāng)使用上述熱偶固定裝置更換熱偶7時(shí)，首先松開(kāi)螺釘5，把熱偶固定片4抬起，將熱偶7連帶陶瓷定位塊6從熱偶支撐板1移除；其次，取新的熱偶7、陶瓷定位塊6和粘結(jié)劑按照要求位置進(jìn)行粘結(jié)；粘結(jié)后抬起熱偶固定片4，把熱偶7插入到熱偶支撐板1的套筒結(jié)構(gòu)2中至合適位置；最后落下熱偶固定片4并擰緊螺釘5，完成熱偶7的更換及固定。

然而，上述熱偶固定裝置存在以下問(wèn)題：

1)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且陶瓷件加工困難，價(jià)格貴，增加了使用成本；

2)陶瓷定位塊與熱偶之間需要粘結(jié)后才能使用，在更換熱偶時(shí)將給現(xiàn)場(chǎng)操作造成困難；

3)陶瓷件與不銹鋼件通過(guò)螺釘進(jìn)行連接，使螺釘?shù)呐ぞ卮笮∈艿较拗?，容易造成熱偶的松?dòng)。

針對(duì)以上問(wèn)題，需要提供一種新的熱處理設(shè)備的熱偶安裝固定裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種熱處理設(shè)備的熱偶安裝固定裝置，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，并具有較低成本。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種熱處理設(shè)備的熱偶安裝固定裝置，包括：

熱偶固定塊，其前后兩側(cè)向內(nèi)相向設(shè)有相通的一至若干對(duì)熱偶套管連接孔和熱偶連接孔，并設(shè)有通向熱偶連接孔的止動(dòng)結(jié)構(gòu)；

熱偶固定支架，可拆卸連接熱偶固定塊，并與熱處理設(shè)備固定，所述熱偶固定支架從熱偶固定塊的底面或頂面位置水平突出于熱偶固定塊前端設(shè)置；

熱偶套管，一端插入熱偶套管連接孔與熱偶固定塊形成套接，另一端支撐于熱處理設(shè)備；

熱偶套管固定支架，可拆卸設(shè)于熱偶固定支架水平突出部，提供對(duì)熱偶套管的支撐；

其中，所述熱偶測(cè)量端自熱偶固定塊后側(cè)由熱偶連接孔插入熱偶套管，并由熱偶套管另一端的開(kāi)口露出，對(duì)爐絲進(jìn)行測(cè)溫，同時(shí)，通過(guò)使位于所述熱偶冷端的接線盒抵觸熱偶固定塊后側(cè)，以確定所述熱偶在熱偶安裝固定裝置中的安裝位置，并通過(guò)止動(dòng)結(jié)構(gòu)對(duì)熱偶進(jìn)行固定。

優(yōu)選地，所述熱偶固定塊的左右兩側(cè)設(shè)有上下貫通的安裝口，所述熱偶固定支架對(duì)應(yīng)設(shè)有安裝孔，通過(guò)將第一螺釘穿過(guò)安裝孔、安裝口與螺帽進(jìn)行緊固，對(duì)所述熱偶固定塊和熱偶固定支架進(jìn)行連接。

優(yōu)選地，所述安裝口為朝向所述熱偶固定塊前側(cè)或后側(cè)開(kāi)口的槽。

優(yōu)選地，所述安裝孔為與第一螺釘配合的第一螺孔。

優(yōu)選地，通過(guò)調(diào)節(jié)所述熱偶固定塊安裝口與第一螺釘之間的相對(duì)前后位置，以調(diào)整不同長(zhǎng)度的熱偶在熱偶安裝固定裝置中的安裝位置。

優(yōu)選地，所述熱偶套管固定支架環(huán)繞熱偶套管設(shè)置，并與熱偶固定支架螺接。

優(yōu)選地，所述熱偶固定支架的左右兩側(cè)豎直設(shè)有安裝板，并通過(guò)安裝板上設(shè)有的腰形孔與熱處理設(shè)備安裝固定。

優(yōu)選地，所述止動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)有通向熱偶連接孔的第二螺孔，通過(guò)向第二螺孔中導(dǎo)入第二螺釘或彈簧使其頂住熱偶，以對(duì)熱偶進(jìn)行固定，防止熱偶轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng)。

優(yōu)選地，所述熱偶固定塊的前后方向厚度由熱偶插入的深度決定。

優(yōu)選地，所述熱偶固定支架突出于熱偶固定塊前端的距離由熱偶固定塊的前后方向厚度決定。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1)熱偶的正確插入深度即為熱偶接線盒部分與熱偶固定塊接觸的深度，使熱偶更換十分方便；

2)具有熱偶套管，可保護(hù)熱偶，以免被熱處理設(shè)備壓碎；

3)熱偶固定支架上的安裝孔采用螺紋孔，拆卸熱偶固定塊時(shí)，可防止螺釘?shù)袈洌?/p>

4)熱偶套管采用與熱偶固定塊分離的形式，其一端以熱處理設(shè)備作為支撐點(diǎn)，另一端采用熱偶套管固定支架固定，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工容易，安裝牢固，降低了制作成本；

5)熱偶固定塊、熱偶固定支架可采用輕質(zhì)金屬制作，避免了以往陶瓷件與螺釘之間配合時(shí)的扭矩不足問(wèn)題；

6)采用止動(dòng)螺絲或彈簧等結(jié)構(gòu)固定熱偶，可防止熱偶轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng)，保證了工藝溫度的穩(wěn)定。

附圖說(shuō)明

圖1是一種傳統(tǒng)的熱偶固定裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種熱處理設(shè)備的熱偶安裝固定裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是圖2中熱偶固定塊的剖面圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

需要說(shuō)明的是，在下述的具體實(shí)施方式中，在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以便于說(shuō)明，特對(duì)附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡(jiǎn)化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本發(fā)明的限定來(lái)加以理解。

在以下本發(fā)明的具體實(shí)施方式中，請(qǐng)參閱圖2，圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種熱處理設(shè)備的熱偶安裝固定裝置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的一種熱處理設(shè)備的熱偶安裝固定裝置，包括：熱偶固定塊27、熱偶固定支架28、熱偶套管20和熱偶套管固定支架32幾個(gè)主要結(jié)構(gòu)部分。熱偶固定塊27與熱偶固定支架28相連接固定，并通過(guò)熱偶固定支架與熱處理設(shè)備相連接固定，例如可將熱偶固定支架安裝在熱處理設(shè)備的爐體側(cè)壁上；熱偶套管20從前側(cè)通入熱偶固定塊27中，熱偶30從后側(cè)插入熱偶固定塊27、進(jìn)而插入至熱偶套管20中，熱偶測(cè)量端33從熱偶套管另一端的開(kāi)口部露出，以對(duì)爐體中的爐絲溫度進(jìn)行測(cè)量。

請(qǐng)參閱圖3，圖3是圖2中熱偶固定塊的剖面圖。如圖3所示，熱偶固定塊27整體可采用例如矩形塊，并采用結(jié)構(gòu)質(zhì)量輕的鋁等材質(zhì)，但本發(fā)明對(duì)其形狀、材質(zhì)不作限定。在熱偶固定塊27的前后兩側(cè)(圖示的上下兩側(cè))向其內(nèi)部分別加工有熱偶套管連接孔35和熱偶連接孔37。熱偶套管連接孔35和熱偶連接孔37相向設(shè)置，即兩者的中軸相平行；并且，熱偶套管連接孔35和熱偶連接孔37在熱偶固定塊27的內(nèi)部相對(duì)接形成貫通熱偶固定塊前后側(cè)的通孔35和37。

請(qǐng)參閱圖3并結(jié)合參閱圖2。一個(gè)熱偶套管連接孔35用于通入一個(gè)熱偶套管20，一個(gè)熱偶連接孔37用于插入一個(gè)熱偶30，并使熱偶30進(jìn)而插入熱偶套管20中。通常，熱偶套管連接孔35的孔徑大于熱偶連接孔37，并采用同軸對(duì)接方式對(duì)接。

熱偶套管連接孔35和熱偶連接孔37可在熱偶固定塊上成對(duì)設(shè)置一至若干對(duì)，例如圖示的2對(duì)，從而可以插入對(duì)應(yīng)數(shù)量的熱偶。

熱偶套管20的一端插入熱偶套管連接孔35與熱偶固定塊27形成套接，另一端可支撐于熱處理設(shè)備上，例如可支撐在熱處理設(shè)備的爐體側(cè)壁上，并位于爐絲之間，以方便熱偶的測(cè)量端33從熱偶套管的開(kāi)口部露出進(jìn)行測(cè)溫。熱偶套管可采用陶瓷材質(zhì)，用于保護(hù)熱偶以免被熱處理設(shè)備壓碎。

請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3并結(jié)合參閱圖2。熱偶固定塊27的左右兩側(cè)設(shè)有上下貫通的安裝口24，用于與熱偶固定支架28進(jìn)行連接。所述熱偶固定支架28可采用一平板形底面，該平板形底面的左右兩側(cè)與安裝口24對(duì)應(yīng)位置設(shè)有安裝孔(未顯示)。通過(guò)將熱偶固定塊27的安裝口24與熱偶固定支架28的安裝孔進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)，例如，可將熱偶固定支架的平板形底面按圖示方式放置在熱偶固定塊的下方(也可放置在熱偶固定塊的上方)，并通過(guò)螺釘(第一螺釘)31從下方依次穿過(guò)安裝孔、安裝口與從上方安裝的螺帽29進(jìn)行緊固，從而將熱偶固定塊27和熱偶固定支架28連接固定在一起。熱偶固定支架也可采用鋁等輕質(zhì)材質(zhì)。

作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，所述安裝口24可采用朝向所述熱偶固定塊前側(cè)或后側(cè)開(kāi)口的矩形槽結(jié)構(gòu)，例如圖示的朝向熱偶固定塊前側(cè)開(kāi)口，這樣在拆除熱偶固定塊27時(shí)，可在擰松螺帽29后，利用該開(kāi)口槽結(jié)構(gòu)24直接將熱偶固定塊27從熱偶固定支架28上水平移除。并且，可將所述安裝孔加工成可與第一螺釘31配合的螺孔(第一螺孔)，而不是通孔，可在拆卸熱偶固定塊27時(shí)，防止第一螺釘31在移除螺帽29后掉落，以免砸壞設(shè)備。

此外，為了方便安裝作業(yè)，螺帽29可采用滾花螺帽形成，并與第一螺釘31配合，以省卻扳手等安裝工具。此處扭矩不大，使用滾花螺帽手動(dòng)操作方便。

通過(guò)調(diào)節(jié)所述熱偶固定塊安裝口24與第一螺釘31之間的相對(duì)前后位置，可以調(diào)整不同長(zhǎng)度的熱偶在熱偶安裝固定裝置中的安裝位置。

請(qǐng)參閱圖2。所述熱偶固定支架28的平板形底面從熱偶固定塊27的底面(或頂面)位置水平突出于熱偶固定塊前端設(shè)置。在熱偶固定支架的該突出底面上、位于熱偶套管連接孔35的位置，安裝有熱偶套管固定支架32。所述熱偶套管固定支架32可采用環(huán)繞熱偶套管20設(shè)置的U形卡箍，并采用螺釘34與熱偶固定支架28的平板形底面固定。由于熱偶套管連接孔35的深度有限，熱偶套管固定支架32可用于在熱偶套管20通入熱偶固定塊27中時(shí)，對(duì)熱偶套管進(jìn)行支撐和緊固。因而，在達(dá)到支撐和緊固熱偶套管目的的前提下，熱偶套管固定支架可采用其他任意適用的結(jié)構(gòu)。

在熱偶固定支架28的左右兩側(cè)可豎直設(shè)有安裝板23，并可在安裝板上加工一個(gè)腰形孔22，采用螺釘21穿過(guò)腰形孔22與熱處理設(shè)備安裝固定。利用腰形孔22可調(diào)整本發(fā)明裝置在熱處理設(shè)備上的高低安裝位置。

熱偶固定支架也可采用其他可拆卸方式連接熱偶固定塊，并與熱處理設(shè)備固定。本發(fā)明不限于此。

請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3并結(jié)合參閱圖2。熱偶固定塊27上設(shè)有通向熱偶連接孔37的止動(dòng)結(jié)構(gòu)26。例如，所述止動(dòng)結(jié)構(gòu)26可通過(guò)在熱偶固定塊27的上表面加工通向熱偶連接孔37的螺孔(第二螺孔)36，并通過(guò)向第二螺孔36中導(dǎo)入止動(dòng)螺釘(第二螺釘)25或止動(dòng)彈簧，使其頂住插入熱偶連接孔37中的熱偶30，從而對(duì)熱偶進(jìn)行固定，可有效防止熱偶轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng)。在達(dá)到頂緊熱偶目的的前提下，所述止動(dòng)結(jié)構(gòu)也可采用其他任意適用的結(jié)構(gòu)。

上述各種螺釘、螺帽、彈簧等緊固件均可采用不銹鋼等材質(zhì)。

所述熱偶固定塊27的前后方向厚度由熱偶30插入的深度決定；所述熱偶固定支架28突出于熱偶固定塊前端的距離(即熱偶固定支架平板形底面突出于熱偶固定塊前端的寬度)由熱偶固定塊27的前后方向厚度決定。熱偶30插入熱偶連接孔37后，其冷端的接線盒(即其尾部金屬部分，請(qǐng)參考圖1的接線盒8)與熱偶固定塊27接觸時(shí)，即為熱偶的正確插入深度，即熱偶在熱偶安裝固定裝置中的安裝位置。

本發(fā)明上述裝置使用時(shí)，先將熱偶固定塊27與熱偶固定支架28進(jìn)行安裝，將熱偶套管20一端通入熱偶固定塊的熱偶套管連接孔35中，并采用熱偶套管固定支架32緊固進(jìn)行支撐；然后，將熱偶固定支架28與熱處理設(shè)備進(jìn)行安裝，并使熱偶套管20另一端支撐在熱處理設(shè)備上位于爐絲之間位置；接著，將熱偶測(cè)量端自熱偶固定塊的熱偶連接孔37插入熱偶套管20中，并由熱偶套管另一端的開(kāi)口露出，即可對(duì)爐絲進(jìn)行測(cè)溫。

更換熱偶時(shí)，首先把止動(dòng)螺絲25旋起，拔出熱偶；然后取出新熱偶，插入到熱偶固定塊27中，插入的正確深度即為熱偶金屬部分與熱偶固定塊接觸時(shí)的深度，并旋緊止動(dòng)螺絲25對(duì)熱偶進(jìn)行固定。

綜上所述，本發(fā)明的熱處理設(shè)備的熱偶安裝固定裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，質(zhì)量輕，操作方便，成本低的綜合優(yōu)勢(shì)，并具有以下顯著優(yōu)點(diǎn)：

1)熱偶的正確插入深度即為熱偶接線盒部分與熱偶固定塊接觸的深度，使熱偶更換十分方便；

2)具有熱偶套管，可保護(hù)熱偶，以免被熱處理設(shè)備壓碎；

3)熱偶固定支架上的安裝孔采用螺紋孔，拆卸熱偶固定塊時(shí)，可防止螺釘?shù)袈洌?/p>

4)熱偶套管采用與熱偶固定塊分離的形式，其一端以熱處理設(shè)備作為支撐點(diǎn)，另一端采用熱偶套管固定支架固定，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工容易，安裝牢固，降低了制作成本；

5)熱偶固定塊、熱偶固定支架可采用輕質(zhì)金屬制作，避免了以往陶瓷件與螺釘之間配合時(shí)的扭矩不足問(wèn)題；

6)采用止動(dòng)螺絲或彈簧等結(jié)構(gòu)固定熱偶，可防止熱偶轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng)，保證了工藝溫度的穩(wěn)定。

以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。