技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種晶體納米線生物探針器件的制備方法，步驟包括：1)采用具有一定硬度，耐350℃溫度的支撐性材料作為潔凈襯底的表面；2)在襯底上通過光刻刻蝕技術(shù)制作出深度約80?350nm作為金屬探針的形狀的引導(dǎo)溝道；3)再次使用光刻對準(zhǔn)技術(shù)在溝道的特定位置上定義催化劑區(qū)域，形成生物探針形狀的納米線；蒸鍍電極金屬膜，在于引導(dǎo)溝道特定位置形成幾十至一百納米的金屬膜圖案作為金屬探針的電極；本發(fā)明使用常規(guī)的PECVD，CVD等多種薄膜沉積系統(tǒng)和微加工系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。解決了以硅為代表的各種半導(dǎo)體納米線，在特定引導(dǎo)溝道中大規(guī)模引導(dǎo)生長，并制作成生物探針的關(guān)鍵技術(shù)問題。

技術(shù)研發(fā)人員：余林蔚;王吉米;王軍轉(zhuǎn)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.02
技術(shù)公布日：2017.09.26