本技術(shù)涉及晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，具體涉及一種翻轉(zhuǎn)裝置及晶圓檢測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、進(jìn)行晶圓檢測(cè)時(shí)，測(cè)試機(jī)需要翻轉(zhuǎn)并放置在探針臺(tái)的上方并與探針臺(tái)進(jìn)行對(duì)接，隨著晶圓芯片體積越來(lái)越小型化而功能電路上越來(lái)越復(fù)雜，導(dǎo)致測(cè)試機(jī)尺寸和重量不斷變大，如何有效地將重量較大的測(cè)試機(jī)翻轉(zhuǎn)至探針臺(tái)的上方成為需要解決的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本技術(shù)的目的在于提供一種翻轉(zhuǎn)裝置及晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，以解決如何有效地將重量較大的測(cè)試機(jī)翻轉(zhuǎn)至探針臺(tái)的上方的技術(shù)問(wèn)題。

2、第一方面，本技術(shù)提供了一種翻轉(zhuǎn)裝置，所述翻轉(zhuǎn)裝置用于將測(cè)試機(jī)翻轉(zhuǎn)至探針臺(tái)上，所述翻轉(zhuǎn)裝置包括：

3、機(jī)架機(jī)構(gòu)，所述機(jī)架機(jī)構(gòu)包括第一支撐架、第二支撐架及分別連接第一支撐架和第二支撐架的連接架，所述第一支撐架和所述第二支撐架沿長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置，所述第一支撐架為立方框架；

4、轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿所述長(zhǎng)度方向設(shè)置，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端設(shè)于所述第一支撐架上，另一端設(shè)于所述第二支撐架上；以及

5、連接機(jī)構(gòu)，所述連接機(jī)構(gòu)包括間隔設(shè)置的第一連接組件和第二連接組件，所述第一連接組件分別連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述測(cè)試機(jī)，所述第二連接組件分別連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述測(cè)試機(jī)：

6、其中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠相對(duì)所述機(jī)架機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，并帶動(dòng)所述連接機(jī)構(gòu)相對(duì)所述機(jī)架機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)所述測(cè)試機(jī)設(shè)于所述探針臺(tái)上時(shí)，所述連接機(jī)構(gòu)的所述第一連接組件和所述第二連接組件沿高度方向延伸。

7、本技術(shù)提供的翻轉(zhuǎn)裝置中，第一支撐架和第二支撐架分別用于承載轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的兩端，第一支撐架為立方框架，可以提高第一支撐架的整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，機(jī)架機(jī)構(gòu)的第一支撐架和第二支撐架通過(guò)連接架進(jìn)行固定連接，使得第一支撐架和第二支撐架通過(guò)連接架形成一體結(jié)構(gòu)，可以提高機(jī)架機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的兩端分別設(shè)于第一支撐架和第二支撐架上，且第一支撐架和第二支撐架的穩(wěn)定性較高，便于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)重量較大的測(cè)試機(jī)進(jìn)行翻轉(zhuǎn)并將其翻轉(zhuǎn)至探針臺(tái)上。當(dāng)測(cè)試機(jī)設(shè)于探針臺(tái)上時(shí)，連接機(jī)構(gòu)的第一連接組件和第二連接組件沿高度方向延伸，可以減小測(cè)試機(jī)和轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿寬度方向的距離，進(jìn)而減小測(cè)試機(jī)對(duì)第一連接組件和第二連接組件施加的力矩，可以避免連接機(jī)構(gòu)承載較大的力矩發(fā)生斷裂等問(wèn)題，有利于連接機(jī)構(gòu)承載重量加大的測(cè)試機(jī)。

8、其中，所述第一連接組件包括第一連接側(cè)板及第一轉(zhuǎn)角塊，所述第一連接側(cè)板連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一轉(zhuǎn)角塊設(shè)于所述第一連接側(cè)板背離所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)，所述第一轉(zhuǎn)角塊包括相連且相互垂直的第一連接部和第二連接部，所述第一連接部連接所述第一連接側(cè)板，所述第二連接部連接所述測(cè)試機(jī)；

9、所述第二連接組件包括第二連接側(cè)板及第二轉(zhuǎn)角塊，所述第二連接側(cè)板連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二轉(zhuǎn)角塊設(shè)于所述第二連接側(cè)板背離所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)，所述第二轉(zhuǎn)角塊包括相連且相互垂直的第三連接部和第四連接部，所述第三連接部連接所述第二連接側(cè)板，所述第四連接部連接所述測(cè)試機(jī)。

10、其中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括依次相連的轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)、減速組件及轉(zhuǎn)軸組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)通過(guò)所述減速組件帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸組件轉(zhuǎn)動(dòng)，所述減速組件包括相連的第一減速機(jī)和第二減速機(jī)，所述第一減速機(jī)連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)，所述第二減速機(jī)連接所述轉(zhuǎn)軸組件，所述減速組件還包括減速機(jī)座、第一支撐塊及第二支撐塊，所述減速機(jī)座固定于所述第一支撐架上，且所述減速機(jī)座環(huán)設(shè)至少部分所述第二減速機(jī)的外周并固定連接所述第二減速機(jī)，所述第一支撐塊和所述第二支撐塊設(shè)于所述減速機(jī)座背離所述轉(zhuǎn)軸組件的一側(cè)，且所述第一支撐塊和所述第二支撐塊分別設(shè)于所述減速機(jī)座的兩端，所述第一支撐塊包括相連且相互垂直的第一支撐部和第二支撐部，所述第一支撐部連接所述第一支撐架，所述第二支撐部連接所述減速機(jī)座，所述第二支撐塊包括相連且相互垂直的第三支撐部和第四支撐部，所述第三支撐部連接所述第一支撐架，所述第四支撐部連接所述減速機(jī)座。

11、其中，所述轉(zhuǎn)軸組件還包括第一法蘭、軸體和第二法蘭，所述第一法蘭的外周固定連接所述減速組件和所述軸體，所述第一法蘭的軸心設(shè)有軸向貫穿的第一通孔，所述第一通孔用于穿過(guò)所述軸體，所述第一通孔上設(shè)有第一配合部，所述軸體靠近所述第一法蘭的一端設(shè)有第二配合部，所述第一配合部和所述第二配合部配合以限位所述軸體，所述第一配合部和所述第二配合部中的一者為凹槽，另一者為凸起；所述第二法蘭的軸心設(shè)有軸向貫穿的第二通孔，所述第二通孔用于穿過(guò)所述軸體，所述第二通孔上設(shè)有第三配合部，所述軸體靠近所述第二法蘭的一端設(shè)有第四配合部，所述第三配合部和所述第四配合部配合以限位所述軸體，所述第三配合部和所述第四配合部中的一者為凹槽，另一者為凸起。

12、其中，所述第一法蘭包括第一本體及第一凸塊，所述第一本體固定連接所述第一連接側(cè)板，所述第一凸塊設(shè)于所述第一本體背離所述減速組件的一側(cè)；所述第一連接側(cè)板上設(shè)有第一通槽，所述第一凸塊設(shè)于所述第一通槽內(nèi)至少部分抵接所述第一通槽的槽壁，以限制所述第一連接側(cè)板相對(duì)所述轉(zhuǎn)軸組件轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一凸塊可以沿垂直于所述第一連接側(cè)板轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的方向與所述第一通槽滑動(dòng)連接；

13、所述第二法蘭包括第二本體及第二凸塊，所述第二本體固定連接所述第二連接側(cè)板，所述第二凸塊設(shè)于所述第二本體背離所述減速組件的一側(cè)；所述第二連接側(cè)板上設(shè)有第二通槽，所述第二凸塊設(shè)于所述第二通槽內(nèi)至少部分抵接所述第二通槽的槽壁，以限制所述第二連接側(cè)板相對(duì)所述轉(zhuǎn)軸組件轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第二凸塊可以沿垂直于所述第二連接側(cè)板轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的方向與所述第二通槽滑動(dòng)連接。

14、其中，所述機(jī)架機(jī)構(gòu)還包括第一安裝板和第二安裝板，所述第一安裝板和所述第二安裝板平行于所述翻轉(zhuǎn)裝置的放置面，所述第一安裝板設(shè)于所述第一支撐架和所述減速機(jī)座之間，所述第二安裝板設(shè)于所述第二支撐架上；

15、所述翻轉(zhuǎn)裝置還包括軸承座，所述軸承座設(shè)于所述第二安裝板上，所述軸承座環(huán)設(shè)所述軸體的一端并用于限位所述軸體；

16、所述第二法蘭背離所述第一法蘭的一側(cè)設(shè)有第一限位銷(xiāo)，所述第二安裝板上設(shè)有相對(duì)間隔的第一限位塊和第二限位塊，所述第一限位塊和所述第二限位塊用于抵接所述第一限位銷(xiāo)，以限定所述轉(zhuǎn)軸組件的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。

17、其中，所述翻轉(zhuǎn)裝置還包括傳感器組件及控制器組件，所述傳感器組件設(shè)于所述第二安裝板上，所述控制器組件電性連接所述傳感器組件，所述軸體遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)的一端設(shè)有感應(yīng)件，所述感應(yīng)件用于跟隨所述軸體轉(zhuǎn)動(dòng)，所述感應(yīng)件和所述傳感器組件配合以輸出所述軸體的位置信號(hào)至所述控制器組件。

18、其中，所述傳感器組件包括傳感器基座、第一傳感器、第二傳感器、及第三傳感器，所述傳感器基座包括第一基座、第二基座及第三基座，所述第二基座和所述第三基座設(shè)于所述第一基座的兩端且沿所述高度方向延伸，所述第一傳感器設(shè)于所述第一基座上，所述第二傳感器設(shè)于所述第二基座上，所述第三傳感器設(shè)于所述第三基座上；

19、所述感應(yīng)件對(duì)應(yīng)所述第一傳感器設(shè)置時(shí)，所述翻轉(zhuǎn)裝置處于初始狀態(tài)，所述測(cè)試機(jī)和所述探針臺(tái)沿寬度方向設(shè)置；

20、所述感應(yīng)件對(duì)應(yīng)所述第三傳感器設(shè)置時(shí)，所述翻轉(zhuǎn)裝置處于測(cè)試狀態(tài)，所述測(cè)試機(jī)設(shè)于所述探針臺(tái)上且所述測(cè)試機(jī)和所述探針臺(tái)沿所述高度方向設(shè)置。

21、其中，所述傳感器組件包括傳感器基座、第一傳感器、第二傳感器、及第三傳感器，所述傳感器基座包括第一基座、第二基座及第三基座，所述第二基座和所述第三基座設(shè)于所述第一基座的兩端且沿所述高度方向延伸，所述第一傳感器設(shè)于所述第一基座上，所述第二傳感器設(shè)于所述第二基座上，所述第三傳感器設(shè)于所述第三基座上；

22、所述翻轉(zhuǎn)裝置處于初始狀態(tài)或測(cè)試狀態(tài)時(shí)，所述感應(yīng)件高于所述第一傳感器和所述第三傳感器，所述翻轉(zhuǎn)裝置的翻轉(zhuǎn)路徑包括加速區(qū)間段和減速區(qū)間段，所述感應(yīng)件經(jīng)過(guò)所述第一傳感器的路徑對(duì)應(yīng)所述加速區(qū)間段和所述減速區(qū)間段中的一者，所述感應(yīng)件經(jīng)過(guò)所述第三傳感器的路徑對(duì)應(yīng)所述加速區(qū)間段和所述減速區(qū)間段中的另一者。

23、其中，所述第一連接側(cè)板上設(shè)有多個(gè)第一腰型孔，當(dāng)所述測(cè)試機(jī)設(shè)于所述探針臺(tái)上時(shí)，所述第一腰型孔沿所述高度方向延伸，所述第一法蘭上設(shè)有多個(gè)第一固定孔，多個(gè)第一固定件穿設(shè)所述第一腰型孔并固定于所述第一固定孔內(nèi)，所述第一連接側(cè)板能夠相對(duì)所述第一法蘭沿所述高度方向移動(dòng)；

24、所述第二連接側(cè)板上設(shè)有多個(gè)第二腰型孔，當(dāng)所述測(cè)試機(jī)設(shè)于所述探針臺(tái)上時(shí)，所述第二腰型孔沿所述高度方向延伸，所述第二法蘭上設(shè)有多個(gè)第二固定孔，多個(gè)第二固定件穿設(shè)所述第二腰型孔并固定于所述第二固定孔內(nèi)，所述第二連接側(cè)板能夠相對(duì)所述第二法蘭沿所述高度方向移動(dòng)。

25、其中，所述第一連接組件還包括第一調(diào)節(jié)件和第二調(diào)節(jié)件，所述第一調(diào)節(jié)件貫穿所述第一連接側(cè)板上的通孔并與所述第一凸塊螺紋連接，所述第二調(diào)節(jié)件貫穿所述第一連接側(cè)板上的螺紋孔并抵接所述第一凸塊，所述第一調(diào)節(jié)件用于提供第一作用力至所述第一凸塊，所述第二調(diào)節(jié)件用于提供第二作用力至所述第二凸塊，所述第一作用力和所述第二作用力的方向相反；

26、所述第二連接組件還包括第三調(diào)節(jié)件和第四調(diào)節(jié)件，所述第三調(diào)節(jié)件貫穿所述第二連接側(cè)板上的通孔并與所述第二凸塊螺紋連接，所述第四調(diào)節(jié)件貫穿所述第二連接側(cè)板上的螺紋孔并抵接所述第二凸塊，所述第三調(diào)節(jié)件用于提供第三作用力至所述第二凸塊，所述第四調(diào)節(jié)件用于提供第四作用力至所述第二凸塊，所述第三作用力和所述第四作用力的方向相反。

27、其中，所述翻轉(zhuǎn)裝置還包括第一墊塊、第二墊塊、第一調(diào)平組件、第二調(diào)平組件，所述第一墊塊設(shè)于所述第一轉(zhuǎn)角塊上且分別連接所述第一連接部和所述第二連接部，所述第二墊塊設(shè)于所述第二轉(zhuǎn)角塊上且分別連接所述第三連接部和所述第四連接部，所述第一調(diào)平組件設(shè)于所述第一墊塊背離所述測(cè)試機(jī)的一側(cè)，所述第二調(diào)平組件設(shè)于所述第二墊塊背離所述測(cè)試機(jī)的一側(cè)，所述第一調(diào)平組件用于帶動(dòng)所述第一墊塊、所述第一連接部及所述測(cè)試機(jī)相對(duì)所述第一連接側(cè)板沿寬度方向移動(dòng)，所述第二調(diào)平組件用于帶動(dòng)所述第二墊塊、所述第二連接部及所述測(cè)試機(jī)相對(duì)所述第二連接側(cè)板沿寬度方向移動(dòng)，所述第一調(diào)平組件和所述第二調(diào)平組件用于調(diào)節(jié)所述測(cè)試機(jī)沿寬度方向的水平度。

28、第二方面，本技術(shù)提供了一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，所述晶圓檢測(cè)系統(tǒng)包括探針臺(tái)、測(cè)試機(jī)及所述翻轉(zhuǎn)裝置，所述探針臺(tái)通過(guò)連接板固定連接于所述翻轉(zhuǎn)裝置的一側(cè)，所述測(cè)試機(jī)安裝于所述連接機(jī)構(gòu)。

29、其中，所述晶圓檢測(cè)系統(tǒng)還包括固定機(jī)構(gòu)和扣合機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)設(shè)于所述測(cè)試機(jī)背離連接機(jī)構(gòu)的一側(cè)，所述扣合機(jī)構(gòu)設(shè)于所述探針臺(tái)上或與所述翻轉(zhuǎn)裝置相鄰的機(jī)架上，當(dāng)所述翻轉(zhuǎn)裝置將所述測(cè)試機(jī)翻轉(zhuǎn)至所述探針臺(tái)上方時(shí)，所述固定機(jī)構(gòu)和所述扣合機(jī)構(gòu)配合以限位所述測(cè)試機(jī)。

30、其中，所述固定機(jī)構(gòu)還包括第一固定結(jié)構(gòu)，所述扣合機(jī)構(gòu)還包括固定底座及第一承載件，所述第一承載件設(shè)于所述固定底座上，所述第一承載件上設(shè)有第一承載凹槽，所述第一承載凹槽用于抵接并限位所述第一固定結(jié)構(gòu)。

31、其中，所述扣合機(jī)構(gòu)還包括第四傳感器，所述第四傳感器設(shè)于所述第一承載件上且貫穿所述第一承載凹槽，所述第四傳感器用于檢測(cè)所述第一固定結(jié)構(gòu)并發(fā)出檢測(cè)信號(hào)。

32、其中，所述扣合機(jī)構(gòu)還包括第一固定座及第一扣合件，所述第一固定座和所述第一承載件沿寬度方向設(shè)置，所述第一扣合件的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述第一固定座，所述第一扣合件靠近所述第一固定座的一端設(shè)有第一扣合凹槽，所述第一扣合件能夠相對(duì)所述第一固定座轉(zhuǎn)動(dòng)以使所述第一扣合凹槽收容所述第一固定結(jié)構(gòu)，以限位所述第一固定結(jié)構(gòu)及所述測(cè)試機(jī)。