本實(shí)用新型屬于大型孔系對中領(lǐng)域，尤指一種大型孔系激光對中。

背景技術(shù)：

隨著科技的進(jìn)步，重工業(yè)也開始迅猛發(fā)展，例如核電、船舶、軍工等。但是在這些行業(yè)快速發(fā)展的同時(shí)也面臨著許多問題，主要問題是這些行業(yè)的機(jī)組朝著大體積的方向發(fā)展，而這些機(jī)構(gòu)大多都是由軸系傳遞動(dòng)力，大型機(jī)組的傳動(dòng)軸長度通常大于5m，直徑大于500mm，如汽輪機(jī)、水輪機(jī)等機(jī)組，這些機(jī)組軸系包括眾多孔系，將這些大型孔系準(zhǔn)確對中是一項(xiàng)較復(fù)雜且耗時(shí)的工作，大型機(jī)械零部件安裝困難在于建立長跨距的中心基準(zhǔn)線，尤其在多個(gè)孔進(jìn)行對中測量的時(shí)候更為重要，如果這些大型孔系沒有精確對中，那么這就直接影響傳動(dòng)軸的對中精度，進(jìn)而會(huì)使其在高速運(yùn)轉(zhuǎn)中會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈震動(dòng)損害機(jī)組的壽命，所以大型孔系的對中尤為重要。

現(xiàn)有的孔對孔的對中裝置主要有拉鋼絲對中裝置、上假軸找中裝置、望遠(yuǎn)鏡對中裝置和激光器對中裝置，其中拉鋼對中裝置是利用標(biāo)準(zhǔn)鋼絲作為測量基準(zhǔn)線，在孔系兩端面的中心固定一根平行于被測物體的鋼絲，將鋼絲調(diào)整到與基準(zhǔn)孔同軸，用專用量具來測量鋼絲與其它孔內(nèi)徑的間隙，在長距離測量時(shí)鋼絲的自重會(huì)導(dǎo)致鋼絲下垂加之人工讀數(shù)都會(huì)帶來誤差，并且操作復(fù)雜；上假軸對中裝置是利用假軸作為測量基準(zhǔn)線，代替真轉(zhuǎn)子對軸承座進(jìn)行對中，在對中精度要求不高的情況下，若假軸能順利從被測孔徑中自由通過則認(rèn)定為已對中，對中精度要求高的情況下，需要將假軸放入被測孔徑中，再利用固定在表架上的百分表進(jìn)行測量，該方法測量精度不高操作復(fù)雜，對假軸的加工參數(shù)要求較高且成本較高；望遠(yuǎn)鏡對中裝置是利用準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡或準(zhǔn)直儀等儀器組件的光軸作為測量基準(zhǔn)線，將測量光靶中心調(diào)準(zhǔn)至各個(gè)測量孔的截面中心處，用望遠(yuǎn)鏡觀測光靶中心和光軸中心的誤差，采用光學(xué)目視對準(zhǔn)法，但由于測量距離增加會(huì)導(dǎo)致成像模糊，大目視的主觀誤差，受望遠(yuǎn)鏡自重及望遠(yuǎn)鏡支架的影響使對中產(chǎn)生較大誤差；激光對中裝置中以激光對中儀使用最為廣泛，其中德國普魯輻激光對中儀較為成熟，但利用用探測桿轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行三點(diǎn)法孔系軸線檢測，且采用人工方法調(diào)整激光裝置位置，這些都會(huì)給對中帶來較大誤差。

基于以上裝置所存在的缺點(diǎn)，急需一種操作方便，對中精度高，制作成本低的對中裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

大型孔系激光對中裝置，其特征在于，所述的大型孔系激光對中裝置具體由圓心檢測裝置，傾角微動(dòng)平臺，激光裝置，宏動(dòng)液壓升降平臺，X、Y微動(dòng)平臺組成，圓心檢測裝置安裝在孔系內(nèi)部，放置在孔系底端，傾角微動(dòng)平臺嵌入圓心檢測裝置上表面的傾角凹槽內(nèi)，宏動(dòng)液壓升降平臺與傾角微動(dòng)平臺通過螺釘緊固連接，放置在傾角微動(dòng)平臺上方，X、Y微動(dòng)平臺通過螺釘固定在宏動(dòng)液壓升降平臺上表面，激光裝置放置在X、Y微動(dòng)平臺中心。

所述的圓心檢測裝置由底座，圓柱形腳支Ⅰ，圓柱形腳支Ⅱ，伸縮臂，位移傳感器組成，位移傳感器由a1位移傳感器、a2位移傳感器、a3位移傳感器、a4位移傳感器、a5位移傳感器和a6位移傳感器組成，底座下表面四角都安裝有與孔系內(nèi)壁相切的圓柱形腳支Ⅰ，上表面設(shè)有傾角凹槽，凹槽中心安裝有關(guān)節(jié)軸承，四角設(shè)有壓電固定槽，伸縮臂由固定臂和伸出臂組成，一對伸縮臂的各固定臂通過轉(zhuǎn)軸對稱固定在底座兩側(cè)，各伸出臂首端連接有圓柱形腳支Ⅱ，圓柱形腳支Ⅰ外側(cè)表面分別嵌入安裝有同軸的a2位移傳感器、a3位移傳感器、a5位移傳感器和a6位移傳感器，圓柱形腳支Ⅱ只有面向激光發(fā)射器一側(cè)表面嵌入安裝有a1位移傳感器、a4位移傳感器。

所述的大型孔系激光對中裝置，其特征在于，所述的傾角微動(dòng)平臺由傾角壓電陶瓷，球型支撐柱，傾角支撐板組成，四個(gè)傾角壓電陶瓷均嵌入在壓電固定槽中，球型支撐柱直接通過環(huán)氧樹脂膠與傾角壓電陶瓷固定連接，傾角支撐板通過圓心檢測裝置的關(guān)節(jié)軸承與其連接，傾角支撐板上表面兩端各開有一個(gè)沉孔，沉孔上建有相同口徑的圓形凸臺。

所述的大型孔系激光對中裝置，其特征在于，所述的宏動(dòng)液壓升降平臺由液壓裝置，可換支撐桿，光桿，宏動(dòng)支撐板組成，液壓裝置由缸筒、活塞桿組成，缸筒通過螺釘固定在傾角支撐板上，活塞桿裝配在缸筒內(nèi)，可換支撐桿與活塞桿通過螺紋緊固連接，光桿通過傾角支撐板的沉孔固定，可以根據(jù)孔系內(nèi)徑大小調(diào)換光桿和可換支撐桿規(guī)格，宏動(dòng)支撐板上表面開有與傾角支撐板相同間距的通孔，光桿通過通孔并將宏動(dòng)支撐板固定，再通過可換支撐桿支撐配合液壓裝置控制其升降，宏動(dòng)支撐板上表面還設(shè)有兩個(gè)滾珠凹槽，兩排滾珠嵌入在兩個(gè)滾珠凹槽內(nèi)。

所述的大型孔系激光對中裝置，其特征在于，所述的X、Y微動(dòng)平臺由壓電驅(qū)動(dòng)裝置，自鎖裝置，抬升裝置，微動(dòng)底座，復(fù)位裝置組成，微動(dòng)底座由固定底座和X向微動(dòng)底座組成，兩底座均成L型，X向微動(dòng)底座豎直面上設(shè)有T型凹槽，橫向表面上設(shè)有短T行凹槽，短T型凹槽下端面設(shè)有永磁鐵固定沉孔Ⅰ，X向微動(dòng)底座下端兩側(cè)內(nèi)端面設(shè)有Y向滑槽，固定底座豎直面上設(shè)有工字型凹槽，工字型凹槽底端設(shè)有電磁鐵固定沉孔，固定底座上設(shè)有兩條滑動(dòng)凹槽，四個(gè)自鎖裝置通過螺釘對稱固定在X向微動(dòng)底和固定底座內(nèi)，其中一個(gè)固定在T型凹槽內(nèi)、一個(gè)固定在短T型凹槽內(nèi)，另外兩個(gè)固定在工字型凹槽內(nèi)，壓電驅(qū)動(dòng)裝置上端與自鎖裝置貼合，下端與抬升裝置連接，抬升裝置安裝在X向微動(dòng)底座橫向表面以及橫向表面短T型凹槽上，復(fù)位裝置安裝在短T型凹槽和抬升裝置之間。

所述的X，Y微動(dòng)平臺，其特征在于，所述的抬升裝置由抬升底座，抬升楔塊，固定楔塊組成，抬升底座安放在短T型凹槽內(nèi)，抬升底座一側(cè)端面設(shè)有斜面，抬升底座上表面有兩個(gè)螺紋孔，抬升楔塊呈梯臺型，且上表面開有兩個(gè)支撐臂凹槽，支撐臂凹槽下表面開有螺紋孔，通過螺釘將抬升楔塊與抬升底座固定，固定楔塊呈直三棱柱型，且其通過螺釘固定在X向微動(dòng)底座橫向表面上，固定楔塊與抬升楔塊斜面角度均為45°。

所述的X、Y微動(dòng)平臺，其特征在于，所述的壓電驅(qū)動(dòng)裝置由壓電支撐板，驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷，直圓型柔性鉸鏈，下支撐塊，支撐臂組成， 壓電支撐板放置在工字型凹槽和T型凹槽內(nèi)，且其上表面兩端設(shè)有斜面，驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷一端通過環(huán)氧樹脂膠與壓電支撐板的下表面貼合，另一端通過環(huán)氧樹脂膠與直圓型柔性鉸鏈一端面貼合，直圓型柔性鉸鏈下端連接下支撐塊，下支撐塊由支撐塊Ⅰ和支撐塊Ⅱ組成，支撐塊Ⅰ上表面開有兩條支撐凹槽Ⅰ，支撐塊Ⅱ與支撐塊Ⅰ開有兩條相同的支撐凹槽Ⅱ，且兩側(cè)還設(shè)有兩個(gè)梯形自鎖凹槽，下端面設(shè)有兩個(gè)永磁鐵固定沉孔Ⅱ，支撐塊Ⅰ放置在X向微動(dòng)底座上，支撐塊Ⅱ放置在固定底座上，支撐臂由支撐臂Ⅰ和支撐臂Ⅱ組成，支撐臂Ⅰ一端通過轉(zhuǎn)軸固定在支撐凹槽Ⅰ內(nèi)，另一端通過轉(zhuǎn)軸固定在兩個(gè)支撐凹槽內(nèi)，支撐臂Ⅱ一端通過轉(zhuǎn)軸固定在支撐凹槽Ⅱ內(nèi)，另一端通過轉(zhuǎn)軸固定在X向微動(dòng)底座上。

所述的X，Y微動(dòng)平臺，其特征在于，所述的自鎖裝置由自鎖裝置Ⅰ、自鎖裝置Ⅱ、自鎖裝置Ⅲ和自鎖裝置Ⅳ組成，自鎖裝置Ⅰ由自鎖塊，永磁鐵，電磁鐵，電磁鐵底座，永磁鐵底座組成，自鎖塊一端設(shè)有斜面，與壓電支撐板相貼合以產(chǎn)生自鎖效應(yīng)，永磁鐵底座通過螺釘固定在自鎖塊上，永磁鐵鑲嵌在永磁鐵底座上，電磁鐵底座通過螺釘固定在固定底座和X向微動(dòng)底座上，電磁鐵焊接在電磁鐵底座上與永磁鐵同軸，自鎖裝置Ⅱ、自鎖裝置Ⅲ和自鎖裝置Ⅳ結(jié)構(gòu)同自鎖裝置Ⅰ。

所述的X，Y微動(dòng)平臺，其特征在于，所述的復(fù)位裝置由復(fù)位底座，復(fù)位電磁鐵，復(fù)位永磁鐵組成，復(fù)位永磁鐵由復(fù)位永磁鐵Ⅰ和復(fù)位永磁鐵Ⅱ組成，復(fù)位永磁鐵Ⅰ鑲嵌在永磁鐵固定沉孔Ⅰ內(nèi)，復(fù)位永磁鐵Ⅱ鑲嵌在永磁鐵固定沉孔Ⅱ內(nèi)，復(fù)位底座通過螺釘固定在抬升底座面向固定底座的側(cè)端面上，復(fù)位電磁鐵Ⅰ鑲嵌在復(fù)位底座上，復(fù)位電磁鐵Ⅱ鑲嵌在電磁鐵固定沉孔內(nèi)，復(fù)位電磁鐵與相鄰復(fù)位永磁鐵同軸。

所述的一種大型孔系激光對中裝置，其特征在于，所述的激光裝置由激光筒，激光發(fā)射器，激光接收器，激光位移傳感器組成，激光筒由激光筒Ⅰ和激光筒Ⅱ組成，激光發(fā)射器安裝在激光筒Ⅰ內(nèi)，激光接收器安裝在激光筒Ⅱ內(nèi)，激光筒的前后端面各鑲嵌有一個(gè)激光位移傳感器，且保證同一激光筒上的激光位移傳感器同軸，激光筒前后端面各建有Y向?qū)к墶?/p>

附圖說明

圖1 本實(shí)用新型的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2 本實(shí)用新型圓心檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3本實(shí)用新型傾角微動(dòng)平臺示意圖；

圖4本實(shí)用新型宏動(dòng)液壓抬升平臺示意圖；

圖5 本實(shí)用新型激光裝置示意圖；

圖6 本實(shí)用新型激光裝置剖視圖；

圖7 本實(shí)用新型X、Y微動(dòng)平臺示意圖；

圖8 本實(shí)用新型固定底座示意圖；

圖9 本實(shí)用新型X向微動(dòng)底座示意圖；

圖10 本實(shí)用新型X向微動(dòng)底座剖視圖；

圖11 本實(shí)用新型壓電驅(qū)動(dòng)裝置示意圖；

圖12 本實(shí)用新型自鎖裝置示意圖；

圖13 本實(shí)用新型抬升裝置示意圖；

圖14 本實(shí)用新型復(fù)位裝置示意圖。

附圖標(biāo)記說明：1-圓心檢測裝置，101-圓柱形腳支Ⅰ，102-圓柱形腳支Ⅱ，103-伸縮臂，103a-伸出臂，103b-固定臂，104-位移傳感器，104a-a1位移傳感器，104b-a2位移傳感器，104c-a3位移傳感器，104d-a4位移傳感器，104e-a5位移傳感器，104f-a6位移傳感器， 105-底座，105a-傾角凹槽，105b-壓電固定槽，106-關(guān)節(jié)軸承，107-傾角凹槽，108-壓電固定槽，2-傾角微動(dòng)平臺，201-傾角壓電陶瓷，202-球形支撐柱，203-傾角支撐板，203a-光桿固定沉孔，203b-環(huán)形凸臺，3-宏動(dòng)液壓升降平臺，301-液壓裝置，301a-缸筒，301b-活塞桿，302-宏動(dòng)支撐板，302a-滾珠凹槽，302b-滾珠，303-光桿，304-可換支撐桿，4-X、Y微動(dòng)平臺，401-壓電驅(qū)動(dòng)裝置，401a-壓電支撐板，401b-驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷，401c-直圓型柔性鉸鏈，401d-下支撐塊，401d₁-支撐塊Ⅰ，401d₂-支撐塊Ⅱ，401d₃-支撐凹槽Ⅰ，401d₄-支撐凹槽Ⅱ，401d₅-自鎖凹槽，401d₆-永磁鐵固定凹槽Ⅱ，401e-支撐臂，401e₁-支撐臂Ⅰ，401e₂-支撐臂Ⅱ，402-自鎖裝置，402a-自鎖裝置Ⅰ，402b-自鎖裝置Ⅱ，402c-自鎖裝置Ⅲ，402d-自鎖裝置Ⅳ，402a₁-自鎖塊，402a₂-永磁鐵，402a₃-電磁鐵，402a₄-電磁鐵底座，402a₅-永磁鐵底座，403-抬升裝置，403a-抬升底座，403b-抬升楔塊，403b₁-支撐臂凹槽，403c-固定楔塊，403c₁-楔塊固定沉孔，404-微動(dòng)底座，404a-固定底座，404b-X向微動(dòng)底座，404b₁-T型凹槽，404b₂-短T型凹槽，404a₁-工字型凹槽，404a₂-滑動(dòng)凹槽，404b₃-永磁鐵固定沉孔Ⅰ，404b₄-Y向滑槽，404b₅-滑軌，404a₃-電磁鐵固定沉孔，405-復(fù)位裝置，405a-復(fù)位底座，405b-復(fù)位電磁鐵，405b₁-復(fù)位電磁鐵Ⅰ，405b₂-復(fù)位電磁鐵Ⅱ，405c-復(fù)位永磁鐵，405c₁-復(fù)位永磁鐵Ⅰ，405c₂-復(fù)位永磁鐵Ⅱ，5-激光系統(tǒng)，501-激光筒，501a-激光筒Ⅰ，501a-激光筒Ⅱ，501c-Y向?qū)к墸?02-激光發(fā)射器，503-激光接收器，504-激光位移傳感器。

具體實(shí)施方式

結(jié)合附圖對本實(shí)用新型裝置作進(jìn)一步詳細(xì)敘述，如下：

該裝置由圓心檢測裝置1，傾角微動(dòng)平臺2，宏動(dòng)液壓升降平臺3，X、Y微動(dòng)平臺4，激光裝置5組成，以下分別從整體結(jié)構(gòu)，圓心檢測裝置1，傾角微動(dòng)平臺2，宏動(dòng)液壓升降平臺3，X、Y微動(dòng)平臺4，激光裝置5進(jìn)行詳細(xì)闡述。

由圖一所示的大型孔系激光對中裝置的整體結(jié)構(gòu)，具體由圓心檢測裝置1，傾角微動(dòng)平臺2，激光裝置5，宏動(dòng)液壓升降平臺3，X、Y微動(dòng)平臺4組成，圓心檢測裝置1與孔系內(nèi)壁相切，放置在孔系底端，傾角微動(dòng)平臺2嵌入在圓心檢測裝置1的傾角凹槽105a內(nèi)，宏動(dòng)液壓升降平臺3與傾角微動(dòng)平臺2平行，通過螺釘緊固在傾角微動(dòng)平臺2上方，X、Y微動(dòng)平臺4與宏動(dòng)液壓升降平臺3通過螺釘緊固連接，激光裝置5放置在X、Y微動(dòng)平臺中心。

如圖二所示的圓心檢測裝置1，具體由圓柱形腳支Ⅰ101，圓柱形腳支Ⅱ102，伸縮臂103，位移傳感器104，底座105組成，位移傳感器104由a1位移傳感器104a、a2位移傳感器104b、a3位移傳感器104c、a4位移傳感器104d、a5位移傳感器104e和a6位移傳感器104f組成，根據(jù)孔系的內(nèi)徑大小選配大小合適的可換支撐桿304，接著將激光裝置5放置在兩個(gè)孔系內(nèi)，使圓心檢測裝置1的各圓形腳支與孔系內(nèi)壁相切，底座105下表面四角都安裝有與孔系內(nèi)壁相切的圓柱形腳支Ⅰ101，上表面設(shè)有傾角凹槽107，傾角凹槽107中心安裝有關(guān)節(jié)軸承106，用以連接圓心檢測裝置1和傾角微動(dòng)平臺2，伸縮臂103由固定臂103a和伸出臂103b組成，一對伸縮臂103的各固定臂103a通過轉(zhuǎn)軸對稱固定在底座105兩側(cè)，各伸出臂103b首端連接有一圓柱形腳支Ⅱ102，且保證圓柱形腳支Ⅰ101和圓柱形腳支Ⅱ102面向激光接收器503方向的端面在同一平面上，圓柱形腳支Ⅰ101外側(cè)表面分別嵌入有同軸的a2位移傳感器104b、a3位移傳感器104c、a5位移傳感器104e和a6位移傳感器104f，圓柱形腳支Ⅱ102只有面向激光發(fā)射裝置5一側(cè)表面分別嵌入安裝有a1位移傳感器104a和a4位移傳感器104d，伸縮臂103的作用是調(diào)整圓柱形腳支Ⅰ101和圓柱形Ⅱ102間的距離。

由圖三所示的傾角微動(dòng)平臺2，具體由傾角壓電陶瓷201，球型支撐柱202，傾角支撐板203組成，當(dāng)圓心檢測裝置1工作完成后，傾角微動(dòng)平臺2主要工作是調(diào)整傾角支撐板203及其他部件的空間角度，四個(gè)傾角壓電陶瓷201均布在壓電固定槽105b內(nèi)。球型支撐柱202直接通過環(huán)氧樹脂膠與傾角壓電陶瓷201固定連接，傾角支撐板203通過圓心檢測裝置1的關(guān)節(jié)軸承106與其連接，其上表面兩端各開有一個(gè)光桿固定沉孔203a，光桿固定沉孔203a上有相同孔徑的環(huán)形凸臺203b用以固定光桿303，傾角支撐板203中心處均布有四個(gè)螺紋孔，用于與宏動(dòng)液壓升降平臺3連接，四個(gè)傾角壓電陶瓷201及球型支撐柱202的同時(shí)作用，實(shí)現(xiàn)傾角支撐板204繞圓心檢測裝置上關(guān)節(jié)軸承106的微轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)傾角支撐板204的上部結(jié)構(gòu)微轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)傾角調(diào)整，具體的當(dāng)大型激光對中裝置在未工作狀態(tài)下時(shí)，傾角壓電陶瓷201未通電處于原長，傾角支撐板203未同時(shí)與四個(gè)傾角壓電陶瓷201接觸，對傾角壓電陶瓷201進(jìn)行通電，使四個(gè)傾角壓電201伸長并同時(shí)與傾角支撐板203接觸，給予四個(gè)傾角壓電陶瓷201不同的電信號，使其能保持與傾角支撐板203接觸的同時(shí)協(xié)調(diào)地伸縮配合，從而帶動(dòng)傾角支撐板203及其他組件實(shí)現(xiàn)微轉(zhuǎn)動(dòng)。

由圖四所示的宏動(dòng)液壓升降平臺3，具體由液壓裝置301，宏動(dòng)支撐板302，光桿303，可換支撐桿304組成，具體的，液壓裝置301由缸筒301a、活塞桿301b組成，主要為宏動(dòng)液壓升降平臺3提供動(dòng)力，并且起到支撐作用，缸筒301a由四個(gè)螺釘固定在傾角支撐板203的中心處，活塞桿301b裝配在缸筒301a內(nèi)，可換支撐桿304與活塞桿301b通過螺紋連接，根據(jù)孔系直徑的大小在大型孔系激光對中裝置放入孔系前選擇可換支撐桿304的規(guī)格，從而使宏動(dòng)液壓裝置3的行程能使X、Y微動(dòng)平臺4達(dá)到正常工作行程內(nèi)，光桿303通過傾角支撐板203上的光桿固定沉孔203a與環(huán)形凸臺203b共同固定，且可以根據(jù)孔系內(nèi)徑大小調(diào)換光桿303規(guī)格，宏動(dòng)支撐板302上表面開有與傾角支撐板203相同間距的通孔，光桿303通過其中并將宏動(dòng)支撐板302固定，再通過可換支撐桿304支撐配合液壓裝置301控制其沿光桿303的軸向運(yùn)動(dòng)。

由圖五、圖六所示的激光裝置5，具體由激光筒501，激光發(fā)射器502，激光接收器503，激光位移傳感器504組成，激光筒501由激光筒Ⅰ501a和激光筒Ⅱ501b組成，激光發(fā)射器502安裝在激光筒Ⅰ501a內(nèi)，激光接收器503安裝在激光筒Ⅱ501b內(nèi)，激光筒501沿軸向的前后端面各鑲嵌有一個(gè)激光位移傳感器504，用于定位激光裝置5，且保證同一激光筒501上的激光位移傳感器504同軸，激光筒501前后端面各建有Y向?qū)к?01c。

如圖七、圖八、圖九、圖十、圖十一、圖十二、圖十三、圖十四所示的X、Y微動(dòng)平臺4，具體由壓電驅(qū)動(dòng)裝置401，自鎖裝置，402，抬升裝置403，微動(dòng)底座404，復(fù)位裝置405組成，微動(dòng)底座404具體由固定底座404a和X向微動(dòng)底座404b組成，兩底座均成L型，X向微動(dòng)底座404b豎直面上開有T型凹槽404b₁，橫向表面上開有短T行凹槽404b₂，短T型凹槽下端面設(shè)有永磁鐵固定沉孔Ⅰ404b₃，X向微動(dòng)底座下端兩側(cè)內(nèi)端面設(shè)有Y向滑槽404b₄，固定底座404a豎直面上開有工字型凹槽404a₁，工字型凹槽404a₁底端設(shè)有電磁鐵固定沉孔404a₂，固定底座404a上設(shè)有兩條滑動(dòng)凹槽404a₃，從而使建有兩條滑軌404b₅的X向微動(dòng)底座404b可以沿滑動(dòng)凹槽404a₃實(shí)現(xiàn)X向平動(dòng)，四個(gè)自鎖裝置402通過螺釘對稱固定在X向微動(dòng)底404b和固定底座404a內(nèi)，其中一個(gè)固定在T型凹槽404b₁內(nèi)，一個(gè)固定在短T型凹槽404b₂內(nèi)，另外兩個(gè)固定在工字型凹槽404a₁內(nèi)，用以實(shí)現(xiàn)控制裝置的驅(qū)動(dòng)和駐停，壓電驅(qū)動(dòng)裝置401安放在X向微動(dòng)底座404bT型凹槽404b₁和固定底座404a工字型凹槽404a₁內(nèi)，用以給系統(tǒng)提供動(dòng)力，其上端與自鎖裝置402貼合，下端與抬升裝置403連接，抬升裝置403安裝在X向微動(dòng)底座404b的橫向表面以及橫向表面短T型凹槽404b₂內(nèi)，復(fù)位裝置405安裝在X向微動(dòng)底座404b短T型凹槽404b₂和抬升裝置403之間用以實(shí)現(xiàn)自鎖裝置402以及壓電驅(qū)動(dòng)裝置401的復(fù)位，使系統(tǒng)能持續(xù)工作。

抬升裝置403具體由抬升底座403a，抬升楔塊403b，固定楔塊組成403c，抬升裝置403主要作用是控制激光裝置5實(shí)現(xiàn)Y向位移，抬升底座403a安放在X向微動(dòng)底座404b短T型凹槽404b₂內(nèi)，抬升底座403a一側(cè)端面還設(shè)有斜面，目的是與自鎖裝置402配合產(chǎn)生自鎖效應(yīng)，抬升底座403a上表面開有兩個(gè)螺紋孔，抬升楔塊403b呈梯臺形，且上表面開有兩個(gè)支撐臂凹槽403b₁，用于與壓電驅(qū)動(dòng)裝置401連接，支撐臂凹槽403b₁下表面開有螺紋孔，通過螺釘將抬升楔塊403b與抬升底座403a固定，固定楔塊403c呈直三棱柱形，且螺釘通過楔塊固定沉孔403c₁將固定楔塊固定在X向微動(dòng)底座404b橫向表面上，固定楔塊403c與抬升楔塊斜403b面角度均為45°。

壓電驅(qū)動(dòng)裝置401具體由壓電支撐板401a，驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷401b，直圓型柔性鉸鏈401c，下支撐塊401d，支撐臂401e組成，壓電驅(qū)動(dòng)裝置401主要作用是為實(shí)現(xiàn)X、Y微動(dòng)平臺4的X和Y向位移并提供動(dòng)力，壓電支撐板401a放置在固定底座404a和X向微動(dòng)底座404b內(nèi)，且其上表面兩端設(shè)有斜面，驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷401b一端通過環(huán)氧樹脂膠與壓電支撐板401a下表面貼合，另一端通過環(huán)氧樹脂膠與直圓型柔性鉸鏈401c的一端面貼合，直圓型柔性鉸鏈401c下端連接下支撐塊401d，下支撐塊401d由支撐塊Ⅰ401d₁和支撐塊Ⅱ401d₂組成，支撐塊Ⅰ401d₁上表面設(shè)有兩條支撐凹槽Ⅰ401d₃，支撐塊Ⅱ401d₂與支撐塊Ⅰ401d₁設(shè)有兩條相同的支撐凹槽Ⅱ401d₄，且下方還設(shè)有兩個(gè)梯形自鎖凹槽401d₅，用于與自鎖裝置402產(chǎn)生自鎖效應(yīng)，支撐塊Ⅱ401d₂下端面設(shè)有兩個(gè)永磁鐵固定沉孔Ⅱ401d₆，支撐塊Ⅰ401d₁放置在X向微動(dòng)底座404b上，支撐塊Ⅱ403d₂放置在固定底座404a上，支撐臂401e由支撐臂Ⅰ401e₁和支撐臂Ⅱ401e₂組成，支撐臂Ⅰ401e₁一端通過轉(zhuǎn)軸固定在支撐塊Ⅰ401d₁的支撐凹槽Ⅰ401d₃內(nèi)，另一端通過轉(zhuǎn)軸固定在兩個(gè)支撐臂凹槽403b₁，支撐臂Ⅱ401e₂一端通過轉(zhuǎn)軸固定在支撐塊Ⅱ401d₂的支撐凹槽Ⅱ401d₄內(nèi)，另一端通過轉(zhuǎn)軸固定在X向微動(dòng)底座上404b。

自鎖裝置402具體由自鎖裝置Ⅰ402a， 自鎖裝置Ⅱ402b，自鎖裝置Ⅲ402c和自鎖裝置Ⅳ402d組成，自鎖裝置Ⅰ由自鎖塊402a₁，永磁鐵402a₂， 電磁鐵402a₃， 電磁鐵底座402a₄，永磁鐵底座402a₅組成，自鎖裝置402的主要作用是精確控制X、Y微動(dòng)平臺4的X向和Y向位移量，自鎖塊402a₁一端設(shè)有斜面，與壓電支撐板401a相貼合以產(chǎn)生自鎖效應(yīng)，永磁鐵底座402a₅通過螺釘固定在自鎖塊402a₁上，永磁鐵402a₂鑲嵌在永磁鐵底座402a₅上，電磁鐵底座402a₄通過螺釘固定在固定底座404a和X向微動(dòng)底座404b上，電磁鐵402a₃焊接在電磁鐵底座402a₄上與永磁鐵402a₂同軸，當(dāng)改變通入電磁鐵402a₃內(nèi)電流方向時(shí)，電磁鐵402a₃磁極發(fā)生變化，從而使其與永磁鐵402a₂間產(chǎn)生吸引力或排斥力，使自鎖塊402a₁向后運(yùn)動(dòng)解除自鎖效應(yīng)或向前運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生自鎖效應(yīng)。

復(fù)位裝置405具體由復(fù)位底座405a，復(fù)位電磁鐵405b，復(fù)位永磁鐵405c組成，復(fù)位永磁鐵405c由復(fù)位永磁鐵Ⅰ405c₁從和復(fù)位永磁鐵Ⅱ402c₂組成，復(fù)位永磁鐵Ⅰ405c₁鑲嵌在永磁鐵固定沉孔Ⅰ404b₃內(nèi)，復(fù)位永磁鐵Ⅱ405c₂固定沉孔Ⅱ401d₆內(nèi)，復(fù)位底座405a通過螺釘固定在抬升底座403a面向固定底座404a的側(cè)端面上，復(fù)位電磁鐵405b由復(fù)位電磁鐵Ⅰ405b₁和復(fù)位電磁鐵Ⅱ405b₂組成，復(fù)位電磁鐵Ⅰ405b₁鑲嵌在復(fù)位底座405a上，復(fù)位電磁鐵Ⅱ405b₂鑲嵌在電磁鐵固定沉孔404a₃內(nèi)，復(fù)位電磁鐵405b與相鄰復(fù)位永磁鐵405c同軸，當(dāng)需要復(fù)位時(shí)對復(fù)位電磁鐵通入電流使復(fù)位電磁鐵Ⅰ405b₁與復(fù)位永磁鐵Ⅰ405c₁間和復(fù)位電磁鐵Ⅱ405b₂與復(fù)位永磁鐵Ⅱ405c₂間分別產(chǎn)生排斥力，配合自鎖裝置402使壓電驅(qū)動(dòng)裝置401復(fù)位。