專利名稱：分光測定方法與測定裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明系關于用單一波長的激勵光照射在試樣上，并通過檢出試樣所發(fā)出的螢光與喇曼散射光而進行試樣的定性與定量分析的分光測定方法與使用該方法的裝置。
被稱為喇曼分光測定法的方法是光學分析法中的一種。在喇曼分光測定法中，是利用當把電磁波形式的放射能量照射在特定分子上時，保持光量子的分子中的少部分在放出所保持的光量子之后并未返回原先的振動能級而是利用落入與電子的基態(tài)不同的振動能級的現象。從而，從這些分子中所釋放的能量為分子所固有的，通過檢出此以電磁波形式放出的能量就能對特定的分子進行識別。
由喇曼散射所放出的光能有兩種情況，即比所吸收能量低的能量狀態(tài)(stokes喇曼散射)與比所吸能量高的能量狀態(tài)(Anti-stokes喇曼散射)。由于激發(fā)態(tài)的電子數遠低于基態(tài)電子數，故Anti-stokes喇曼散射強度是極弱的。因此，在識別特定分子的方法中，通常是用stokes喇曼散射來進行測定的。
眾所公知，當把電磁波形態(tài)的輻射能照射在特定分子上時，該分子吸收其輻射能而被激勵成電子激發(fā)狀態(tài)，在返回基態(tài)時會發(fā)出螢光。由于螢光能敏銳地反映出分子激發(fā)態(tài)能量的轉移、緩和、反應等，故一般利用分子動力學作為公知的手段。
本發(fā)明人在利用喇曼光譜對特定分子進行定性、定量方面進行了研究。
在試樣所發(fā)出的光中，與激勵光同波長的瑞利散射光的強度雖大，但偏離激勵光波長的喇曼散射光與螢光的強度與瑞利散射光強度相比則極小。由于喇曼散射光和螢光的強度與引起試樣中喇曼散射的成分及發(fā)生螢光成分的濃度成比例，在測定微量成分的生物體物質等時，其喇曼散射光與螢光就更加微弱了。
一般地，用激光裝置作為喇曼分光測定的光源。從激光裝置射出的激光的強度是隨時間而變化的。由于喇曼散射光強度隨激勵光強度的變化而變化，若不用激勵光強度對所檢出的喇曼散射光強度進行補償就不能實現正確的喇曼分光測定。
在進行螢光測定時也要相對于激勵光強度進行補償。在用氙燈作為螢光激勵光源時，隨著恒流電源精度的提高其光源強度隨時間的變動變小，但在進行更高精度的測定時仍然需要對激勵光強度進行補償。此外，在把染料激光器用作螢光激勵光源時，對激勵光強度補償也是不可少的。
為了補償光源強度的變動，把激勵光分為試樣用光束與補償用光束，用試樣光束照射試樣，并由試樣產生的光檢測出螢光和喇曼散射光。另外，用另外的光檢測器檢出補償用光束，利用補償用光束的檢出值來補償螢光與喇曼散射光的檢出值，這是通用的方法。然而，在這種情況下，由于螢光與喇曼散射光的檢出及補償光束檢出要用各自的光檢出器，使得測定裝置大型化，也提高了成本。
其它的補償方法還有在檢出喇曼散射光時用喇曼散射光檢出器同時檢出來自試樣的瑞利散射光，并根據該瑞利散射光強度對喇曼散射光強度進行補正的方法。由于在這種場合下喇曼散射光與瑞利散射光是用同一檢出器檢測的，裝置的結構雖然簡單，對降低成本也有利，但由于瑞利散射光因試樣而變化，故不能做到正確的喇曼分光測定。
本發(fā)明的目的是用簡單的結構來實現依激勵光強度的變化的補正。
本發(fā)明的分光測定方法是把單一波長的激勵光分成試樣用光束與補正用光束；將試樣用光束照射在試樣上；在從因試樣用光束照射而得到的來自試樣的光中除去與激勵光同波長成分之后，以螢光或喇曼散射光中至少一種作為測定對象光而有選擇地接受光；把所接受的測定對象光與上述補正用光束同時導入一個分光器進行分光得到分光光譜；求出該分光光譜中指定波長的光譜強度或在適當波長范圍中的積分值作為測定值；并以其分光光譜中激勵光成分的檢出強度作為基準對該測定值進行補正。
本發(fā)明的分光測定裝置設有激勵光源部，試樣部，測定對象光學調整部，合波裝置，1個分光處理部以及數據處理部；該激勵光源部設有把激勵光源及由該激勵光源得到的單一波長光束分為試樣用光束與補正用光束的光束分離器；試樣部使試樣受到上述試樣用光束照射；測定對象光學調整部中設有從用試樣光束照射試樣而得到的來自試樣的光中除去與激勵光同波長成分并選擇螢光與喇曼散射光中的至少一種作為測定對象光的濾波裝置及調整光束的光學系統(tǒng)；合波裝置使從上述測定對象光學調整部射出的光束與上述補正用光束處于同一光軸上；分光處理部中設有將從上述合波裝置中射出的光束進行分光的分光器及檢測出用該分光器分光的光譜光的檢出器；數據處理部的功能是求出用上述分光處理部的檢出器檢出的分光光譜中指定波長的光譜強度或在適當波長范圍內的積分值作為測定值，并以其分光光譜中的激勵光成分的檢出強度為基準對該測定值進行補正。
測定對象光學調整部的濾波裝置最好為下列裝置之一使激勵光波長包含在陷波范圍的全息陷波濾波器，屏蔽激勵光波長及其短波長側的截止濾波器，具有透過激勵光波長成分并加以去除而反射其它波長成分的特性的帶通濾波器，以及利用通過或反射除去激勵光波長的全息分束器。
例如，全息陷波濾波器是只屏蔽所希望的波長范圍而允許其它范圍的波長光通過。由于設定成在所屏蔽的范圍(陷波范圍)包含有激勵光波長而加以使用，就使得從測定對象光學調整部射出的光束不含激勵光成分，而只含有螢光及喇曼散射光。另一方面由于補正用光束只含有來自光源的激勵光而不經過試樣，故可以與試樣無關地忠實地反映出光源的強度變化。
分光處理部設有多路光檢出器，對于同時檢測要測定的波長范圍的多色儀來說能同時檢出所要測定的波長范圍，并能同時檢測出規(guī)定范圍的螢光光譜及喇曼散射光譜與激勵光。其結果可使螢光及喇曼散射光的各波長檢出時間與激勵光檢出時間之間不產生差異。而且，用單路光檢出器作為光檢出器，即便是用分光器進行波長掃描，也能在像傅里葉變換型分光裝置那樣地高速進行波長掃描的情況下，補償光源的變化。
在本發(fā)明中，由于用激勵光強度來補償螢光及喇曼散射光的測定對象光測定值，故能容易地對低濃度成分的物質進行定量測定。于是，為了進行這種補償而把激勵光分成試樣用光束與補正用光束，從用試樣光束照射試樣所產生的試樣光中除去與激勵光同波長成分而選擇出測定對象光，把所選定的測定對象光與補正光束同時導入一個分光器進行分光而得到分光光譜，并以該分光光譜中激勵光成分的檢測強度為基準對測定對象光強度進行補正，故只用1個光檢出器就可以，使測定對象光測定裝置的空間縮小，而且能達到低成本。


圖1是概略地表示本發(fā)明的方框圖。
圖2是表示使用全息陷波濾波器作為測定對象光學調整部的濾波裝置，相對于試樣與激勵光成180°方向接收測定對象光的實施例的配置圖。
圖3是表示使用全息陷波濾波器作為測定對象光學調整部的濾波裝置，相對于試樣與激勵光成90°方向地接受測定對象光的實施例的配置圖。
圖4A是表示用全息分束器作為測定對象光學調整部的濾波裝置，相對于試樣與激勵光成180°方向接受測定對象光的實施例的配置圖。
圖4B是表示圖4A中實施例的全息分束器部分的概略斷面圖。
圖5A是表示用帶通濾波器作為測定對象光學調整部的濾波裝置，相對于試樣與激勵光成90°方向接受測定對象光的實施例的配置圖。
圖5B是表示圖5A實施例的帶通濾波器部分的概略斷面圖。
圖6是表示用帶通濾波器作為測定對象光學調整部的濾波裝置，相對于試樣與激勵光成180°方向接受測定對象光的實施例的配置圖。
圖7是把本發(fā)明用于葡萄糖水溶液測定時表示喇曼散射光強度與葡萄糖濃度相互關系的一個例子，(A)是未利用光源強度進行補正的情況，(B)是已用光源強度進行補正的情況。
圖8是把本發(fā)明用于過氧化氫水溶液測定時表示喇曼散射光強度與過氧化氫濃度相互關系的例子，(A)是未用光源強度進行補正的情況，(B)是已用光源強度進行補正的情況。
圖9是本發(fā)明用于白朊水溶液測定時表示螢光光譜的面積積分值與白朊濃度相互關系的例子，(A)是未用光源強度進行補正的情況，(B)是已用光源強度進行補正的情況。
圖10是本發(fā)明用于膽紅素水溶液測定時表示螢光光譜積分面積積分值與膽紅素濃度相互關系的例子，(A)是未用光源強度進行補正的情況，(B)是已用光源強度進行補正的情況。
圖11是本發(fā)明用于白朊水溶液測定時表示螢光光譜強度與白朊濃度的相互關系的例子，(A)是未用光源強度進行補正的情況，(B)是已用光源強度進行補正的情況。
圖12是本發(fā)明用于膽紅素水溶液測定時表示螢光光譜強度與膽紅素濃度的相互關系的例子，(A)是未用光源強度進行補正的情況，(B)是已進行補正的情況。
圖1中概略地示出了本發(fā)明的測定裝置。激勵光源部2中設有激勵光源及把來自激勵光源的單一波長光束分成試樣用光束與補正用光束的分束器。在試樣部4中，將來自激磁光源部2的試樣用光束照射在試樣上，測定對象光學調整部6中設有從將試樣用光束照射在試樣上而得到的光中除去與激勵光同波長的成分并選擇螢光與喇曼散射光中的至少一種作為測定對象光的濾光裝置，及調整光束的光學系統(tǒng)。合波裝置10使從測定對象光學調整部6射出的光束與補正用光束處于同一光軸上。分光處理部12設有將從合波裝置10射出的光束進行分光的分光器，以及檢測出用該分光器分光的光譜光的檢出器。數據處理部14具有從由分光處理部12中的檢出器檢出的分光光譜中求出指定波長的光譜強度或適當波長范圍內的積分值并將其作為測定值的功能，以及以該分光光譜中激勵光成分的檢出強度為基準對其測定值進行補正的機能。
圖2到圖6詳細地示出了圖1中方框圖的各實施例。
圖2是表示用使激勵光波長包含在陷波范圍的全息陷波濾波器或屏蔽激勵光波長及其短波長側的截止濾波器作為測定對象光學調整部6的濾波裝置，相對于試樣與激勵光成180°方向接受螢光或喇曼散射光的實施例。
光源22設在激勵光源部2中，還配置半反射鏡26作為把來自光源22的激勵光分為試樣用光束20s和補正用光束20r的分束器。光源22可采用激光裝置，氙燈、鹵素燈等。激光裝置可采用連續(xù)起振的Ar離子激光、Kr離子激光、He-Ne激光，或He-Cd激光等、NdYAG激光等的脈沖激光等，可選擇使用從近紫外區(qū)到近紅外區(qū)的廣闊波長范圍中的激光。由于氙燈與鹵素燈能產生多種波長的光，故與分光器組合起來使用。
為了把試樣用光束20S聚斂在試樣部4中的試樣5上，在激勵光源部2中把半反射鏡26配置在光源聚光透鏡24與聚斂透鏡28之間。
試樣5設置在試樣部4中，若試樣5為液體試樣就裝在容器中，若試樣5為生物體試樣等固體則不用容器直接設置。
來自激勵光源部2的試樣用光束20s經設置在測定對象光學調整部6中的半反射鏡32反射而照射在試樣部4的試樣5上。在測定對象光學調整部6中，為了把能透過半反射鏡32的來自試樣5的螢光與喇曼散射光作為測定對象光聚斂在分光器的入口狹縫50上而設置聚光透鏡34、36，由于從試樣5入射到測定對象光學調整部6的光中除了含有測定對象光之外還包含瑞利散射光，故在測定對象光學調整部6中在聚光鏡34、36之間設置全息陷波濾波器38，它被設定為其陷波范圍中含有激勵光波長以作為除去與激勵光相同的波長成分而選擇測定對象光的濾波器。全息陷波濾波器可從例如KAISER OPTICALSYSTEMS.INC(美國)公司獲得。全息陷波濾波器38具有完全屏蔽陷波范圍中所含的波長光，而使陷波范圍以外波長范圍中的光80％以上通過的特性。
作為合波裝置的半反射鏡40配置在測定對象光學調整部6的聚光透鏡36與分光器入口狹縫50之間，測定對象光透過該半反射鏡40入射到分光器52中。
為了把在激勵光源部2中由半反射鏡26分離出來的補正用光束20r導入到合波裝置的半反射鏡40中，設置了補正光學調整部8。補正光學調整部8中設有衰減光量的減光濾波器42，屏蔽在激勵光源部2的半反射鏡26上所產生波長光，當光源22為激光裝置時用以屏蔽其激光的邊帶的帶通濾波器46、及彎折光路用的反射鏡44。通過補正光學調整部8經半反射鏡40而導向入口狹縫50的補正用光束20r借助光源聚光透鏡24而會聚到入口縫50上。
為了屏蔽從試樣用光束20s與補正用光束20r雙方來的激光邊帶，最好在光源22與半反射鏡26間的光路上設置帶通濾波器46。
借助于半反射鏡40把從測定對象光學調整部6射出的測定對象光與從補正光學調整部8引入的補正用光束20r置于同一光軸上，并經入口縫50導入分光處理部12的分光器52。分光器52為多色儀，其中設有對入射光進行分光的衍射柵板54，以及為了在指定的波長范圍的整個領域上同時檢出由衍射柵板54分離出的光譜光而沿衍射柵板54的分散方向設置多個光檢出元件的多路光檢出器56。
60是控制各部分動作，處理光檢出器56檢出的信號的處理運算控制部，它具有以光檢出器56所檢出的分光光譜中激勵光成分的檢出強度為基準對測定對象光的檢出強度進行補正的數據處理部的功能，對于要進行光源變動補正的測定對象光光譜進行演算，由測定對象光強度作試樣的定性與定量分析。62是輸出在處理運算控制部60中所處理數據的打印或顯示等輸出裝置。
在圖2的實施例中，取代全息陷波濾波器38可以用屏蔽激勵光波長及其短波長側的具有銳截止波長特性的銳截止濾波器。
圖3也和圖2中實施例同樣地是用全息陷波濾波器或截止濾波器作為測定對象光學調整部6的濾波裝置的實施例，但所示出的實施例是相對于試樣與激勵光成90°方向接受測定對象光的。在此情形下，用光束20s照射到試樣5上，不需要把來自試樣5的散射光入射到測定對象光學調整部6的聚光透鏡34上的半反射鏡32。試樣用光束由激勵光源部2的聚光透鏡24與聚斂透鏡28匯聚而直接照射在試樣5上，來自試樣5的散射光直接入射在測定對象光學調整部6的聚光透鏡34上。
帶通濾波器46，在圖2中雖是配置在補正光學調整部的光路上，但在圖3中它是配置在把激勵光源部中來自激勵光源的光束用分束器26分離為試樣用光束和補正用光束之前的光路上。由于帶通濾波器46是配置在圖3中的位置上的，故能屏蔽試樣用光束與補正用光束雙方的激光邊帶。
此外，在圖3中，還在補正光學調整部的光路上設置聚光透鏡45，此透鏡45是把補正用光束聚集在狹縫50位置上的光量調整用透鏡，在補正用光束的光量足夠強時也可以不用此透鏡45。
圖4A是用具有反射激勵光并透過螢光與喇曼光的特性的全息分束器70作為測定對象光學調整部6的濾波裝置，示出了相對于試樣在與激勵光成180°方向上接受測定對象光的實施例。
全息分束器70，如圖4B中所示，反射試樣用光束20s使之照射在試樣5上，只允許含有測定對象光與瑞利散射光的來自試樣5的光72中的測定對象光74通過并入射到測定對象光學調整部6的聚光透鏡34上。
圖5A示出了用具有透過激勵光波長成分加以去除，反射測定對象光成分的特性的帶通濾波器82作為測定對象光學調整部6的濾波裝置的實施例。在此場合下，是相對于試樣與激勵光成90°方向接受測定對象光。
帶通濾波器82，如圖5B所示，是配置在透過聚光型鏡80的鏡面一側的，而在其相對的一側上配置止束光闌84。含有測定對象光與瑞利散射光的來自試樣5的光72由聚光透鏡34a、34b聚光并從透過聚光型鏡80的背面通過該入射孔而射入到帶通濾波器82中。在帶通濾波器82上，瑞利光76通過并由止束光闌84吸收，測定對象光74被反射，由透過聚光型鏡80的鏡面聚光，經半反射鏡40而從入口縫50射入到分光器上。為了在補正光學調整部8中使光路成180°彎折而配置兩面鏡44a、44b。
圖6雖是與圖5同樣地用具有透過激勵光波長成分加以去除，并反射測定對象光成分的特性的帶通濾波器82作為測定對象光學調整部6中的濾波裝置，但它是相對于試樣與激勵光成180°方向接受測定對象光的，其中還設置使試樣用光束20s照射在試樣5上，并使來自試樣5上的光入射到測定對象光學調整部的聚光透鏡34a上的半反射鏡32。
接受來自試樣的測定對象光的方向并不限于實施例中所示的90°與180°兩個方向，可以為其它任意角度。
下面，說明使用圖2中的裝置測定對象光的例子。分光處理部12的衍射柵板54用槽數為150條/mm，分辨率為5cm-1的凹面衍射柵板，光檢出器56則用CCD光學檢測元件。
圖7與圖8是測定喇曼散射光的例子，用Ar離子激光作為光源22。
圖7是用各種葡萄糖濃度試樣由激勵光波長514.5nm測定在喇曼偏移波數2918cm-1附近的喇曼散射光峰值的峰值強度I2918的例子。(A)為末進行光源強度變化補正的實測強度I2918，(B)是借助補正用光束強度值I514進行光源強度變化補正的補正結果值S。補正結果值S是就各種濃度下的測定值用下式算出的S＝(喇曼散射光強度值I2918)/補正用光束強度值I514葡萄糖濃度是把作成的葡萄糖水溶液試樣用自動葡萄糖測定裝置GA-1120(株式會社京都第一科學的產品)測定的。
從圖7的結果可知，與用光源強度補正前的葡萄糖實測強度與葡萄糖濃度的相關系數R為0.9646的情況相比，用光源強度進行補正后的補正結果值S與葡萄糖濃度的相關系數R變?yōu)?.9963，得到了改善。由于借助于光源強度進行補正，可以看出以此相關關系的結果作為校準線而從喇曼散射光強度對葡萄糖濃度作定量分析時的精度提高了。
其中，相關系數R是由下式算出的。R=Σi=1n[(xi-X)(yi-Y)]{[Σi=1n(xi-X)2][Σi=1n(yi-Y)2]}]]>n測定試樣數Xi測定試樣的各點的濃度YiXi點的測定光強度Z測定試樣各點濃度的平均值Y測定光強度的平均值圖8是過氧化氫水溶液試樣的測定例。在此過氧化氫的情況，是測定來自激勵光波長514.5nm的存在在喇曼偏移波數878cm-1附近的喇曼散射峰值的峰值強度。在此情況下，與未用光源強度進行補正時的峰值強度與過氧化氫濃度的相關系數R為0.9697相比，進行了光源強度補正的補正結果值S的相關系數R為0.9998，得到了改善。
在上例中，雖然是測定喇曼散射峰值的峰值強度而進行定量分析的，但也可以不用峰值強度，對于求出積分值的峰值面積進行定量分析的情況也是完全同樣適用的。
圖9至12是測定螢光的例子，使用He-Ne激光作為光源22。
圖9是從激勵光波長632.8nm對各種白朊濃度試樣測定偏移波數416.5cm-1～1434.7cm-1范圍的螢光光譜的面積積分值的例子。(A)為未用光源強度變化進行補正的實測強度I，(B)為用補正用光束強度值I632進行了光源強度變化的補正的補正結果值S。補正結果值S是以各自濃度的測定值由下式算出的。
從圖9的結果可知，用光源強度補正前的螢光面積積分值I與白朊濃度的相關系數R為0.9693的情況相比，用光源強度進行補正后補正結果值S與白朊濃度的相關系數R變成了0.9949，使之得到改善。由于用光源強度進行補正，可知在以此相關關系的結果為校準線而由螢光面積積分值對白朊濃度作定量分析時其精度提高。
圖10是對各種二水楊酰胺膽紅素(ジタゥロビリルビン)(膽紅素)濃度的試樣由激勵光波長632.8nm測定偏移波數416.5cm-1～1434.7cm-1范圍的螢光光譜的面積積分值的例子，(A)是未用光源強度變化進行補正的實測強度I，(B)是用補正用光束強度值I632進行光源強度變化補正后的補正結果值S。
從圖10的結果可見，和用光源強度補正前的螢光面積積分值I與膽紅素濃度的相關系數R為0.9725相比，用光源強度進行補正后的補正結果值S與膽紅素濃度的相關系數R變?yōu)?.9985，得到了改善，由于用光源強度進行補正，可知若以此相關關系結果為校準線，在從螢光面積積分值來對膽紅素濃度進行定量時其精度提高了。
圖11是用各種白朊濃度的試樣由激勵光波長632.8nm測定偏移波數805cm-1的最大螢光強度I的例子。(A)為未用光源強度變化進行補正的實測強度I，(B)是用補正用光束強度值I632進行光源強度變化補正后的補正結果值S。補正結果值S也是以各種濃度下的測定值由下式算出的。
從圖11的結果可知，和用光源強度補正前的螢光面積積分值I與白朊濃度的相關系數R為0.9482相比，用光源強度補正后的補正結果值S與白朊濃度的相關系數R變?yōu)?.9881，有所改善。由于用光源強度進行補正，可知若以此相關關系結果為校準線，在由螢光面積積分值對白朊濃度進行定量時，其精度提高了。
圖12是對各種膽紅素濃度的試樣由激勵光波長632.8nm測定偏移波數為1308cm-1的最大螢光強度I的例子。(A)為未用光源強度變化進行補正的實測強度I、(B)為用補正光束強度值I632進行光源強度變化補正后的補正結果值S。
從圖12的結果可見，和用光源強度補正前的螢光面積積分值I與膽紅素濃度的相關系數R為0.8400相比，用光源強度補正后的補正結果值S與膽紅素濃度的相關系數R得到了改善，變?yōu)?.9932。由于用光源強度進行補正，可知若以此相關關系的結果作為校準線，在由螢光面積積分值進行膽紅素濃度定量分析時的精度提高了。
權利要求
1.一種分光測定方法，其特征是它包括把單一波長的激勵光分成試樣用光束與補正用光束；將試樣用光束照射在試樣上；在從通過試樣用光束照射得到的來自試樣的光中除去與激勵光同波長成分之后，以螢光或喇曼散射光中至少一種作為測定對象而有選擇地受光；將所接受的測定對象光與上述補正用光束同時導入一個分光器進行分光得到分光光譜；由該分光光譜求出指定波長的光譜強度或在適當波長范圍內的積分值作為測定值；以其分光光譜中激勵光成分的檢出強度作為基準對該測定值進行補正。
2.一種分光測定裝置，其特征是，它設有激勵光源部，它設有把激勵光源及從激勵光源得到的單一波長光束分離成試樣用光束與補正用光束的分束器；試樣部，使上述試樣用光束照射在試樣上；測定對象光學調整部，它設有在從試樣用光束照射試樣得到的來自試樣的光中除去與激勵光同波長的成分并選擇螢光與喇曼散射光中至少一種作為測定對象光的濾波裝置及調整光束的光學系統(tǒng)；合波裝置，它使從上述測定對象光學調整部射出的光束與上述補正用光束處于同一光軸上；1個分光處理部，它設有將從上述合波裝置射出的光束進行分光的分光器，及檢出用該分光器分光的光譜光的檢出器；數據處理部，其功能是從用上述分光處理部的檢出器檢出的分光光譜中求出指定波長的光譜強度或在適當波長范圍內的積分值作為測定值，并以其分光光譜中的激勵光成分的檢出強度為基準對該測定值進行補正。
3.如權利要求2中所述的分光測定裝置，其特征是，上述光源為激光裝置。
4.如權利要求2中所述的分光測定裝置，其特征是，上述光源是燈與分光器組合而成的。
5.如權利要求2中所述的分光測定裝置，其特征是，上述測定對象光學調整部中的濾波裝置是其陷波范圍中包含激勵光波長的全息陷波濾波器。
6.如權利要求2中所述的分光測定裝置，其特征是，上述測定對象光學調整部的濾波裝置為屏蔽激勵光波長及其短波長側的截止濾波器。
7.如權利要求2中所述的分光測定裝置，其特征是，上述測定對象光學調整部的濾波裝置為具有可透過激勵光波長成分加以去除，并反射其它波長成分的特性的帶通濾波器。
8.如權利要求2中所述的分光測定裝置，其特征是，上述測定對象光學調整部的濾波裝置為通過透過或反射除去激勵光波長的全息分束器。
9.如權利要求2中所述的分光測定裝置，其特征是，上述分光處理部中設有多路光檢出器，是可同時檢測所要測定的波長范圍的多色儀。
10.如權利要求2中所述的分光測定裝置，其特征是，上述分光處理部是傅里葉變換型分光裝置。
全文摘要
由半反射鏡26將光源22的激勵光分離成試樣用光束20s與補正用光束20r，用聚斂透鏡24、28把試樣用光束20s匯聚在試樣部4中的試樣上。為了把來自試樣的散射光會聚在分光器的入口縫50上而設置聚光透鏡34、36，為了除去散射光中與激勵光同波長成分并選擇測定對象光而配置全息陷波器38，并設定其陷波范圍含有激勵光波長。測定對象光與補正用光束20r由半反射鏡40引導到同一光軸上，經入口縫50入射在多色儀52上并同時予以檢出，同時用檢出的補正用光束20r的強度對測定對象光檢出值加以補正。
文檔編號G01J3/44GK1153302SQ9610865
公開日1997年7月2日 申請日期1996年6月28日 優(yōu)先權日1995年6月28日
發(fā)明者竇曉鳴, 山口佳則, 上野山晴三, 王韞香 申請人:株式會社京都第一科學