本技術(shù)涉及半導(dǎo)體測試的領(lǐng)域，尤其是涉及一種探針調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

1、芯片測試探針是用于測試芯片電路的一種工具，它能夠在芯片表面上接觸到電路引腳，并將測試信號傳遞給芯片，然后根據(jù)芯片的響應(yīng)來判斷芯片電路的性能和功能是否正常。芯片測試探針通常由探頭、導(dǎo)線和連接器組成，其中探頭是與芯片引腳直接接觸的部分。

2、相關(guān)技術(shù)中，當(dāng)部分芯片需要兩根探針同時接觸到一個芯片引腳上進(jìn)行測試時，通常采用兩根獨立的探針座承載探針，從而分別控制兩個探針座帶動兩根探針抵接到同一芯片引腳上進(jìn)行測試。

3、然而，相關(guān)技術(shù)中設(shè)置的兩根探針的高度難以保持一致，從而容易導(dǎo)致兩根探針抵接于芯片引腳時的針壓不同，以導(dǎo)致測試結(jié)果不準(zhǔn)確。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實用新型提出一種探針調(diào)節(jié)裝置，具有令兩根探針的高度保持一致，以提高測試結(jié)果的準(zhǔn)確性的效果。

2、根據(jù)本實用新型實施例的一種探針調(diào)節(jié)裝置，包括：固定座；兩個承載件，所述承載件設(shè)置于所述固定座上，所述承載件呈彈性設(shè)置；兩根探針，兩根所述探針分別一一對應(yīng)設(shè)置于兩個所述承載件上，且兩根所述探針能夠抵接于同一個芯片引腳上；針壓調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述針壓調(diào)節(jié)機構(gòu)包括連接板以及兩個彈性組件，所述連接板的一端固定連接于所述固定座，另一端延伸至所述承載件的底部，兩個所述彈性組件設(shè)置于所述連接板上，兩個所述彈性組件分別一一對應(yīng)于兩個所述承載件，所述彈性組件能夠持續(xù)為所述承載件的頂部提供彈力；調(diào)平組件，所述調(diào)平組件活動設(shè)置于所述固定座上，所述調(diào)平組件能夠帶動其中一個所述承載件抬升。

3、根據(jù)本實用新型實施例的一種探針調(diào)節(jié)裝置，至少包括以下有益效果：當(dāng)探針對芯片進(jìn)行測試時，首先需要對兩根探針施加針壓，通過彈性組件持續(xù)為承載件的頂部提供彈力，以驅(qū)動承載件下降，從而增大探針的針壓。在針壓調(diào)節(jié)的過程中，通過人為控制兩個彈性組件為承載件提供彈力的大小保持一致。此時，若兩個承載件呈同一高度，則兩根探針的針壓相等；若兩個承載件的高度不一致，通過調(diào)平組件與彈性組件配合，由于調(diào)平組件為承載件提供支撐力，彈性組件為承載件提供壓力，使得兩者呈相反作用力；當(dāng)承載件需要上升時，調(diào)平組件帶動承載件上升；當(dāng)承載件需要下降時，調(diào)平組件能夠為承載件讓位，從而利用彈性組件施加的壓力使得承載件下降，進(jìn)而使得兩個承載件保持同一高度，從而使得兩根探針的針壓保持一致，以解決了兩根探針的高度難以保持一致，進(jìn)而導(dǎo)致兩個探針的針壓不同，使得測試結(jié)果不準(zhǔn)確的問題。

4、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述承載件包括承載板以及彈片，所述彈片一端固定連接于所述固定座，另一端連接于所述承載板，所述探針設(shè)置于所述承載板遠(yuǎn)離所述彈片的一端，所述彈片能夠產(chǎn)生彈性形變以令所述承載板升降。

5、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述承載板為pcb板，所述pcb板與所述探針電性連接。

6、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述彈性組件包括螺桿、調(diào)節(jié)螺母以及彈性件，所述承載板上貫穿開設(shè)有避位孔，所述避位孔與所述連接板對位，所述螺桿的一端固定連接于所述連接板，另一端豎直向上穿過所述避位孔，所述調(diào)節(jié)螺母與所述螺桿螺紋配合，所述彈性件設(shè)置于所述調(diào)節(jié)螺母與所述承載板之間。

7、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述彈性件包括彈簧，所述彈簧套設(shè)于所述螺桿外，所述彈簧的一端抵接于所述調(diào)節(jié)螺母，另一端抵接于所述承載板。

8、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述螺桿的頂部螺紋配合有限位螺母。

9、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述調(diào)平組件包括調(diào)平螺栓以及限位塊，所述固定座的頂部貫穿開設(shè)有第一螺孔，所述調(diào)平螺栓與所述第一螺孔螺紋配合，所述承載板上開設(shè)有穿孔，所述穿孔與所述第一螺孔對位，所述調(diào)平螺栓的底端穿過穿孔，所述限位塊固定套設(shè)于所述調(diào)平螺栓的端部。

10、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述固定座上設(shè)置有用于鎖緊所述調(diào)平螺栓的鎖緊件。

11、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述鎖緊件包括鎖緊螺栓，所述固定座的一側(cè)開設(shè)有第二螺孔，所述第二螺孔與所述第一螺孔連通，所述第二螺孔與所述鎖緊螺栓螺紋配合，以能夠抵緊所述調(diào)平螺栓。

12、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述連接板上設(shè)置有導(dǎo)電部，在所述探針測試芯片之前，所述導(dǎo)電部的頂部抵接于所述承載板，且抵接于所述承載板時通電，當(dāng)探針抵接于芯片引腳上時，所述導(dǎo)電部脫離所述承載板，以使所述導(dǎo)電部斷電。

技術(shù)特征：

1.一種探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述承載件包括承載板(210)以及彈片(220)，所述彈片(220)一端固定連接于所述固定座(100)，另一端連接于所述承載板(210)，所述探針(300)設(shè)置于所述承載板(210)遠(yuǎn)離所述彈片(220)的一端，所述彈片(220)能夠產(chǎn)生彈性形變以令所述承載板(210)升降。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述承載板(210)為pcb板，所述pcb板與所述探針(300)電性連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述彈性組件包括螺桿(421)、調(diào)節(jié)螺母(422)以及彈性件，所述承載板(210)上貫穿開設(shè)有避位孔(424)，所述避位孔(424)與所述連接板(410)對位，所述螺桿(421)的一端固定連接于所述連接板(410)，另一端豎直向上穿過所述避位孔(424)，所述調(diào)節(jié)螺母(422)與所述螺桿(421)螺紋配合，所述彈性件設(shè)置于所述調(diào)節(jié)螺母(422)與所述承載板(210)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述彈性件包括彈簧(4231)，所述彈簧(4231)套設(shè)于所述螺桿(421)外，所述彈簧(4231)的一端抵接于所述調(diào)節(jié)螺母(422)，另一端抵接于所述承載板(210)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述螺桿(421)的頂部螺紋配合有限位螺母(500)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述調(diào)平組件包括調(diào)平螺栓(710)以及限位塊(720)，所述固定座(100)的頂部貫穿開設(shè)有第一螺孔，所述調(diào)平螺栓(710)與所述第一螺孔螺紋配合，所述承載板(210)上開設(shè)有穿孔(730)，所述穿孔(730)與所述第一螺孔對位，所述調(diào)平螺栓(710)的底端穿過穿孔(730)，所述限位塊(720)固定套設(shè)于所述調(diào)平螺栓(710)的端部。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述固定座(100)上設(shè)置有用于鎖緊所述調(diào)平螺栓(710)的鎖緊件。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述鎖緊件包括鎖緊螺栓(810)，所述固定座(100)的一側(cè)開設(shè)有第二螺孔，所述第二螺孔與所述第一螺孔連通，所述第二螺孔與所述鎖緊螺栓(810)螺紋配合，以能夠抵緊所述調(diào)平螺栓(710)。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述連接板(410)上設(shè)置有導(dǎo)電部(600)，在所述探針(300)測試芯片之前，所述導(dǎo)電部(600)的頂部抵接于所述承載板(210)，且抵接于所述承載板(210)時通電，當(dāng)探針(300)抵接于芯片引腳上時，所述導(dǎo)電部(600)脫離所述承載板(210)，以使所述導(dǎo)電部(600)斷電。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種探針調(diào)節(jié)裝置，包括：固定座；兩個承載件，承載件設(shè)置于所述固定座上，所述承載件呈彈性設(shè)置；兩根探針，兩根分別一一對應(yīng)設(shè)置于兩個所述承載件上，且兩根探針能夠抵接于同一個芯片引腳上；針壓調(diào)節(jié)機構(gòu)，針壓調(diào)節(jié)機構(gòu)包括連接板以及兩個彈性組件，連接板的一端固定連接于所述固定座，另一端延伸至所述承載板的底部，兩個彈性組件設(shè)置于所述連接板上，兩個彈性組件分別一一對應(yīng)于兩個承載件，所述彈性組件能夠持續(xù)為所述承載件的頂部提供彈力；調(diào)平組件，調(diào)平組件活動設(shè)置于所述固定座上，所述調(diào)平組件能夠帶動其中一個所述承載件抬升。本申請具有令兩根探針的高度保持一致，以提高測試結(jié)果的準(zhǔn)確性的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：林生財
受保護(hù)的技術(shù)使用者：矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231214
技術(shù)公布日：2024/12/19