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分光測定裝置及分光測定方法_4

文檔序號:9264603閱讀:來源:國知局
(30)。若將上式(25)、(27)代入到其中,則求得下式(31)。
[0159][數(shù) 30]
[0163]還有,上式(29)、(31)表示通過相對于試樣1的被照射面積Si成為激發(fā)光LI的 照射面積SsW上的測定條件的"deMello的光吸收率",W面積修正系數(shù)修正各光學(xué)條件下 的測定值,從而為等價(jià)。
[0164] 因此,在激發(fā)光L1的照射面積S2大于試樣1的被照射面積S1,且激發(fā)光L1包含 (內(nèi)包)試樣1的光學(xué)條件(參照圖9(a))下,可通過下式(32)求得光吸收率的真值(真 的光吸收率)At。另外,在激發(fā)光L1的照射面積S2大于試樣1的被照射面積S1,且激發(fā)光 L1與試樣1的一部分重疊的光學(xué)條件(參照圖9化))下,可通過下式(33)求得光吸收率的 真值A(chǔ)t。
[0165][數(shù) 32]
[0169] 光吸收率的真值A(chǔ)t能夠與P= 1近似時(shí),上式(32)簡化而成為下式(34),上式 (33)簡化而成為下式(35)。
[0170][數(shù) 34]
[0174] 此處,有難W實(shí)驗(yàn)性地直接求得上述的強(qiáng)度化2、Lc2、化3、Lc3的情況,可W列舉例 如通過切換間接激發(fā)時(shí)與直接激發(fā)時(shí)的光路等而改變強(qiáng)度的情況等。該情況下,可將能夠 實(shí)驗(yàn)性地測定的反射率或光吸收率作為測定參數(shù)來使用。
[01巧]目P,對于光吸收率的真值A(chǔ)t而言,通過在各光學(xué)條件下將反射率R作為測定參數(shù), 從而上式(32)如下式(36)那樣被求得,上式(33)如下式(37)那樣被求得。另外,對于光 吸收率的真值A(chǔ)t而言,通過在各光學(xué)條件下將光吸收率Abs作為測定參數(shù),從而上式(32) 如上式(3)那樣被求得,上式(33)如上式(4)那樣被求得。
[0176][數(shù) 36]
[0180]其中,
[0181]Ri2;間接激發(fā)時(shí)的反射率=化2/La、R22;直接激發(fā)時(shí)的反射率=Lc2/la、
[0182]Ri3;間接激發(fā)時(shí)的反射率=化s/La、R23;直接激發(fā)時(shí)的反射率=Lcs/La。
[0183]W上,對優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行了說明,但本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式,也可在未 變更各權(quán)利要求所記載的要旨的范圍內(nèi)變形、或者應(yīng)用于其他方面。
[0184]例如,上述實(shí)施方式中,在切換間接激發(fā)時(shí)與直接激發(fā)時(shí)的情況下,驅(qū)動(dòng)光學(xué)系統(tǒng) 且變更其光學(xué)配置,但取而代之或除此之外,也可移動(dòng)試樣1(試樣容器40)。另外,上述實(shí) 施方式中,使用積分球14作為積分器,但若為空間性地積分其內(nèi)部的光的單元(光學(xué)構(gòu)件) 的話即可,例如也可使用日本特開2009-103654號公報(bào)所公開的積分半球。另外,上述實(shí)施 方式中,安裝于積分器的試樣容器支撐體24保持了具有收納部43的試樣容器40,但也可將 具有收納部43的試樣支撐體安裝于積分器。
[0185] 另外,上述實(shí)施方式中,也可通過進(jìn)行下式所示的面積比修正,求得光吸收率A。
[0186]A=S2/S1XA'
[0187]A=PXS2/S1XA-+(1-P)
[018引其中,
[0189]A';修正前的光吸收率
[0190]另外,上述實(shí)施方式中,為了使照射面積S2大于被照射面積S1,也可設(shè)置擴(kuò)大來自 光射出部7的激發(fā)光L1的透鏡。另外,具備準(zhǔn)直透鏡64、鏡65、66及光圈67作為入射光學(xué) 系統(tǒng),但也可僅具備光圈67。再者,另外因?yàn)閿U(kuò)大后的激發(fā)光L1自光射出部7射出,因而也 可包含(或僅由)光射出部7的射出端部來構(gòu)成入射光學(xué)系統(tǒng)。
[0191] 另外,上述實(shí)施方式中,也可在上述間接激發(fā)時(shí)的測定(上述S1~上述S5)之前 實(shí)施上述直接激發(fā)時(shí)的測定(上述S6~上述S10),它們順序不同。另外,上述實(shí)施方式中, 可W激發(fā)光L1的照射面積S2大于試樣1的被照射面積S1的方式構(gòu)成,例如,通過調(diào)整激發(fā) 光L1的入射光學(xué)系統(tǒng)、及試樣容器40的收納部43的形狀的至少一者,從而可使照射面積 S2大于被照射面積S1。
[0192] 產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0193] 根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)側(cè)面,可高精度地求得光吸收率。
[0194] 符號的說明
[0195]1…試樣、6…光產(chǎn)生部(光源)、9…光檢測部、14…積分球(積分器)、15…光入射 開口(入射開口部)、16…光射出開口(射出開口部)、43…收納部、50…數(shù)據(jù)解析裝置(解 析單元)、64…準(zhǔn)直透鏡(入射光學(xué)系統(tǒng))、65、66…鏡(入射光學(xué)系統(tǒng))、67…光圈(入射光 學(xué)系統(tǒng))、100…分光測定裝置、L1…激發(fā)光、L2…被測定光、Si…試樣的被照射面積、S,…激 發(fā)光的照射面積。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種分光測定裝置,其特征在于, 是對作為測定對象的試樣照射激發(fā)光而檢測被測定光的分光測定裝置, 包含: 光源,其產(chǎn)生所述激發(fā)光; 積分器,其具有入射所述激發(fā)光的入射開口部、及射出被測定光的射出開口部; 收納部,其配置于所述積分器內(nèi),且收納所述試樣; 入射光學(xué)系統(tǒng),其使所述激發(fā)光入射至所述試樣; 光檢測器,其檢測自所述射出開口部射出的被測定光;及 解析單元,其基于由所述光檢測器檢測的檢測值,計(jì)算所述試樣的光吸收率, 向所述試樣的入射位置上的所述激發(fā)光的照射面積大于所述試樣的被照射面積, 所述解析單元對于所計(jì)算出的所述光吸收率,進(jìn)行與所述激發(fā)光的所述照射面積及所 述試樣的所述被照射面積相關(guān)的面積比修正。2. 如權(quán)利要求1所述的分光測定裝置,其特征在于, 所述激發(fā)光以包含所述試樣的方式被照射于該試樣。3. 如權(quán)利要求2所述的分光測定裝置,其特征在于, 所述面積比修正通過相對于所述光吸收率累計(jì)所述激發(fā)光的照射面積除以所述試樣 的被照射面積后的值來進(jìn)行。4. 如權(quán)利要求3所述的分光測定裝置,其特征在于, 所述解析單元基于下式(1)的所述面積比修正的關(guān)系式,計(jì)算所述光吸收率, [數(shù)1]其中, A :光吸收率,P =積分器反射率,S1:試樣的被照射面積,S2:激發(fā)光的照射面積, Abs12:間接激發(fā)時(shí)的光吸收率,Abs 22:直接激發(fā)時(shí)的光吸收率。5. 如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的分光測定裝置,其特征在于, 所述入射光學(xué)系統(tǒng)以所述激發(fā)光的照射面積大于所述試樣的所述被照射面積的方式 調(diào)整所述激發(fā)光。6. -種分光測定方法,其特征在于, 是對作為測定對象的試樣照射激發(fā)光而檢測被測定光的分光測定方法, 包含: 在積分器內(nèi)配置所述試樣的工序; 以向所述試樣的入射位置上的所述激發(fā)光的照射面積大于所述試樣的被照射面積的 方式,向所述積分器內(nèi)照射所述激發(fā)光并入射至所述試樣的工序; 由光檢測器檢測自所述積分器射出的被測定光的工序;及 基于由所述光檢測器檢測出的檢測值,計(jì)算所述試樣的光吸收率的工序, 在計(jì)算所述光吸收率的工序中,相對于所述光吸收率,進(jìn)行與所述激發(fā)光的所述照射 面積及所述試樣的所述被照射面積相關(guān)的面積比修正。7. 如權(quán)利要求6所述的分光測定方法,其特征在于, 在使所述激發(fā)光入射至所述試樣的工序中,所述激發(fā)光以包含所述試樣的方式被照 射。8. 如權(quán)利要求7所述的分光測定方法,其特征在于, 所述面積比修正通過相對于所述光吸收率累計(jì)所述激發(fā)光的照射面積除以所述試樣 的被照射面積后的值來進(jìn)行。9. 如權(quán)利要求7所述的分光測定方法,其特征在于, 在計(jì)算所述光吸收率的工序中,基于下式(2)的所述面積比修正的關(guān)系式,計(jì)算所述 光吸收率, [數(shù)2]其中, A :光吸收率,P =積分器反射率,S1:試樣的被照射面積,S2:激發(fā)光的照射面積, Abs12:間接激發(fā)時(shí)的光吸收率,Abs 22:直接激發(fā)時(shí)的光吸收率。
【專利摘要】一種對作為測定對象的試樣照射激發(fā)光而檢測被測定光的分光測定裝置,其包含:光源,其產(chǎn)生激發(fā)光;積分器,其具有入射激發(fā)光的入射開口部及射出被測定光的射出開口部;收納部,其配置于積分器內(nèi)且收納試樣;入射光學(xué)系統(tǒng),其使激發(fā)光入射至試樣;光檢測器,其檢測自射出開口部射出的被測定光;及解析單元,其基于由光檢測器檢測出的檢測值,計(jì)算試樣的光吸收率;向試樣的入射位置上的激發(fā)光的照射面積大于試樣的被照射面積,解析單元對于所計(jì)算出的光吸收率,進(jìn)行與激發(fā)光的照射面積及試樣的被照射面積相關(guān)的面積比修正。
【IPC分類】G01J3/443, G01N21/64
【公開號】CN104981687
【申請?zhí)枴緾N201380072223
【發(fā)明人】江浦茂, 鈴木健吾, 池村賢一郎, 井口和也
【申請人】浜松光子學(xué)株式會(huì)社
【公開日】2015年10月14日
【申請日】2013年9月17日
【公告號】EP2952882A1, WO2014119037A1
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