專利名稱：一種智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于工程隔振領(lǐng)域；涉及一種對智能化主動隔振單元進行實時控制的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著超精密加工、超精密測量技術(shù)以及航天技術(shù)的發(fā)展，微幅、超微幅振動的影響變得 十分突出，尤其是亞微米以下的超精密加工更需要超靜環(huán)境作保障，因此研究微幅、超微幅 的主動隔振具有十分重要的意義。同時，無論是大型化航天器結(jié)構(gòu)、大型模塊化的空間站、 太陽能電池板、衛(wèi)星天線、還是光學(xué)系統(tǒng)及其支撐體結(jié)構(gòu)，對隔振結(jié)構(gòu)的承載能力提出了更 高的要求，即在低頻、大載荷作用下要求平臺的振動幅值控制在微米量級。
然而，目前的智能化主動隔振單元在承載力和隔振精度兩方面卻難以兩全。隨著智能化 主動隔振單元承載力的增加，隔振精度往往受其影響有著較大的差別。此外，現(xiàn)有的智能化 主動隔振單元控制系統(tǒng)多由工業(yè)控制機、A/D和D/A卡組成，整個控制系統(tǒng)體積龐大，抗干 擾能力差，操作復(fù)雜，且不具有快速控制功能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有的智能化主動隔振單元的應(yīng)用問題，提供一種快 速、實時的高精度主動振動控制系統(tǒng)；通過本發(fā)明的實時主動振動控制系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)二輸入 二輸出智能化主動隔振單元在大載荷(100紐以下)、低頻(120論以下)、微幅振動(平動微米 計，轉(zhuǎn)動微弧度計)范圍內(nèi)得到有效控制，能夠得到具有高精度和理想動態(tài)特性的隔振性能。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案 一種智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)， 包括智能化主動隔振單元、基座、DSP振動控制卡、壓電式加速度傳感器、信號采集裝置 和信號調(diào)理裝置，智能化主動隔振單元固定于基座上，當基座受到振源擾動時，信號采集裝 置采集壓電式加速度傳感器檢測來自振源傳遞到智能化主動隔振單元垂直平面與水平平面的 2路誤差信號，以及1路振源信號進入DSP振動控制卡接口； DSP振動控制卡控制A/D轉(zhuǎn)換
器采集這3路信號進入DSP振動控制卡；再通過控制算法進行實時分析和控制計算，將待控
制的2路數(shù)字信號輸出到D/A轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為模擬信號，經(jīng)信號調(diào)理裝置處理后輸出至智能化 主動隔振單元中的水平方向與垂直方向2根超磁致伸縮作動器，使作動器產(chǎn)生相應(yīng)的伸長或 收縮，從而使智能化主動隔振單元在水平方向與垂直方向保持相對穩(wěn)定，再通過2個壓電式加速度傳感器檢測誤差信號，進而再通過信號采集裝置反饋到DSP振動控制卡中，如此反復(fù) 進行，實現(xiàn)對智能化主動隔振單元的主動振動控制。
所述信號采集裝置由電荷放大器和濾波器組成，電荷放大器和濾波器中各通道為對應(yīng)連 接，電荷放大器的輸入端連接壓電式加速度傳感器，電荷放大器的輸出端與濾波器的輸入端
連接，濾波器的輸出端與dsp振動控制卡的a;d轉(zhuǎn)換器輸入接口相連。
所述的電荷放大器可選取DLF—6四合一功能放大器，濾波器選取DH3766型程控抗混 濾波器。
所述信號調(diào)理裝置由濾波器和功率放大器組成，濾波器和功率放大器中各通道對應(yīng)連接； 濾波器的輸入端與DSP振動控制卡的D/A轉(zhuǎn)換器輸出接口連接，濾波器的輸出端與功率放大 器的輸入端連接，功率放大器的輸出端與智能化主動隔振單元的2個超磁致伸縮作動器的引 線插頭端連接。
所述的濾波器選取DH3766型程控抗混濾波器，功率放大器選取KEPC036—6型功率放 大器。
所述的DSP振動控制卡包括DSP電路、電源管理電路、時鐘電路、同步動態(tài)隨機存儲 器SDRAM、快擦寫存儲器Flash ROM、 RS232串口通訊電路、A/D轉(zhuǎn)換器、D/A轉(zhuǎn)換器、 CPLD邏輯時序控制電路，電源管理電路為DSP電路提供穩(wěn)定的供電電路，使DSP電路能夠 正常工作；時鐘電路為DSP振動控制卡提供周期性的時鐘信號；SDRAM用作存儲數(shù)據(jù)；Flash ROM用作存儲啟動程序、控制算法和硬件配置信息；RS232串口通訊電路分別與DSP電路 和上位計算機相接，用于將信號傳至上位計算機，便于計算機進行后續(xù)的處理；A/D轉(zhuǎn)換器， 它與DSP電路相接，將輸入的模擬信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號；D/A轉(zhuǎn)換器，與DSP電路相接，將 數(shù)字信號轉(zhuǎn)換成模擬信號；CPLD邏輯時序控制電路分別與DSP電路、A/D轉(zhuǎn)換器和D/A轉(zhuǎn) 換器相接，用于A/D轉(zhuǎn)換器和D/A轉(zhuǎn)換器的邏輯時序控制。
所述壓電式加速度傳感器分別安裝于智能化主動隔振單元水平上平面內(nèi)側(cè)與垂直平面外 側(cè)，且分別與智能化主動隔振單元內(nèi)部水平方向與垂直方向的2個超磁致伸縮作動器平行， 并靠近超磁致伸縮作動器輸出桿安裝。
所述的控制算法為^的=/{￡欣，F(xiàn)2(^)=/{￡2(fc)， X(州，/為LMS自適應(yīng)濾波 算法，五《Q表示智能化主動隔振單元垂直方向壓電式加速度傳感器輸出的向量，￡2(^)表示智 能化主動隔振單元水平方向壓電式加速度傳感器輸出的向量，"》)表示振源信號的向量，A(/t) 表示經(jīng)DSP振動控制卡處理后的垂直方向的輸出控制量，F(xiàn)2(々)表示經(jīng)DSP振動控制卡處理 后的水平方向的輸出控制量。與現(xiàn)有技術(shù)相比本發(fā)明所具有的優(yōu)點是
(1) 本發(fā)明作為一種驅(qū)動智能化主動隔振單元的控制系統(tǒng)，使得智能化主動隔振單元在 大載荷(0 100A;g)、低頻(15 120/fe)、微幅(微米級)下的減振功能得以實現(xiàn)；
(2) 本發(fā)明采用DSP振動控制卡，減少主控設(shè)備體積，提高了系統(tǒng)的抗干擾能力，使 得系統(tǒng)工作穩(wěn)定；
(3) 本發(fā)明的智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)，在0紐 100&載荷下，振源信號頻 率在15//z I20/fe范圍內(nèi)，垂直方向與水平方向同時減振精度可以達到90%以上；
(4) 本發(fā)明采用基于DSP振動控制卡內(nèi)的DSP電路和其他電路不在同一電路板上，具 有互換性強的特點，可以根據(jù)實際控制需要，只更換核心板或擴展板而不必全部更換電路板， 從而使控制算法和相關(guān)的外圍設(shè)備容易調(diào)整和擴展。


圖1是本發(fā)明的實時減振控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意l為智能化主動隔振單元，2為壓電式加速度傳感器，3為超磁致伸縮作動器，4為DSP 振動控制卡，5為上位計算機； 圖2是本發(fā)明的控制流程圖； 圖3是本發(fā)明的DSP振動控制卡電路結(jié)構(gòu)框圖； 圖4是本發(fā)明的LMS自適應(yīng)濾波控制原理圖(二自由度)；
圖5為本發(fā)明的智能化主動隔振單元的LMS自適應(yīng)濾波控制算法(二自由度，二輸入二 輸出系統(tǒng))流程圖6是控制頻率在60Hz載荷為Okg的減振效果控制曲線圖；其中圖6a表示垂直方向控 制結(jié)果示意圖；圖6b表示水平方向控制結(jié)果示意圖； .
圖7是控制頻率在80Hz載荷為100kg的減振效果控制曲線圖其中圖7a表示垂直方向 控制結(jié)果示意圖；圖7b表示水平方向控制結(jié)果示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖及具體實施方式
詳細介紹本發(fā)明。
如圖1所示，本發(fā)明的智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)，包括智能化主動隔振單元 1、基座、壓電式加速度傳感器2、 DSP振動控制卡4、信號采集裝置和信號調(diào)理裝置；壓電 式加速度傳感器2、 DSP振動控制卡4、信號采集裝置、信號調(diào)理裝置和智能化主動隔振單元 1的各個通道對應(yīng)連接，壓電式加速度傳感器2的輸出經(jīng)過信號采集裝置與DSP振動控制卡 4的A/D轉(zhuǎn)換器的端口連接，DSP振動控制卡的D/A轉(zhuǎn)換器輸出端與信號調(diào)理裝置的輸入端 相連接，信號調(diào)理裝置的輸出端與智能化主動隔振單元1中的超磁致伸縮作動器3的插頭端連接。
智能化主動隔振單元1固定于基座上，當基座受到振源擾動時，信號采集裝置采集垂直 方向與水平方向壓電式加速度傳感器2輸出的2路誤差電壓五K"、五2(A:)和振源信號的電壓 義0t)，共3路信號，并將這3路信號放大、濾波后輸出至DSP振動控制卡4輸入端口， DSP 振動控制卡4控制A/D轉(zhuǎn)換器采集這3路信號，進行LMS自適應(yīng)濾波控制算法計算控制處 理后，通過D/A轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為2路模擬控制量F,(A)、 F2(A)輸出至信號調(diào)理裝置，信號調(diào)理裝 置對接收的2路模擬控制量經(jīng)濾波、放大后輸出至智能化主動隔振單元1的垂直方向與水平 方向2個超磁致伸縮作動器3引線插頭端，使其產(chǎn)生相應(yīng)的伸長或收縮，抵消擾動，從而使 智能化主動隔振單元1在水平方向與垂直方向保持相對穩(wěn)定。再通過2個壓電式加速度傳感 器2檢測誤差信號，進而通過信號采集裝置反饋到DSP振動控制卡中，如此反復(fù)進行，完成 智能化主動隔振單元1的實時振動控制。
在本發(fā)明中，信號采集裝置由DLF—6四合一功能放大器和DH3766型程控抗混濾波器 組成，放大器和濾波器中各通道對應(yīng)連接；電荷放大器的輸入端連接壓電式加速度傳感器2， 電荷放大器的輸出端與濾波器的輸入端連接，濾波器的輸出端與DSP振動控制卡的A/D轉(zhuǎn)換 器輸入端口連接。
信號調(diào)理裝置由DH3766型程控抗混濾波器和KEPC036—6型功率放大器組成，濾波器 和功率放大器中各通道對應(yīng)連接；濾波器的輸入端與DSP振動控制卡4的D/A轉(zhuǎn)換器輸出端 口連接，濾波器的輸出端與功率放大器的輸入端連接，功率放大器的輸出端與智能化主動隔 振單元1內(nèi)的2個超磁致伸縮作動器3連接端子連接。
壓電式加速度傳感器2選用INV9818型，靈敏度107pc/ms人使用頻率范圍0.2/^~ 1500/fe，其輸出的2路電荷量信號與信號采集裝置連接。
如圖2所示，本發(fā)明的控制流程如下首先初始化各向量，包括振源的輸入量、DSP振 動控制卡4輸出給超磁致伸縮作動器3的向量等、濾波器的階數(shù)，在實時控制條件下，隨更 新輸入向量^^)以及壓電式加速度傳感器2輸出向量五,(/fc)、五2(&)經(jīng)LMS自適應(yīng)濾波主動振 動控制算法^(A:)-/{&(&)，， F2(&)=X(AW的計算得到控制輸出向量f^)、 F2(t)， 控制輸出向量F《&)、 F2(6)經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換后，判定是否收斂到最佳，若判斷為"否"則重新 進行信號采集、計算、處理和控制，直到所采集和處理的向量使系統(tǒng)收斂到最佳；若判斷為 "是"，系統(tǒng)結(jié)束此次的主動控制。
如圖3所示，DSP振動控制卡4包括DSP電路、電源管理電路、時鐘電路、同步動態(tài)隨 機存儲器SDRAM、快擦寫存儲器Flash ROM、 RS232串口通訊電路、A/D轉(zhuǎn)換器、D/A轉(zhuǎn) 換器、CPLD邏輯時序控制電路，電源管理電路為DSP電路提供穩(wěn)定的供電電路，使DSP電路能夠正常工作；時鐘電路為DSP振動控制卡4提供周期性的時鐘信號；SDRAM用作存儲 數(shù)據(jù)；FlashROM用作存儲啟動程序、控制算法和硬件配置信息；RS232串口通訊電路分別 與DSP電路和上位計算機5相接，用于將信號傳至上位計算機5，便于計算機進行后續(xù)的處 理；A/D轉(zhuǎn)換器，它與DSP電路相接，將輸入的模擬信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號；D/A轉(zhuǎn)換器，與 DSP電路相接，將數(shù)字信號轉(zhuǎn)換成模擬信號；CPLD邏輯時序控制電路分別與DSP電路、A/D 轉(zhuǎn)換器和D/A轉(zhuǎn)換器相接，用于A/D轉(zhuǎn)換器和D/A轉(zhuǎn)換器的邏輯時序控制。
如圖4為本發(fā)明的LMS自適應(yīng)濾波控制原理圖(二自由度)。A/D轉(zhuǎn)換器采集的是 (振源信號)和a(A)、 e2(A)(水平與垂直方向誤差量)，共三個A/D輸入通道。D/A轉(zhuǎn)換 器輸出的是yi的、/2的(控制輸出量)，二個D/A輸出通道。由于不知道智能化主動隔振單 元l中的垂直方向與水平方向超磁致伸縮作動器3的具體控制模型，所以采用2個LMS自適 應(yīng)濾波器r和K2分別對垂直方向與水平方向超磁致伸縮作動器3在線建模；同時，使用2 個LMS自適應(yīng)濾波器^和『2作為控制器實現(xiàn)對智能化主動隔振單元1的主動振動控制。 通常的多輸入多輸出系統(tǒng)一般存在輸入輸出耦合現(xiàn)象，即e^)、 e2的與/")、/2(^不是一一 對應(yīng)的關(guān)系，像力w可能與。(幻、e2^都存在輸入輸出關(guān)系，本發(fā)明解決了這一問題，實現(xiàn) 系統(tǒng)的輸入輸出解耦，使"的、q(々)與/")、力w建立了一一對應(yīng)的關(guān)系。這樣，本發(fā)明就 可以采用2個單輸入單輸出的控制方法進行控制，具體到控制方法上，就是獨立地對垂直方 向和水平方向的作動器進行控制。
如圖5為加入判斷采樣中斷的智能化主動隔振單元LMS自適應(yīng)濾波控制算法(二自由度， 二輸入二輸出系統(tǒng))流程圖，具體控制算法如下
1. 初始化
確定四個濾波器的階數(shù)(程序中皆設(shè)為ao;初始化迭代步長^初始化四個濾波器權(quán)系 數(shù)；初始化輸入向量"》)和輸出向量尸^)、尸2的及G,w、 G2(0;
2. 主循環(huán)
for一l，2，...105，執(zhí)行以下各步
(1) 更新輸入向量X(^:):義(》)中原值各右移一位；讀入當前輸入X向，且義(^)
-;c(》)；
(2) 讀入當前誤差信號e,的、
(3) 更新兩個濾波器權(quán)系數(shù)
(4) 計算濾波器輸出輸出向量^(A)、 F2(0及G^)、 G2(6)中值各右移一位；計算當前輸出值-
<formula>formula see original document page 9</formula> (5).輸出控制量尸^)
-力(A:)，尸2(0
-/2^; 3.結(jié)束控制
結(jié)束循環(huán)，將e!②,e2(A:)，y^)，/2(A), Wl, w2， Vl, v2寫入文件保存。
如圖6給出了智能化主動隔振單元1不承載，振源信號頻率為時智能化主動隔振單 元l的實時控制效果。其中，圖6a表示垂直方向控制結(jié)果示意圖；圖6b表示水平方向控制 結(jié)果示意圖。其中，前1000個采樣時間(1個釆樣時間為未施加LMS自適應(yīng)濾波控 制算法，用來對比施加LMS自適應(yīng)濾波控制算法前后的效果；從第1001采樣時間開始，同 一個采樣點對應(yīng)的垂直方向與水平方向誤差信號e,(A)、 。(W和垂直方向與水平方向控制輸出 信號/i閱、/2(&)是在同一個采樣周期內(nèi)完成，實際控制時間是"。從圖6a，圖6b中可以看到 施加LMS自適應(yīng)濾波控制算法后，垂直與水平二個方向振動被消減了95%以上。
如圖7給出了智能化主動隔振單元1承載IOO紐，振源信號頻率為807fe時智能化主動隔 振單元1的實時控制效果。其中圖7a表示垂直方向控制結(jié)果示意圖；圖7b表示水平方向控 制結(jié)果示意圖。其中，前1000個釆樣時間(1個采樣時間為lms)未施加LMS自適應(yīng)濾波 控制算法，用來對比施加LMS自適應(yīng)濾波控制算法前后的效果。從第1001采樣時間開始， 同一個采樣點對應(yīng)的垂直方向與水平方向誤差信號。(A)、 &^)和垂直方向與水平方向控制輸 出信號/1W、/2W是在同一個采樣周期內(nèi)完成，實際控制時間是"。從圖7a，圖7b中可以看 到施加LMS自適應(yīng)濾波控制算法后，垂直與水平二個方向振動被消減了95%以上。
權(quán)利要求
1、一種智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)，其特征在于包括智能化主動隔振單元(1)、基座、DSP振動控制卡(1)、壓電式加速度傳感器(2)、信號采集裝置和信號調(diào)理裝置，上位計算機(5)；智能化主動隔振單元(1)固定于基座上，當基座受到振源擾動時，信號采集裝置采集壓電式加速度傳感器(2)檢測來自振源傳遞到智能化主動隔振單元(1)垂直平面與水平平面的2路誤差信號，以及1路振源信號進入DSP振動控制卡(4)接口；DSP振動控制卡(4)控制A/D轉(zhuǎn)換器采集這3路信號進入DSP振動控制卡；再通過控制算法進行實時分析和控制計算，將待控制的2路數(shù)字信號輸出到D/A轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為模擬信號，經(jīng)信號調(diào)理裝置處理后輸出至智能化主動隔振單元(1)中的水平方向與垂直方向2根超磁致伸縮作動器(3)，使作動器產(chǎn)生相應(yīng)的伸長或收縮，從而使智能化主動隔振單元(1)在水平方向與垂直方向保持相對穩(wěn)定，再通過2個壓電式加速度傳感器(2)檢測誤差信號，進而再通過信號采集裝置反饋到DSP振動控制卡(4)中，如此反復(fù)進行，實現(xiàn)對智能化主動隔振單元(1)的主動振動控制。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)，其特征在于所述 信號采集裝置由電荷放大器和濾波器組成，電荷放大器和濾波器中各通道為對應(yīng)連接，電荷 放大器的輸入端連接壓電式加速度傳感器(2)，電荷放大器的輸出端與濾波器的輸入端連接， 濾波器的輸出端與DSP振動控制卡(4)的A/D轉(zhuǎn)換器輸入接口相連。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的信號采集裝置，其特征在于所述的電荷放大器可選取DLF —6四合一功能放大器，濾波器選取DH3766型程控抗混濾波器。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)，其特征在于所述 信號調(diào)理裝置由濾波器和功率放大器組成，濾波器和功率放大器中各通道對應(yīng)連接；濾波器 的輸入端與DSP振動控制卡(4)的D/A轉(zhuǎn)換器輸出接口連接，濾波器的輸出端與功率放大 器的輸入端連接，功率放大器的輸出端與智能化主動隔振單元U)的2個超磁致伸縮作動器(3)的引線插頭端連接。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的信號調(diào)理裝置，其特征在于所述的濾波器選取DH3766型程 控抗混濾波器，功率放大器選取KEPC036—6型功率放大器。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)，其特征在于所述 的DSP振動控制卡(4)包括DSP電路、.電源管理電路、時鐘電路、同步動態(tài)隨機存儲器 SDRAM、快擦寫存儲器Flash ROM、 RS232串口通訊電路、A/D轉(zhuǎn)換器、D/A轉(zhuǎn)換器、CPLD邏輯時序控制電路，電源管理電路為DSP電路提供穩(wěn)定的供電電路，使DSP電路能夠正常 工作；時鐘電路為DSP振動控制卡(4)提供周期性的時鐘信號；SDRAM用作存儲數(shù)據(jù)；Flash ROM用作存儲啟動程序、控制算法和硬件配置信息；RS232串口通訊電路分別與DSP電路 和上位計算機(5)相接，用于將信號傳至上位計算機(5)，便于計算機進行后續(xù)的處理； A/D轉(zhuǎn)換器，它與DSP電路相接，將輸入的模擬信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號；D/A轉(zhuǎn)換器，與DSP 電路相接，將數(shù)字信號轉(zhuǎn)換成模擬信號；CPLD邏輯時序控制電路分別與DSP電路、A/D轉(zhuǎn) 換器和D/A轉(zhuǎn)換器相接，用于A/D轉(zhuǎn)換器和D/A轉(zhuǎn)換器的邏輯時序控制。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)，其特征在于所述 壓電式加速度傳感器(2)分別安裝于智能化主動隔振單元(1)水平上平面內(nèi)側(cè)與垂直平面 外側(cè)，且分別與智能化主動隔振單元(1)內(nèi)部水平方向與垂直方向的2個超磁致伸縮作動器(3)平行，并靠近超磁致伸縮作動器(3)輸出桿安裝。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)，其特征在于所述 的控制算法為F!的二/( &的，X(印，尸2(0=/{ /為LMS自適應(yīng)濾波算法， 仏(A:)表示智能化主動隔振單元(1)垂直方向壓電式加速度傳感器(2)輸出的向量，￡2(0表 示智能化主動隔振單元(1)水平方向壓電式加速度傳感器(2)輸出的向量，y(W表示振源 信號的向量，AW表示經(jīng)DSP振動控制卡(4)處理后的垂直方向的輸出控制量，F(xiàn)2(/fc)表示 經(jīng)DSP振動控制卡(4)處理后的水平方向的輸出控制量。
全文摘要
一種用于控制智能化主動隔振單元的實時控制系統(tǒng)包括智能化主動隔振單元、基座、DSP振動控制卡、壓電式加速度傳感器、信號采集裝置和信號調(diào)理裝置，智能化主動隔振單元固定于基座上，基座受到振動時，信號采集裝置采集壓電式加速度傳感器檢測來自振源傳遞到智能化主動隔振單元水平與垂直平面的2路誤差信號和1路振源信號共3路信號進入DSP振動控制卡，通過DSP振動控制卡內(nèi)的控制算法計算后，輸出2路待控制信號，再經(jīng)信號調(diào)理裝置處理后，2路待控制信號輸出至智能化主動隔振單元中的水平與垂直方向2根超磁致伸縮作動器，使其產(chǎn)生相應(yīng)的伸長或收縮，從而實現(xiàn)智能化主動隔振單元的主動振動控制。本發(fā)明具有快速、實時和高精度的優(yōu)點。
文檔編號G05D19/02GK101446834SQ20081023921
公開日2009年6月3日 申請日期2008年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月4日
發(fā)明者臻 張, 張文廣, 琳 李, 毛劍琴, 馬艷華, 高艷蕾 申請人:北京航空航天大學(xué)