專利名稱:動態(tài)真空八位光導(dǎo)靶面測試臺的制作方法
本實用新型是為光導(dǎo)型攝象管進行靶面物理參數(shù)測量服務(wù)的裝置。
現(xiàn)有的光導(dǎo)靶面物理參數(shù)動態(tài)測試臺，如日本NHK技研月報1972年報導(dǎo)的“視象管靶面試驗用可拆卸裝置”(NHK技研月報15〔3〕118－121，1972，吉川重夫“ヒ″テ″ィコンタ－ヴ
ト試驗用テ″
ソタ
ル裝置”和國內(nèi)1129所自制的光導(dǎo)靶面物理參數(shù)動態(tài)測試臺是由真空系統(tǒng)、閉路電視、光路等系統(tǒng)、測試系統(tǒng)及輔助裝置等幾部分組成。多為單工位的，亦有多工位的?？梢詼y量的光導(dǎo)靶面物理參數(shù)為靶壓、靈敏度(光電流值)、光生載流子的產(chǎn)生率η、光生載流子的漂移遷移率μ和光生載流子壽命
。
本實用新型是在前述基礎(chǔ)上增加了物理參數(shù)的測試內(nèi)容，即可以測量光導(dǎo)靶的惰性。而此參數(shù)是光導(dǎo)攝象管的重要參數(shù)之一。能夠測量光電惰性，就使攝象管靶面在制成整管前，能全面檢查其物理參數(shù)是否合格。
由于現(xiàn)有該類測試臺不能測量光導(dǎo)靶面的光電惰性這一重要參數(shù)，使得生產(chǎn)攝象管靶面時無法控制該參數(shù)。為克服這一缺點，我們在測試系統(tǒng)中增設(shè)了光電惰性的測試電路。該電路主要由計數(shù)選場電路、亮暗場控制電路、取樣窗口脈沖發(fā)生器、采樣保持及放大電路、數(shù)字電壓表、監(jiān)視器、供電電源等構(gòu)成。為實現(xiàn)惰性測試，還配以短余輝脈沖光源管及其電源、視頻放大電路等。如框圖1所示，其工作原理如下由閉路電視系統(tǒng)送出的復(fù)合同步信號被加到“取樣窗口脈沖發(fā)生器”的輸入端。由此電路形成如下兩種信號并分別送出(1)形成取樣窗口信號，一路送去控制“采樣保持和放大電路”；一路送入監(jiān)視器，在監(jiān)視器上形成窗口圖形。(2)形成場計數(shù)脈沖送入“計數(shù)選場電路”?！坝嫈?shù)選場電路”將上述計數(shù)脈沖進行計數(shù)，并由譯碼器進行采樣場次選擇形成選場脈沖送到“亮暗場控制電路”，此外它還要將計數(shù)值繼續(xù)送入“亮暗場控制電路”，以便進一步計數(shù)為選取亮場持續(xù)場次及暗場持續(xù)場次計數(shù)。所選取的控制脈沖將控制一個與脈沖光源管調(diào)制極相聯(lián)的電路，使得在亮場(光開)時，調(diào)制極電位為另；而在暗場(光閉)時，調(diào)制極電壓為－90～－100伏。此外，“亮暗場控制電路”還要送出封鎖脈沖，使在選場脈沖送來后，立即發(fā)出此封鎖脈沖關(guān)閉選場譯碼器不再進行譯碼；還要在一個測試周期結(jié)束時送出一個復(fù)位脈沖給所有計數(shù)器，使計數(shù)器復(fù)位，為下一測試周期計數(shù)做好準備。
在亮場采樣的光電流信號值由數(shù)字電壓表指示，并由電位器調(diào)成1伏大小。而下降惰性或上升惰性的相應(yīng)被測場次的取樣值，則同樣由數(shù)字電壓表指示，以對最大值1伏的相對百分值示出，從而使計算惰性值簡化了。配合惰性測量的裝置還有“短余輝脈沖光源管”及其供電電源。該管是特殊制做的陰極射線管，由前述光開或光閉所決定的調(diào)制極電壓來控制其熒光屏發(fā)光的時間長短和間歇的時間長短。該光通過光路系統(tǒng)會聚后，照到被測靶的某個“窗口”，形成一個亮窗口，則可由此取樣光信號電流。具體測試中首先將采樣保持及放大電路，在光源關(guān)閉情況下調(diào)零，從而消除暗電流給測試帶來的影響。然后在零場時，將亮場值調(diào)成1伏(即認為是100％)。確定選擇開關(guān)是測上升惰性還是測下降惰性；再選擇測自光開或光閉后第幾場的惰性，則數(shù)壓表上的指示值按上百分數(shù)計算，即為所要測量的惰性值。
本實用新型可以全面測試光電導(dǎo)靶面的物理參數(shù)，它包括靶壓、靈敏度(光電流值)、光電惰性(包括上升惰性和下降惰性)、光生載流子的產(chǎn)生率η、光生載流子的漂移遷移率μ和光生載流子壽命
。除上述特點之外，本實用新型在結(jié)構(gòu)上還有如下兩個特點1.采用磁力耦合的非接觸式機械傳動裝置，這種傳動可以是轉(zhuǎn)動傳動也可以是移動傳動。轉(zhuǎn)動傳動如圖2所示。圖中1為真空外的轉(zhuǎn)軸，它帶動上磁鐵2旋轉(zhuǎn)。由于上磁鐵2與下磁鐵3磁力耦合，所以就帶動了處于真空系統(tǒng)內(nèi)部的轉(zhuǎn)軸4旋轉(zhuǎn)，從而也就帶動了放置工件的轉(zhuǎn)盤5做旋轉(zhuǎn)運動。6則是用于將上下磁鐵隔離于真空內(nèi)外的隔板，并兼做上下轉(zhuǎn)軸的軸承。這種傳動方式可以在真空全密封的情況下，在真空室外控制真空室內(nèi)工件的運動，且靈活省力，它優(yōu)于目前廣泛采用的軸桿橡皮密封的裝置。
2.采用了一個特殊的磁鐵裝置來提起和放置一個用于密封電子搶的蓋板，其實施方式簡圖如圖3所示。圖中7為提升放置推桿，它可上下運動。8為放置此裝置及工件的轉(zhuǎn)盤，此盤則繞軸13旋轉(zhuǎn)。9是提升密封蓋板11的磁鐵，此時推桿7的下部構(gòu)成磁路的一部分。該蓋板11與磁鐵部件9可在A處分離，從而使蓋板置于應(yīng)放置的電子槍口處，則靠密封橡皮圈12與蓋板11共同將電子槍密封于真空狀態(tài)。在要求電子槍工作時，則用磁鐵部件9將蓋板11吸起，則可隨轉(zhuǎn)盤8旋到其它位置，以使蓋板不妨礙電子槍的正常工作。圖中10為定位環(huán)，是使部件9與11對準用的。使用這個裝置，可以在真空室外將上述蓋板準確置于電子槍口處，用以密封住電子槍，以便真空室放入大氣，并進行被測工件的更換。同樣，使用這個裝置，可以在真空室外，將上述已蓋在槍口處的密封蓋板提起，然后隨靶盤旋轉(zhuǎn)到不妨礙測試的位置。采用這種裝置比之常用的充惰性氣體保護電子槍的方法大為優(yōu)越，一則操作方便，再則省下購置氣體的成本。
使用本實用新型，可以全面檢驗所制成的光導(dǎo)靶的物理參數(shù)。對于光導(dǎo)攝象管的生產(chǎn)廠家而言，可以在裝管前將不合格靶片去除，從而提高整管生產(chǎn)的成品率；對于研制光導(dǎo)攝象管光導(dǎo)靶面的研究所而言，則可以不必采用制成整管的方式去測試靶面物理參數(shù)，節(jié)省了制管的費用和時間。
圖1光電惰性測試電路原理方框圖圖2磁力耦合非接觸式轉(zhuǎn)動傳動裝置示意圖1.外轉(zhuǎn)軸2.上磁鐵3.下磁鐵4.內(nèi)轉(zhuǎn)軸
6.隔板圖3保護電子槍用的磁鐵裝置示意圖7.推桿9.磁鐵10.定位環(huán)11.蓋板12.密封橡膠圈13.繞外轉(zhuǎn)軸1旋轉(zhuǎn)A.分離處
權(quán)利要求
1.一種光導(dǎo)靶面物理參數(shù)動態(tài)測試臺，由真空系統(tǒng)、閉路電視、光學(xué)系統(tǒng)、測試系統(tǒng)和輔助裝置構(gòu)成，其特征在于具有光電惰性測試電路，輔助裝置采用了磁力耦合非接觸式的機械傳動裝置和保護電子槍用的磁鐵裝置。
2.按照權(quán)利要求
1說的動態(tài)真空八位光導(dǎo)靶面測試臺所用的光電惰性測試電路，其特征在于由計數(shù)選場電路、亮暗場控制電路、取樣窗口脈沖發(fā)生器、采樣保持放大電路、數(shù)字電壓表、監(jiān)視器、視頻放大電路、短余輝脈沖光源管及供電電路組成。
3.按照權(quán)利要求
1說的動態(tài)真空八位光導(dǎo)靶面測試臺所用的磁力耦合非接觸式的機械傳動裝置，其特征在于由外轉(zhuǎn)軸1、上磁鐵2、下磁鐵3、內(nèi)轉(zhuǎn)軸4、轉(zhuǎn)盤5和隔板6構(gòu)成。
4.按照權(quán)利要求
1說的動態(tài)真空八位光導(dǎo)靶面測試臺所用的保護電子槍用的磁鐵裝置，其特征在于由推桿7、轉(zhuǎn)盤8、磁鐵9、定位環(huán)10、蓋板11和密封橡膠圈12構(gòu)成。
專利摘要
本實用新型是一個動態(tài)真空八位光導(dǎo)靶面測試臺，它是用于測試光導(dǎo)攝象管靶面物理參數(shù)的裝置，其主要特點在于具備測量光電惰性的全套電路及輔助裝置，此外在機械結(jié)構(gòu)上本實用新型還采用了1)磁力耦合非接觸式的機械傳動裝置。2)特殊磁鐵裝置提升和放置密封電子槍的蓋板。本實用新型可以測量光導(dǎo)靶面的靶壓、靈敏度(光電流值)、光電惰性(包括上升惰性和下降惰性)、光生載流子的產(chǎn)生率η，光生載流子的漂移遷移率μ和光生載流子的壽命τ。
文檔編號H01J9/42GK85200049SQ85200049
公開日1985年10月10日 申請日期1985年4月1日
發(fā)明者應(yīng)根裕, 杜秉初, 劉慧敏, 桂裕宗, 張劍 申請人:清華大學(xué)導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan